JPS60142204A - 物体の寸法計測方法 - Google Patents
物体の寸法計測方法Info
- Publication number
- JPS60142204A JPS60142204A JP25165283A JP25165283A JPS60142204A JP S60142204 A JPS60142204 A JP S60142204A JP 25165283 A JP25165283 A JP 25165283A JP 25165283 A JP25165283 A JP 25165283A JP S60142204 A JPS60142204 A JP S60142204A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- parallel
- optical sensor
- optical sensors
- parallel rays
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/08—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring diameters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光センサ−を用いることで、物体に非接触の状
態で当該物体の寸法を計測する方法に関する。
態で当該物体の寸法を計測する方法に関する。
従来から、光学的に物体の寸法をWl1定する方法が各
種提案されている。この1つとして、照明装置から平行
光線を被測定物に向けて照射し、被Alll定物のAi
d定端部を通過した平行光線を光センサ−で検出し、こ
の検出値に基づいて=J法を算出する方法がある。そし
て、この方法による場合には高精度のAlll定を行え
る範囲が狭く、大きな物体から小さな物体まで精度よく
その寸法を測定することができない。例えば大きな司法
を精度よ< xlll ’>i.:するには第1図に示
すように、2台の光センサ−(1) −、、 (1)を
並列に配置し、寸法の大きな被Jlll定物(2)ノ測
定端(2a)、(2b)に向け,照明装置(3)から平
行光線(a) 、 (4)を照射し、11行光線(4)
、 (4)のうち被測定物(2)によって遮られなか
った平行光線(4a)、(4a)を光センサ−(】)、
(1)で受光し、これら光センサ−(1) 、 (1)
の111lI定植に基づいて被測定物(2)の寸法(外
径)を計測することが考えられる。しかしながら、この
方法による場合には光センサ−(1) 、 (1)間の
幅、其体的には光センサ−(1) 、 (1)の受光部
(1a)、(1,a)間隔よりも小さな被測定物の寸法
は計測することができない。
種提案されている。この1つとして、照明装置から平行
光線を被測定物に向けて照射し、被Alll定物のAi
d定端部を通過した平行光線を光センサ−で検出し、こ
の検出値に基づいて=J法を算出する方法がある。そし
て、この方法による場合には高精度のAlll定を行え
る範囲が狭く、大きな物体から小さな物体まで精度よく
その寸法を測定することができない。例えば大きな司法
を精度よ< xlll ’>i.:するには第1図に示
すように、2台の光センサ−(1) −、、 (1)を
並列に配置し、寸法の大きな被Jlll定物(2)ノ測
定端(2a)、(2b)に向け,照明装置(3)から平
行光線(a) 、 (4)を照射し、11行光線(4)
、 (4)のうち被測定物(2)によって遮られなか
った平行光線(4a)、(4a)を光センサ−(】)、
(1)で受光し、これら光センサ−(1) 、 (1)
の111lI定植に基づいて被測定物(2)の寸法(外
径)を計測することが考えられる。しかしながら、この
方法による場合には光センサ−(1) 、 (1)間の
幅、其体的には光センサ−(1) 、 (1)の受光部
(1a)、(1,a)間隔よりも小さな被測定物の寸法
は計測することができない。
本発明は上述した従来の問題点を改善すべく成したもの
であり、その目的とする処は、測定する=1法の大小に
かかわらず、簡易目、つ高精度に当該IJ法をN11l
定し得る計測方法を提供するにある。
であり、その目的とする処は、測定する=1法の大小に
かかわらず、簡易目、つ高精度に当該IJ法をN11l
定し得る計測方法を提供するにある。
この目的を達成すべく本発明は、一対の光センサーをも
って一、J法をAl1定することを前提にし、小さなJ
法の被測定物については照明装置からの平行光線をミラ
ー或いはプリズム等の反射体を介して該光センサーに入
光せしめるようにしたことをその概要とする。
って一、J法をAl1定することを前提にし、小さなJ
法の被測定物については照明装置からの平行光線をミラ
ー或いはプリズム等の反射体を介して該光センサーに入
光せしめるようにしたことをその概要とする。
以下に本発明の実施例を第2ド乃至第4図に基づいて説
明する。
明する。
第2図は未発り1方法の実施に用いる計測装置の概略図
であり、従来と同一の部材については同一の番吟を伺し
ている。
であり、従来と同一の部材については同一の番吟を伺し
ている。
2台の光センサ−(1) 、 (1)は受光部(la)
、(1a)がともに光源を内臓した照明装置(3)方向
を向くように並列して配置されている。そして、各光セ
ンサ−U) 、 (1)と被測定物(2)の間にはそれ
ぞれ一対の反射鏡(5) 、 (6)が配置される。こ
れら反射鏡(5) 、 (13)は回転可能とされ、且
つ所定の回転角度位置において固定される。固定する位
