JPS62103545A - 鮮映性測定方法 - Google Patents
鮮映性測定方法Info
- Publication number
- JPS62103545A JPS62103545A JP24362185A JP24362185A JPS62103545A JP S62103545 A JPS62103545 A JP S62103545A JP 24362185 A JP24362185 A JP 24362185A JP 24362185 A JP24362185 A JP 24362185A JP S62103545 A JPS62103545 A JP S62103545A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slit
- line sensor
- measured
- reflected
- lights
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、車体パネル等の塗装面、ガラス。
プラスチック、ゴム等の表面の写像鮮映性を測定する方
法に関する。
法に関する。
従来、上記のような各種試料の表面(以下「被測定面」
という)の鮮映性を測定する方法としては、一般に視力
検査に使用されるような順次大きさの異なる多数の文字
等が配列して印刷されたパネルを被測定面に対向させ、
そこに写った文字等を検査員が目視して、どの大きさの
文字等まで判読できるかによって鮮映性を判断する方法
がとられていた。
という)の鮮映性を測定する方法としては、一般に視力
検査に使用されるような順次大きさの異なる多数の文字
等が配列して印刷されたパネルを被測定面に対向させ、
そこに写った文字等を検査員が目視して、どの大きさの
文字等まで判読できるかによって鮮映性を判断する方法
がとられていた。
しかしながら、上述のような測定方法では、検査時の照
度、試料の色、検査パネルと試料と検査員の目の位置関
係、検査員の視力や疲労度など、各種の条件によって測
定結果が異なってしまい、極めて大まかな判定しかでき
ないという問題点があった。
度、試料の色、検査パネルと試料と検査員の目の位置関
係、検査員の視力や疲労度など、各種の条件によって測
定結果が異なってしまい、極めて大まかな判定しかでき
ないという問題点があった。
また、各種の検査が自動化される傾向にあり、鮮映性の
測定も自動化したいという要求がある。
測定も自動化したいという要求がある。
この発明は、このような問題を解決して、上述のような
測定条件の影響を受けずに常に高精度で被測定面の鮮映
性を測定でき、しかも自動化も容易な鮮映性測定方法を
提供することを目的とする。
測定条件の影響を受けずに常に高精度で被測定面の鮮映
性を測定でき、しかも自動化も容易な鮮映性測定方法を
提供することを目的とする。
そのため、この発明による鮮映性測定方法は。
スリット光源から被測定面に一定間隔で平行する一対の
スリット光を投射して、その各反射スリット光を該各ス
リット光と検出ラインが直交するように配置したライン
センサによって検出しながら。
スリット光を投射して、その各反射スリット光を該各ス
リット光と検出ラインが直交するように配置したライン
センサによって検出しながら。
前記スリット光源と被測定面とラインセンサのうちのい
ずれかを前記スリット光のスリット方向へ相対的に移動
させ、その間に前記ラインセンサによって検出される一
対の反射スリット光の検出位置間隔の変動量によって前
記被測定面の鮮映性を示すデータを得る。
ずれかを前記スリット光のスリット方向へ相対的に移動
させ、その間に前記ラインセンサによって検出される一
対の反射スリット光の検出位置間隔の変動量によって前
記被測定面の鮮映性を示すデータを得る。
被測定面に一定間隔で平行する一対スリット光を投射し
て反射させると、被測定面の細かい凹凸等によって各反
射スリット光がそれぞれスリット幅方向に若干振られて
ランダムなうねりを生じる。
て反射させると、被測定面の細かい凹凸等によって各反
射スリット光がそれぞれスリット幅方向に若干振られて
ランダムなうねりを生じる。
したがって、この各反射スリット光を検出ラインがそれ
と直交するように配置したラインセンサによって検出し
ながら、スリット光源と被測定面とラインセンサのうち
のいずれかをスリット光のスリット方向へ移動させると
、ラインセンサによる一対の反射スリット光の検出位置
