JPS6117908A - ３次元形状測定装置 - Google Patents
３次元形状測定装置Info
- Publication number
- JPS6117908A JPS6117908A JP13790384A JP13790384A JPS6117908A JP S6117908 A JPS6117908 A JP S6117908A JP 13790384 A JP13790384 A JP 13790384A JP 13790384 A JP13790384 A JP 13790384A JP S6117908 A JPS6117908 A JP S6117908A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- lens
- optical system
- sensor
- dimensional shape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は３次元形状測定装置に関し、特に非接触にて高
速に形状測定を行々い得る３次元形状測定装置に関する
。
速に形状測定を行々い得る３次元形状測定装置に関する
。
従来、物体の３次元形状即ち立体的形状を非接触にて測
定するために種々の方法が用いられている。この様な測
定方法としては、コヒーレント光を利用した干渉計測法
や、スリット光による光切断像を読取る方法等が用いら
れている。しかしながら、干渉計測法は被測定物の表面
全体を同時に精度良く測定できるという利点を有する反
面、被測定物表面の凹凸が光の波長に対してかなシ大き
い場合には測定が困難であるという欠点がある。
定するために種々の方法が用いられている。この様な測
定方法としては、コヒーレント光を利用した干渉計測法
や、スリット光による光切断像を読取る方法等が用いら
れている。しかしながら、干渉計測法は被測定物の表面
全体を同時に精度良く測定できるという利点を有する反
面、被測定物表面の凹凸が光の波長に対してかなシ大き
い場合には測定が困難であるという欠点がある。
また、光切断像を読取る方法は光の波長のオーダーの凹
凸形状の測定は困難であシ従って高精度は望めないとい
う欠点がある。
凸形状の測定は困難であシ従って高精度は望めないとい
う欠点がある。
そこで、内部光源を有する合焦状態判別光学系を移動台
上に載置し、該光学系を被測定物表面にフォーカシング
せしめるべく移動台を移動せしめることにより、該移動
台の移動量から３次元形状を測定する方式が提案されて
いる（特公昭４６−４０２３１号公報）。これによれば
、被測定物表面の凹凸の程度によらず、かなりの精度で
形状測定を行なうことができる。しかしながら、従来提
案されているこの方式のものは合焦状態判別光学系全体
を移動台上に固定して移動せしめるため可動部の重量が
大きくなシ移動のために大きなエネルギーを必要とする
という問題点があった。
上に載置し、該光学系を被測定物表面にフォーカシング
せしめるべく移動台を移動せしめることにより、該移動
台の移動量から３次元形状を測定する方式が提案されて
いる（特公昭４６−４０２３１号公報）。これによれば
、被測定物表面の凹凸の程度によらず、かなりの精度で
形状測定を行なうことができる。しかしながら、従来提
案されているこの方式のものは合焦状態判別光学系全体
を移動台上に固定して移動せしめるため可動部の重量が
大きくなシ移動のために大きなエネルギーを必要とする
という問題点があった。
本発明は、上記の如き従来技術に鑑み、高精度、高スト
ロークにて微細な３次元形状を比較的少ない駆動エネル
ギーにて正確に測定し得る３次元形状測定装置を提供す
ることを目的とする。
ロークにて微細な３次元形状を比較的少ない駆動エネル
ギーにて正確に測定し得る３次元形状測定装置を提供す
ることを目的とする。
本発明によれば、上記の如き目的は、内部光源を有する
合焦状態判別光学系を有し、該光学系は対物レンズ近傍
の光路を維持した状態にてその一部を移動させることが
でき、該可動部の移動量を測定するための手段が設けら
れていることを特徴とする、３次元形状測定装置により
