JPH0123041B2 - - Google Patents
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- JPH0123041B2 JPH0123041B2 JP56144891A JP14489181A JPH0123041B2 JP H0123041 B2 JPH0123041 B2 JP H0123041B2 JP 56144891 A JP56144891 A JP 56144891A JP 14489181 A JP14489181 A JP 14489181A JP H0123041 B2 JPH0123041 B2 JP H0123041B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movement
- amount
- measured
- moving table
- optical sensor
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 35
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000026058 directional locomotion Effects 0.000 claims 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
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- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
Description
【発明の詳細な説明】
＜本発明の産業上の利用分野＞
本発明は、光センサを用いて被測定物の表面形
状（即ち表面の凹凸）を広い面積にわたつて、極
めて高精度に、かつ、高速で測定できるようにし
た表面形状測定装置に関する。
状（即ち表面の凹凸）を広い面積にわたつて、極
めて高精度に、かつ、高速で測定できるようにし
た表面形状測定装置に関する。
＜従来技術＞
非接触式に被測定物の表面形状（表面の凹凸）
を測定する方法として、特開昭51−124944号公報
に、２つの光ビームを被測定物体に照射し、その
表面上の２点の高さを同時に測定することによ
り、物体表面の等高線を求める方法が開示されて
いる。
を測定する方法として、特開昭51−124944号公報
に、２つの光ビームを被測定物体に照射し、その
表面上の２点の高さを同時に測定することによ
り、物体表面の等高線を求める方法が開示されて
いる。
＜本発明が解決しようとする問題点＞
しかしながら、このような従来の方法では、
被測定物表面の極めて微小な凹凸を高精度に測
定しようとして、被測定物をＸ方向及びＹ方向に
移動する際、完全なＸ―Ｙ平面に平行に移動する
ことは不可能で、このＸ―Ｙ平面に垂直なＺ方向
へのずれが不可避である。このずれが測定結果に
加わるため、微小な凹凸を高精度に測定すること
が困難であつた。
定しようとして、被測定物をＸ方向及びＹ方向に
移動する際、完全なＸ―Ｙ平面に平行に移動する
ことは不可能で、このＸ―Ｙ平面に垂直なＺ方向
へのずれが不可避である。このずれが測定結果に
加わるため、微小な凹凸を高精度に測定すること
が困難であつた。
本発明はこの問題点を解決した装置を提供する
ことを目的としている。
ことを目的としている。
＜前記問題点を解決するための手段＞
前記問題点を解決するために、本発明の表面形
状装置では、 被測定物をＸ、およびＹ方向に移動させる移動
テーブルと、 移動テーブルのＸ、およびＹ方向の移動量を検
出する検出器と、 被測定物表面に光ビームを照射し、その反射光
点の位置を検出することによつて、被測定物表面
の高さ信号を出力する光センサと、 被測定物をオプテイカルフラツトとした場合に
おける、前記Ｘ方向移動量検出器及びＹ方向移動
量検出器から出力される移動量に対応づけて、前
記光センサから出力される高さ信号を予め記憶設
定する移動テーブルずれ量設定装置と、 前記光センサからの高さ信号から、前記移動テ
ーブルずれ量設定装置に設定されたずれ量を、前
記Ｘ方向移動量検出器及びＹ方向移動量検出器か
