SU1449842A1

SU1449842A1 - Способ измерени радиуса кривизны сферической поверхности оптической детали

Info

Publication number: SU1449842A1
Application number: SU874187615A
Authority: SU
Inventors: Александр Владимирович Бакеркин
Original assignee: Предприятие П/Я Г-4149
Priority date: 1987-01-29
Filing date: 1987-01-29
Publication date: 1989-01-07

Abstract

Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано , например, при измерении больших по величине радиусов кривизны высокоточных особочистых поверхностей оптических деталей. Цель изобретени - повышение точности измерени . С помощью объектива 1 направл ют излучение на поверхность испытываемой детали 2 и определ ют величину смещени детали 2 от положени при фокусировке излучени Б вершину испытуемой детали 2 до положени при фокусировке излучени в центр кривизны поверхности объектива I, обращенной к испытуемой детали 2, после отражени от поверхности детали 2, затем радиус кривизны сферической поверхности детали 2 определ ют из соотношени R -(2f(a - R , + S )/(2a - R, + S )), где a - разность зафиксированных отсчетов при двух положени х оптической детали; R , - радиус кривизны поверхности объектива, обращенной к измерительной поверхности детали; S - задний фокальный отрезок объектива. 2 ил. (Л

Description

,г.1

Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано , например, при измерении больших по величине (свьше 1000 мм) ради- усов кривизны высокоточных оптических деталей.

Цель изобретени - повьшение точности измерени за счет уменьшени погрешности определени радиуса по известным величинам смещени а, радиуса кривизны R поверхности объектива и величины заднего фокального отрезка S объектива.

На фиг. 1 и 2 изображены схемы, по сн ющие способ измерени радиуса кривизны сферической поверхности оптической детали.

Способ осуществл ют следующим об

разом

По ходу излучени за объективом 1 устанавливают измер емую деталь 2 так, что излучение, выход щее из объектива 1, фокусируетс в верщину О 5змер емой детали 2. При этом определ ют положение А детали 2. Затем деталь 2 смещают вдоль оптической оси объектива 1 до тех пор, пока излучение , выход щее из объектива 1, после отражени от поверхности измер емой детали 2 не сфокусируетс в центр кривизны С поверхности объектива 1, обращенной к измер емой детали 2, и определ ют положение А-2. детали 2. Точность фокусировки в обоих случа х определ етс по резкому изобралсению сетки микроскопа или соответствующей картине в интерферометре, выходным оптическим элементом которых вл етс объектив 1. Определив разность за фиксированных отсчетов в положени х детали 2 а ( А,), рассчитывают :радиус кривизны R измер емой сферической поверхности детали 2 по формуле

2 а (а - RI + s )

- , + S

где а R

а - разность зафиксированных от-50 счетов при двух положени х детали;

R - радиус кривизны поверхности , ь объектива, обращенной к из

5

0

0 5 40 45

мер емой поверхности детали; S - задний фокальный отрезок объектива .

(Величины R, а, R, и S даны с учетом правила знаков, прин тых в геометрической оптике).

Наименьша погрешность измерений достигаетс при использовании объектива , у которого величины R и S имеют противоположные знаки и с целью повьппени контраста изображени сетки микроскопа (интерференционной картины интерферометра) целесообразно использовать светоделительное покрытие на поверхности объектива и отражающее покрытие на поверхности детали.

Claims

Формула изобретени

Способ измерени радиуса кривизны сферической поверхности оптической детали, заключающийс в том, что устанавливают перед измер емой поверхностью объектив, фокусируют с помощью объектива излучение в вершине измер емой поверхности детали и определ ют при этом ее положение, смещают деталь вдоль оптической оси объектива и определ ют радиус кривизны, отличающийс тем, что, с целью повышени точности измерени , смещение детали вдоль оптической оси объектива производ т до положени , при котором излучение после отражени от поверхности измер емой детали фокусируетс в центр кривизны поверхности объектива, обращенной к поверхности измер емой детали, определ ют при этом ее второе положение, а определение радиуса кривизны осуществл ют по формуле

R 2 а (а - Ri

S )

де а R

ь

1

разность отсчетов при двух положени х детали; радиус кривизны поверхности объектива, обращенной к измер емой поверхности детали; задний фокальный отрезок объектива.

С

- - - Sr-:r:

и,г.2