達成される。
合焦状態判別光学系を有し、該光学系は対物レンズ近傍
の光路を維持した状態にてその一部を移動させることが
でき、該可動部の移動量を測定するための手段が設けら
れていることを特徴とする、３次元形状測定装置により
達成される。
以下、図面を参照しつつ本発明測定装置の具体的実施例
を説明する。
を説明する。
第１図は本発明の３次元形状測定装置の第１の実施例を
示す概略構成図である。第１図において、２は合焦状態
判別光学系である。光学系２において、４は光源であシ
、６／ｉコリメーターレンズであり、８はナイフェツジ
であ、９．１０はハーフミラ−であシ、１２は対物レン
ズであシ、１４はレンズであＩＣ１１６は光学的センサ
ーである。２゜は形状を測定されるべき被測定物である
。
示す概略構成図である。第１図において、２は合焦状態
判別光学系である。光学系２において、４は光源であシ
、６／ｉコリメーターレンズであり、８はナイフェツジ
であ、９．１０はハーフミラ−であシ、１２は対物レン
ズであシ、１４はレンズであＩＣ１１６は光学的センサ
ーである。２゜は形状を測定されるべき被測定物である
。
光源４から発せられた光はコリメーターレンズ６により
平行光束とされ、該平行光束はハーフミラ−１０１１７
ｍよシ反射されて、対物レンズ１２に入射する。尚、コ
リメーターレンズ６を出た平行光束はナイフェツジ８に
よシ一部遮光され、対物レンズ１２にはその光軸Ｘを通
る境界面によシ２分される２つのゾーンのうちの一方（
図においては上半分のゾーン）にのみ入射する。かくし
て、対物レンズ１２により集束せしめられた光は被測定
物２００表面上にスポットを結ぶ。該スポット、から反
射された光は、再び対物レンズ２０を透過し、ハーフミ
ラ−１０を透過して、レンズ１４によシ集束せしめられ
てセンサー１６に到達する。
平行光束とされ、該平行光束はハーフミラ−１０１１７
ｍよシ反射されて、対物レンズ１２に入射する。尚、コ
リメーターレンズ６を出た平行光束はナイフェツジ８に
よシ一部遮光され、対物レンズ１２にはその光軸Ｘを通
る境界面によシ２分される２つのゾーンのうちの一方（
図においては上半分のゾーン）にのみ入射する。かくし
て、対物レンズ１２により集束せしめられた光は被測定
物２００表面上にスポットを結ぶ。該スポット、から反
射された光は、再び対物レンズ２０を透過し、ハーフミ
ラ−１０を透過して、レンズ１４によシ集束せしめられ
てセンサー１６に到達する。
しかして、この際、被測定物２０の表面と対物レンズ１
２との距離によシセンサー１６に到達する光に差が生ず
る。即ち、第２図に示される様に、被測定物２００表面
がちょうど対物レンズ１２の焦点位置に存在する場合（
図中のイの位置）には、被測定物２０の表面におけるス
ポットはちょうど光軸Ｘ上にその中心が位置するため、
反射光はセンサー１６において光軸Ｘ上に中心をもって
位置することに表る。また、被測定物２００表面が対物
レン、ｅ１２の焦点位置よりも遠くに位置する場合（図
中の口の位置）には、被測定物２００表面におけるスポ
ットは光軸Ｘからずれた図におけるＡゾーン内に中心を
もって位置する様になるため、その反射光はセンサー１
６においてＢゾーンに中心をもって位置することになる
。一方、被測定物２０の表面が対物レンズ１２の焦点位
置よりも近〈に位置する場合（図中のハの位置）Ｋは、
被測定物２０の表面におけるスポットは光軸Ｘからずれ
た図にかけるＢゾーンに中心をもって位置する様になる
ため、その反射光はセンサー１６においてＡゾーンに中
心をもって位置することになる。
２との距離によシセンサー１６に到達する光に差が生ず
る。即ち、第２図に示される様に、被測定物２００表面
がちょうど対物レンズ１２の焦点位置に存在する場合（
図中のイの位置）には、被測定物２０の表面におけるス
ポットはちょうど光軸Ｘ上にその中心が位置するため、
反射光はセンサー１６において光軸Ｘ上に中心をもって
位置することに表る。また、被測定物２００表面が対物
レン、ｅ１２の焦点位置よりも遠くに位置する場合（図
中の口の位置）には、被測定物２００表面におけるスポ
ットは光軸Ｘからずれた図におけるＡゾーン内に中心を
