SU684296A1 - Интерферометр дл контрол качества оптических деталей - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к оптическому приборостроению и может быть использовано дл  контрол  качества поверхностей крупных оптических деталей и систем.

Известен интерферометр, содержащий источник света, конденсор, диафрагму, плоское зеркало, тубусную линзу, микрообъектив , полусферическую линзу с эталонной поверхностью , светоделительную пластину,выключающийс  объектив, окул р 1.

Недостатком данного интерферометра  в;Л етс - совмещение осветительной и наблюдательной систем, что ограничивает-его применение дл  контрол  крупногабаритных оптических поверхностей.

Наиболее близким по технической сутцности к предлагаемому устройству  вл етс  интерферометр дл  контрол  качества оптических деталей, содержащий монохроматический источник излучени , рабочую ветвь включающую систему плоских зеркал, телескопическую систему и микрообъектив, светоделительный блок, установленную за ним наблюдательную ветвь, и эталонную поверхHOCTbt l

Недостатком известного устройства  вл етс  то, что интерферометр может примен тьс  дл  контрол  оптических поверхностей с отношением диаметра и радиуса кривизны только до 1:3, при контроле систем с отношением, превышающим указанную величину , собственные аберрации интерферометра резко возрастают, что делает интерфepoмefp совершенно непригодным дл  контрол  высокоточных светосильных систем и поверхностей.

Целью изобретени   вл етс  повышение ТОЧНОСТИ контрол .

Указанна  цель достигаетс  тем, что светоделительный блок .выполнен в виде двух линзовых полусфер,- на, плоскую поверхность одной из которых нанесено светоделительное покрытие, центры кривизны сферических поверхностей совмеи ены с предметной точкой микрообъектива на светоделитель-ном слое, а в качестве эталонной поверхности используетс  часть сферической поверхности со стороны выходного пучка.

Claims (2)

1. На чертел е показана принципиальна  схема устройства. Устройство со лфжит монохроматический источиик 1 из.мучеии , систему илоеких зеркал 2 и 3, те. еског1ическу1о систему 4. микро ()б1 ектив 5, светоделительиый блок 6, выполненный в виде двух /шнзовых полусфер, на плоскую новерхность одной нз которых нанесено светоделительное нокрытие, центры кривизны сферических поверхностей совмешсиы с нредметной точкой микрообъектива на светодслительном слое; исследуемую новерхность 7, наблюдательную ветвь 8, а в качестве эталонной поверхности «а используетс  часть сферической новерхности со стороны выходного пучка; в обратном ходе лучей за те. ееконической еиетемой 4 установлен сменный светоделитель 9 и юстировочна  Р1аблюдательна  еиетема К) с нерекрестнем . Пред.тагаемый интерферометр работает следуюHU1M образом. Пучок света от монохроматического источника 1 излучени  после отражени  от н.юскнх зеркал 2 и 3 расп1ир етс  телесконической системой 4, затем микрообъектив 5 преобразует его в сход щийс  нучок, лучи которого но нормал м проход т одну половину сферической поверхности светоделитель ного блока 6 и собираютс  в центре кривизны эталонной поверхности «а, образу  предметную свет щуюс  точку 0. От новерхпости «а свет частично отражаетс  и, возвраща сь по нормал м, создает волновой фронт сравнени  е центром в точке О Друга  часть евета без преломлени  проходит поверхность «а и надает на исследуемую поверхность 7. Если центр кривизны исследуемой поверхности или фокус исследуемой системы О совмещен с точкой О, пучок лучей возвраикаетс  по тому же пути и интерферирует с волновым фронтом сравиени . Наблюдение иптерференционной картины и фотографирование ее осуществ.ч етс  с помощью наблюдательной системы 10. Юстировка интерферометра, т.е. совмещение предметной свет щейс  точки и пхмггра кривизны эталонной новерхности «а, и проверка сохранени  юстировки производ тс  в aвтoкoллимaциo н oй схе.ме от эталонной новерхности «а с по.мощью элемеь тов 16 , сменного светоделител  9 и юстировоч К )й наблюдательной системы 10 с перекрестием; (д)етоделитель 9 ири юстировке интерферометра устанавливаетс  вмеето и.чоского зеркала 3. С помощью 11еремеи1епи  системы 4, о. 10, как одно целое, автоколлнмационный ol эта.юнной новерхностн «а ирнводитс  в центр перекрести  с минима,1ы-1ьгм eio размером. В рабочем режиме интерферометра нлоекое зеркало 3 устанавливаетс  в рабочем ноложении д:1  уменьшени  потерь световой Э11ер|щи. 1ри.менеиие линзового светоделитс.чьного блока позвол ет создать эталон1и 1Й и рабочий пучок лучей интерферометра с апертурой до 0,7, так как предметна  евет ша е  точка хорошего качества сформнрована BnvTpn стекла этого блока. Применение нред.шгаемого И1 терферометра дл  ко1ггрол  крупногабаритной оптики иозвол ет проконтролировать, а следовательно, и изготовить с высокой точностью крупногабаритные оптические детали и системы е анертурой до 0,7. - Формула изобретени  Интерферометр дл  контрол  качества оптических деталей, еодержапшй мопохроматический источиик излучепи , рабочую ветвь, включающую систему плоских зеркал, телесконичеекую систему и микрообт ектив, еветоделительный блок, установленную за ним паблюдательпую ветвь, и эталонную поверхность , отличающийс  тем, что, с целью новьипенин точности контрол , светоделительиый блок В1)1иолнен в виде двух линзовых нолуефер, на плоскую поверхпость одной из которых нанесено светоделительное покрьггие , центры кривпзиы еферических поверхностей совмещены с предметной точкой микрообъектива на светоделительном слое , а в качестве эталонной поверхности исио;1ьзуетс  часть сферической новерхности со стороны выходного пучка. Источники информации, прин тые во внимание ири экспертизе 1. «Оптико-механическа  промышленность , 1973, .YO 10, с. 25-27.
2. 2. «Нова  техника в астрономии. Вып. 3, , 1970, с. 207.