ら出力される移動量に対応づけて、減算する減算
装置と を備えたことを特徴としている。
状装置では、 被測定物をＸ、およびＹ方向に移動させる移動
テーブルと、 移動テーブルのＸ、およびＹ方向の移動量を検
出する検出器と、 被測定物表面に光ビームを照射し、その反射光
点の位置を検出することによつて、被測定物表面
の高さ信号を出力する光センサと、 被測定物をオプテイカルフラツトとした場合に
おける、前記Ｘ方向移動量検出器及びＹ方向移動
量検出器から出力される移動量に対応づけて、前
記光センサから出力される高さ信号を予め記憶設
定する移動テーブルずれ量設定装置と、 前記光センサからの高さ信号から、前記移動テ
ーブルずれ量設定装置に設定されたずれ量を、前
記Ｘ方向移動量検出器及びＹ方向移動量検出器か
ら出力される移動量に対応づけて、減算する減算
装置と を備えたことを特徴としている。
＜作用＞
このようにしたため、
Ｘ―Ｙ平面上の位置に対応したずれ量が、光セ
ンサ出力から減じられるため、Ｘ、および、Ｙ方
向移動テーブルの真直度誤差がキヤンセルされ
る。
ンサ出力から減じられるため、Ｘ、および、Ｙ方
向移動テーブルの真直度誤差がキヤンセルされ
る。
＜本発明の実施例＞
以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説明
する。
する。
第１〜５図は本発明の一実施例を示している。
図において、１は被測定物Ｗを据え付ける平板
状の基台であつて、この基台１はＸ方向移動テー
ブル２上を水平方向（Ｘ軸方向）にパルスモータ
３によつて移動可能になつており、このＸ方向移
動テーブル２はＸ方向と直交するＹ方向移動テー
ブル４上を鉛直方向（Ｙ軸方向）にパルスモータ
５によつて移動可能になつている。
状の基台であつて、この基台１はＸ方向移動テー
ブル２上を水平方向（Ｘ軸方向）にパルスモータ
３によつて移動可能になつており、このＸ方向移
動テーブル２はＸ方向と直交するＹ方向移動テー
ブル４上を鉛直方向（Ｙ軸方向）にパルスモータ
５によつて移動可能になつている。
これらの基台１、Ｘ方向移動テーブル２、Ｙ方
向移動テーブル４は鉛直に設定されているため、
被測定物Ｗは基台１の表面に鉛直状態で据え付け
られる。
向移動テーブル４は鉛直に設定されているため、
被測定物Ｗは基台１の表面に鉛直状態で据え付け
られる。
基台１の前方には光センサ６が固定台７上に固
定設置されている。
定設置されている。
光センサ６は、第２図に示すように、
指向性の良い光束ビームを発する光源６１と、
この光束を絞つて被測定物Ｗの表面に照射する
照射レンズ６２と、 光軸が照射レンズ６２の光軸からある角度でず
れ、被測定物Ｗの表面の光点からの反射光束を絞
つて受光素子６４の受光面６４ａに反射光点の像
を結像させる結像レンズ６３と、 反射光点が被測定物Ｗの表面の凹凸によつてＺ
方向に変位する場合の軌跡に受光面６４ａが一致
するように配置され、受光面６４ａにおける反射
光点の像の位置に応じた二つの信号i1，i2を出力
する受光素子６４と、 受光素子６４の二つの出力i1，i2から被測定物
Ｗの表面の高さの変化Z1を Z1＝Ｋi1−i2／i1＋i2 （但し、Ｋは定数） として演算する演算器６５と によつて構成されている。
照射レンズ６２と、 光軸が照射レンズ６２の光軸からある角度でず
れ、被測定物Ｗの表面の光点からの反射光束を絞
つて受光素子６４の受光面６４ａに反射光点の像
を結像させる結像レンズ６３と、 反射光点が被測定物Ｗの表面の凹凸によつてＺ
方向に変位する場合の軌跡に受光面６４ａが一致
するように配置され、受光面６４ａにおける反射
光点の像の位置に応じた二つの信号i1，i2を出力
する受光素子６４と、 受光素子６４の二つの出力i1，i2から被測定物
Ｗの表面の高さの変化Z1を Z1＝Ｋi1−i2／i1＋i2 （但し、Ｋは定数） として演算する演算器６５と によつて構成されている。
第３図に示すように、被測定物Ｗの表面がＺ方
向に変位すると、反射光点の像ＱはZ′方向に変位
する。
向に変位すると、反射光点の像ＱはZ′方向に変位
する。
このZ′方向の反射光点の像Ｑの変位を検出する
ために、前記したように、受光素子６４の受光面
６４ａはZ′方向に即ち、反射光点の像Ｑの軸跡に
一致させてある。