もって位置する様になるため、その反射光はセンサー１
６においてＢゾーンに中心をもって位置することになる
。一方、被測定物２０の表面が対物レンズ１２の焦点位
置よりも近〈に位置する場合（図中のハの位置）Ｋは、
被測定物２０の表面におけるスポットは光軸Ｘからずれ
た図にかけるＢゾーンに中心をもって位置する様になる
ため、その反射光はセンサー１６においてＡゾーンに中
心をもって位置することになる。
センサー１６としてはＣＣＤ （Ｃｈａｒｇ＠Ｃｏｕｐ
ｌｅｄＤｅｖｉｃｅ ）等のセンサーアレイが用いられ
る。第３図はこの様なセンサー１６の平面図である。こ
の図は第２図におけるセンサー１６を左方から見たもの
である。図中、斜線を付した部分はセンサーセグメント
間を分離しているチャンネルストツノや一部を示す。第
３図のセンサー１６には、被測定物２００表面位置が第
２図のイ、口又はハである場合のスポット位置及びその
光量分布のグラフが記されている。
ｌｅｄＤｅｖｉｃｅ ）等のセンサーアレイが用いられ
る。第３図はこの様なセンサー１６の平面図である。こ
の図は第２図におけるセンサー１６を左方から見たもの
である。図中、斜線を付した部分はセンサーセグメント
間を分離しているチャンネルストツノや一部を示す。第
３図のセンサー１６には、被測定物２００表面位置が第
２図のイ、口又はハである場合のスポット位置及びその
光量分布のグラフが記されている。
センサー１６において、Ｂゾーンにおける全センサーセ
グメントの出力の和を！、とじ、Ａゾーンにおける全セ
ンサーセグメントの出力の和を■□とすると、光学系２
の被測定物２０に対する合焦状態に応じてΔＩ ＝ Ｉ
、 −ＩＡが変化する。その関係を第４図に示す。第４
図から分る様に、フォーカシングが完全に外されている
場合（上記イの状態）の近傍においてはΔ■はほぼリニ
アに変化する。この特性を利用することによって光学系
２が前ピント外れ状態であるか、完全フォーカシング状
態であるか、後ピント外れ状態であるかが判別できる。
グメントの出力の和を！、とじ、Ａゾーンにおける全セ
ンサーセグメントの出力の和を■□とすると、光学系２
の被測定物２０に対する合焦状態に応じてΔＩ ＝ Ｉ
、 −ＩＡが変化する。その関係を第４図に示す。第４
図から分る様に、フォーカシングが完全に外されている
場合（上記イの状態）の近傍においてはΔ■はほぼリニ
アに変化する。この特性を利用することによって光学系
２が前ピント外れ状態であるか、完全フォーカシング状
態であるか、後ピント外れ状態であるかが判別できる。
従って、この出力Δ■に基づきΔ■を０にするべく光学
系２の一部をサーボ駆動せしめることにより自動フォー
カシングが実現できる。
系２の一部をサーボ駆動せしめることにより自動フォー
カシングが実現できる。
本実施例装置においては光学系２のうちの対物レンズ１
２を除く部分がケーシング２２に取付けられており、対
物レンズ１２は該ケーシング２２に対し移動することが
できる。対物レンズ１２の移動はその光軸Ｘに沿って行
なわれ、たとえばケーシング２２に付設せしめられたア
クチュエーター（図示せず）によシ駆動することができ
る。該アクチュエーターとしては高精度な移動量コント
ロールを実現すべく流体動軸受スライド９機構を備えた
もの等を用いるのが好ましい。
２を除く部分がケーシング２２に取付けられており、対
物レンズ１２は該ケーシング２２に対し移動することが
できる。対物レンズ１２の移動はその光軸Ｘに沿って行
なわれ、たとえばケーシング２２に付設せしめられたア
クチュエーター（図示せず）によシ駆動することができ
る。該アクチュエーターとしては高精度な移動量コント
ロールを実現すべく流体動軸受スライド９機構を備えた
もの等を用いるのが好ましい。
本実施例装置においては、可動性対物レンズ１２の移動
量を測定するための測長手段が設けられている。即ち、
ケーシング２２にはし〜ザー干渉計の波数読取り方式に
よる測長手段本体２４が取付けられておシ、一方対物レ
ンズ１２には測長手段の一部を構成するコーナーキュー
ブ２６が付設されておシ、本体２４から発せられたレー
