JPS62105002A - 光の中心位置の高精度計測方法 - Google Patents
光の中心位置の高精度計測方法Info
- Publication number
- JPS62105002A JPS62105002A JP24405185A JP24405185A JPS62105002A JP S62105002 A JPS62105002 A JP S62105002A JP 24405185 A JP24405185 A JP 24405185A JP 24405185 A JP24405185 A JP 24405185A JP S62105002 A JPS62105002 A JP S62105002A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- intensity distribution
- light intensity
- center position
- reflected light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の属する技術分野）
本発明は、視覚センサと対象物との距離等を計測する際
に必要となる対象物からの反射光の中心位置を計測する
方法に関する。
に必要となる対象物からの反射光の中心位置を計測する
方法に関する。
特に光を照射し、その反射光を画像処理する際に対象物
の反射率を考慮した補正を行ないかつ反射光の量子化さ
れた光強度分布を連続した光強度分布曲線で近似するこ
とによシ、反射光の中心位置を高精度で計測する方法に
関するものである。
の反射率を考慮した補正を行ないかつ反射光の量子化さ
れた光強度分布を連続した光強度分布曲線で近似するこ
とによシ、反射光の中心位置を高精度で計測する方法に
関するものである。
（従来の技術）
従来、元を用いて対象物について各種の計測を行なう場
合には、反射光の中心位置を精度よく計測することが重
要になる。例えば、第１Ｏ図に示すように、視覚センサ
と対象物の距離を計測する場合、視覚センサであるＩＴ
Ｖカメラ１０１と対象物の壁面１０λとの距離ｄは で求めることができる。光源１０３からレーザ光を壁面
／θλに照射し、その反射光を検出することによって、
この距離ｄを（１）式カフを用いて計測する場合、レー
ザ光ＩＯ≠が傾斜している角度φ及びレーザ光源１０３
とＩＴＶカメラ１０／との距離ｔは予め正確に測れるが
、レーザ光１０≠の壁面１０２上の投影位置Ｐと光軸ｉ
ｏｒとのなす角θは従来正確に測れなかった。なぜなら
θはθ＝ ａｒｃｔｕ７ （ｈは光軸ｉｏｓと反射レ
ーザ光１０１、の撮像面１０７上の入射位置Ｑの間の距
離、ｆは焦点距離で撮像面１０７とＩＴＶカメラｉｏｉ
のレンズ１０ｒとの距離）であり、この時のｈが精度良
く測れなかったからである。
合には、反射光の中心位置を精度よく計測することが重
要になる。例えば、第１Ｏ図に示すように、視覚センサ
と対象物の距離を計測する場合、視覚センサであるＩＴ
Ｖカメラ１０１と対象物の壁面１０λとの距離ｄは で求めることができる。光源１０３からレーザ光を壁面
／θλに照射し、その反射光を検出することによって、
この距離ｄを（１）式カフを用いて計測する場合、レー
ザ光ＩＯ≠が傾斜している角度φ及びレーザ光源１０３
とＩＴＶカメラ１０／との距離ｔは予め正確に測れるが
、レーザ光１０≠の壁面１０２上の投影位置Ｐと光軸ｉ
ｏｒとのなす角θは従来正確に測れなかった。なぜなら
θはθ＝ ａｒｃｔｕ７ （ｈは光軸ｉｏｓと反射レ
ーザ光１０１、の撮像面１０７上の入射位置Ｑの間の距
離、ｆは焦点距離で撮像面１０７とＩＴＶカメラｉｏｉ
のレンズ１０ｒとの距離）であり、この時のｈが精度良
く測れなかったからである。
ｈの測定精度が悪かった原因、即ち反射光の中心位置が
晶精度で計測できなかった原因は次の２つである。
晶精度で計測できなかった原因は次の２つである。
■ 通常壁面１０２の反射率は一様でなく、壁面から反
射されて■Ｔｖカメラｉｏｉに入ってくる反射レーザ光