ために、前記したように、受光素子６４の受光面
６４ａはZ′方向に即ち、反射光点の像Ｑの軸跡に
一致させてある。
受光素子６４としては、例えば第４図に示すよ
うに、Z′方向の変位を電気信号に変換する一次元
の拡散型PINダイオードが用いられる。
うに、Z′方向の変位を電気信号に変換する一次元
の拡散型PINダイオードが用いられる。
なお、第３図に示された光センサ６は、被測定
物Ｗが散乱面である場合の測定に用いられるタイ
プの光学系を示したものであり、被測定物Ｗが鏡
面の場合には、鏡面反射をするので、照射光束と
反射光束が、被測定物Ｗの表面の法線に対して対
称になるようなタイプの光センサが用いられる。
物Ｗが散乱面である場合の測定に用いられるタイ
プの光学系を示したものであり、被測定物Ｗが鏡
面の場合には、鏡面反射をするので、照射光束と
反射光束が、被測定物Ｗの表面の法線に対して対
称になるようなタイプの光センサが用いられる。
Ｘ方向移動テーブル２、Ｙ方向移動テーブル４
によるＸ方向、Ｙ方向の各移動量Ｘ，Ｙは、それ
ぞれパルスモータ３，５を駆動するＸドライバ
８、Ｙドライバ９の駆動出力を受領するＸ方向移
動量検出器１０、Ｙ方向移動量検出器１１によつ
て検出される。
によるＸ方向、Ｙ方向の各移動量Ｘ，Ｙは、それ
ぞれパルスモータ３，５を駆動するＸドライバ
８、Ｙドライバ９の駆動出力を受領するＸ方向移
動量検出器１０、Ｙ方向移動量検出器１１によつ
て検出される。
信号処理器１２は、第５図の如く構成されてい
る。
る。
１２１は、被測定物をオプテイカルフラツトと
した場合における、前記Ｘ方向移動量検出器１０
及びＹ方向移動量検出器１１から出力される移動
量Ｘ，Ｙに対応づけて、前記光センサ６から出力
される高さ信号Z1が予め記憶設定された移動テー
ブルずれ量設定装置である。即ち、オプテイカル
フラツトを測定した場合の光センサ６の出力は
Ｘ，Ｙテーブル移動における各移動位置ごとのＺ
方向のずれ量を示している。このずれ量がＸ―Ｙ
平面の全体について、予め設定してある。
した場合における、前記Ｘ方向移動量検出器１０
及びＹ方向移動量検出器１１から出力される移動
量Ｘ，Ｙに対応づけて、前記光センサ６から出力
される高さ信号Z1が予め記憶設定された移動テー
ブルずれ量設定装置である。即ち、オプテイカル
フラツトを測定した場合の光センサ６の出力は
Ｘ，Ｙテーブル移動における各移動位置ごとのＺ
方向のずれ量を示している。このずれ量がＸ―Ｙ
平面の全体について、予め設定してある。
１２２は、前記光センサ６からの高さ信号Z1か
ら、前記移動テーブルずれ量設定装置１２１に設
定されたずれ量を、前記Ｘ方向移動量検出器１０
及びＹ方向移動量検出器１１から出力される移動
量に対応づけて、減算する減算装置である。
ら、前記移動テーブルずれ量設定装置１２１に設
定されたずれ量を、前記Ｘ方向移動量検出器１０
及びＹ方向移動量検出器１１から出力される移動
量に対応づけて、減算する減算装置である。
１２３は、この移動テーブルずれ量設定装置１
２１への設定動作、減算装置１２２の動作、及び
Ｘ，Ｙドライバー８，９の動作を制御する制御装
置である。
２１への設定動作、減算装置１２２の動作、及び
Ｘ，Ｙドライバー８，９の動作を制御する制御装
置である。
上記の如く表面状測定装置は構成されているの
で、被測定物Ｗを基台１上に据え付け、Ｘ方向移
動テーブル２及びＹ方向移動テーブル４によつ
て、基台１をＸ―Ｙ平面で移動しつつ、光センサ
６の光源６１の光ビームを被測定物Ｗの表面に照
射する。受光素子６４からは信号i1，i2が出力さ
れ、演算器６５は信号i1，i2を受領して被測定物
Ｗの表面のＺ方向の高さZ1を演算する。
で、被測定物Ｗを基台１上に据え付け、Ｘ方向移
動テーブル２及びＹ方向移動テーブル４によつ
て、基台１をＸ―Ｙ平面で移動しつつ、光センサ
６の光源６１の光ビームを被測定物Ｗの表面に照
射する。受光素子６４からは信号i1，i2が出力さ
れ、演算器６５は信号i1，i2を受領して被測定物
Ｗの表面のＺ方向の高さZ1を演算する。
この高さZ1及びＸ，Ｙ方向の移動量Ｘ，Ｙは減
算装置１２２へ出力される。
算装置１２２へ出力される。
制御装置１２３に制御されて、移動テーブルず
れ量設定装置１２１に設定されたＸ―Ｙ平面の位
置に対応したずれ量が、光センサ６の出力Z1から