ザー光がコーナーキューブ２６によシ反射されて本体２
４へと進行する様になっている。
量を測定するための測長手段が設けられている。即ち、
ケーシング２２にはし〜ザー干渉計の波数読取り方式に
よる測長手段本体２４が取付けられておシ、一方対物レ
ンズ１２には測長手段の一部を構成するコーナーキュー
ブ２６が付設されておシ、本体２４から発せられたレー
ザー光がコーナーキューブ２６によシ反射されて本体２
４へと進行する様になっている。
かくして、自動フォーカシングを行ない、その際の対物
レンズ１２の移動量を測長手段にて測定することによシ
被測定物２００表面の光軸Ｘと交わる部分の位置が測定
される。この位置測定を被測定物表面の全体について行
なうことによシ３次元形状が測定できる。
レンズ１２の移動量を測長手段にて測定することによシ
被測定物２００表面の光軸Ｘと交わる部分の位置が測定
される。この位置測定を被測定物表面の全体について行
なうことによシ３次元形状が測定できる。
以上の如き実施例の３次元形状測定装置の性能につき以
下に評価を試みる。
下に評価を試みる。
先ず、位置測定の精度は光学系２０合焦状態判別分解能
と測長手段の測定精度とによシ定まる。 □たとえ
ば、対物レンズ１２として焦点距離ｆ＝２．１ａｍ 、
Ｎ Ａ ＝ ０．９のものを、レンズ６として焦点距
離ｆｌ＝６．６ｍｍのものを、レンズ１４として焦点距
離ｆｌ＝８５ｍｍのものを用い、センサー１６としてＣ
ＣＤセンサーアレイを用いた場合には、第４図のグラフ
におけるリニア部分の傾きとして２００〜１０１００Ｏ
／μｍが得られ、更にこの時のΔ■の出力のノイズとし
て１〜２ ｍＶ以下が達成される。これによυ、光学系
２０合焦状態判別分解能として０．０１〜００２μｍが
得られる。また、測長手段として上記の如きレーザー干
渉計の波数読取シ方式によるものを用いれば、０．１〜
００１μｍの精度が達成される。尚、測長手段としては
、その細光ヘテロゲインの干渉方式によるもの（たとえ
ば、Ｈｅｗｌｅｔｔ Ｐａｃｋａｒｄ社のレーザー測長
機Ｏｐｌｕｓｇ＋１９８２年１２月号９．８６〜）や、
格子干渉測長方式によるもの（Ｏｐｌｕｓ Ｅ 、 １
９８１年４月号ｐ８４〜）等を用いることもでき、これ
らによっても同様な精度が達成される。
と測長手段の測定精度とによシ定まる。 □たとえ
ば、対物レンズ１２として焦点距離ｆ＝２．１ａｍ 、
Ｎ Ａ ＝ ０．９のものを、レンズ６として焦点距
離ｆｌ＝６．６ｍｍのものを、レンズ１４として焦点距
離ｆｌ＝８５ｍｍのものを用い、センサー１６としてＣ
ＣＤセンサーアレイを用いた場合には、第４図のグラフ
におけるリニア部分の傾きとして２００〜１０１００Ｏ
／μｍが得られ、更にこの時のΔ■の出力のノイズとし
て１〜２ ｍＶ以下が達成される。これによυ、光学系
２０合焦状態判別分解能として０．０１〜００２μｍが
得られる。また、測長手段として上記の如きレーザー干
渉計の波数読取シ方式によるものを用いれば、０．１〜
００１μｍの精度が達成される。尚、測長手段としては
、その細光ヘテロゲインの干渉方式によるもの（たとえ
ば、Ｈｅｗｌｅｔｔ Ｐａｃｋａｒｄ社のレーザー測長
機Ｏｐｌｕｓｇ＋１９８２年１２月号９．８６〜）や、
格子干渉測長方式によるもの（Ｏｐｌｕｓ Ｅ 、 １
９８１年４月号ｐ８４〜）等を用いることもでき、これ
らによっても同様な精度が達成される。
次に、位置測定のストロークはアクチュエーターのスト
ローク及び測長手段のストロークにより決まる。上記の
如き格子干渉測長方式、光へテロダイン干渉方式、レー
ザー干渉計の波数読取シ方式等はいづれも１００１１０
０ｌ＋以上の高ストロークを実現することができ、また
アクチュエーターも同様なストロークを実現できる。
ローク及び測長手段のストロークにより決まる。上記の
如き格子干渉測長方式、光へテロダイン干渉方式、レー
ザー干渉計の波数読取シ方式等はいづれも１００１１０
０ｌ＋以上の高ストロークを実現することができ、また
アクチュエーターも同様なストロークを実現できる。
更に、投光スポット径は対物レンズ１２のＮＡによシ定
まる。たとえば、対物レンズ１２としてＮ Ａ ＝ ０