１０６自身の光強度分布が歪んでしまうこと。
射されて■Ｔｖカメラｉｏｉに入ってくる反射レーザ光
１０６自身の光強度分布が歪んでしまうこと。
■ ＩＴＶカメラ１０／に入射された反射レーザ光ＩＯ
Ａの光強度分布が画素単位で量子化されている為に画素
単位以下の光強度分布の情報は得られないこと。
Ａの光強度分布が画素単位で量子化されている為に画素
単位以下の光強度分布の情報は得られないこと。
上記■を解決する手段は従来考えられていなかった。上
記■については、その改善方法として特開昭！９−７デ
１０３号が提案されている。この特開昭ｊターフ２１Ｏ
！号は、量子化された光強度分布を代表的な３点をとる
ことによって二次曲線でおきかえ、この二次曲線を利用
して、反射レーザ光の光強度分布の中心位置を１画素以
下の精度で測定しようとするものである。しかし、実際
の光強度分布曲線は必ずしも二次曲線とはならないため
、従来法のように二次曲線で近似した場合には、誤差が
大きくなり、ｈの測定精度を上げること即ち反射光の中
心位置を高精度で計測することが困難であった。
記■については、その改善方法として特開昭！９−７デ
１０３号が提案されている。この特開昭ｊターフ２１Ｏ
！号は、量子化された光強度分布を代表的な３点をとる
ことによって二次曲線でおきかえ、この二次曲線を利用
して、反射レーザ光の光強度分布の中心位置を１画素以
下の精度で測定しようとするものである。しかし、実際
の光強度分布曲線は必ずしも二次曲線とはならないため
、従来法のように二次曲線で近似した場合には、誤差が
大きくなり、ｈの測定精度を上げること即ち反射光の中
心位置を高精度で計測することが困難であった。
（発明の目的）
本発明の目的は、対象物からの反射光の中心位置を高精
度で計測する方法を提供することにある。
度で計測する方法を提供することにある。
（発明の構成）
ｍ ／図は本発明の方法の概略を示したものである。第
２図に示すように光度が一様な元を、参照用光源／から
対象物２に照射し、その反射光を対象物コに対して正対
化された視覚センサ３で検出する。このとき得られる各
点の光強度を最高光強度で除した対象物−の被照射面の
反射率比を求める。次いで測定用光源≠から測定光を対
象物２に照射し、そのときの反射ｊｌ視覚センサ３に入
射させ、反射光の光強度分布を求める。その後、反射光
の光強度分布を反射率比で割ることにより、被照射面の
反射率の非一様性による影ｇを補正する。そして補正さ
れた光強度分布から最小二乗法を用いて連続して変化す
る光強度分布曲線（例えば正規分布曲線）を求め、反射
光の中心位置を決定する。
２図に示すように光度が一様な元を、参照用光源／から
対象物２に照射し、その反射光を対象物コに対して正対
化された視覚センサ３で検出する。このとき得られる各
点の光強度を最高光強度で除した対象物−の被照射面の
反射率比を求める。次いで測定用光源≠から測定光を対
象物２に照射し、そのときの反射ｊｌ視覚センサ３に入
射させ、反射光の光強度分布を求める。その後、反射光
の光強度分布を反射率比で割ることにより、被照射面の
反射率の非一様性による影ｇを補正する。そして補正さ
れた光強度分布から最小二乗法を用いて連続して変化す
る光強度分布曲線（例えば正規分布曲線）を求め、反射
光の中心位置を決定する。
反射率比を測定する際には、第３図に示すように光度が
一様でない元を発する測定用光源ｔＩｔを対象物コに沿
っｉ動させ、光度が実質的に一様な状態を作り出し、そ
の反射光を利用して・もよい。
一様でない元を発する測定用光源ｔＩｔを対象物コに沿
っｉ動させ、光度が実質的に一様な状態を作り出し、そ
の反射光を利用して・もよい。
本発明の方法は、被照射面の反射率比を求めて、これを
光強度分布の補正に利用し、かつ量子化された光強度分
布を最小二乗法で連続した光強度分布曲線に近似する点
が、従来方式と異なる。
光強度分布の補正に利用し、かつ量子化された光強度分
布を最小二乗法で連続した光強度分布曲線に近似する点
が、従来方式と異なる。
（実施例）
