SU1379610A1 - Сферометр - Google Patents

Сферометр Download PDF

Info

Publication number
SU1379610A1
SU1379610A1 SU864123116A SU4123116A SU1379610A1 SU 1379610 A1 SU1379610 A1 SU 1379610A1 SU 864123116 A SU864123116 A SU 864123116A SU 4123116 A SU4123116 A SU 4123116A SU 1379610 A1 SU1379610 A1 SU 1379610A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
collimator
optical axis
lens
photodetectors
test piece
Prior art date
Application number
SU864123116A
Other languages
English (en)
Inventor
Борис Арсентьевич Пизюта
Галина Александровна Сырова
Петр Федорович Шульженко
Original Assignee
Новосибирский Институт Инженеров Геодезии,Аэрофотосъемки И Картографии
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Новосибирский Институт Инженеров Геодезии,Аэрофотосъемки И Картографии filed Critical Новосибирский Институт Инженеров Геодезии,Аэрофотосъемки И Картографии
Priority to SU864123116A priority Critical patent/SU1379610A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1379610A1 publication Critical patent/SU1379610A1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение позвол ет измер ть радиус кривизны сферических полированных поверхностей. Целью изобретени   вл етс  автоматизаци  процесса измерени  за счет выполнени  приемного узла в виде двух пар координат ных фотоприемников и введени  блока обработки. Из коллимированного светового пучка, формируемого объек- f (Л со со Ot)

Description

13
тивом 3, двум  щелевыми отверсти ми, вьЕпол не иными в экране 4, вьщел ют, два узких пучка. Направл ют их на контролируемую сферическую поверхность детали, располагаемой на столике 5. Каждый из зеркально отраженных от поверхности пучков принимают одним из координатных фотоприемников 6, 8. Электрические сигналы с фотоприемников 6, 8 и фотоэлектрического датчика 13 линейных перемещений столика 5 подают в блок 10 обработки. С помощью реверсивного электродвигател  12 перемещают столик 5 с контролируемой деталью до тех пор, пока отраженные от ее контролируемой поверхно
сти пучки не совпадут с центрами других координатных фотоприемников 7,9, каждый из которых установлен на заданном рассто нии от соответствующего фотоприемника 6, 8 и расположен с ним по одну сторону от оптической оси устройства. В блоке 10 обработки вычисл ют радиус контролируемой поверхности по измеренному рассто нию перемещени  столика 5 с деталью 16, заданному рассто нию мевду соответствующими фотоприемниками и величине смещени  отверстий-щелей экрана от оптической оси устройства. Результаты вычислени  отражают на индикаторе. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
1
Изо.бретение относитс  к измерительной технике и может быть использвано при измерении радиусов кривизны сферических полированных поверхностей .
Целью изобретени   вл етс  автоматизаци  процесса измерени  радиуса кривизны контролируемой детали за счет выполнени  приемного узла из двух координатных фотоприемников и введени  блока обработки.
На чертеже представлена принципиальна  схема сферометра.
Сферометр содержит источник 1 света , точечную диафрагму 2 и объектив 3, в фокальной плоскости которого расположена диафрагма, образующие коллиматор, экран 4 с двум  щелевыми отверсти ми, симметрично расположенными относительно его центра, столик 5, установленный с возможностью перемещени  вдоль оптической оси объектива 3, четыре координатных фотоприемника 6-9, расположенных по направлению излучени  от контролируемой детали и установленных по два симметрично от оптической оси объектива 3- на заданном рассто нии друг к другу, блок 10 обработки, индикатор 11, реверсивный электродвигатель 12 и фотоэлектрический датчик 13.
Цифропечатающий узел 14 электрически соединен с блоком обработки.
0
5
0
5
0
конденсатор 15 фокусирует излучение источника 1 на точечную диафрагму 2.
На чертеже обозначены: г - рассто ние щелевого отверсти  экрана от его центра; К - рассто ние между парой фотоприемников 6-9; 1 - величина перемещени  контролируемой детали 16; R - радиус кривизны поверхности контролируемой детали; о( - угол между оптической осью контролируемой детали и радиусом, проведенным в точку падени  узкого светового пучка.
Блок 10 обработки электрически соединен с фотоприемниками 6-9, индикатором 11, электродвигателем 12, фотоэлектрическим датчиком 13 и циф- ропечатающим узлом 14.
Сферометр работает следующим образом .
Световое излучение источника 1, прошедшее точечную диафрагму 2, объективом 3 формируют в коллимированный пучок. Щелевые отверсти  экрана 4 вырезают из него два узких пучка, которые направл ют на сферическую поверхность контролируемой детали. Каждый из отраженных пучков от контролируемой поверхности детали 16 принимают координатным фотоприемником 6 или 8, расположенным по соответствующую сторону от оптической оси сферометра . Электрический сигнал с фотоприемников 6 и 8 направл ют в блок
10 обработки. В последний направл ют также сигнал с фотоэлектрического датчика 13, характеризующий положение столика 5 с контролируемой деталью 16 на нем, при котором отраженные пучки от контролируемой поверхности совпадают с центрами координатных фотоприемников 6 и 8.
Электродвигателем 12 перемещают столик 5 вдоль оси сферометра, совпадающей с оптической осью объектива 3. Фотоэлектрический датчик 13 непрерьтно вьщает информацию в блок 10 обработки о линейном перемещении контролируемой поверхности. В момент, когда отраженные пучки от поверхности совпадают с це трами координлтиьк фотоприемников 7 и 9, перемещение столика 5 с деталью 16 прекращают. Разность отсчетов с фотоэлектрического датчика 13 дает величину перемещени  контролируемой детали (1).
По известному значению рассто ни  К между центрами фотоприемников 6, 7 и 8, 9 и измеренному значению 1 в блока 10 обработки вычисл ют радиус контролируемой поверхности по следующей зависимости:
г
sin е
sin (1/2 erctg-)
Результаты вычисленш вьшод т на индикатор 11 и цифропечатакиций узел 14. Дл  исключени  вли ни  децентровки контролируемой детали 1& на точность измерени  используют две пары координатных приемников, расположенных симметрично относительно оптической оси объектива.