．８のものを用いれば光学系２０投光スポツト径φはφ
＝ ２．４４ Ｆλ中２．３８μｍ（ここで、なシ、２
μｍ程度のスポット計測が可能となる。尚、スポット径
を大きくしたい場合には光学系２の投光有効光束径を小
さくして実効的な光束のＮＡを小さくすればよい。
まる。たとえば、対物レンズ１２としてＮ Ａ ＝ ０
．８のものを用いれば光学系２０投光スポツト径φはφ
＝ ２．４４ Ｆλ中２．３８μｍ（ここで、なシ、２
μｍ程度のスポット計測が可能となる。尚、スポット径
を大きくしたい場合には光学系２の投光有効光束径を小
さくして実効的な光束のＮＡを小さくすればよい。
また、本実施例装置においては、合焦時に被測定物２０
０表面の光軸Ｘ上の点とセンサー１６とが共役関係に々
るので、対物レンズ１２のＮＡを大きくしておけば被測
定物２０の表面が鏡面である場合の他に粗面であっても
測定は可能となる。
０表面の光軸Ｘ上の点とセンサー１６とが共役関係に々
るので、対物レンズ１２のＮＡを大きくしておけば被測
定物２０の表面が鏡面である場合の他に粗面であっても
測定は可能となる。
第５図は本発明の３次元形状測定装置の第２の実施例を
示す概略構成図である。本実施例装置においては、対物
レンズ１２がケーシング２２に固定されており且つ光源
４がケーシング２２に対し移動し得る点のみ上記第１の
実施例と異なる。光源４の移動はコリメーターレンズ６
の光軸に沿って行なわれ、上記第１の実施例におけると
同様にケーシング２２に付設せしめられたアクチュエー
ター（図示せず）によ勺駆動することができる。
示す概略構成図である。本実施例装置においては、対物
レンズ１２がケーシング２２に固定されており且つ光源
４がケーシング２２に対し移動し得る点のみ上記第１の
実施例と異なる。光源４の移動はコリメーターレンズ６
の光軸に沿って行なわれ、上記第１の実施例におけると
同様にケーシング２２に付設せしめられたアクチュエー
ター（図示せず）によ勺駆動することができる。
また、ケーシング２２には上記第１の実施例におけると
同様に測長手段本体２４が取付けられておシ、一方光源
４には測長手段の一部を構成するコーナーキューブ２６
が付設されている。かくして、光源４１ｒ：移動させる
ことによシ自動フォーカシングを行ない、その際の光源
４の移動量を測長手段にて測定することによシ被測定物
２００表面の光軸Ｘと交わる部分の位置が測定される。
同様に測長手段本体２４が取付けられておシ、一方光源
４には測長手段の一部を構成するコーナーキューブ２６
が付設されている。かくして、光源４１ｒ：移動させる
ことによシ自動フォーカシングを行ない、その際の光源
４の移動量を測長手段にて測定することによシ被測定物
２００表面の光軸Ｘと交わる部分の位置が測定される。
但し、本実施例装置においては光源４の移動量を対物レ
ンズ１２から投光される光束のフォーカシング位置の移
動量に換算する必要がある。
ンズ１２から投光される光束のフォーカシング位置の移
動量に換算する必要がある。
以上の実施例においては自動合焦の方式としていわめる
ＴＴＬ−Ａ２Ｆ （Ｔｂｒｏｕｇｂ ｔｈｅ Ｔａｋｉ
ｎｇ Ｌｅｎ畠Ａｃｔｉｖｅ Ａｕｔｏ Ｆｏｃｕｓ
）方式（テレビジョン学会誌、第３５巻第８号、１９８
１年、ｐ６３７〜）を用いた例を示したが自動合焦の方
式としては他の方式たとえばビデオのピックアップに用
いられている方式やカメラのオートフォーカスで使用さ
れている方式等を用いることもできる。
ＴＴＬ−Ａ２Ｆ （Ｔｂｒｏｕｇｂ ｔｈｅ Ｔａｋｉ
ｎｇ Ｌｅｎ畠Ａｃｔｉｖｅ Ａｕｔｏ Ｆｏｃｕｓ
）方式（テレビジョン学会誌、第３５巻第８号、１９８
１年、ｐ６３７〜）を用いた例を示したが自動合焦の方
式としては他の方式たとえばビデオのピックアップに用
いられている方式やカメラのオートフォーカスで使用さ
れている方式等を用いることもできる。
以上の如き本発明の３次元形状測定装置によれば、高精
度、高ストロークにて微小スポットによる３次元形状測
定を行表うことができ、また本発明装置においては可動
部が小さいので駆動エネルギーが少なくてすむ。
度、高ストロークにて微小スポットによる３次元形状測