減算される。この結果、Ｘ、および、Ｙ方向移動
テーブルの真直度誤差がキヤンセルされ、超高精
度の移動テーブルを用いたのと同じく、高精度の
形状測定ができる。
れ量設定装置１２１に設定されたＸ―Ｙ平面の位
置に対応したずれ量が、光センサ６の出力Z1から
減算される。この結果、Ｘ、および、Ｙ方向移動
テーブルの真直度誤差がキヤンセルされ、超高精
度の移動テーブルを用いたのと同じく、高精度の
形状測定ができる。
第６，７図は、前記光センサ６がＺ方向移動テ
ーブル１３上をモータ１４によつてＸ―Ｙ平面と
直交するＺ軸方向に移動可能に設置された場合を
示している。このＺ方向移動テーブル１３による
光センサ６のＺ方向移動量Ｚは、周波数安定化さ
れていないHe―Neレーザを使用した干渉測長器
から成るＺ方向移動量検出器１５によつて行なわ
れる。
ーブル１３上をモータ１４によつてＸ―Ｙ平面と
直交するＺ軸方向に移動可能に設置された場合を
示している。このＺ方向移動テーブル１３による
光センサ６のＺ方向移動量Ｚは、周波数安定化さ
れていないHe―Neレーザを使用した干渉測長器
から成るＺ方向移動量検出器１５によつて行なわ
れる。
第７図の信号処理器１２は第８図の如く構成さ
れている。
れている。
第８図において、１２１は、前に説明した移動
テーブルずれ量設定装置である。
テーブルずれ量設定装置である。
１２５は、光センサ６からの高さ信号が零に近
づく方向に、前記Ｚ方向移動テーブル１３を移動
させる制御信号を出力するＺ方向移動制御装置で
ある。
づく方向に、前記Ｚ方向移動テーブル１３を移動
させる制御信号を出力するＺ方向移動制御装置で
ある。
１２６は、光センサ６からの高さ信号とＺ方向
移動量検出器１５からの移動量とを加算すると共
に、移動テーブルずれ量設定装置１２１に記憶さ
れたずれ量を補正する加算装置である。
移動量検出器１５からの移動量とを加算すると共
に、移動テーブルずれ量設定装置１２１に記憶さ
れたずれ量を補正する加算装置である。
１２７はこれらの各動作を制御する制御装置で
ある。
ある。
このように構成されているので、被測定物体の
Ｘ―Ｙ方向への移動によつて表面の高さが変化す
ると、光センサ６の高さ信号Z1がゼロに近づくよ
うにＺドライバー１６へ制御信号が出力される。
この結果、光センサ６は表面の凹凸に追随する方
向へＺテーブル１３によつて移動される。（この
ため、第４図の受光素子６４の受光面６４ａの中
心線l0近傍に常に反射光点のＱが近づくようにさ
れる。） この時のＺ検出器１５からのＺ方向移動量と光
センサ６からの高さとが加算装置１２６で加算さ
れ、さらに、移動テーブルずれ量設定装置１２１
に記憶されたずれ量を補正する。
Ｘ―Ｙ方向への移動によつて表面の高さが変化す
ると、光センサ６の高さ信号Z1がゼロに近づくよ
うにＺドライバー１６へ制御信号が出力される。
この結果、光センサ６は表面の凹凸に追随する方
向へＺテーブル１３によつて移動される。（この
ため、第４図の受光素子６４の受光面６４ａの中
心線l0近傍に常に反射光点のＱが近づくようにさ
れる。） この時のＺ検出器１５からのＺ方向移動量と光
センサ６からの高さとが加算装置１２６で加算さ
れ、さらに、移動テーブルずれ量設定装置１２１
に記憶されたずれ量を補正する。
従つて、凹凸に対する追随が完全に一致しなく
ても、この加算によつて、正確に測定されるか
ら、極めて高精度に測定でき、また、このように
加算で補なうから高速測定が可能となる。しか
も、表面の凹凸の変化量が大きくても、常にPIN
ダイオードの中央l0近くへ光像を近づけるように
制御しているから、測定範囲からはみだすことが
ないため、測定範囲も著しく拡大する。
ても、この加算によつて、正確に測定されるか
ら、極めて高精度に測定でき、また、このように
加算で補なうから高速測定が可能となる。しか
も、表面の凹凸の変化量が大きくても、常にPIN
ダイオードの中央l0近くへ光像を近づけるように
制御しているから、測定範囲からはみだすことが
ないため、測定範囲も著しく拡大する。
なお、被測定物を基台１に固定した場合、その
鉛直固定位置から、ずれる場合がある。
鉛直固定位置から、ずれる場合がある。
このため、信号処理器１２で被測定物Ｗの表面
の三点のＺ方向の高さを光センサ６の出力によつ
