SU1402802A1

SU1402802A1 - Способ контрол кривизны плоской поверхности

Info

Publication number: SU1402802A1
Application number: SU864022245A
Authority: SU
Inventors: Анатолий Валентинович Ребров
Original assignee: Предприятие П/Я В-8450
Priority date: 1986-02-11
Filing date: 1986-02-11
Publication date: 1988-06-15

Abstract

Изобретение относитс к области измерительной техники и может быть использовано дл контрол кривизны плоских поверхностей. Целью изобретени вл етс повышение производительности контрол путем измерени суммарной и разностной стрелок кривизны контролируемой поверхности и поверхности объекта сравнени с последующим вычислением радиуса крив11з- ны. Получают интерференционную картину между пучками лучей, отраженными от контролируемой поверхности контролируемого объекта 6 и объекта 4 сравнени . Полученна интерференционна картина характеризует суммарную стрелку кривизны этих поверхностей. Далее поочередно, не наруша положени интерферометра и объектива 3, определ ют дефокусировку интерферометра , т. е. его эталонного пучка и пучка лучей, отраженного от поверхности контролируемого объекта 6. а потом от поверхности объекта 4 сравнени . Разность полученных дефокусировок определ ет разностную стрелку кривизны, этих поверхностей. По су.ммарной и разностной стрелкам кривизны вычисл ют радиус кривизны контролируемой поверхности объекта 6. 2 ил. (Л

Description

о ю

00

о ьо

фиг

Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл контрол кривизны плоских поверхностей.

Цель изобретени - повышение производительности контрол за счет измерени суммарной и разностной стрелок кривизны контролируемой поверхности и поверхности объекта сравнени с последующим вычислением радиуса кривизны.

На фиг. 1 преставлена функциональна схема устройства дл получени интерференционной картины от контролируемой поверхности и поверхности объекта сравнени ; на фиг. 2 - функциональна схема устройства дл последовательного получени с помощью интерферометра ве ичины дефокусировок от контролируемой поверхности и поверхности объекта сравнени .

Предложенный способ реализуетс с помощью устройства (см. фиг. 1), содержащего точечный источник 1 когерентных пучков лучей, последовательно установленные по ходу лучей точечного источника 1 светоделитель 2, коллиматорный объектив 3, в передней фокальной плоскости которого установлен точечный источник 1, объект 4 сравнени , а также диафрагму 5, оптически сопр женную со светоделительной плоскостью светоделител 2 в передней фокальной плоскости объектива 3.

Контролируемый объект 6 устанавливают между объективом 3 и объектом 4 сравнени так, чтобы их рабочие поверхности были параллельны, а нормали к ним совпадали с оптической осью устройства.

При определении дефокусировок используют (см. фиг. 2) интерферометр 7, коллиматорный объектив 3, передн фокальна плоскость которого совмещена с точечным источником интерферометра 7. Перед коллиматорным объективом 3 последовательно устанавливают контролирующий объект 6 и объект 4 сравнени .

Наклон или объект 4 сравнени (см. фиг. 1), или контролируемый объект 6 получают интерференционную картину между пучками лучей, отраженными от контролируемой поверхности контролируемого объекта 6 и поверхности объекта 4 сравнени . Наблюдатель визирует интерференционную картину через светоделитель 2. Диафрагма 5 устран ет паразитные засветки. Полученна интерференционна картина характеризует суммарную стрелку кривизны

контролируемой поверхности 6 и поверхности объекта 4 сравнени . Эту картину регистрируют с помощью фотографии или телекамерой (не показано). При определении дефокусировок (см. фиг. 2) поочередно, не наруща положени интерферометра 7 и объектива 3, определ ют дефокусировку интерферометра 7, т. е. его эталонного пучка, и пучка лучей, отраженного от поверхности контролируемого объекта б, а затем от поверхности объекта 4 сравнени . Затем опс редел ют разность полученных дефокусировок , котора соответствует разностной стрелке кривизны этих поверхностей.

По полученным величинам составл ют систему из двух уравнений, рещение которой определ ет стрелку кривизны контро0 лируемой поверхности.

Предложенный способ обеспечивает более высокую производительность контрол , так как по сравнению с известными техническими рец1ени 1ми в нем отсутствует дополнительные юстировочные операции второго объекта сравнени .

Claims

Формула изобретени

5

Способ контрол кривизны плоской поверхности , заключающийс в том, что с помощью коллимированного когерентного пучка лучей формируют интерференционную картину от контролируемой поверхности и поверхности объекта сравнени , по которой определ ют суммарную стрелку кривизны

этих поверхностей, и вычисл ют радиус кривизны, отличающийс тем, что, с целью повышени производительности контрол , с помощью дополнительного интерферометра последовательно определ ют по интерференционным картинам от контролируемой поверхности и поверхности объекта сравнени величины дефокусировок, по разности дефокусировок определ ют разностную стрелку кривизны этих поверхностей, а радиус кривизны контролируе.мой поверхности вычисл ют с учетом суммарной и разностной стрелок кривизны.