SU1104362A1

SU1104362A1 - Интерферометр дл контрол качества оптических поверхностей

Info

Publication number: SU1104362A1
Application number: SU833578745A
Authority: SU
Inventors: Валерий Васильевич Вячин; Станислав Кириллович Мамонов
Original assignee: Предприятие П/Я А-7453
Priority date: 1983-04-11
Filing date: 1983-04-11
Publication date: 1984-07-23

Abstract

1. ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ , содержащий последовательно расположенные монохроматический источник света, телескопическую систему и светоделитель, дел щий световой поток на две ветви, микрообъектив, объектив и опорный оптический элемент , расположенные в первой ветви, плоское зеркало, голограмму, объектив , диафрагму и регистратор, расположенные во второй ветви, отличающийс тем, что, с целью повышени точности контрол , он снаб жен последовательно расположенными за микрообъективон пр моугольной призмой и сферическим зеркалом, установленным так, что центр кривизны его совпадает с задней фокальной плоскостью объектива. СП

Description

2. Интерферометр по п.1, о т л и- ковьшуклой линзы и мениска, обращенчающийс тем, что объектив ного вогнутостью к дво ковыпуклой первой ветви вьтолнен в виде дво - линзе.

1104362

Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано , в частности при контроле качества оптических поверхностей.

Известен интерферометр Физо дл контрол качества плоских поверхностей , содержащий последовательно расположенные источник монохроматического света, линзу, диафрагму и светоделитель , дел щий световой поток на две ветви, окул р, объектив и клиновидную образцовую пластину .

Недостатком интерферометра вл етс низка точность контрол .

Наиболее близким по технической сущности к изобретению вл етс интерферометр дл контрол качества ,оптических поверхностей, содержащий последовательно расположенные монохроматический источник света, телескопическую систему и светоделитель, дел щий световой поток на две ветви, микрообъектив, объектив и опорный оптический элемеат, расположенные в первой ветви, плоское зеркало, голограмму, объектив, диафрагму и регистратор, расположенные во вто рой ветви 2j.

Недостатком известного интерферометра вл етс невысока точность. контрол из-за одноразового отражени волнового фронта от контролируемой поверхности.

Целью изобретени вл етс повышение точности контрол .

Поставленна цель достигаетс тем что интерферометр дл контрол качества оптических поверхностей, содержащий последовательно расположенные монохроматический источник света телескопическую систему и светоделитель , дел щий световой поток на две ветви, микрообъектив, объектив и опорный оптический элемент, расположенные в первой ветви, плоское зеркало , голограмму, объектив, диафрагм

и регистратор, расположенные во второй ветви, снабжен последовательно расположенными за микрообъективом пр моугольной призмой и сферическим зеркалом, установленным так, что центр кривизны его совпадает с задней фокальной плоскостью объектива.

Кроме того, объектив первой ветв выполнен в виде дво ковьтуклой линзы и мениска, обращенного вогнутостью к дво ковыпуклой линзе.

На чертеже изображена оптическа схема интерферометра дл контрол качества оптических поверхностей.

Интерферометр содержит монохроматический- источник 1 света, телескопическую систему 2 и светоделитель 3, дел щий световой поток на две ветви, микрообъектив 4, пр моугольн призму 5, объектив 6, сферическое зеркало 7, установленное так, что центр кривизны его совпадает с задней фокальной плоскостью объектива 6, опорный оптический элемент 8, плоское зеркало 9, голограмму 10, объектив 11, диафрагму 12 и регистратор 13.

Объектив 6 может быть выполнен в виде дво ковыпуклой линзы 14 и мениска 15, обращенного вогнутостью кдво ковьтуклой линзе 14.

Описываемый интерферометр работает следующим образом.

Предварительно производ т запись голограммы 10: пучок лучей от монохроматического источника 1 света расшир етс телескопической системо 2 и раздел етс светоделителем 3 на два пучка. Один пучок собираетс микрообъектийом 4 на поверхности призмы 5 в фокальной плоскости объектива 6, преобразуетс объективом 6 в параллельный пучок, отражаетс от поверхности опорного оптического элемента 8 и собираетс объективом 6 в центре кривизны зеркала 7. Отра

3 1104362

эившись от зеркала 7, пучок проходиткачестве зеркала 9 используютс плоссвой путь в обратной последователь-кие пластинки с различными покрыти ности и попадает на голограмму 10.ми. На голограмму 10 попадает, отразившись от зеркала 9, втора часть пуч-5 Повышение точности контрол в опика , где и интерферирует с первой.сываемом интерферометре достигаетс После фотопроцесса на место опорнойза счет двойного отражени волнового поверхности оптического элемента 8фронта от контролируемой поверхности, устанавливают контролируемую поверх- Поэтому в наблюдаемой интерференциность и производ т ее исследование. онной картине заложена удвоенна

При контроле поверхностей с раз- . ошибка контролируемой поверхносличными коэффициентами отражени вти.

Claims

1. ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ, содержащий последовательно расположенные монохроматический источ- ник света, телескопическую систему и светоделитель, делящий световой поток на две ветви, микрообъектив, объектив и опорный оптический элемент, расположенные в первой ветви, плоское зеркало, голограмму, объектив, диафрагму и регистратор, расположенные во второй ветви, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, он снаб жен последовательно расположенными за микрообъективом прямоугольной призмой и сферическим зеркалом, установленным так, что центр кривизны его совпадает с задней фокальной плоскостью объектива.

2. Интерферометр по п.1, о т личающийся тем, что объектив первой ветви выполнен в виде двоя ковыпуклой линзы и мениска, обращенного вогнутостью к двояковыпуклой ,линзе.