置としては例えば平行光線(4)に対し45°とする。
、(1a)がともに光源を内臓した照明装置(3)方向
を向くように並列して配置されている。そして、各光セ
ンサ−U) 、 (1)と被測定物(2)の間にはそれ
ぞれ一対の反射鏡(5) 、 (6)が配置される。こ
れら反射鏡(5) 、 (13)は回転可能とされ、且
つ所定の回転角度位置において固定される。固定する位
置としては例えば平行光線(4)に対し45°とする。
このような角度で反射鏡(5) 、 (8)を固定する
と、照明装置(3)から被測定物(2)に向けて照射さ
れた平行光線(0のうち、被測定物(2)によって遮ら
れなかった平行光線、つまり被測定部(2)の測定端部
(2a)、(2b)の部分を通過した平行光線(4a)
、(4a)は、反射鏡(5)によって90°その向きを
変え平行光線(4b)として反射鏡(6)に向う。そし
て平行光線(4b)は反射鏡(6)にて90’その向き
を変え、前記平行光線(4a)と平行な平行光線(4c
)として光センサ−(1)の受光部(1a)に入射する
。
と、照明装置(3)から被測定物(2)に向けて照射さ
れた平行光線(0のうち、被測定物(2)によって遮ら
れなかった平行光線、つまり被測定部(2)の測定端部
(2a)、(2b)の部分を通過した平行光線(4a)
、(4a)は、反射鏡(5)によって90°その向きを
変え平行光線(4b)として反射鏡(6)に向う。そし
て平行光線(4b)は反射鏡(6)にて90’その向き
を変え、前記平行光線(4a)と平行な平行光線(4c
)として光センサ−(1)の受光部(1a)に入射する
。
すると、光センサ−(1)は」二記平行光線(4c)の
入射を測定信号として第4図に示す如く演算処理装置(
7)に出力するにの演算処理装置(7)には予め平行光
線(4)の幅(旧)或いは反射鏡(5)、(6)間のピ
ッチ(Ll)#を人力しておく。
入射を測定信号として第4図に示す如く演算処理装置(
7)に出力するにの演算処理装置(7)には予め平行光
線(4)の幅(旧)或いは反射鏡(5)、(6)間のピ
ッチ(Ll)#を人力しておく。
以上において、例えば平行光線(4C)の幅(W2)を
光センサ−(1)の測定値として演算処理装置(7)に
入力すれば被測定物(2)の寸法(X)はX=W+−2
W2 テ得られ、また平行光線(4c)、(4c)の間
隔(L2)を光センサ−(1)の測定値として演算処理
装置(7)に入力すれば、被測定物(2)のマJ法(X
)はX= L2−2Llで得られる。そして、得られた
被測定物(2)の実=J法はディスプレイ装置(8)に
表示される。
光センサ−(1)の測定値として演算処理装置(7)に
入力すれば被測定物(2)の寸法(X)はX=W+−2
W2 テ得られ、また平行光線(4c)、(4c)の間
隔(L2)を光センサ−(1)の測定値として演算処理
装置(7)に入力すれば、被測定物(2)のマJ法(X
)はX= L2−2Llで得られる。そして、得られた
被測定物(2)の実=J法はディスプレイ装置(8)に
表示される。
第3図は別実施例を示すものであり、この実施例にあっ
ては、光センサ−(]) 、 (1)の受光部(la)
、(la)を照明装置(3)に向けず、照明装置(3)
からの平行光線(4)と直交する方向に向けて並設して
いる。また、nII記実施例の一対の反射鏡(5) 、
(fi)に代え、1つの反射鏡(9)を配置している
。このように構成しても前記実施例と同様に小さな被測
定物のす法を精度良く測定することができる。
ては、光センサ−(]) 、 (1)の受光部(la)
、(la)を照明装置(3)に向けず、照明装置(3)
からの平行光線(4)と直交する方向に向けて並設して
いる。また、nII記実施例の一対の反射鏡(5) 、
(fi)に代え、1つの反射鏡(9)を配置している
。このように構成しても前記実施例と同様に小さな被測
定物のす法を精度良く測定することができる。
尚、以上は本発明の実施例の一例を示したものであり、
本発明は]−記に限定されない。例えば第2図の実施例
において、反射鏡(5) 、 (5)はILいに接離す
る方向に移動可能としてもよい。
本発明は]−記に限定されない。例えば第2図の実施例
において、反射鏡(5) 、 (5)はILいに接離す
る方向に移動可能としてもよい。
このようにすれば、更に小さな寸法の被Jll定物、或
いは大きな1法の被測定物の計測がn(能となる。
いは大きな1法の被測定物の計測がn(能となる。
また、反射体としては反射鏡を用いたが、プリズム等任
意のものを用いることができる。
意のものを用いることができる。
以上に説明したように本発明によれば、光センサーを用
いた寸法計測方法において、該光センサーを一対用意し
、大きな寸法を測定し得るようにし、しかも、各光セン
サーと被測定物の間に反射鏡等を配置するようにしたの
で、小さな寸法の被測定物をも容易且つ精度良く計測す
ることができ、更に、光センサーによる測定値を演算処
理装置に入力するようにしたので、自動的に寸法を知る
ことができる等多くの効果を発揮する。
いた寸法計測方法において、該光センサーを一対用意し
、大きな寸法を測定し得るようにし、しかも、各光セン
サーと被測定物の間に反射鏡等を配置するようにしたの
で、小さな寸法の被測定物をも容易且つ精度良く計測す
ることができ、更に、光センサーによる測定値を演算処
理装置に入力するようにしたので、自動的に寸法を知る
ことができる等多くの効果を発揮する。
第1図は光センサーを用いた従来の計測方法に用いる装
置の概略図、fff、2図は本発明方法の実施に用いる