定を行表うことができ、また本発明装置においては可動
部が小さいので駆動エネルギーが少なくてすむ。
第１図は本発明装置の構成図であシ、第２図はその部分
図であシ、第３図はセンサーの平面図であシ、第４図は
センサーの出力のグラフであシ、第５図は本発明装置の
構成図である。
図であシ、第３図はセンサーの平面図であシ、第４図は
センサーの出力のグラフであシ、第５図は本発明装置の
構成図である。
Claims (4)
- （１）内部光源を有する合焦状態判別光学系を有し、該
光学系は対物レンズ近傍の光路を維持した状態にてその
一部を移動させることができ、該可動部の移動量を測定
するための手段が設けられていることを特徴とする、３
次元形状測定装置。 - （２）判別された合焦状態に基づき、合焦状態判別光学
系をフォーカシングせしめるべく可動部を駆動せしめる
ための手段が設けられている、第１項の３次元形状測定
装置。 - （３）可動部が対物レンズである、第１項の３次元形状
測定装置。 - （４）可動部が光源である、第１項の３次元形状測定装
置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13790384A JPS6117908A (ja) | 1984-07-05 | 1984-07-05 | ３次元形状測定装置 |
| US07/517,514 US5033856A (en) | 1984-07-05 | 1990-04-30 | Three-dimensional shape measuring apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13790384A JPS6117908A (ja) | 1984-07-05 | 1984-07-05 | ３次元形状測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6117908A true JPS6117908A (ja) | 1986-01-25 |
Family
ID=15209370
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13790384A Pending JPS6117908A (ja) | 1984-07-05 | 1984-07-05 | ３次元形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6117908A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63252211A (ja) * | 1986-12-19 | 1988-10-19 | ホンメルヴエルケ・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 表面との間隔を無接触式に測定するための装置 |
| JPS6426106A (en) * | 1987-03-13 | 1989-01-27 | Canon Kk | Surface shape measuring instrument |
| JPH0328375A (ja) * | 1989-06-26 | 1991-02-06 | Kyocera Corp | 被覆超硬合金 |
| KR101085014B1 (ko) | 2009-02-27 | 2011-11-21 | 연세대학교 산학협력단 | 광학식 표면 측정 장치 및 방법 |
| CN109990729A (zh) * | 2019-01-15 | 2019-07-09 | 广东工业大学 | 一种基于电流波数扫描的透镜三维轮廓测量装置及方法 |
-
1984
- 1984-07-05 JP JP13790384A patent/JPS6117908A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63252211A (ja) * | 1986-12-19 | 1988-10-19 | ホンメルヴエルケ・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 表面との間隔を無接触式に測定するための装置 |