第≠図は、本発明に用いる装置例を示したものである。
弘は参照用光源を兼ねた測定用光源である。測定用光源
≠はＨｅ−Ｎｅレーザｉｏ及び水平なスリット党を作る
だめのレンズｌ／かも成っている。また測定用光源弘に
は移動のためのダイヤルゲージ１２がつけられている。
≠はＨｅ−Ｎｅレーザｉｏ及び水平なスリット党を作る
だめのレンズｌ／かも成っている。また測定用光源弘に
は移動のためのダイヤルゲージ１２がつけられている。
３は対象物２に対して正対化されたＩＴＶカメラでコｊ
４Ｘ、２ｊ乙画素の固体撮像素子を備えている。
４Ｘ、２ｊ乙画素の固体撮像素子を備えている。
ここで、ＩＴＶカメラの対壁面３次元計測として、壁面
とＩＴＶカメラの視軸とがなす角度を計測する方法とそ
れに基づく正対化の概要を述べる。第５図に示すよりに
、画像平面のｕ、ｖ＠ｆ３次元空間のＸ＋’／軸と平行
にとり、ＩＴＶカメラ３ （０，０゜−ｒ）の視軸を２
軸に一致させる。レーザ光源を≠（ｏ、ｔ、−ｒ）とし
、レーザ光が水平面となす角度をφ、壁面とＸ軸となす
角度をηとする。
とＩＴＶカメラの視軸とがなす角度を計測する方法とそ
れに基づく正対化の概要を述べる。第５図に示すよりに
、画像平面のｕ、ｖ＠ｆ３次元空間のＸ＋’／軸と平行
にとり、ＩＴＶカメラ３ （０，０゜−ｒ）の視軸を２
軸に一致させる。レーザ光源を≠（ｏ、ｔ、−ｒ）とし
、レーザ光が水平面となす角度をφ、壁面とＸ軸となす
角度をηとする。
ここでｆはレンズの焦点距離である。すると、レーザ光
のつくる平面の方程式は、 ｙ十−φ・ｚ−ｔ−一φ・ｆ（２） と表される。また、壁面は垂直に作られているので、壁
面のつくる平面の方程式は、 Ｚ −ＸＱ ＝−η・ｘ（３） と表される。したがって、レーザ光投影像はこの２千面
の交線の方程式となるから、この直線が（θ＋ｙ６＋ｚ
ｏ）を通るとすると、レーザ光投影像は・ Ｙ −Ｙｏ Ｚ−Ｚｏ （４゜
−η・−φ −η と求められる。一方、（ｕ、ｖ）と（ｘ、ｙｔｚ）の関
係として、 ｆ ｆ （５）ｆ＋ｚ
、 ｆ＋ｚが成り立つので、式（４）
、 （５）よυ、画像平面上に写されるレーザ光投影像
の直線の方程式が求められる。その結果、画像上におけ
る直線の傾きをｍとすると、 と計算される。したがって、ηすなわちｒＴＶカメラの
対壁面３次元計測が行える。次に、このηをモトニマニ
ピューレータのフィードバック制御を行い＋Ｗメラを正
対化させる。
のつくる平面の方程式は、 ｙ十−φ・ｚ−ｔ−一φ・ｆ（２） と表される。また、壁面は垂直に作られているので、壁
面のつくる平面の方程式は、 Ｚ −ＸＱ ＝−η・ｘ（３） と表される。したがって、レーザ光投影像はこの２千面
の交線の方程式となるから、この直線が（θ＋ｙ６＋ｚ
ｏ）を通るとすると、レーザ光投影像は・ Ｙ −Ｙｏ Ｚ−Ｚｏ （４゜
−η・−φ −η と求められる。一方、（ｕ、ｖ）と（ｘ、ｙｔｚ）の関
係として、 ｆ ｆ （５）ｆ＋ｚ
、 ｆ＋ｚが成り立つので、式（４）
、 （５）よυ、画像平面上に写されるレーザ光投影像
の直線の方程式が求められる。その結果、画像上におけ
る直線の傾きをｍとすると、 と計算される。したがって、ηすなわちｒＴＶカメラの
対壁面３次元計測が行える。次に、このηをモトニマニ
ピューレータのフィードバック制御を行い＋Ｗメラを正
対化させる。
対象物上の１画素の距離ずつ移動させながら、元を対象
物λに照射し、その間ＩＴＶカメラ３中の撮像素子に入
射してくる反射光の強度を積算して、参照光の反射光強
度分布を求める。ついでこの反射光強度分布の中で最高
強度の値で各強度を割って被照射面の反射率比を求める
。この反射率比を第６図に示す。次いで、測定用−ｙｔ
、源グをある位置に固定し、光を対象物コに照射し、そ
のときの反射光をＩＴＶカメラ３で測定する。このとき
得られる量子化された光強度分布は第り図ム印である。
物λに照射し、その間ＩＴＶカメラ３中の撮像素子に入
射してくる反射光の強度を積算して、参照光の反射光強
度分布を求める。ついでこの反射光強度分布の中で最高
強度の値で各強度を割って被照射面の反射率比を求める
