JPS60185108A - 物体を無接触測定する方法および装置 - Google Patents

物体を無接触測定する方法および装置

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JPS60185108A
JPS60185108A JP59248258A JP24825884A JPS60185108A JP S60185108 A JPS60185108 A JP S60185108A JP 59248258 A JP59248258 A JP 59248258A JP 24825884 A JP24825884 A JP 24825884A JP S60185108 A JPS60185108 A JP S60185108A
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light spot
camera
detector
axis
projection
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Application number
JP59248258A
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English (en)
Inventor
ゲルト・フエラノ
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Carl Zeiss AG
Original Assignee
Carl Zeiss AG
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/02Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
    • G01S17/06Systems determining position data of a target
    • G01S17/46Indirect determination of position data
    • G01S17/48Active triangulation systems, i.e. using the transmission and reflection of electromagnetic waves other than radio waves
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 たとえば粘土またはワックス模型のような傷つきやすい
表面を有する工作物を測定する場合、多座標軸測定機械
の常用の機械的走査ヘッドは測定物体表面が走査ピンに
よってスフチッチされ、または変形するので、容易に使
用することができない。この測定目的には無接触に作業
する走査法がもつともよ(適する。
従来の技術: たとえば西独公開特許公報第2903529号および第
2115522号圀より多くは点状の光点を表面法線に
対しある角度のもとて物体へ投映し、投映光路に対し傾
斜した結像光学系−により光点の像を位置に感する光電
検知器−ににつくることによって物体を測定する方法が
公知である。光点の像のflMから次に6角法によって
工作物の照明された点までの距離が決定される。この方
法を実施するためさらに投映機および結像系をしばしば
光学走査ヘッドと称される1つの構造ユニットに形成す
ることは公知である。物体を測定するためこの走査ヘッ
ドは適当な案内系によって物体上を動かされる。
しかしこの方法によれば物体距離は物体表面が走査ヘッ
ドの軸と形成する角度が変化しない場合または投映した
光点の像がつねに検知器の中心に現れるように走査ヘッ
ドを工作物に追跡案内する場合にしか誤差なくめること
ができない。他の場合中心位置からの光点のずれが物体
距離のみならず、物体面と投映軸の角度にも依存するの
で、測定誤差が発生する。しかし走査ヘッドの物体幅か
くに沿う連続的追跡案内は高い制御費用を必要とし、さ
らに加速される質量のため測定精度が制限される。
発明が解決しようとする問題点: 本発明の目的は物体表面の傾斜に基く測定誤差を除去し
つる特許請求の範囲第1項の上位概念記載の測定方法を
得ることである。
問題点を解決するだめの手段: この目的は特if’l−請求の範囲第1項の特徴部に記
載のように光点の形または大きさの所定標準値からの偏
差を利加的にめ、これから走査した物体表面の投映また
は結像光学系の軸に対する傾斜を決定することによって