の間隔が上記うねりによって変動する。
と直交するように配置したラインセンサによって検出し
ながら、スリット光源と被測定面とラインセンサのうち
のいずれかをスリット光のスリット方向へ移動させると
、ラインセンサによる一対の反射スリット光の検出位置
の間隔が上記うねりによって変動する。
この変動量が、被測定面の鮮映性の度合と極めてよく対
応することが実験により確認されたので、これを鮮映性
を示すデータとする。
応することが実験により確認されたので、これを鮮映性
を示すデータとする。
以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第1図は、この発明の一実施例を示す鮮映性測定装置の
概略構成図である。
概略構成図である。
この装置は、測定器1とロボット等の走査装置2と制御
盤3とからなり、測定器1から試料4の被測定面4aに
一定間隔で平行な一対のスリット光Lsl 、Ls2を
投射して、その反射光L s 1 ’L s 2 ’
を後述するラインセンサで検出しながら。
盤3とからなり、測定器1から試料4の被測定面4aに
一定間隔で平行な一対のスリット光Lsl 、Ls2を
投射して、その反射光L s 1 ’L s 2 ’
を後述するラインセンサで検出しながら。
走査袋@2によってこの測定器1をスリット光Lsl、
Ls2のスリット方向である矢示A方向へ平行移動させ
、その間の検出信号を制御盤3内で処理して、その結果
による鮮映性を示すデータを表示部3aに表示するよう
になっている。
Ls2のスリット方向である矢示A方向へ平行移動させ
、その間の検出信号を制御盤3内で処理して、その結果
による鮮映性を示すデータを表示部3aに表示するよう
になっている。
なお、制御盤3は、測定器1内の光源及びラインセンサ
の制御と走査装置!2の制御も行なう。
の制御と走査装置!2の制御も行なう。
第2図及び第3図は、第1図の測定器1内に設けられる
スリット光源とラインセンサの配置を試料との関係も含
めて示す配置図である。
スリット光源とラインセンサの配置を試料との関係も含
めて示す配置図である。
スリット光源10は、平行ビーム光を発生するレーザ発
振管等による一対の光源5a、5bと、一対の球面レン
ズ6a、 6bと、それぞれスリットa、bを有する一
対のスリット板7a、7bと。
振管等による一対の光源5a、5bと、一対の球面レン
ズ6a、 6bと、それぞれスリットa、bを有する一
対のスリット板7a、7bと。
共通のシリンドリカルレンズ8とから構成され、第3図
に明示されるように、一定間隔dで互いに平行する一対
(2本)のスリット光Lsl 、Ls2を形成して、そ
れをそれぞれ試料4の被測定面4aに垂直な面内で所定
の入射角度で投射する。
に明示されるように、一定間隔dで互いに平行する一対
(2本)のスリット光Lsl 、Ls2を形成して、そ
れをそれぞれ試料4の被測定面4aに垂直な面内で所定
の入射角度で投射する。
一方、この一対のスリット光Ls1.Ls2が被測定面
4aでそれぞれ反射された反射スリット光Lsl ’
、Ls2’を受光し得る位置に、検出ライン9aがその
スリット光Ls1’ 、Ls2’と直交するようにライ
ンセンサSを配置している。
4aでそれぞれ反射された反射スリット光Lsl ’
、Ls2’を受光し得る位置に、検出ライン9aがその
スリット光Ls1’ 、Ls2’と直交するようにライ
ンセンサSを配置している。
このラインセンサSとしては、フォトダイオード・アレ
イあるいはCODラインセンサ等を用いる。
イあるいはCODラインセンサ等を用いる。
第4図に、第1図の制御盤3内の構成をこの測定器1の
構成と共に示す。
構成と共に示す。
制御盤3内には、ラインセンサ9から出力されるビデオ
信号を二値化する二値化回路11と、順次入力する各ビ
ットの二値化ビデオ信号のパルス間隔をカウントする位
置カウンタ12と、その検出結果を演算処理するための
CPU、RAM、ROM及びI10ポートを備えたマイ
クロコンピュータ13と、このマイクロコンピュータ1
3からの出力データを表示部3aにデジタル表示するた
めの表示回路14等が設けられている。
信号を二値化する二値化回路11と、順次入力する各ビ
ットの二値化ビデオ信号のパルス間隔をカウントする位
置カウンタ12と、その検出結果を演算処理するための
CPU、RAM、ROM及びI10ポートを備えたマイ
クロコンピュータ13と、このマイクロコンピュータ1