。この反射率比を第６図に示す。次いで、測定用−ｙｔ
、源グをある位置に固定し、光を対象物コに照射し、そ
のときの反射光をＩＴＶカメラ３で測定する。このとき
得られる量子化された光強度分布は第り図ム印である。
このム印で示される光強度分布を第６図の反射率比で割
る補正を行ない、第７図Δ印で示す補正された光強度分
布を得る。
る補正を行ない、第７図Δ印で示す補正された光強度分
布を得る。
ところで、通常＠弘図のような装遺構成をとる時、光源
≠の尤の強度分布曲線は正規分布とみなせるので、位置
Ｘと光強度工との関係はとなる。ここで、ａ＋ｂ＋ｃＶ
ｉ定数とする。式（７）の対数をとると、 臆工＝−πｘ２＋２ζｘ＋（蹟ａ〜云）（８）となる。
≠の尤の強度分布曲線は正規分布とみなせるので、位置
Ｘと光強度工との関係はとなる。ここで、ａ＋ｂ＋ｃＶ
ｉ定数とする。式（７）の対数をとると、 臆工＝−πｘ２＋２ζｘ＋（蹟ａ〜云）（８）となる。
従って、位置Ｘと撮像素子面上の光強度の値工から最小
二乗法を用いて、式（８）における定数ａｎ ｂ＋ Ｃ
を決め、撮像素子面上の光強度分布曲線（Ａ）の最大値
から反射光の中心位置を決定する。
二乗法を用いて、式（８）における定数ａｎ ｂ＋ Ｃ
を決め、撮像素子面上の光強度分布曲線（Ａ）の最大値
から反射光の中心位置を決定する。
第７図の○印は反射率が一様な面に光を照射したときに
得られる反射光の光強度分布で、曲線（Ｂ）は最小二乗
法で求めた光強度分布曲線である。曲線（Ｂ）の最大値
を与える中心位置、即ち理想状態での反射光の中心位置
と本発明から求めた反射光の中心位置とが高精度で一致
していることがわかる。
得られる反射光の光強度分布で、曲線（Ｂ）は最小二乗
法で求めた光強度分布曲線である。曲線（Ｂ）の最大値
を与える中心位置、即ち理想状態での反射光の中心位置
と本発明から求めた反射光の中心位置とが高精度で一致
していることがわかる。
因みに、第７図のム印の光強度分布から最小二乗法を用
いて光強度分布曲線（０）を求め、それから決定できる
反射光の中心位置は、約１画素程度精度が悪い。このこ
とは逆に本発明の一工程である反射率比による補正が、
中心位置を高精度に測定する上で、大きな役割を果たし
ていることを意味している。
いて光強度分布曲線（０）を求め、それから決定できる
反射光の中心位置は、約１画素程度精度が悪い。このこ
とは逆に本発明の一工程である反射率比による補正が、
中心位置を高精度に測定する上で、大きな役割を果たし
ていることを意味している。
次に別の観点から本発明の計測法が高精度であることを
説明する。
説明する。
ＩＴＶカメラ３の位ｔを固定し、Ｈｅ−Ｎｅレーザ光諒
μをスリット方向と垂直に微小平行移動させて計測法の
精度を検討した。すなわち、予め被照射面上における７
画素に対応する長さを計測しておき、ダイヤルゲージｌ
コで計測された光源≠の移動量と比較した。なお、各点
に対してそれぞれ１０回ずつ計測した。その結果を第ｒ
図に示すが、計測値の上下限は３σを示している。個々
の計測値に対する最大のσはＯ０Ｏコ／画素である。
μをスリット方向と垂直に微小平行移動させて計測法の
精度を検討した。すなわち、予め被照射面上における７
画素に対応する長さを計測しておき、ダイヤルゲージｌ
コで計測された光源≠の移動量と比較した。なお、各点
に対してそれぞれ１０回ずつ計測した。その結果を第ｒ
図に示すが、計測値の上下限は３σを示している。個々
の計測値に対する最大のσはＯ０Ｏコ／画素である。
なお、従来の技術であるλ次曲線で近似した場合は、σ
＝ ０．０１３であシ、本発明は従来方法に比べφ倍程
度の高精度な計測ができる。
＝ ０．０１３であシ、本発明は従来方法に比べφ倍程
度の高精度な計測ができる。
マンホール点検装置に本発明の計測方法を応用する場合
について説明する。
について説明する。
マンホール点検装置は第７図に示すように、画像処理装
置２０．マニピュレータ２／、視覚センサ（ＩＴＶカメ
ラ）１２、レーザ照射装置、２３から構されていて、こ