Claims (2)

1. Сферометр, содержащий источник света, объектив и точечную диафрагму,
5
0 5 0
5
0
5
5
установленную в фокальной плоскости объектива, образук цие коллиматор, столик, установленный с возможностью перемещени  вдоль оптической ос. коллиматора и предназначенньп дл  установки на нем контролируемой детали, приспособление дл  отсчета перемещени  столика и приемный узел, установленный по ходу излучени , отражапю- го от контролируемой детали, отличающийс  тем, что, с целью автоматизации процесса измерени  радиуса кривизны контролируемой детали, оно снабжено экраном, установленным после объектива по направлению излучени  и выполненным со щелевым отверстием , смещенным от его гро.мстричск:- кого центра, индикатором, Е шоком обработки , выход которого соеди шн с индикатором, и реверсивньп.1 элск-тро- двигателем, кинематически соединенным со столиком, приемньй узел выполнен из двух координатных фотоприемни- ков, установленных в плоскости, пср- певдикул рной оси коллиматора, по одну сторону от нее на заданно рассто нии друг относительно друга, приспособление дл  отсчета выполнено в виде фотоэлектрического датчика ли- нейных перемещений, а фотолр.ис минки и датчик электрически соеди спы с блоком обработки.
2. Сферометр по п.1, отличающийс  тем, что с целью исключени  погрешности измерени  за счет децентровки контролируемой детали относительно оптической оси коллиматора , устройство снабжено второй парой координатных фотоприемников, расположенных симметрично первой паре фотоприемников относительно оптической оси коллиматора, а в экране выполнено второе щелевое отверстие, симметричное первому.
SU864123116A 1986-09-22 1986-09-22 Сферометр SU1379610A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU864123116A SU1379610A1 (ru) 1986-09-22 1986-09-22 Сферометр

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU864123116A SU1379610A1 (ru) 1986-09-22 1986-09-22 Сферометр

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1379610A1 true SU1379610A1 (ru) 1988-03-07

Family

ID=21258712

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU864123116A SU1379610A1 (ru) 1986-09-22 1986-09-22 Сферометр

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1379610A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2774043C1 (ru) * 2021-06-21 2022-06-14 Владимир Михайлович Киселев Устройство для контроля сферичности изделий с шаровидной формой

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Афанасьев В.А. Оптические измерени . - М.: Недра, 1968, с.62. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2774043C1 (ru) * 2021-06-21 2022-06-14 Владимир Михайлович Киселев Устройство для контроля сферичности изделий с шаровидной формой

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0134597B1 (en) Measuring system based on the triangulation principle for the dimensional inspection of an object
US5157454A (en) Differential refractometer
US4171160A (en) Distance measuring instrument
US3552857A (en) Optical device for the determination of the spacing of an object and its angular deviation relative to an initial position
SU1379610A1 (ru) Сферометр
JPS63193003A (ja) 凹部深さ・膜厚測定装置
US4115008A (en) Displacement measuring apparatus
US3225644A (en) Apparatus producing interferential test data for measuring and control instruments
US3832063A (en) Lens axis detection using an interferometer
US4831272A (en) Apparatus for aligning a reticle mark and substrate mark
JPH03218442A (ja) 示差屈折率計
SU1620826A1 (ru) Способ определени диаметра отверстий и устройство дл его осуществлени
SU1578456A1 (ru) Устройство дл многократных отражений в двухлучевом интерферометре
SU1569532A1 (ru) Устройство дл измерени шероховатости
SU1523907A1 (ru) Сферометр
SU1530962A1 (ru) Устройство дл контрол центрировани оптических деталей
SU1241062A1 (ru) Лазерный измеритель линейных перемещений поверхности
SU1589059A1 (ru) Устройство дл юстировки оси излучател оптического узла относительно базовых поверхностей основани
SU1696854A1 (ru) Устройство дл измерени перемещений объекта
RU2078305C1 (ru) Интерференционный способ контроля геометрического расположения линз и интерференционное устройство для его осуществления
JPH0124242B2 (ru)
SU756194A1 (ru) Устройство для измерения параметров движения . объекта
SU1449842A1 (ru) Способ измерени радиуса кривизны сферической поверхности оптической детали
SU1693369A1 (ru) Устройство дл определени нулевого положени объекта
SU1399644A1 (ru) Устройство дл многократных отражений в двухлучевом интерферометре