SU977942A1

SU977942A1 - Интерферометр дл контрол формы выпуклых сферических поверхностей крупногабаритных линз

Info

Publication number: SU977942A1
Application number: SU813311135A
Authority: SU
Inventors: Даниил Трофимович Пуряев; Владимир Михайлович Лавритов; Олег Николаевич Фомин; Владимир Алексеевич Горшков
Priority date: 1981-06-30
Filing date: 1981-06-30
Publication date: 1982-11-30

Description

977 Поставленна цель достигаетс тем, что ннтерферсжлетр дл конрол формы вььпуклых сферап&ских. поверхностей снабжен дополнительной иммерсионной линзой, уотановленной между светоделительным эл&ментом в компенсатором и образованной жидкостью с показателем преломлени , отличным от показател преломлени основной иммерсионной линзы. На чертеже изображена принципиальна схема интерферометра дл контрол -формы выпуклых а})ерических поверхностей крупногабаритных линз. Интерферометр содержит монохроматический источник 1 света, последовательно расположенные по ходу светового потока отклон ющее зеркало 2, фокусирующий объектив 3 и светоотделительный элемент 4, дел щий световой поток на две ветви, систему дл регистрации интерференционной картины, установленную в одной из ветви и включающую фотопленку 5 и фотографический объектив 6, компенсатор 7, основную иммерсионную линзу 8, обра зованную жидкос2гью,заполн ющей пр.остран сгво между контролируемой линзой 9 и ком- пенсатором 7,и эталонное сферическое зер-; кало 10, дополнительную имметрсионнукз линзу 11, установленную между светоотд лительным элементом 4 и компенсатором : 7 и образованную жидкостью с показателем преломлени , отличным от показател преломлени основной иммерсионной линзы 8, линзу 12 и иммерсионную камеру 13. Контролируема линза 9 устанавливаетс в верхней части иммерсионной камеры 13 таким образом, что ее контролируема поверхность К концентрична эталонной поверхности Э эталонногр сферического, зерка ла 10, Линза 12 установлена в нижней части имерсионной камеры 13 и в месте с компенсатором 7 образует пространство которое заполнено иммерсионной жидкостью,, образ;ющей дополнительную иммерсионную линзу 11. Предлагаемый интерферометр работает следующим образом. Лучи света от монохроматического иоточника 1 света попадают на отклон ющее зеркало 2, которое отклон ет их на фоку- .. . . ...,... - сирующий объектив 3. Фокусирующий объектив 3 фокусирует лучи и направл ет их на светоотделительный элемент 4 и далее на линзу 12, дополнительную иммерсио ную линзу 11, компенсатор 7, основную иммерсионную линзу 8, далее лучи света падают п6 нормали на контролируемую поверхносгь К конгролируемой линзы Ю, котора частично отражает их, а часть

Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе

1.Пур ев Д. Т. Методы контрол оптических сферических поверхностей. М., Мащинострренне, 1976, с. 122-134.

2.Авторское свидетельство СССР по за вке Nb 2789981/28, ют. G 01,6 11/24; GOl.B 9/02, 1979 (прототип). 2 лучей падает на эталонную поверхность Э эталонного сферического зеркала 10. Исследуемый волновой фронт, созданный лучами, отраженными от поверхности К контролируемой линзы 9, интерферирует с эталонным фронтом, образованным лучами , отраженными поверхностью Э эта лонного орерического зеркала 10. По виду интерференционной картины, регистрируемой системой дл регисгращш интерференционной картины, включающей фотопленку 5 и фотографический объектив 6, делают заключение о качестве конролируемой поверхности К линзы 9. При необходимости контрол качества поверхностей с различными значени ми радиуса кривизны из существующего р да иммерсионных жидкостей выбирают жидкости с показател ми преломлени , определ емыми расчетным путем с целью компенсации остаточной сферической аберрации , которые образуют основную иммерсионную линзу 8 и дополнительную иммер сионную линзу 11.

Claims

Формула изобретени Интерферометр дл контрол формы выпуклых сферических поверхностей крупногабаритных линз соде эжащий монохроматический источник света, последовательно расположенные по ходу светового потока отклон ющее зеркало, фокусирующий объектив и светоотделительный элемент, дел щий световой поток на две ветви, систему дл регистрации интерференционной картины, установленную в одной , и компенсатор, иммерсионную линзу, образованную жидкостью, заполн ющей пространство между контролируемой линзой лГ компенсатором, и эталонное сферическое зеркало, установленные в другой ветви, отличающийс тем, что, с целью расщирени диапазона контролируемых линз, он снабжен дополнительной иммерсионной линзой, установленной между светоотделйтельным элементом и компенсатором и образованной жидкостью с показателем преломлени , отличным от показател преломлени основной иммерсионной линзы.

Ю

/