装置の概略図、第3図は別実施例を示す第2図と同様の
概略図、第4図は#l arnの制御プロンク図である
。 尚、図面中(1)は光センサー、(2)は被測定物、(
3)は照明装置、(4) 、 (4a)、(4b)、(
4C)は911行光線、(5) 、 (8) 、 (9
)は反射体である。 4、r、iM 出 願 人 木IIi技研「業株式会ン
!代理人 弁理士 ド [11容一部 間 4r理十大橋 邦彦 同 弁理士小111 右 第1図 第2図 ] 第“3図 7 第4図
置の概略図、fff、2図は本発明方法の実施に用いる
装置の概略図、第3図は別実施例を示す第2図と同様の
概略図、第4図は#l arnの制御プロンク図である
。 尚、図面中(1)は光センサー、(2)は被測定物、(
3)は照明装置、(4) 、 (4a)、(4b)、(
4C)は911行光線、(5) 、 (8) 、 (9
)は反射体である。 4、r、iM 出 願 人 木IIi技研「業株式会ン
!代理人 弁理士 ド [11容一部 間 4r理十大橋 邦彦 同 弁理士小111 右 第1図 第2図 ] 第“3図 7 第4図
Claims (2)
- (1)並列に配置された一対の光センサーと照明装置と
の間に被ΔIII定物をセットし、前記照明装置から被
測定物に向って平行光線を照射し、この平行光線のうち
被測定物によって遮られなかった平行光線の向きをミラ
ー或いはプリズム等の反射体により変えて前記各光セン
サーに入光せしめ、各光センサーの1!lll定仙を信
号として演算処理装置に入力し、この演算処理装置にお
いて前記測定値及び既に入力されている他の情報に基づ
いて被測定物の実際のマノ法を算出するようにしたこと
を特徴とする物体のズ1法測定方法。 - (2) tiii記ミラー或いはプリズム等の反射体は
移動可能とされていることを特徴とする請求範囲第1項
記載の物体の寸法計測方法ウ
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25165283A JPS60142204A (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | 物体の寸法計測方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25165283A JPS60142204A (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | 物体の寸法計測方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60142204A true JPS60142204A (ja) | 1985-07-27 |
Family
ID=17226000
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25165283A Pending JPS60142204A (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | 物体の寸法計測方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60142204A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0214954A2 (de) * | 1985-09-11 | 1987-03-18 | RSF-Elektronik Gesellschaft m.b.H. | Messvorrichtung zur berührungslosen Bestimmung von Massen nach dem Schattenbildverfahren |
EP0215656A2 (en) * | 1985-09-13 | 1987-03-25 | Tesa Metrology Limited | Optical measurement apparatus |
WO1996005478A1 (en) * | 1994-08-08 | 1996-02-22 | General Inspection, Inc. | An inspection device for measuring a geometric dimension of a part |
US7633635B2 (en) | 2006-08-07 | 2009-12-15 | GII Acquisitions, LLC | Method and system for automatically identifying non-labeled, manufactured parts |
CN102169221A (zh) * | 2010-11-27 | 2011-08-31 | 合肥市百胜科技发展股份有限公司 | 一种反光镜 |
CN106969717A (zh) * | 2016-12-29 | 2017-07-21 | 北方民族大学 | 对称光桥式自稳激光测径系统及其标定方法、测量方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5245352A (en) * | 1975-10-07 | 1977-04-09 | Canon Inc | Scanning device |
-
1983