解決されろ。
作用: この手段の技術水車に比する利点は同じ測定精度で測定
速度の上昇を達成しうろことにある。
というのは物体面の傾斜を正確に制御する必要なしvc
、mu定定結へ含めうるかもである。さらにめた傾斜は
伺Ull的測定値と(2て各走査過程で利用できるけれ
ど、技術水準によれば間接的に多数の距離測定からめな
ければならなかった。
光点の像の形または大きさを決定するため、有利にテレ
ビ画像解析のための公知の一部ビデオによる方法な使用
することができる。したがって検知器としてテレビカメ
ラを使用するのが有利である。この場合常用の撮像管カ
メラおよびたとえば2次元的CCDアレイを含むいわゆ
る半導体カメラである。
光点の大きさを決定するため面積測定を実施するのは物
体表面の不規則性が測定されるので、とくに有利である
本発明の有利な実施例は特許請求の範囲第2〜4項およ
び6〜10項に記載される。
実施例: 第1図に示す装置は主としてテレビカメラ1および支持
器14を介してカメラボデー1と固定的に結合する投映
機2かうなり、この投映機の投映軸はカメラ1の観測方
向に対し傾斜配K(される。
カメラ1および投映機2かもなる構造ユニットは多I/
+!標軸測定機械のすべての空間方向に動eうろアーム
9に固定される。このユニットは固定機構15.17を
介して軸16を中心にがり定物体13の表面に対し所定
の角位置に相対的に旋回することができる。
投映機2は光学系γによるコリメーション後、紋り8に
よって仕切られた光束を発する発光またはレーずダイオ
ード6を有する。このように物体へ投映した光点の直径
はほぼ距離と無関係である。光点はカメラ10対物レン
ズ4を介して撮像管5の陰極10に結像する。カメラ1
は画像解析装置6゛3に接紗され、この装置は投映した
光点の位置および形ならびに投映機の軸とカメラか形成
する角度から物体13の距離をめイ〕。この過程は以下
第2〜5図により説明する。
第2図による原理図には観測方向が物体130表面法線
と一致する簡単な場合が示されろ。
この場合物体距離の変化dZは角aて投映した光点のず
れdXのみから dX 1.。8(1) でめられる。
公知の光学走査ヘッドは光点のずれを多くは1次元的位
置検知器により測定し、この簡単な式(1)を物体距離
の決定に使用する。もちろんこの場合測定過程の間実際
に法線方向に走査することも保証されなければならない
。さもなければ物体の表面法線が観測方向に対し角l)
だB−1傾斜している場合、近似式(1)はもはや成立
せず、測定誤差が発生する。傾斜角blflc依存する
項を控除しなければならず、 an a が成立し、これは第6図に示す幾何学的関係により容易
に証明することができる。
角すは一般に未知であり、測定過程の間走査ヘッドが測
定物体上を動くと連続的に変化する。
これをめるため画像解析装置3(第1図)で物体表面1
3へ投映した光点の像の形を評価する。
投映機2から発する絞−リ8によって円形に仕切った光
束は物体表面に傾斜投映軸のためダ円光点を画き、この
光点が次に管5の陰極1oへ結像ずろ。第5図はこれを
示す。この光点の像12はさらに撮像管の中心からとく
に距離に依存する値dXだけずれている。
ダ円12の軸比下、投映角度aおよび傾斜角すの間に第
4図に示す幾何学的関係から次式:を誘導することがで
きる。傾斜角すを決定するため画像解析装置3は光点の
像120面積測定を実施する。この画像解析装置はたと
えばカールンアイス社、 ’0berkochenの商
標M 1 k r OV ld e−omat 3を有
する装置である。
ダ円の面積Fは軸PおよびDに直接比例し、短i11+
 Dは投映形態により一定に留まるので、面積Fかも傾
斜角すをただちに計算することができる。さらに画像解
析装置3はダ円12の重心のずれdXをめる。この2つ
の測定値(IXおよびFから走査ヘッドと物体13の距
離を観測方向に対し表面法線が傾斜した一般的場合V′
C苅(でも正確に計算することができる。式(3)を式
(2)へ代入して が得られ、ここにKは投映した光束の面積−D2に相当
する定数である。この定数は絞り8によって決定され、
適当な較正法で容易にめることができる。
測定物体13たとえば自動車ボデーを測定する際、測定
機械に固定した6つの構造部AA’ 1 。
2および14かうなる走査ヘッドは測定ずべき輪かくに
沿って連続的に動かされる。この場合走査ヘッドまたは
画像解析装置3によってめられる値dZは測定機械の6
軸の行程測定系の測定値に連続的に加算されろ。走査ヘ