れらが運搬用自動車２≠に積載されている。この点検装
置は、マンホール２ｊ内部の大きさの計測、ダクト口２
６、ケーブルの認識、計測を行うものである。なお２７
はダクト、２？はケーブルである。まず、マニピュレー
タ２１の先端にとりつけられた光照射装置ｆｔ２３とＩ
ＴＶカメラ、！−をマンホール２！の首から内部へ挿入
する。次いで、マンホール壁面のうちで一つの面に対し
て、その壁面に対するＩＴＶカメラ２２の姿Ｗ’ｔｌ側
し、マニピュレータＵ／によってＩＴＶカメラ２２の元
軸が壁面と垂直になるように姿勢を制御する。次にこの
状態で先に述べた方法によシ反射光の中心位置を計測し
、（１）式から壁面とＩＴＶカメラ２λの距離°を計測
する。この計測を他の壁面に対しても行ない、マンホー
ルの寸法を測る。
置２０．マニピュレータ２／、視覚センサ（ＩＴＶカメ
ラ）１２、レーザ照射装置、２３から構されていて、こ
れらが運搬用自動車２≠に積載されている。この点検装
置は、マンホール２ｊ内部の大きさの計測、ダクト口２
６、ケーブルの認識、計測を行うものである。なお２７
はダクト、２？はケーブルである。まず、マニピュレー
タ２１の先端にとりつけられた光照射装置ｆｔ２３とＩ
ＴＶカメラ、！−をマンホール２！の首から内部へ挿入
する。次いで、マンホール壁面のうちで一つの面に対し
て、その壁面に対するＩＴＶカメラ２２の姿Ｗ’ｔｌ側
し、マニピュレータＵ／によってＩＴＶカメラ２２の元
軸が壁面と垂直になるように姿勢を制御する。次にこの
状態で先に述べた方法によシ反射光の中心位置を計測し
、（１）式から壁面とＩＴＶカメラ２λの距離°を計測
する。この計測を他の壁面に対しても行ない、マンホー
ルの寸法を測る。
（発明の効果）
以上述べたように、本発明は対象物の反射率比を用いて
光強度分布を補正し、かつ量子化された光強度分布から
最小二乗法で連続的な光強度分布曲線を求め、その最大
強度管与える所を反射光の中心位置と決定する。従って
、対象物の反射率が一様でない場合、例えばマンホール
内の壁面が泥等で汚れていても反射光の中心位置を高精
度で計測できる。その結果、／ｌを用いた計測法、例え
ばセンサと対象物間の距離、あるいはマンホールの寸法
測定を高精度に行なうことができる。
光強度分布を補正し、かつ量子化された光強度分布から
最小二乗法で連続的な光強度分布曲線を求め、その最大
強度管与える所を反射光の中心位置と決定する。従って
、対象物の反射率が一様でない場合、例えばマンホール
内の壁面が泥等で汚れていても反射光の中心位置を高精
度で計測できる。その結果、／ｌを用いた計測法、例え
ばセンサと対象物間の距離、あるいはマンホールの寸法
測定を高精度に行なうことができる。
第１図は本発明の詳細な説明するための図、第−図及び
第３図は本発明の方法の工程のうち対象物の反射率比を
求める工程を説明するための図、第μ図は本発明に使用
する装置の概略図、第５図はセンサを対象物に対して正
対化する方法を説明するだめの図、第６図及び第７図は
本発明の工程のうち補正工程を説明するため及びその効
果な示すための図、第を図は本発明の詳細な説明するた
めの図、第り図は本発明の詳細な説明するための図、＠
ＩＯ図は従来技術の説明図である。 ｌ・・・参照用光源、コ・・・対象物、３・・・視覚セ
ンサ、弘・・・測定用光源、１０・・・Ｈｅ−Ｎｅレー
ザ。
第３図は本発明の方法の工程のうち対象物の反射率比を
求める工程を説明するための図、第μ図は本発明に使用
する装置の概略図、第５図はセンサを対象物に対して正
対化する方法を説明するだめの図、第６図及び第７図は
本発明の工程のうち補正工程を説明するため及びその効
果な示すための図、第を図は本発明の詳細な説明するた
めの図、第り図は本発明の詳細な説明するための図、＠
ＩＯ図は従来技術の説明図である。 ｌ・・・参照用光源、コ・・・対象物、３・・・視覚セ
ンサ、弘・・・測定用光源、１０・・・Ｈｅ−Ｎｅレー
ザ。
Claims (4)
- （１）光度が実質的に一様となるように参照光を対象物