- 1983-12-28 JP JP25165283A patent/JPS60142204A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5245352A (en) * | 1975-10-07 | 1977-04-09 | Canon Inc | Scanning device |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0214954A2 (de) * | 1985-09-11 | 1987-03-18 | RSF-Elektronik Gesellschaft m.b.H. | Messvorrichtung zur berührungslosen Bestimmung von Massen nach dem Schattenbildverfahren |
EP0215656A2 (en) * | 1985-09-13 | 1987-03-25 | Tesa Metrology Limited | Optical measurement apparatus |
WO1996005478A1 (en) * | 1994-08-08 | 1996-02-22 | General Inspection, Inc. | An inspection device for measuring a geometric dimension of a part |
US5608530A (en) * | 1994-08-08 | 1997-03-04 | General Inspection, Inc. | Inspection device for measuring a geometric dimension of a part |
US7633635B2 (en) | 2006-08-07 | 2009-12-15 | GII Acquisitions, LLC | Method and system for automatically identifying non-labeled, manufactured parts |
CN102169221A (zh) * | 2010-11-27 | 2011-08-31 | 合肥市百胜科技发展股份有限公司 | 一种反光镜 |
CN106969717A (zh) * | 2016-12-29 | 2017-07-21 | 北方民族大学 | 对称光桥式自稳激光测径系统及其标定方法、测量方法 |
CN106969717B (zh) * | 2016-12-29 | 2022-12-20 | 北方民族大学 | 对称光桥式自稳激光测径系统的标定方法、测量方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6262803B1 (en) | System and method for three-dimensional inspection using patterned light projection | |
US5596412A (en) | Process and device for the quantified assessment of the physiological impression of reflective surfaces | |
US4281926A (en) | Method and means for analyzing sphero-cylindrical optical systems | |
CN1057832C (zh) | 非接触测量透明材料制成的被测物厚度的设备 | |
JPS60142204A (ja) | 物体の寸法計測方法 | |
US4120590A (en) | Method for measuring the thickness of transparent articles | |
KR0131526B1 (ko) | 광학식 측정장치 및 그 측정방법 | |
JPH0124251B2 (ja) | ||
RU2054620C1 (ru) | Способ измерения углов двугранных отражателей | |
JP3192461B2 (ja) | 光学的測定装置 | |
JPS62105002A (ja) | 光の中心位置の高精度計測方法 | |
KR0181993B1 (ko) | 레이저광을 이용한 물체의 외관치수측정장치 및 외관치수측정방법 | |
JPH0471453B2 (ja) | ||
JPS6228606A (ja) | 膜厚測定装置 | |
JP3068694B2 (ja) | ダハ面の形状測定方法 | |
US5497228A (en) | Laser bevel meter | |
GB2267340A (en) | Optical system for measuring surface curvature using a rotatable mirror | |
RU2315965C2 (ru) | Способ измерения параметров оптических систем | |
JP3365881B2 (ja) | レンズの屈折率検査装置 | |
RU2086945C1 (ru) | Способ измерения угла расходимости коллимированного пучка лучей | |
SU1582001A1 (ru) | Фотоэлектрический автоколлиматор | |
JPH01235828A (ja) | 屈折角測定方法及び屈折率分布測定装置 | |
JPS60211302A (ja) | 倒れ測定装置 | |
JPH11295212A (ja) | 表面検査装置 | |
JPH0531097B2 (ja) |