SU848996A1 - Интерферометр дл контрол качествапОВЕРХНОСТЕй,ОпРЕдЕлЕНи АбЕРРАцийКРупНОгАбАРиТНыХ ОпТичЕСКиХ элЕМЕНТОВи иССлЕдОВАНи пРОзРАчНыХ НЕОдНОРОдНОСТЕй - Google Patents

Description

вследствие чего поверхности с больщим относительным отверстием приходитс  провер ть по част м. Сложность механизма управлени  сканирующим зеркалом св зана с необходимостью применени  механизма, который обеспечивал бы строго совмещение оси поворота с фокусом микрообъектива и с отражающей поверхностью зеркаша.

Цель изобретени  - повышение точности и прЬизводительности контрол  поверхностей с большим относительным отверстием.

Поставленна  цель достигаетс  тем что микрообъектив установлен по ходу лучей после второго светоделител  Телескопическа  системд расположена в рабочей ветви между плоским зеркалом и вторым светоделителем, фокусирующий элемент выполнен в виде положительной линзы, а сканирующее зеркало - с возможностью возвратно-поступательного перемещени  вдоль оптической оси интерферометра.

На чертеже представлена принципиальна  оптическа  схема предлагаемого интерферометра.

Интерферометр содержит монохроматческий (лазерный) источник 1 света, первый светоделитель 2, направл ющий световой поток в две ветви - рабочую и опорную, фокусирующий элемент 3, сканирующее зеркало 4, выполненное с возможностью возвратно-поступательного перемещени  вдоль оптической оси, плоское зеркало 5 рабочей ветви, телескопическую систему 6, расположенную между плоским зеркалом 5 и вторым светоделителем 7, высокоапертурный микрообъектив 8 и регистрирующее устройство 9.

Интерферометр., работает следующим образом.

Вышедший из монохроматического источника 1 света световой пучок делитс  первым светоделителем 2 на две ветви - рабочую и опорную.

В рабочей ветви, после отклонени  Ьлоским зеркалом 5, пучок поступает в телескопическую систему 6, формирующую параллельный пучок требуемого диаметра и, после отражени  от второго светоделител  7, заполн ет зрачок высокрапретурноГО микрообъектива 8, формирующего пучок, лучи которого распростран ютс  вдоль нормали к расчетной поверхности 10 контролируемой детали (не показана).

В опорной ветви узкий пучок света проходит через фокусирующий элемент 3 в виде положительной линзы, и после отражени  от сканирующего зеркала 4 направл етс  параллельно оси Микрробъектива 8 в его зрачок входа через второй светоделитель 7. При перемещении сканирующего зеркала 4 опорный пучок смещаетс  параллельно оси микрообъектива 8, а его ось всегда проходит через фокус микрообъектива 8, мен   свое угловое положение . Вследствие этого осуществл етс  сканирование пучком по всей апертуре,

Путем перемещени  фокусирующего е элемента 3 вдоль оси опорный пучок фокусируетс  на контролируемую поверхность 10.

После отражени  обоих пучков от контролируемой поверхности 10 они накладываютс  друг на друга и интер ферируют. Результат интерференции

регистрируетс  с помощью регистрирующего , устройства 9 или наблюдаетс  глазом. Качество поверхности 10 оценивают по виду интерференционной картины.

. Форма полос регулируетс  либо перемещением всего интерферометра, либо поворотом одного из зеркал, например 5. На втором светоделителе .7 об0 разуютс  две пары когерентных пучков, из которых одна создает вредный фон. Устранить этот фон можно путем установки в опорной йетви пластины Л/2 (не показана), а на выходе - ориентированного соответствующим образом анализатора (не показан).

о Аналогичным образом работает интерферометр при контроле неоднородностей в прозрачных средах. В этом слзчае контролируема  деталь замен етс  образцовой, а между образцовой деталью и интерферометром помещаетс  исследуема  среда.

Изобретение позвол ет свести к минимуму разность аберраций узких параллельных пучков и таким образом повысить точность контрол . Кроме того , предлагаемый интерферометр позвол ет довести рабочую апертуру до предельно высоких значений, ограниченных только свойствами оптических материалов , а также имеет более простую настройку.

Claims (2)

1. Формула изобретени 

   Интерферометр дл  контрол  качества поверхностей, определени  аберраций крупногабаритных оптических элементов и исследовани  прозрачных неоднородностей, содержащий монохроматический источнике света, телескопическую систему, микрообъектив, регистрирующее устройство, первый светоделитель , направл ющий световой

   5 поток в две ветви - рабочую и опорную , фокусирующую линзу и сканируюдее зеркало, вход щие в опррную ветвь, плоское зеркало, вход щее в рабочую ветвь, второй светоделитель, соедин ющий рабочую и опорную ветви, отличаю щийс   тем, что, с целью повышени  точности и производительности контрол  поверхностей с большим относительным отверстием,,микрообъектив установлен по ходу лучей после второго светоделител ,, телескопическа  система расположена в рабочей ветви ме ду плоским зеркалом и вторым светоделителем , фокусирующий элемент выполнен в виде положительной линзы, а сканирующее зеркало - с возможностью возвратно-поступательного перемещени  вдоль оптической оси .интерферометра. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Орлов А.А. и др. Интерферометр с узким пучком сравнени .-Журнал ОМП, 1974, 2, с. 24-26.
2. 2.Авторское свидетель.ство СССР № 529362, кл.еО В 9/02, 1976 (прототип ) .