に照射する第１照射工程と、 参照光による対象物からの反射光の第１光強度分布から
対象物の反射率比を求める工程と、 対象物に測定光を照射する第４照射工程と、測定光によ
る対象物からの反射光の第２光強度分布を測定する工程
と、 前記第２光強度分布を前記反射率比で補正して補正光強
度分布を求める工程と、 前記補正光強度分布から光強度分布曲線を求める工程と
、 前記光強度分布曲線から測定光の反射光の中心位置を決
定する工程とから成ることを特徴とする光の中心位置の
高精度計測方法。 - （２）前記第１照射工程は、光度が一様な光源からの光
を照射する工程であることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の光の中心位置の高精度計測方法。 - （３）前記第１照射工程は、前記測定光の光源を対象物
面に平行に移動する工程であることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の光の中心位置の高精度計測方法。 - （４）前記反射率比を求める工程は第１光強度分布の最
強の値で他の強度を割ることにより求める工程であり、
前記補正光強度分布を求める工程は第２光強度分布を反
射率比で割る工程であることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の光の中心位置の高精度計測方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24405185A JPH0660807B2 (ja) | 1985-11-01 | 1985-11-01 | 光の中心位置の高精度計測方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24405185A JPH0660807B2 (ja) | 1985-11-01 | 1985-11-01 | 光の中心位置の高精度計測方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62105002A true JPS62105002A (ja) | 1987-05-15 |
| JPH0660807B2 JPH0660807B2 (ja) | 1994-08-10 |
Family
ID=17112994
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24405185A Expired - Fee Related JPH0660807B2 (ja) | 1985-11-01 | 1985-11-01 | 光の中心位置の高精度計測方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0660807B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01167609A (ja) * | 1987-12-24 | 1989-07-03 | Shinichi Yuda | 距離算出方法 |
| WO2017002511A1 (ja) * | 2015-06-29 | 2017-01-05 | 富士フイルム株式会社 | 撮像装置及び撮像方法 |
| EP3435031A1 (de) * | 2017-07-27 | 2019-01-30 | Testo SE & Co. KGaA | Aufmassgerät und verfahren zur erstellung eines 3d-modells |
-
1985
- 1985-11-01 JP JP24405185A patent/JPH0660807B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01167609A (ja) * | 1987-12-24 | 1989-07-03 | Shinichi Yuda | 距離算出方法 |