て記憶し、この三点のＺ方向の高さが等しい値と
なるように被測定物Ｗを仮想的に微小回転させ、
他の任意の点のＺ方向高さを演算出力するように
構成すれば、被測定面の形状が明瞭になる。
の三点のＺ方向の高さを光センサ６の出力によつ
て記憶し、この三点のＺ方向の高さが等しい値と
なるように被測定物Ｗを仮想的に微小回転させ、
他の任意の点のＺ方向高さを演算出力するように
構成すれば、被測定面の形状が明瞭になる。
なお、Ｚ方向の高さからＺ方向の等高線の位置
を出力するように構成することもできる。
を出力するように構成することもできる。
＜本発明の効果＞
以上説明したように本発明では、極めて高精度
に、高速に、微小なオーダーでの表面形状の測定
が可能となる。
に、高速に、微小なオーダーでの表面形状の測定
が可能となる。
また、Ｘ―Ｙ方向移動テーブルの蛇行によりＺ
方向にずれが生じ真の形状測定に誤差を与える。
テーブルのずれ量をオプテイカルフラツトを用い
て計測記憶し、これを補正テーブルとして差引演
算することにより高精度測定を実現でき、しかも
安価である。
方向にずれが生じ真の形状測定に誤差を与える。
テーブルのずれ量をオプテイカルフラツトを用い
て計測記憶し、これを補正テーブルとして差引演
算することにより高精度測定を実現でき、しかも
安価である。
第１図は本発明の一実施例の表面形状測定装置
の機構部を示す斜視図、第２図はその回路部のブ
ロツク図、第３図は光センサによる測定原理を示
す図、第４図は受光素子の一例を示す説明図、第
５図は第２図の信号処理器の具体的構成を示すブ
ロツク図である。第６図は本発明の他の実施例を
示す斜視図、第７図はその回路部のブロツク図、
第８図はその信号処理部の具体的構成を示すブロ
ツク図である。 Ｗ……被測定物、１……基台、２……Ｘ方向移
動テーブル、４……Ｙ方向移動テーブル、６……
光センサ、１０……Ｘ方向移動量検出器、１１…
…Ｙ方向移動量検出器、１２……信号処理器、１
３……Ｚ方向移動テーブル、１５……Ｚ方向移動
量検出器。
の機構部を示す斜視図、第２図はその回路部のブ
ロツク図、第３図は光センサによる測定原理を示
す図、第４図は受光素子の一例を示す説明図、第
５図は第２図の信号処理器の具体的構成を示すブ
ロツク図である。第６図は本発明の他の実施例を
示す斜視図、第７図はその回路部のブロツク図、
第８図はその信号処理部の具体的構成を示すブロ
ツク図である。 Ｗ……被測定物、１……基台、２……Ｘ方向移
動テーブル、４……Ｙ方向移動テーブル、６……
光センサ、１０……Ｘ方向移動量検出器、１１…
…Ｙ方向移動量検出器、１２……信号処理器、１
３……Ｚ方向移動テーブル、１５……Ｚ方向移動
量検出器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 被測定物をＸ方向に移動させるＸ方向移動テ
ーブルと、 前記Ｘ方向移動テーブルの移動量を検出するＸ
方向移動量検出器と、 被測定物を前記Ｘ方向と直交するＹ方向に移動
させるＹ方向移動テーブルと、 前記Ｙ方向移動テーブルの移動量を検出するＹ
方向移動量検出器と、 被測定物表面に光ビームを照射し、その反射光
点の位置を検出することによつて、被測定物表面
の高さ信号を出力する光センサと、 被測定物をオプテイカルフラツトとした場合に
おける前記Ｘ方向移動量検出器及びＹ方向移動量
検出器から出力される移動量に対応づけて、前記
光センサから出力される高さ信号が予め記憶設定
された移動テーブルずれ量設定装置と、 前記光センサからの高さ信号から、前記移動テ
ーブルずれ量設定装置に設定されたずれ量を、前
記Ｘ方向移動量検出器及びＹ方向移動量検出器か
ら出力される移動量に対応づけて、減算する減算
装置と を備えた表面形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14489181A JPS5847209A (ja) | 1981-09-15 | 1981-09-15 | 表面形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14489181A JPS5847209A (ja) | 1981-09-15 | 1981-09-15 | 表面形状測定装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63246450A Division JPH0726824B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | 表面形状測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5847209A JPS5847209A (ja) | 1983-03-18 |