| JPS6426106A (en) * | 1987-03-13 | 1989-01-27 | Canon Kk | Surface shape measuring instrument |
| JPH0328375A (ja) * | 1989-06-26 | 1991-02-06 | Kyocera Corp | 被覆超硬合金 |
| KR101085014B1 (ko) | 2009-02-27 | 2011-11-21 | 연세대학교 산학협력단 | 광학식 표면 측정 장치 및 방법 |
| CN109990729A (zh) * | 2019-01-15 | 2019-07-09 | 广东工业大学 | 一种基于电流波数扫描的透镜三维轮廓测量装置及方法 |
| US11092511B2 (en) | 2019-01-15 | 2021-08-17 | Guangdong University Of Technology | Device and method for measuring lens contour based on laser wave number scanning |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5991034A (en) | Interferometer which varies a position to be detected based on inclination of surface to be measured | |
| US5033856A (en) | Three-dimensional shape measuring apparatus | |
| CS401088A2 (en) | Scanning device for information level scanning on record's optical carrier by means of optical radiation | |
| JPS6117905A (ja) | 厚さ測定装置 | |
| JPS6117908A (ja) | ３次元形状測定装置 | |
| JPS6383931A (ja) | 発光素子 | |
| JPS5979104A (ja) | 光学装置 | |
| JPS6161178B2 (ja) | ||
| JPS59231736A (ja) | フォーカスおよびトラッキング誤差検出装置 | |
| JPS6117907A (ja) | ３次元形状測定装置 | |
| US4905216A (en) | Method for constructing an optical head by varying a hologram pattern | |
| CA1297285C (en) | High accuracy structured light profiler | |
| JPS63241407A (ja) | 微細凹部の深さ測定方法及びその装置 | |
| JPH05164556A (ja) | 合焦点型非接触変位計 | |
| JPS60211306A (ja) | 縞走査シエアリング干渉測定装置における光学系調整方法 | |
| JP3187041B2 (ja) | 光ピックアップ装置 | |
| JPS6242327Y2 (ja) | ||
| JP3061653B2 (ja) | 非球面の測定方法および測定装置 | |
| JPS63223510A (ja) | 面形状測定装置 | |
| JP4106191B2 (ja) | 光学システムの調整方法 | |
| JPH0255722B2 (ja) | ||
| JPH03276044A (ja) | 曲面における曲率半径の測定方法及び測定装置 | |
| JPS63229314A (ja) | 形状測定装置 | |
| CN115790438A (zh) | 基于点自聚焦原理的光探针测头 | |
| JPS62157507A (ja) | 三次元形状測定装置 |