3からの出力データを表示部3aにデジタル表示するた
めの表示回路14等が設けられている。
なお、電源回路、クロックパルス発生回路、ラインセン
サ駆動回路、及びキー入力回路等も設けられているが、
それらは図示を省略している。
サ駆動回路、及びキー入力回路等も設けられているが、
それらは図示を省略している。
マイクロコンピュータ13は、測定器1内の光源用電源
15を制御して測定開始時又はその前に光源5a、5b
を点灯させ、スリット光源10によって一対のスリット
光Lsl 、Li2を発生させる。
15を制御して測定開始時又はその前に光源5a、5b
を点灯させ、スリット光源10によって一対のスリット
光Lsl 、Li2を発生させる。
そして、その一対のスリット光Lsl 、Li2を試料
4の被測定面4aに投射して、その反射スリット光Ls
1’@Ls2’ をラインセンサ9に受光させ、このラ
インセンサSから各ビットの受光量に応じたビデオ信号
を順次読み出すと、第5図(a)に示すように反射スリ
ット光LSI’sL s 2 ’ を受光した位置Cビ
ット)でそれぞれピークとなるビデオ信号Vsが出力さ
れる。
4の被測定面4aに投射して、その反射スリット光Ls
1’@Ls2’ をラインセンサ9に受光させ、このラ
インセンサSから各ビットの受光量に応じたビデオ信号
を順次読み出すと、第5図(a)に示すように反射スリ
ット光LSI’sL s 2 ’ を受光した位置Cビ
ット)でそれぞれピークとなるビデオ信号Vsが出力さ
れる。
このビデオ信号Vsを二値化回路11に入力して、所定
レベルの比較信号Vrと比較し、V s >Vrの時に
のみハイレベル゛H″となり、それ以外ではローレベル
゛L“どなるように二値化して、第5図(b)に示すよ
うな二値化信号Dvを出力する。
レベルの比較信号Vrと比較し、V s >Vrの時に
のみハイレベル゛H″となり、それ以外ではローレベル
゛L“どなるように二値化して、第5図(b)に示すよ
うな二値化信号Dvを出力する。
位置カウンタ12は、この二値化信号Dvを各ビット毎
にカウントして、最初にH“になってからL“に戻るま
でのカウント値T1.その後再びH”になるまでのカウ
ント値T2、及びその後−1”に戻るまでのカウント値
T3 (第S図(b)参照)を出力する。
にカウントして、最初にH“になってからL“に戻るま
でのカウント値T1.その後再びH”になるまでのカウ
ント値T2、及びその後−1”に戻るまでのカウント値
T3 (第S図(b)参照)を出力する。
次に、第4図のマイクロコンピュータ13による処理動
作について、第6図のフローチャート及び第7図、第8
図も参照して説明する。
作について、第6図のフローチャート及び第7図、第8
図も参照して説明する。
先ず、第6図のステップ■で、前述の位置カウンタ12
によるカウント値TI 、”r2.T3を読込み、ステ
ップ■で P:T2 +(TI +T3 )/ 2の演
算を行なって、第5図(a)に示すビデオ信号Vsの2
つのピーク点の間隔に相当するデータ。
によるカウント値TI 、”r2.T3を読込み、ステ
ップ■で P:T2 +(TI +T3 )/ 2の演
算を行なって、第5図(a)に示すビデオ信号Vsの2
つのピーク点の間隔に相当するデータ。
すなわちラインセンサSによる一対の反射スリット光の
検出位置間隔を示すデータPを求めてそれを記憶する。
検出位置間隔を示すデータPを求めてそれを記憶する。
次に、ステップ■で記憶したデータPが所要数N個にな
ったかどうかを判断し、N個になっていなければ、ステ
ップ■で走査装置2に起動信号を出力して、測定器1を
第1図の矢示A方向へ1ピツチ移動させる。
ったかどうかを判断し、N個になっていなければ、ステ
ップ■で走査装置2に起動信号を出力して、測定器1を
第1図の矢示A方向へ1ピツチ移動させる。
そして、再びステップ■で新たなカウント値T、、”r
2.’r3を読込んで、ステップ2でデータPを求めて
記憶する。このステップ■〜■の動作をデータPの記憶
数がN個になるまで繰返し、N個になるとステップ■へ
進む。
2.’r3を読込んで、ステップ2でデータPを求めて
記憶する。このステップ■〜■の動作をデータPの記憶
数がN個になるまで繰返し、N個になるとステップ■へ
進む。
反射スリット光Ls1 ’ 、Li2 ’は、被測定面
4aの凹凸等によって若干偏向されて、第3図及び第4
図に示したようにそれぞれ不規則な「うねり」を生ずる
。また、測定器1と被測定面4aとの相対位置が変化す
ると、ラインセンサSによって受光される部分の各スリ
ット光の反射位置が変化する。
4aの凹凸等によって若干偏向されて、第3図及び第4
図に示したようにそれぞれ不規則な「うねり」を生ずる
。また、測定器1と被測定面4aとの相対位置が変化す
ると、ラインセンサSによって受光される部分の各スリ
ット光の反射位置が変化する。
そのため、ラインセンサSによって検出されるビデオ信
号Vsの2つのピーク位置が不規則に偏位し、ステップ
■で算出する各回毎のピーク位置間隔を示すデータPの
値も第7図(a)に示すようにそれぞれ若干具なる。
号Vsの2つのピーク位置が不規則に偏位し、ステップ
■で算出する各回毎のピーク位置間隔を示すデータPの
値も第7図(a)に示すようにそれぞれ若干具なる。
そこで、ステップ■では、ある回のデータPをPiとす
ると、その前後M/2個づつ(合計M個)のデータを平
均して平均値Pi゛を算出する。但し、記憶したN個の
データのうち最初からM/2個と最後からM/2個(合
計M個)のデータについては。
ると、その前後M/2個づつ(合計M個)のデータを平
均して平均値Pi゛を算出する。但し、記憶したN個の
データのうち最初からM/2個と最後からM/2個(合
計M個)のデータについては。
前後M/2個づつの平均値算出用データがとれないので
、N−M個のデータPiについて平均値Piを算出する
。
、N−M個のデータPiについて平均値Piを算出する
。
次に、ステップ■で第7図(b)に示すようにN−M個
の各データPi毎の平均値に対する変動量(偏差)ΔP
iを、Δpi=Pi Piの演算を行なって求める。
の各データPi毎の平均値に対する変動量(偏差)ΔP
iを、Δpi=Pi Piの演算を行なって求める。
そして、ステップ■で
ty = X A P i ” /(N−M) (D
演算ヲ行ナッテ二乗平均値σを求める。
演算ヲ行ナッテ二乗平均値σを求める。
このσの値が、第8図に示すように従来から用いられて
いる鮮映度の値と極めてよく対応しているので、このσ
の値をそのまま表示部3aに表示するようにしてもよく
、その場合にはその表示値が小さい程鮮映性が良く、大
きい程鮮映性が悪いことを示す。
いる鮮映度の値と極めてよく対応しているので、このσ
の値をそのまま表示部3aに表示するようにしてもよく
、その場合にはその表示値が小さい程鮮映性が良く、大
きい程鮮映性が悪いことを示す。
この実施例では、予め第8図に示すような鮮映度変換テ
ーブルを格納しておいて、ステップ■でそのテーブルに
よってσを鮮映度に変換した数値を表示部3aに表示す
るようにしている。
ーブルを格納しておいて、ステップ■でそのテーブルに
よってσを鮮映度に変換した数値を表示部3aに表示す
るようにしている。
なお、この実施例によれば、上述のようにラインセンサ
による一対の反射スリット光の検出位置間隔の変動量に
よって鮮映性を示すデータを得るようにし、且つ各デー
タPiの変動量(偏差)ΔPiを、各データの前後所定
個づつのデータの平均値との差によって求めるようにし
たので、m定器1と試料4との相対的な傾き等によって
1反射スリット光の検出位置が全体的に変化したような
場合にもその影響を受けることなく、常に精度の良い鮮
映性測定ができる。
による一対の反射スリット光の検出位置間隔の変動量に
よって鮮映性を示すデータを得るようにし、且つ各デー
タPiの変動量(偏差)ΔPiを、各データの前後所定
個づつのデータの平均値との差によって求めるようにし
たので、m定器1と試料4との相対的な傾き等によって
1反射スリット光の検出位置が全体的に変化したような
場合にもその影響を受けることなく、常に精度の良い鮮
映性測定ができる。
また、この実施例では試料4を固定して測定器1を移動
させるようにしたが、測定器1を固定して試料4をスリ
ット光のスリット方向に移動させるようにしてもよいし
、測定器1内のスリット光源10又はラインセンサ9を
スリット光のスリット方向に移動させるようにしてもよ
い。
させるようにしたが、測定器1を固定して試料4をスリ
ット光のスリット方向に移動させるようにしてもよいし
、測定器1内のスリット光源10又はラインセンサ9を
スリット光のスリット方向に移動させるようにしてもよ
い。
要するに、スリット光源10と被測定面4aとラインセ
ンサ9のうちのいずれかを、スリット光のスリット方向
(長手方向)へ相対的に移動させながら上述の測定を行
なえばよいのである。
ンサ9のうちのいずれかを、スリット光のスリット方向
(長手方向)へ相対的に移動させながら上述の測定を行
なえばよいのである。
以上説明してきたように、この発明による鮮映性測定方
法は、被測定面に一対の平行なスリット光を投射した時
に、その被測定面の凸凹などによって各反射スリット光
が部分的に若干偏向されて生ずる「うねり」を1両反射
スリット光をそれに直交する方向に配置したうインセン
サで検出した時の検出点間隔の変動量によって検出して
、その変動量から被測定面の鮮映性を示すデータを得る
ようにしたので、測定条件の影響をほとんど受けずに、
常に高精度で自動的に鮮映性の測定を行なうことができ
る。
法は、被測定面に一対の平行なスリット光を投射した時
に、その被測定面の凸凹などによって各反射スリット光
が部分的に若干偏向されて生ずる「うねり」を1両反射
スリット光をそれに直交する方向に配置したうインセン
サで検出した時の検出点間隔の変動量によって検出して
、その変動量から被測定面の鮮映性を示すデータを得る
ようにしたので、測定条件の影響をほとんど受けずに、
常に高精度で自動的に鮮映性の測定を行なうことができ
る。
第1図はこの発明の一実施例を示す鮮映性測定装置の概
略構成図、 第2図は第1図の測定器1内に設けられるスリット光源
とラインセンサの配置を試料との関係も含めて示す配置
図、 第3図は同じくその斜視配置図、 第4図は制御盤3の内部構成を測定器1と共に示すブロ
ック構成図、 第5図はラインセンサSから出力されるビデオ信号波形
及びその二値化信号波形を示す波形図、 第6図は第4図のマイクロコンピュータ13が実行する
処理動作のフロー図、 第7図はマイクロコンピュータ13によるデータPの平
均値百及び変動量ΔPの算出方法及び算出結果を示す説
明図、 第8図は演算によって求めた二乗平均値σと鮮映度との
関係を示すS図である。 1・・・測定器 2・・・走査装置 3・・・
制御盤3a・・・表示部 4・・・試料 4a・
・・被測定面S・・・ラインセンサ 10・・・スリ
ット光源13°・・マイクロコンピュータ 第1図 第2図 4臥軒 第3図 qα 第7図 第5図 第8図 第6図 5TART ■“1′・0゜ 読込み 測定器を ■Ieyf@よ ■P−T2 □ ■ NONデータ es ■ ”酊−′ 均Pi ■ ΣΔp12 ■ □ −M グ鮮映度 ・′8) 変換テーブル 手続補正書(自発) 昭和61年1月21日 特許庁長官 宇 賀 道 部 殿 1、事件の表示 特願昭60−243621号 2、発明の名称 鮮映性測定方法 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 神奈川県横浜市神奈用区宝町2番地 (399)日産自動車株式会社 4、代理人 東京都豊島区東池袋1丁目20番地5 5、補正の対象
略構成図、 第2図は第1図の測定器1内に設けられるスリット光源
とラインセンサの配置を試料との関係も含めて示す配置
図、 第3図は同じくその斜視配置図、 第4図は制御盤3の内部構成を測定器1と共に示すブロ
ック構成図、 第5図はラインセンサSから出力されるビデオ信号波形
及びその二値化信号波形を示す波形図、 第6図は第4図のマイクロコンピュータ13が実行する
処理動作のフロー図、 第7図はマイクロコンピュータ13によるデータPの平
均値百及び変動量ΔPの算出方法及び算出結果を示す説
明図、 第8図は演算によって求めた二乗平均値σと鮮映度との
関係を示すS図である。 1・・・測定器 2・・・走査装置 3・・・
制御盤3a・・・表示部 4・・・試料 4a・
・・被測定面S・・・ラインセンサ 10・・・スリ
ット光源13°・・マイクロコンピュータ 第1図 第2図 4臥軒 第3図 qα 第7図 第5図 第8図 第6図 5TART ■“1′・0゜ 読込み 測定器を ■Ieyf@よ ■P−T2 □ ■ NONデータ es ■ ”酊−′ 均Pi ■ ΣΔp12 ■ □ −M グ鮮映度 ・′8) 変換テーブル 手続補正書(自発) 昭和61年1月21日 特許庁長官 宇 賀 道 部 殿 1、事件の表示 特願昭60−243621号 2、発明の名称 鮮映性測定方法 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 神奈川県横浜市神奈用区宝町2番地 (399)日産自動車株式会社 4、代理人 東京都豊島区東池袋1丁目20番地5 5、補正の対象
Claims (1)
- 1 スリット光源から被測定面に一定間隔で平行する一
対のスリット光を投射して、その各反射スリット光を該
各スリット光と検出ラインが直交するように配置したラ
インセンサによって検出しながら、前記スリット光源と
被測定面とラインセンサのうちのいずれかを前記スリッ
ト光のスリット方向へ相対的に移動させ、その間に前記
ラインセンサによって検出される一対の反射スリット光
の検出位置間隔の変動量によって前記被測定面の鮮映性
を示すデータを得ることを特徴とする鮮映性測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24362185A JPS62103545A (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 | 鮮映性測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24362185A JPS62103545A (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 | 鮮映性測定方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62103545A true JPS62103545A (ja) | 1987-05-14 |
Family
ID=17106544
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24362185A Pending JPS62103545A (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 | 鮮映性測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62103545A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5092676A (en) * | 1989-04-13 | 1992-03-03 | Nissan Motor Co., Ltd. | Method and system for evaluating gloss and brightness character of coated paint film |
US5141320A (en) * | 1989-04-13 | 1992-08-25 | Nissan Motor Co., Ltd. | Method and system for evaluating gloss and brightness character of coated paint film |
JP2009294061A (ja) * | 2008-06-05 | 2009-12-17 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板検査装置 |
-
1985
- 1985-10-30 JP JP24362185A patent/JPS62103545A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5092676A (en) * | 1989-04-13 | 1992-03-03 | Nissan Motor Co., Ltd. | Method and system for evaluating gloss and brightness character of coated paint film |
US5141320A (en) * | 1989-04-13 | 1992-08-25 | Nissan Motor Co., Ltd. | Method and system for evaluating gloss and brightness character of coated paint film |
JP2009294061A (ja) * | 2008-06-05 | 2009-12-17 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板検査装置 |
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