| JPH0123041B2 true JPH0123041B2 (ja) | 1989-04-28 |
Family
ID=15372750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14489181A Granted JPS5847209A (ja) | 1981-09-15 | 1981-09-15 | 表面形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5847209A (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60200109A (ja) * | 1984-03-24 | 1985-10-09 | Kanto Jidosha Kogyo Kk | 三次元形状の自動測定方法 |
| JPS62235511A (ja) * | 1986-03-11 | 1987-10-15 | Kobe Steel Ltd | 表面状態検査装置 |
| JPS63163107A (ja) * | 1986-12-25 | 1988-07-06 | Toshiba Corp | 非接触式真直度測定装置 |
| JPS63191011A (ja) * | 1987-02-03 | 1988-08-08 | Mitsubishi Metal Corp | 光学式表面粗さ測定装置 |
| JP2541966B2 (ja) * | 1987-03-13 | 1996-10-09 | キヤノン株式会社 | 面形状測定装置 |
| JPH0797021B2 (ja) * | 1989-10-20 | 1995-10-18 | 株式会社豊田中央研究所 | ３次元形状計測装置 |
| JPH0769151B2 (ja) * | 1990-03-15 | 1995-07-26 | アンリツ株式会社 | 表面形状測定装置 |
| JPH0769152B2 (ja) * | 1990-03-20 | 1995-07-26 | アンリツ株式会社 | 形状測定装置 |
| JP2002365026A (ja) * | 2001-06-07 | 2002-12-18 | Sigma Technos Kk | 基板検査装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51124944A (en) * | 1975-04-25 | 1976-10-30 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Device to detect a tangent line of contour line on a three dimentional object |
-
1981
- 1981-09-15 JP JP14489181A patent/JPS5847209A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51124944A (en) * | 1975-04-25 | 1976-10-30 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Device to detect a tangent line of contour line on a three dimentional object |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5847209A (ja) | 1983-03-18 |
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