ッドが機械の2輔の方向にのみ測定する第1図に示ず場
合、走査ヘッドの測定値を多座標軸測定機械のZ軸のた
めに備えた測定系の値のみで計算すればよいことは明ら
かである。しかし走査ヘッドの軸16を中心とする旋回
の際旋回角度の大きさに応じて他の座標軸Xも含めなけ
ればならなり0 走査ヘッドの位置を物体13の輪かくに沿ってZ方向に
正確に追跡案内することは、物体13へ投映した光点の
像が撮像管5の陰極10の有効範囲にある限り、必要で
ない。光点が外へ出る際すなわち物体表面の不規則性が
比較的大きい場合に初めて走査ヘッドの追跡案内が必1
要になる。
固定機構15.17によって物体13の側面がZ il
i+lt vc 苅して比較的強く傾斜している際も光
学走査ヘッドにより測定しうろことが保証されろ。
図示されていないもう1つの実施例によれば投映軸がカ
メラ1の光軸とZ−Y平面内で角度を形成する第2投映
機を備えることができる。
この拡大により物体13の傾斜を1つの座標軸に対して
のみならず、それと垂直の方向にも測定することが可能
になる。
管5の陰極10に2つの光点が重なるのを避けるため2
つの投映機の光源6をたとえば交互に周期的に制御する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の装置の1実施例の断面図、第2図〜第
4図は第1図装置と測定物体の距離を測定する際の幾何
学的関係を示す原理図、第5図は第1図装置に使用する
陰極上の光点の位置および形を示す図である。 1・・・テレビカメラ、2・・・投映機、3・・・i!
]、+i像解析装置、4・・・対物レンズ、5・・・撮
像管、6・・ダイオード、13・・測定物体、15.1
7・・固定機構

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、 光点を物体(13)へ投映し、投映光路に対し傾
    斜した結像光学系(4)により光点の像(12)を位置
    に感する光電検知器(10)上につくり、光点の位置(
    aX )から6角法により物体(13)との距離を決定
    する物体を無接触測定する方法において、光点(12)
    の形または大きさの所定の標準値からの偏差を付坤的に
    め、これから走査した物体(13)の表面の投映または
    結像光学系の軸に対する傾斜(b)を決定することを特
    徴とする物体を無接触測定する方法。 2、走査した物体(13)の表面の傾斜(b)を物体距
    ν計算の際いっしょに考慮する特許請求の範囲第1項記
    載の方法。 6 検知器としてテレビカメラ(5)を使用し、光点(
    12)の形または大きさを公知のテレビ画像解析装置に
    よって測定する特許請求の範囲第1項または第2項記載
    の方法。 4、光点(12)の位置を決定するためその重心座標(
    aX )を同様テレビ画像解析装陥によりめる特許請求
    の範囲第6項記載の方法。 5、 光点を物体(13)へ投映する投映@ (2)、
    位置に感する検知器(5,10)を後置した、投映光路
    に対し傾斜した結像光学系(4)および検知器の信号を
    処理する計算ユニット(3)を有する物体な無接触測定
    する装置において、計算ユニットが光点の像(12)の
    形または大きさを決定するための画像解析装+i′、7
    な有することを特徴とする物体を無接触di!I定する
    装置。 6 検知器が撮像管カメラ(5)または2次元的CCD
    カメラである特許請求の範囲第5項記載の装置。 Z 投映機(2)およびカメラ(1)を1つの構造ユニ
    ットに形成している特許請求の範囲第6項記載の装置。 8 構造ユニツ)(1,2,’14)が多数の座標軸方
    向に摺動可能であり、かつ少なくとも1つの軸(16)
    を中心に旋回可能に支持されている特許請求の範囲第7
    項記載の装置。 9、 61(fMユ=ット<1+ 21 14)(7)
    旋回角度を一定に調節するため固定機構(15)を備え
    ている特許請求の範囲第8項記載の装置。 10、多座標軸測定機械の摺動可能のアーム(9)に構
    造ユニットが固定されている特許請求の範囲第7項記載
    の装置。
JP59248258A 1983-11-25 1984-11-26 物体を無接触測定する方法および装置 Pending JPS60185108A (ja)

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