| WO2017002511A1 (ja) * | 2015-06-29 | 2017-01-05 | 富士フイルム株式会社 | 撮像装置及び撮像方法 |
| JP6284688B2 (ja) * | 2015-06-29 | 2018-02-28 | 富士フイルム株式会社 | 撮像装置及び撮像方法 |
| JPWO2017002511A1 (ja) * | 2015-06-29 | 2018-05-24 | 富士フイルム株式会社 | 撮像装置及び撮像方法 |
| US10365090B2 (en) | 2015-06-29 | 2019-07-30 | Fujifilm Corporation | Imaging device and imaging method |
| EP3435031A1 (de) * | 2017-07-27 | 2019-01-30 | Testo SE & Co. KGaA | Aufmassgerät und verfahren zur erstellung eines 3d-modells |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0660807B2 (ja) | 1994-08-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3511450B2 (ja) | 光学式測定装置の位置校正方法 | |
| US6262803B1 (en) | System and method for three-dimensional inspection using patterned light projection | |
| JPS60185108A (ja) | 物体を無接触測定する方法および装置 | |
| JPS63292005A (ja) | 走り誤差補正をなした移動量検出装置 | |
| JPS62105002A (ja) | 光の中心位置の高精度計測方法 | |
| JPH01314907A (ja) | 厚み測定方法に於けるゼロ点補正方法及びその装置 | |
| CN105758339A (zh) | 基于几何误差修正技术的光轴与物面垂直度检测方法 | |
| JPH0123041B2 (ja) | ||
| Breuckmann et al. | 3D-metrologies for industrial applications | |
| JPS60142204A (ja) | 物体の寸法計測方法 | |
| JPS63255608A (ja) | 滴下液滴検出装置の校正方法 | |
| JP2505230B2 (ja) | レ―ザ―ビ―ム偏向角測定装置の較正方法 | |
| CN110609289B (zh) | 一种运动性能测试装置 | |
| JP3192461B2 (ja) | 光学的測定装置 | |
| JPS62272107A (ja) | 実装部品検査方法 | |
| JPH10122837A (ja) | 形鋼のオンライン測定装置の校正方法および装置、並びに校正治具搭載用架台 | |
| JPH0735515A (ja) | 対象物の直径測定装置 | |
| JP3068694B2 (ja) | ダハ面の形状測定方法 | |
| JPS60102505A (ja) | 薄板の幅測定装置 | |
| JP2621179B2 (ja) | アライメント方法 | |
| JPS62103545A (ja) | 鮮映性測定方法 | |
| JPH11160027A (ja) | 球状物体の高さ測定装置、およびその測定方法 | |
| RU1772619C (ru) | Способ контрол качества поверхности издели | |
| CN116399243A (zh) | 一种薄膜材料厚度测量系统以及该系统的安装定位方法 | |
| KR100380133B1 (ko) | 광센서에서 피측정물의 반사광 강도에 따른 오차 보상방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |