課題を解決する表面形状測定装置は、被測定物の表面形状を測定する表面形状測定装置であってよい。被測定物の表面の測定点までの距離を測定する距離測定器を備えてもよい。表面の測定点における傾きを測定する角度測定器を備えてもよい。距離測定器により測定された距離に基づいて被測定物の基準形状データを算出する第1算出部を備えてもよい。角度測定器により測定された傾きと基準形状データに基づいて、被測定物の詳細形状データを算出する第2算出部とを備えてもよい。
距離測定器および角度測定器を支持する支持体を備えてもよい。支持体を被測定物に対して移動させる駆動部を備えてもよい。駆動部を制御する制御部を備えてもよい。制御部は、角度測定器により傾きを測定する場合に、基準形状データから算出される測定点における接平面に支持体が対向し、かつ、測定点からの距離が一定距離となるように、駆動部により支持体を走査させてもよい。
被測定物は少なくとも一部が略回転対称の形状を有し、計測する対象は回転対称面の表面形状であってもよい。被測定物を支持するステージを有してもよい。回転対称面の回転対称軸と平行な軸周りにステージを回転移動させる作動部とを備えてもよい。距離測定器により距離を測定する場合および角度測定器により傾きを測定するときに、作動部によりステージを回転移動させてもよい。
第2算出部は、被測定物の回転対称軸とステージの回転移動における回転軸とのずれに起因する被測定物のステージに対する設置誤差の誤差量を算出してもよい。誤差量を加味して修正した基準形状データと角度測定器の出力とを用いて詳細形状データを算出してもよい。
課題を解決する表面形状測定プログラムは、被測定物の表面形状を測定する表面形状測定プログラムであってよい。距離測定器により被測定物の表面の測定点までの距離を測定する距離測定ステップをコンピュータに実行させてもよい。距離測定ステップにより測定された距離に基づいて被測定物の基準形状データを算出する第1算出ステップをコンピュータに実行させてもよい。角度測定器により表面の測定点における傾きを測定する角度測定ステップをコンピュータに実行させてもよい。角度測定ステップにより測定された傾きと基準形状データに基づいて、被測定物の詳細形状データを算出する第2算出ステップとをコンピュータに実行させてもよい。
角度測定ステップは、基準形状データから算出される測定点における接平面に距離測定器および角度測定器を支持する支持体が対向し、かつ、測定点からの距離が一定距離となるように、支持体を走査させてもよい。
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
図1は、本実施形態に係る表面形状測定装置10の全体を示す概略図である。表面形状測定装置10は、測定対象を回転対称面に特化した、表面形状を厳密に測定する装置である。
表面形状測定装置10は、基台部としてのベース100と、ベース100に堅固に固定された第1フレーム140および第2フレーム150とを含む。表面形状測定装置10のうちセンシングに関わる各要素は、これらベース100、第1フレーム140および第2フレーム150の何れかに直接的あるいは間接的に組み付けられている。
ベース100の上面は水平面であり、水平面内の一軸をx軸、水平面内であってx軸に直交する一軸をy軸と定める。また、水平面に直交する鉛直方向にz軸を定める。また、鉛直方向上向きをz軸の正方向とする。なお、以降の各図は、上記の定義に従って図1に示すxyz座標系を基準として、いずれの方向から観察した図であるかを明示している。
ベース100の上面には、XYステージ160が積み重ねられており、XYステージ160は、ベース100の上面をxy方向に平行移動できるとともに、z軸周りに回転移動できる。なお、以降の説明においては、z軸周りの回転移動を、θz方向の回転などと称する場合がある。
XYステージ160は、被測定物200の設置台としての機能を担い、チャック161を介して被測定物200を固定する。被測定物200は、測定面201と保持部202を含み、チャック161は、保持部202を挟持する。測定対象である測定面201は、図1の姿勢においてz軸と平行な回転対称軸を有する略回転対称面である。ここで、略回転対称面とは、正確な回転対称面ではなく、その表面に微小な凹凸が非対称に存在することを意味する。このような微少な凹凸は、例えば測定面が球面レンズである場合、製造過程の研磨作業において生じる加工誤差として生成し得る。本実施形態に係る表面形状測定装置10は、全体としては回転対称面であるが、局所的に拡大して観察した場合に微小な凹凸が偏在するような測定面を測定して、そのような凹凸形状の情報を含む、より精度の高い表面形状情報を取得する装置である。なお、本実施形態において特に、測定面201は、設計形状データが未知の略回転対称面である。
被測定物200は、測定面201の回転対称軸と、XYステージ160のθz方向の回転軸とが一致するように、XYステージ160に設置される。このように設置された被測定物200の測定面201は、回転対称軸周りに回転移動されて表面形状が測定される。
第1フレーム140は、ベース100からz軸方向へ垂直に立ち上げられた支持フレームである。第1フレーム140は、そのyz面の上方で第2支持体130を支持し、第2支持体130は、第1フレーム140に支持された面とは反対側の面で第1支持体120を支持する。第1支持体120は、第2支持体130に支持された面とは反対側の面で測定ユニット110を支持する。測定ユニット110は、XYステージ160に設置された被測定物200の上方の空間に位置する。測定ユニット110、第1支持体120および第2支持体130は、測定面201に対して相対移動するヘッドを構成する要素である。
第2支持体130は、第1フレーム140に配設された後述するアクチュエータの駆動力と相互に跨いで配設された伝達機構とにより、第1フレーム140に対してyz平面内で平行移動することができる。ここで、z軸マイナス方向は、図示するように、表面形状測定装置10の初期状態において被測定物200の測定面201に近づく方向である。第1支持体120は、第2支持体130に配設された後述するアクチュエータの駆動力と相互に跨いで配設された伝達機構とにより、第2支持体130に対してx軸周りに回転移動することができる。なお、以降の説明においては、x軸周りの回転移動を、θx方向の回転などと称する場合がある。第1フレーム140に対する第2支持体130のz方向の移動量は、後述するZセンサ155により検出される。
第1支持体120のθx方向の回転角は、第2支持体130に配設されたロータリエンコーダ131によって検出される。測定ユニット110は、距離測定器111、角度測定器112およびこれらを支持するホルダー113を含む。距離測定器111は、測定面201上の測定点までの距離を測定し、角度測定器112は、同測定点における測定面の傾きを測定する。具体的な構成については、図を用いて後に説明する。測定ユニット110は、ホルダー113が第1支持体120に固定されており、第1支持体120に対して相対的に移動することはない。
このような構成により、測定面201の表面形状を測定するための測定ユニット110は、測定面201へ近づく方向を含む一平面であるyz平面内での平行移動と、当該平面に垂直なx軸周りの回転移動(θx方向の回転移動)との3自由度により移動し得る。本実施例においては、測定面201へ近づく方向を含む一平面としてyz平面を採用しているが、測定面201へ近づく方向を含む一平面内で測定ユニット110が移動できれば良い。換言すれば、被測定物200をXYステージ160に設置して測定位置まで移動したときに、測定面201と交差する一平面内で測定ユニット110が移動できるように、一平面を設定すれば良い。
第2フレーム150は、ベース100からz軸方向へ垂直に立ち上げられた支持フレームである。第2フレーム150は、そのxz面の上方で干渉計ユニット151を固定して支持する。干渉計ユニット151は、第2支持体130のy方向の移動量とθx方向の回転角を検出するセンサユニットである。干渉計ユニット151は、具体的には、それぞれがレーザー光波干渉式測長器である、第1干渉計153と第2干渉計154を含む。第1干渉計153のレーザー投光部と第2干渉計154のレーザー投光部は、z軸方向に沿って離間して配設されている。
第1フレーム140と第2フレーム150は、図1においてはそれぞれが独立してベース100に固定された態様を示す。第2フレーム150は、精密測定を行う干渉計ユニット151を支持しているので、移動体であるヘッドを支持して振動し得る第1フレーム140と直接的にフレーム接続されないことが好ましい。
第1干渉計153のレーザー投光部と第2干渉計154のレーザー投光部は、z軸方向に沿って離間して第2フレーム150に配設されている。演算部187は、第1干渉計153と第2干渉計154の出力から得られる2つの測定距離の差、およびそれぞれの投光部のyz座標から、第2支持体130のθx方向の回転角Δθを算出する。
また、そもそも第1干渉計153も第2干渉計154も、y方向の距離を測定する測長器であるので、演算部187は、第2支持体130のy方向の平行移動量も算出する。具体的には、演算部187は、第1干渉計153と第2干渉計154の出力から得られる2つの測定距離、それぞれの投光部のyz座標、および第2支持体130のθx回転中心軸yz座標から、θx回転中心軸のy方向の平行移動量を算出する。
測定制御部186は、測定ユニット110をθx方向へ回転させたい場合に、回転させたい角度に応じた制御信号を、第1支持体120を回転移動させるθx駆動モータ132へ送信する。上述の通り、実際には第2支持体130もθx方向へΔθ回転しているので、ヘッド全体としては、第1支持体120の回転角と第2支持体130の回転角の和となる。したがって、ロータリエンコーダ131により第1支持体120が第2支持体130を基準としてθx方向にθR回転したことが検出されると、演算部187は、ベース100を基準とする座標系に対して、測定ユニット110がθx方向にθR+Δθだけ回転したと把握する。
第1フレーム140と第2フレーム150は、図1においてはそれぞれが独立してベース100に固定された態様を示すが、互いに接続されてフレームとしての剛性を高めることもできる。また、ベース100の上方空間の全体を覆う枠体構造として第1フレーム140と第2フレーム150とを一体的に構成することもできる。
制御ユニット180は、例えばCPUによって構成されるシステム制御部181と、ユーザからの入力を受け付け、測定した表面形状情報を呈示するユーザインタフェース182とを含む。システム制御部181は、表面形状測定装置10の全体を制御する。ユーザインタフェース182は、例えばユーザからの入力を受け付けるタッチパネルを備えた液晶ディスプレイを含む。
図2は、表面形状測定装置10のシステム構成図である。具体的には、システム制御部181が実行する制御について、主な制御対象との関係を示す図である。
システム制御部181は、図の右列に並ぶ各制御対象に制御信号を送って一連の測定シーケンスを制御する測定制御部186と、センシング結果を受け取って表面形状を同定するための各種演算を実行する演算部187、および各種プロット画像データを生成する画像生成部188とを包含する。測定制御部186、演算部187および画像生成部188は、それぞれがCPUの仮想的な機能部であっても良いし、少なくとも一部がCPUとは独立したASICなどのハードウェア構成を有しても良い。
ユーザインタフェース182は、ユーザから測定に関する条件、後述するフィッティングに関する条件、測定の開始指示などの入力を受け付けて、システム制御部181へ送る。また、ユーザインタフェース182は、測定制御部186が実行する測定シーケンスの進捗状況や、演算部187が演算した表面形状情報等を、システム制御部181から受け取って表示する。
制御ユニット180は、例えばフラッシュメモリによって構成される、メモリ183を備える。メモリ183は、複数の記憶媒体によって構成されても良い。メモリ183は、測定制御部186が実行する測定制御プログラム、演算部187が実行する演算プログラムを含む、システム制御部181が実行する各種プログラムを記憶している。また、メモリ183は、演算部187が実行する演算等のワークメモリとしても機能する。また、メモリ183は、ユーザインタフェース182を介してユーザによって入力されたり、ネットワークを介して外部機器から送られてきたりする、各種パラメータやデータを保管する機能も有する。
測定制御部186は、測定ユニット110を構成する距離測定器111と角度測定器112を制御する。測定制御部186は、距離測定器111に距離測定を開始させる制御信号を送り、その出力を受け取る。同様に、角度測定器112に角度測定を開始させる制御信号を送り、その出力を受け取る。測定制御部186は、受け取った出力を演算部187へ引き渡す。
測定制御部186は、第1支持体120を第2支持体130に対してθx方向へ回転させるθx駆動モータ132を制御する。θx駆動モータ132は、第2支持体130に配設されている上述のアクチュエータであり、例えばブラシレスモータを用いることができる。測定制御部186は、測定ユニット110をθx方向に回転移動させたい場合に、その回転角に応じた駆動信号をθx駆動モータ132へ送信する。
測定制御部186は、第2支持体130を第1フレーム140に対してyz方向へ移動させるYZ駆動モータ141を制御する。YZ駆動モータ141は、第1フレーム140に配設されている上述のアクチュエータであり、y方向とz方向のそれぞれに対応する例えば2つのブラシレスモータを用いることができる。測定制御部186は、測定ユニット110をyz方向に平行移動させたい場合に、その移動量に応じた駆動信号をYZ駆動モータ141へ送信する。すなわち、上述のように測定ユニット110は、yz平面内での平行移動とx軸周りの回転移動の3自由度により移動し得るが、この移動は、駆動部としてのYZ駆動モータ141とθx駆動モータ132により実現される。
測定制御部186は、ロータリエンコーダ131に回転角検出を開始させる制御信号を送り、その出力を受け取る。測定制御部186は、受け取った出力を演算部187へ引き渡す。同様に、測定制御部186は、干渉計ユニット151に距離検出を開始させる制御信号を送り、その出力を受け取る。測定制御部186は、受け取った出力を演算部187へ引き渡す。演算部187は、受け取った当該出力から、第1フレーム140に対する第2支持体130のy方向の移動量およびθx方向の回転角を演算する。
測定制御部186は、Zセンサ155に距離検出を開始させる制御信号を送り、その出力を受け取る。測定制御部186は、受け取った出力を演算部187へ引き渡す。Zセンサ155は、第1フレーム140に対する第2支持体130のz方向の移動量を検出する距離センサである。Zセンサ155は、例えばひとつのレーザー光波干渉式測長器によって構成される。
測定制御部186は、XYステージ160をベース100に対してθz方向へ回転させるθz駆動モータ101を制御する。θz駆動モータ101は、ベース100に配設されている、例えばブラシレスモータである。測定制御部186は、被測定物200の測定面201をθz方向に回転移動させたい場合に、その回転角に応じた駆動信号をθz駆動モータ101へ送信する。
測定制御部186は、XYステージ160をベース100に対してxy方向へ移動させるXY駆動モータ102を制御する。XY駆動モータ102は、ベース100に配設されている、x方向とy方向のそれぞれに対応する例えば2つのブラシレスモータである。測定制御部186は、被測定物200の測定面201をxy方向に平行移動させたい場合に、その移動量に応じた駆動信号をXY駆動モータ102へ送信する。
測定制御部186は、θzセンサ103に回転角検出を開始させる制御信号を送り、その出力を受け取る。測定制御部186は、受け取った出力を演算部187へ引き渡す。θzセンサ103は、ベース100に対するXYステージ160のθz方向の回転角を検出する回転角検出センサである。θzセンサ103は、例えばロータリエンコーダによって構成される。
測定制御部186は、XYセンサ104に移動量検出を開始させる制御信号を送り、その出力を受け取る。測定制御部186は、受け取った出力を演算部187へ引き渡す。XYセンサ104は、ベース100に対するXYステージ160のxy方向の移動量を検出する移動量検出センサである。XYセンサ104は、x方向とy方向のそれぞれに向けて配設された例えば2つのレーザー光波干渉式測長器によって構成される。
次に被測定物について説明する。図3(a)は、本実施形態における表面形状測定装置10が測定する測定物の例としての被測定物200を示す斜視図であり、図3(b)は、他の測定物の例としての被測定物200'を示す斜視図である。
上述のように、本実施形態における表面形状測定装置10は、略回転対称面の表面形状を厳密に測定する装置であるので、被測定物の表面の少なくとも一部は、略回転対称面である。被測定物200の測定面201は、z軸プラス方向へ突出する球面である。回転対称軸210をz軸、半径をcとした場合、測定面201はおよそ、xz平面の第1象限における(c2―x2)1/2をz軸周りに一回転して得られる形状を成す。
測定面は、xz平面の第1象限で表された関数をz軸周りに一回転して得られる形状であれば良く、被測定物200'の測定面201'のように、頂面が凹部となっているような形状であっても良い。なお、図示する被測定物200、200'は、チャック161に固定されやすいようにそれぞれ保持部202、202'を備えるが、このような保持部を備えない被測定物であっても、例えば治具を介してXYステージ160に固定されれば表面形状を測定できる。
図4は、測定する表面形状を説明する断面図および拡大図である。図4の断面図は、図3(a)に示す、回転対称軸210を含む平面Aによる被測定物200の切断面を表す。上述のように、被測定面201は、全体としては回転対称面であるが、局所的に拡大視すると微小な凹凸が存在する。本実施形態においては、xy平面への投影形状外縁がφ100mm程度(図中のr)となる測定面を想定している。このとき、後述する測定ユニットの構成および測定原理に従えば、凹凸の深さ方向に対する分解能を1nm程度にすることができる。ここで、「分解能」は、演算された生データとして測定対象物の形状を識別し得る最も細かい単位であり、測定結果として確からしさが保証される「精度」は、本実施形態においては、10nm程度となる。ただし、これらのオーダーは、装置構成、センサ精度等によって変更され得る。なお、凹凸の深さ方向とは、拡大図中に示す矢印の方向である。より具体的には、回転対称面(拡大図中の点線)に直交する方向である。
次に測定ユニット110について説明する。図5は、測定ユニット110の構成と測定原理を説明する説明図である。特に図5(a)は、距離測定器111の構成と測定原理を説明する図であり、図5(b)は、角度測定器112の構成と測定原理を説明する図である。いずれの図も、測定面201の頂点が原点座標に位置する場合に頂点を測定点とする様子を例として表す。
距離測定器111は、第1プローブ光を発生する第1光源1111、第1光源1111により発生された第1プローブ光(第1照射光PL1)を集光して測定面201上の測定点に照射する集光レンズ1112、測定点で反射された第1プローブ光(第1反射光RL1)を集光する集光レンズ1113、第1反射光RL1の位置を検出する光検出器1114などから構成される。
角度測定器112は、第2プローブ光を発生する第2光源1121、第2光源1121により発生された第2プローブ光(第2照射光PL2)を集光して測定面201上の測定点に照射する集光レンズ1122、測定点で反射された第2プローブ光(第2反射光RL2)をコリメートするコリメートレンズ1123、第2反射光RL2の位置を検出する光検出器1124などから構成される。
第1光源1111及び第2光源1121は、発振波長、光出力、ビームポインティング等を安定化させたレーザー光源であり、例えばファイバーレーザーやDFB半導体レーザーなどが用いられる。第1光源1111及び第2光源1121の出力部にはコリメータが設けられており、各光源から平行光束化された第1照射光PL1、第2照射光PL2が出力される。光検出器1114,1124はそれぞれ第1反射光RL1、第2反射光RL2の位置を検出する検出器であり、例えば、QPD(四分割光検出器)、CMOS等の撮像素子などを用いることができる。
距離測定器111では、第1光源1111から出射した第1照射光PL1が集光レンズ1112により集光されて測定点に入射する。測定点で反射した第1反射光RL1は集光レンズ1113により集光されて光検出器1114に入射する。この距離測定器111では、測定点における反射面の傾きが変化(チルト)しても光検出器1114に集光されて入射する第1反射光RL1の入射位置は変化しない。一方、測定点の位置が上下方向(z軸方向)に変化(シフト)すると光検出器1114に集光されて入射する第1反射光RL1の入射位置が変化する。そのため、光検出器1114から測定制御部186へ出力される位置検出信号により、測定ユニット110の基準位置z0から測定点までの距離dsを算出することができる。なお、基準位置z0は、例えば、第1支持体120をθx方向に回転させる回転軸のz座標としても良いし、測定面201に対向させるときの測定ユニット110の基準面におけるz座標としても良い。
角度測定器112では、第2光源1121から出射した第2照射光PL2が集光レンズ1122により集光されて測定点に入射する。測定点で反射した第2反射光RL2はコリメートレンズ1123によりコリメートされて光検出器1124に入射する。この角度測定器112では、測定点の位置が上下方向に変化(シフト)しても光検出器1124に入射する第2反射光RL2の入射位置はほとんど変化しない。一方、測定点における反射面の傾きが変化(チルト)すると光検出器1124に入射する第2反射光RL2の入射位置が変化する。そのため、光検出器1124から測定制御部186へ出力される角度検出信号により、測定点における反射面の反射角θsを算出でき、さらに反射面の傾きである傾斜角度(後述)を算出することができる。
本実施形態においては、距離測定器111と角度測定器112は、測定点における反射面の傾きが0である場合の、第1照射光PL1と第1反射光RL1の張る第1基準面と、第2照射光PL2と第2反射光RL2の張る第2基準面とが、互いに直交するように調整されてホルダー113に固定されている。図の位置においては、第1基準面はxz平面であり、第2基準面はyz平面である。また、距離測定器111と角度測定器112は、基準位置z0からの基準距離d0において、それぞれのプローブ光の反射点(測定点)が重なるように調整されてホルダー113に固定されている。なお、図5は、z0=d0=dsとして描かれている。
次に表面形状を導出する手法について説明する。図6は、表面形状の導出を説明する説明図である。測定ユニット110は、図において紙面左側から右側へ走査され、サンプリング間隔Lごとに測定を行うこととする。図は、サンプリング回数をnとすると、n=i回目の測定とn=i+1回目の測定における測定面201の表面形状を表している。
上述のように、本実施形態に係る表面形状測定装置10の凹凸の深さ方向に対する精度は10nm程度である。10nmの精度を距離測定器111のみで得ようとすれば、そのまま10nmの出力精度を有する距離計を用意する必要がある。そのような距離計は、高価であったり、巨大であったりしてあまり実用的ではない。そこで、本実施形態に係る表面形状測定装置10では、距離測定器111自体は、目標とする精度より粗い精度の性能しか有しない距離計とし、距離測定器111に加えて角度測定器112を併せて設置している。
図示するように、n=i回目の測定で角度測定器112の出力から、反射面の傾きである傾斜角度がαi(rad)と算出されたら、αiが微小角である場合には、n=i回目の測定点までの深さ方向の変位量はLαiと近似される。したがって、n=i回目の奥行き方向の座標がf(i)であると、n=i+1回目の座標f(i+1)は、f(i)+Lαiと算出される。
ここで、Lαiが10nmである場合には、L=1mmとして、αiは10μradである。つまり、角度測定器112の出力精度として10μradの能力を有していれば、サンプリング間隔を1mm程度にしても奥行き方向に対して10nmの精度で計測することができることになる。10nmの出力精度を有する距離測定器を用意するよりは、10μradの出力精度を有する角度測定器を用意して、サンプリング間隔を1mmで制御する方が、表面形状測定装置を構成しやすい。また、L=1mmのサンプリング制御は比較的容易であるので、より短いサンプリング間隔を採用すれば更に奥行き方向の精度を上げることができる。
一方で、角度測定器112が目標とする測定点と第2プローブ光の反射点とを一致させるために、距離測定器111があることが望ましい。すなわち、距離測定器111の出力を監視しながら測定ユニット110の基準位置z0と測定面201までの距離を基準距離d0に保って走査すると、距離測定器111と角度測定器112の両測定点は一致するので、測定制御部186は、角度測定器112が測定している測定点を精確に把握することができる。距離測定器111を併設しない場合には、角度測定器112による測定点座標を精確に把握するための別途の装置を用意する必要がある。
ここで、測定面201までの距離を基準距離d0に保つ場合の当該距離の誤差範囲は、角度測定器112を用いて測定しようとする奥行き方向の精度に比べて遥かに大きくて良い。すなわち、距離測定器111に必要とされる出力精度は、測定しようとする奥行き方向の精度に比べて粗くて良いと言える。例えば、測定しようとする奥行き方向の精度が10nm程度である場合には、10μm程度で良い。
次に測定時の被測定物200とヘッドの動作について説明する。図7は、被測定物200とヘッドの相対移動を説明する説明図である。ここで、ヘッドの基準位置115は、第1支持体120をθx方向に回転させる回転軸上に設定されている。
図7(a)は、回転対称面の頂点を測定可能な初期状態の様子を示す。測定制御部186は、被測定物200の基礎情報のひとつである第1形状情報を予め取得する。ここで、第1形状情報は、後述する概形状データ生成の工程で生成される近似形状データである。以降の説明において、第1形状情報を第1形状データと称する場合がある。第1形状データは、仮想空間で定義されるモデルであり、設定された基準座標系で位置、姿勢および形状が定義される。本実施形態において、第1形状データは、関数で表現される。
測定制御部186は、取得した第1形状データを用いて、測定面201である回転対称面の頂点の上方d0に基準位置115が位置するように、第1支持体120、第2支持体130およびXYステージ160を移動させる。このとき、測定制御部186は、測定ユニット110が頂点の接平面に対向するように移動させる。以降の走査においても、測定制御部186は、取得した第1形状データから算出される測定点における接平面に、測定ユニット110が対向するように制御する。測定ユニット110が接平面に対向するとは、当該接平面が上述の第1基準面とも第2基準面とも直交することに等しい。
図7(b)は、測定点が測定面201の頂点から少し外周側に移った様子を示す。測定制御部186は、第2支持体130をy方向およびz軸方向に平行移動させると共に、第1支持体120をθx方向に回転移動させる。より具体的には、ターゲットとする測定点における接平面と測定ユニット110が対向しつつ、基準位置115との距離がd0を保つように移動させる。測定制御部186は、並行して、XYステージ160をθz方向に回転移動させる。
このとき、測定制御部186は、XYステージ160をxy方向へ平行移動させない。測定制御部186は、ユーザが被測定物200をXYステージ160に設置した後に、被測定物200を初期状態の位置へ移動させる場合にXYステージ160をxy面と平行に移動させるが、測定面201を測定する測定シーケンス中には平行移動を実行しない。したがって、被測定物200を初期状態の位置へ移動させる場合にXYステージ160のxy方向への移動機能は有用であるが、当該移動機能を省くこともできる。
また、測定制御部186は、測定ユニット110を初期状態の位置へ移動させる場合にZセンサ155の出力を利用する。しかし、測定ユニット110が初期状態に到達した後の走査においては、測定制御部186は、距離測定器111の出力によりz方向の位置を把握することができるので、Zセンサ155の出力を監視しなくても良い。
図7(c)は、測定点がさらに外周側に移った様子を示す。測定制御部186は、第2支持体130をさらにy方向およびz方向に平行移動させると共に、第1支持体120をさらにθx方向に回転移動させる。測定制御部186は、XYステージ160のθz方向への回転移動を継続する。
図7(a)から図7(c)への推移からも明らかなように、測定面201に対するヘッドの走査はy軸に沿う方向のみであり、x方向への平行移動を伴っていない。また、y方向の走査も、図においてyの負の領域のみであり、正の領域では走査を行っていない。すなわち、XYステージ160をθz方向に回転移動させることにより、このような簡単な移動制御で測定面の全体を測定することができる。換言すれば、回転対称面の表面形状を測定するという特化した目的に合わせ、ヘッドが備えるべき自由度と測定物を設置するステージが備えるべき自由度を最適化している。これにより、ヘッドの駆動構成およびステージの駆動構成をそれぞれ簡易化させることができた。特にヘッドの駆動構成の簡易化は、ヘッドの軽量化に貢献し、ヘッドの移動の高速化にも寄与する。
図8は、測定面201の測定経路を説明する説明図である。図8(a)は、図7を用いて説明した制御によって描かれる測定経路をz方向から観察した様子を示す。ここで、測定経路とは、隣り合う測定点を結んだときに得られる軌跡である。
始点は、回転対称面の頂点であり、図7(a)で図示した初期状態に対応する。図からも明らかなように、測定経路は渦巻き状になる。この経路に沿って測定されると、測定制御部186は、この経路に沿った順に角度測定器112からの出力を受け取る。しかし、例えば図中のCのラインに沿った切断面における断面図を得たい場合には、Cのラインと渦巻き経路が交差する×印の測定結果を抽出して並び替えれば良い。同様にDのラインに沿った切断面に沿った断面図を得たい場合には、Dのラインと渦巻き経路が交差する□印の測定結果を抽出して並び替えれば良い。交差する点が測定点でなかった場合には、周囲の測定点の測定結果から補間して算出すれば良い。
なお、角度測定器112の出力から算出される測定点の傾斜角度は、第1形状データから算出される測定点における接平面と、測定点における実際の接平面との成す角として算出される。したがって、ある経路に沿った奥行き方向の深さを算出する場合には、その方向に沿った角度に変換した上で図6を用いて説明した演算を行う。なお、角度測定器112からの出力を得て第1形状データよりも精度の高い第2形状情報である表面形状データを算出するまでの演算は、演算部187が第2算出部として機能して実行する。以降の説明において、第2形状情報を第2形状データと称する場合がある。
図8(b)は、他の例の測定経路をz方向から観察した様子を示す。上述の補間を行うことなく、特定の切断面における断面形状情報を得たい場合には、図示するように、頂点を中心とする放射状の軌跡を描くように測定経路を設定すると良い。複数の断面形状情報を得たい場合は、始点を頂点ではなく、測定面201の端部寄りに設定すれば、一筆書きで測定経路を設定することができる。このような測定経路を設定する場合は、測定制御部186は、ヘッドを図7で説明したyの正の領域にも移動させて走査を実行する。また、測定制御部186は、図中の円弧の経路を移動させる場合にのみ、XYステージ160のθz方向の回転移動を実行する。このとき、測定制御部186は、第1支持体120および第2支持体130の移動を行わない。
図9は、本実施形態の表面形状測定装置の動作を説明するフロー図である。図9に示すように、表面形状測定装置10の動作は、第1形状データの生成(ステップS101)と、第2形状データの生成(ステップS102)とに大別される。ステップS101において、表面形状測定装置10は、距離測定器111で取得した測定面201の三次元座標データから第1形状データを生成する。次に、表面形状測定装置10は、ステップS102において、生成した第1形状データを使用して距離測定器111および角度測定器112で取得した座標値および面の傾き値から成る四次元のデータから第2形状データを生成する。
図10は、形状データが未知の被測定物の三次元座標データである第1形状データの取得動作を説明する説明図である。ここで、未知の被測定物の面形状は、略回転対称であるという事実については既知とする。なお、図7を用いて説明した内容については、記載を省略する。
図10(a)は、回転対称面の頂点もしくは頂点近傍を測定可能な初期状態の様子を示す。第1形状データを生成するための三次元座標データの取得シーケンスでは、2つの測定器のうち、距離測定器111のみを使用する。
まず、ユーザは、測定面201である回転対称面の頂点とXYステージ160の回転軸とがおよそ一致するように、被測定物をXYステージ上に配置する。そして、測定面201である回転対称面の頂点の上方d0に基準位置115が位置するように、第1支持体120、第2支持体130およびXYステージ160を移動させる。このとき、測定制御部186は、測定ユニット110の姿勢を水平とする。以降の走査においても、測定制御部186は、測定ユニット110の姿勢を水平に保ち、第1支持体120を第2支持体130に対して回転駆動させない。すなわち、集光レンズ1112の光軸と集光レンズ1113の光軸とが成す平面である第1基準面と、集光レンズ1122の光軸とコリメートレンズ1123の光軸とが成す平面である第2基準面との交線が、三次元座標データの取得シーケンスにおいてz軸と略平行を成して駆動される。
図10(b)は、測定点が測定面201の頂点から少し外周側に移った様子を示す。測定制御部186は、第2支持体130をy方向およびz方向に平行移動させる。より具体的には、基準位置115との距離がd0を保つように第2支持体130を移動させる。測定制御部186は、並行して、XYステージ160をθz方向に回転移動させる。このとき、測定制御部186は、XYステージ160をxy方向へ平行移動させない。
図10(c)は、測定点がさらに外周側に移った様子を示す。測定制御部186は、第2支持体130をさらにy方向およびz方向に平行移動させる。測定制御部186は、XYステージ160のθz方向への回転移動を継続する。
測定面201の三次元座標データは、ヘッドの基準位置115のyz座標、XYステージ160の回転角θzおよび基準距離d0から得られる。なお、測定点は、図8を参照して説明したように、測定面201上において渦巻き状の経路を通り、回転中心を通る放射状の線上に並ぶ。
図11は、第1形状データの生成手順を表すフロー図であり、図9のステップS101の具体的フローを示す。なお、フローは、ユーザによって被測定物200がXYステージ160上に配置された後であって、ユーザインタフェース182を介してユーザから第1形状データの生成指示を受けて、ステップS1011が開始される。
測定制御部186は、ステップS1011で、XYステージ160、第1支持体120、第2支持体130を駆動して被測定物200を初期位置に移動させる。そして、図10を用いて説明したように、XYステージ160、第2支持体130を駆動して測定面201に対して測定ユニット110を走査させつつ、距離測定器111で検出された測定面201の三次元座標値を取得してメモリ183に順次蓄積する。そして、測定点の終点まで到達したら、ステップS1012へ移行する。
画像生成部188は、メモリ183に蓄積された三次元座標データの空間分布を示す三次元プロット画像データを生成して、ユーザインタフェース182に三次元プロット画像として表示する(ステップS1012)。当該三次元プロット表示により、ユーザは、未知の測定面201の大まかな形状を視覚的に把握することができ、後述するフィッティングパラメータの選択の指針とすることができる。
演算部187は、取得した三次元座標データの近似曲面を表す関数を第1形状データとして生成するために、関数によるフィッティングを行う(ステップS1013)。以下の説明において、当該関数をフィッティング関数と称する場合がある。演算部187は、取得した測定面201の三次元座標データから第1形状データを算出する第1算出部として機能する。
フィッティング関数の情報は、メモリ183に予め記憶されている。フィッティング関数は、例えば、Zernike多項式である。なお、Zernike多項式には、項の並び順が互いに異なるStandard Zernike、FRINGE Zernikeなど複数の表記方法があるが、以下の説明では、FRINGE Zernikeとして説明する。
演算部187は、ユーザインタフェース182を介してユーザが選択指定した、フィッティングに使用するZernike係数を、パラメータ情報としてメモリ183に格納する。例えば、測定面201が回転対称面である場合には、Zernike多項式の第4項、第9項、第16項などの回転対称形状を表現する項のZernike係数をパラメータとして選択する。以下の説明において、当該パラメータをフィッティングパラメータと称する場合がある。
フィッティングは、例えば、フィッティング関数(Zernike多項式)から三次元座標データの偏差の二乗和が最小となるように、フィッティングパラメータ(Zernike係数)を繰り返し変化させることによって、最適なパラメータの組み合わせを導き出す数値最適化によって行われる。ここで、最適化手法には、例えば、減衰最小二乗法を使用することができるが、これに限定されず、公知の最適化手法を採用し得る。
上記のフィッティング処理を終えると、演算部187は、フィッティング残差を計算する。ここで、フィッティング残差は、フィッティング関数と三次元座標データとの乖離を示し、例えば、RMS(二乗平均平方根)値である。以下の説明において、フィッティング残差をRMS残差と称する場合がある。演算部187は、算出したRMS残差をメモリ183に格納する。
画像生成部188は、求めたフィッティング関数と三次元座標データの三次元プロット画像データを生成して、ユーザインタフェース182に三次元プロット画像として、RMS残差値とともに表示する(ステップS1014)。これにより、ユーザは、フィッティング精度を確認することができる。また、ユーザは、フィッティングが良好に行われていない領域を確認することができ、自由度として不足しているパラメータ(フィッティングに必要なZernike項)を指定することが容易になる。
システム制御部181は、フィッティング処理を再実行するか否かの指示をユーザから受け付ける(ステップS1015)。例えば、フィッティング処理を終了するか、もしくはフィッティングパラメータを追加または変更してフィッティング処理を再実行するかをユーザに選択させる表示画面をユーザインタフェース182に表示する。
フィッティングパラメータの指定が変更されるとともに、ユーザからフィッティング処理を再実行する指示があったと判断した場合には(ステップS1015でYES)、システム制御部181は、ステップS1013に移行して以降のフローを実行する。
一方、ユーザからフィッティング処理を終了するという指示があった場合、すなわちフィッティングを再実行するという指示がなかったと判断した場合には(ステップS1015でNO)、システム制御部181は、取得したフィッティング関数を第1形状データとして決定して、メモリ183に格納する。そして、第1形状データの生成の一連の処理を終了する。
図12は、被測定物200の設置誤差を説明する説明図である。実線で示される被測定物200は、XYステージ160の目標位置に正しく設置されている。測定面201の回転対称軸210は、XYステージ160のθz方向の回転軸と一致している。一方で、点線で示される被測定物200"は、XYステージ160に対してずれて設置されている。図の例では、被測定物200の測定面201における頂点に対して、被測定物200"の測定面201"の頂点が、x方向にΔx、y方向にΔyずれている。なお、図においては、被測定物200を固定するチャック161を省いている。
ずれは、x方向およびy方向にのみならず、z方向、θx方向、θy方向、θz方向にも生じ得る。チャック161とXYステージ160とのずれ、チャック161と被測定物200の保持部202とのずれなどが要因となり得る。ただし、チャック161とXYステージ160を相互に精度良く構成したり、被測定物200の接地面を精度の高い平面としたりすることにより、いくつかのずれ成分を実質的に無視することもできる。いくつかのずれ成分を実質的に無視し得るのであれば、後述するフィッティング演算の負荷が軽減される。
本実施形態においては、表面形状測定装置10は、表面形状の測定結果として、第1形状データに対する凹凸量を呈示する。第1形状データは、図10および図11を参照して説明した概形状データの生成の工程を経て予め取得されている。そこで、本実施形態においては、目標位置に対する設置誤差を、目標位置に置かれた第1形状データの面情報と、実際に測定された測定結果とを比較して算出する。
図13は、設置誤差の算出を概念的に説明する説明図である。目標位置に対してずれて設置された測定面201"は、測定ユニット110の出力から一応の表面形状が算出される。図7を用いて説明したように、測定ユニット110の走査は、目標位置に置かれた第1形状データを基準に行われるので、測定制御部186が認識している測定点と実際の測定点がずれており、最初に算出されるこの表面形状の精度は高くない。しかし、表面に存在する凹凸は微少なこともあり、算出される表面の全体としての形状は、第1形状データによる面形状に非常に近いと言える。そこで、第1形状データの表面形状を、実測されたこの表面形状にフィッティングさせることにより設置誤差を算出する。
設置誤差算出のためのフィッティング演算は、第1形状データを6自由度方向に微少量ずつ移動させたときに、実測された表面形状データとの一致度が最大となる移動量を算出する作業である。より具体的には、第1形状データを平行移動(Δx、Δy、Δz)および回転移動(Δθx、Δθy、Δθz)させて、実測された表面形状データとの偏差が最も小さくなる移動量の組み合わせを数値最適化で導き出す。つまり、設置誤差は、当該移動量(Δx、Δy、Δz、Δθx、Δθy、Δθz)によって定まる。
なお、本実施形態においては、第1形状データの表面形状と実測された表面形状との対比によりフィッティング演算を行うが、互いに角度の次元でフィッティング演算を行っても良い。すなわち、第1形状データの関数を一次微分して角度分布で表せば、測定ユニット110の出力としての実測された角度分布と直接的に対比することができる。角度分布でのフィッティング演算によれば、積分工程を含まない分、精度良く設置誤差を算出することができる。
次に、設置誤差を考慮してより精確な表面形状を演算するための原理を説明する。図14は、測定点近傍と角度測定器112の第2プローブ光の関係を説明する説明図である。図は、角度測定器112について、第2光源1121と光検出器1124により簡略化して表している。また、第1形状データによる理想の測定面を基準測定面Hdと表し、実際の測定面を実測測定面Hrと表す。また、測定面は三次元形状なので、実際には第2プローブ光の反射光は三次元のベクトル成分を持つなど、各現象は三次元の現象として観察されるが、ここでは説明の簡略化のため、yz方向における現象に着目して説明する。三次元の現象として再構築する場合は、xz方向における成分とxy方向における成分を加味すれば良い。
図14(a)は、目標位置に基準測定面Hdが配置され、測定ユニット110の基準位置115が基準測定面Hdに厳密に対向する様子を示す。測定ユニット110はθx方向にθRだけ回転され、第2支持体130による回転誤差は無い。この場合、第2光源1121から出射された第2プローブ光は、基準測定面Hdの測定点Riで反射される場合には、光検出器1124の中心である入射点Piに入射する。すなわち、測定点Riにおける面の傾きは0であると検出される。
しかし、測定ユニット110の回転移動には、上述のように第2支持体130による回転誤差Δθが上乗せされるので、想定した測定点からずれた点を測定することになる。図14(b)は、目標位置に基準測定面Hdが配置され、測定ユニット110が回転誤差Δθ分を含んで基準測定面Hdに向かい合う様子を示す。
上述のように、第2支持体130による微小回転角Δθは、干渉計ユニット151により精確に計測できるので、測定制御部186は、第2光源1121から出射される第2プローブ光の出射位置および出射方向を精確に把握している。そこで、演算部187は、第2プローブ光の出射位置および出射方向の情報を引き受け、光線追跡により光検出器1124の出力を予測する。具体的には、演算部187は、基準測定面Hdの測定点Rsの座標を光線追跡により算出し、基準測定面Hdの測定点Rsにおける法線方向を算出し、その法線方向を用いて第2プローブ光の反射方向を得る。そして、さらに光線追跡を行うことにより、光検出器1124の入射点Psを算出する。すなわち、ここで得られる入射点Psの予測出力値は、誤差要因としての第2支持体130の微小回転角Δθを考慮して算出された値である。
なお、本実施形態においては、第2支持体130のy方向およびz方向の平行移動は制御通りに精確に実行されることを前提としている。しかし、これらの平行移動に誤差が生じたとしても、干渉計ユニット151およびZセンサ155により誤差量を精確に計測できるので、これらを加味して上記の光線追跡演算を行うことができる。すなわち、微小回転角Δθに加えて平行移動の誤差も誤差要因として考慮した入射点Psの予測出力値を算出できる。
図14(c)は、目標位置に実測測定面Hrが配置され、測定ユニット110が回転誤差Δθ分を含んで基準測定面Hdに向かい合う様子を示す。すなわち、角度測定器112と、実測測定面Hrおよび基準測定面Hdとの相対関係は、図14(b)と同様である。図14(c)は、図14(b)のように光線追跡による予測出力値ではなく、実際の実出力値を得る場合の第2プローブ光の様子を示す。
この場合、第2光源1121から出射された第2プローブ光は、実測測定面Hrの測定点Rhに入射し、測定点Rhにおける実測測定面Hrの傾きに応じて反射されて、光検出器1124に至る。光検出器1124の入射点Phは、実測測定面Hrの傾きに対応する座標であり、光検出器1124は、入射点Phに対応する検出信号を実出力値として出力する。この場合、実出力値は、誤差要因としての第2支持体130の微小回転角Δθを含んで出力された値である。
図14(b)の光線追跡演算から、測定点Rsにおける基準測定面Hdの傾き(αdとする)が得られ、図14(c)の実出力値から、測定点Rhにおける実測測定面Hrの傾き(αrとする)が得られる。ここで、測定点Rsと測定点Rhは凹凸の深さ方向に直交する方向(基準測定面Hdの測定点Rsにおける接平面方向)のずれはほとんどなく、同一位置と近似することができる。したがって、座標Rsにおける基準測定面に対する実際の傾きを、αr−αdと評価することができる。この座標Rsをn=i番目の測定座標とすれば、図6における傾きαiはαr−αdと等しい。つまり、αr−αdを算出することにより、図6の演算が可能となる。
次に、図14(b)の状態からさらに設置誤差を含む場合について考える。ここでは簡単のためy方向にΔyの設置誤差がある場合について説明する。図14(d)は、設置誤差Δyだけずれた位置に実測測定面Hrが配置されるが、目標位置に基準測定面Hdが配置され、測定ユニット110が回転誤差Δθ分を含んで基準測定面Hdに向かい合う様子を示す。図14(d)は、図14(b)のように光線追跡による予測出力値ではなく、実際の実出力値を得る場合の第2プローブ光の様子を示す。
この場合、第2光源1121から出射された第2プローブ光は、実測測定面Hrの測定点Rrに入射し、測定点Rrにおける実測測定面Hrの傾きに応じて反射されて、光検出器1124に至る。光検出器1124の入射点Prは、実測測定面Hrの傾きに対応する座標であり、光検出器1124は、入射点Prに対応する検出信号を実出力値として出力する。この場合、実出力値は、誤差要因としての第2支持体130の微小回転角Δθと設置誤差Δyを含んで出力された値である。
測定制御部186は設置誤差を把握していないので、得られた実出力値は、設置誤差を含まない場合として図14(b)で光線追跡により算出された基準測定面Hdの座標Rsに対する実際の出力値と認識されてしまう。換言すると、演算部187は、測定点Rrの測定結果を座標Rsの測定結果と認識してしまう。すなわち、この対応関係の齟齬が、設置誤差Δyを誤差要因として実出力値に含まれると言える。
より具体的には、測定点Rrにおける実際の傾きと、座標Rsにおける基準測定面Hdの傾きの差を、座標Rsにおける傾きαiと認識していることになる。このように設置誤差を誤差要因として含む算出値から図6を用いて説明した演算を施して得られる表面形状が、図13を用いて説明した実測表面形状である。すなわち、設置誤差を誤差要因として含んで導出された最初の実測表面形状の精度は高くない場合があり得る。しかし、上述のようにこの実測表面形状は全体としては第1形状データによる面形状に非常に近いと言えるので、フィッティング演算により設置誤差量を算出する。
そして、設置誤差量を算出したら、目標位置からその設置誤差量だけずらした位置に基準測定面Hdを配置し直して、再び図14(b)の光線追跡演算を行う。再度の演算により得られた基準測定面Hdの新たな測定点Rsの座標は、図14(d)の測定点Rrの座標とほぼ一致する。したがって、設置誤差Δyがおよそ除去され、ほぼ同一点におけるαdとαdが得られるので、精確な傾きαiを算出することができる。このように算出されたαiを用いて再度図6を用いて説明した演算を実行すれば、より精度の高い表面形状を導出することができる。
なお、最初に導出された実測表面形状の精度があまり高くない場合には、フィッティング演算による一致度が低くなるので、精確な設置誤差量が算出できない場合がある。この場合、評価値としての一致度が予め定められた閾値を超えるまで、再演算された表面形状を再び設置誤差量を算出するためのフィッティング演算の対象としてさらに設置誤差を算出して上述の演算を繰り返しても良い。この場合、一致度が閾値を超えた時点で導出されている表面形状を最終的な表面形状として確定する。
図15は、第2形状データを得るまでの手順を表すフロー図である。図9を用いて説明したように、フローは、第1形状データが生成されてメモリ183に格納されたのち、ユーザによって被測定物200がXYステージ160に設置され、ユーザインタフェース182を介してユーザから測定開始の指示を受けた時点から開始する。
測定制御部186は、ステップS2011で、XYステージ160、第1支持体120、第2支持体130を駆動して被測定物200を初期位置に移動させる。そして、図7および図8を用いて説明したように、XYステージ160、第1支持体120、第2支持体130を駆動して測定面201に対して測定ユニット110を走査させつつ、測定ユニット110により測定点の出力を得て測定点情報を順次蓄積する。そして、測定点の終点まで到達したら、ステップS2012へ移行する。
ステップS2012において演算部187は、被測定物200がXYステージ160の目標位置に設置されていたと仮定して、第1形状データの基準測定面の設置位置を誤差量0の初期位置に設定する。ステップS2013に進み、演算部187は、図14(b)の光線追跡演算と、光線追跡演算の結果を用いて実行する図14(d)の実測表面形状を取得する演算を行う。
実測表面形状を取得できたら、ステップS2014へ進み、演算部187は、図13を用いて説明した、基準測定面と実測表面形状のフィッティング演算を行う。フィッティング演算により、被測定物200のXYステージ160に対する設置誤差量が算出される。
ステップS2015へ進み、演算部187は、評価基準を満たすか否かを判断する。具体的には、評価基準は、算出された設置誤差量が予め定められた基準誤差量を超えていないかであったり、フィッティング演算によって算出された基準測定面と実測表面形状の最大一致度が予め定められた閾値を超えているかであったりする。評価基準は、所望する測定精度や被測定物200の形状等に応じて基準値を変更したり、他の基準を採用したり、複数の基準を組み合わせたりしても良い。
演算部187は、ステップS2015で評価基準を満たさないと判断したら、ステップS2012へ戻る。ステップS2012では、演算部187は、ステップS2014のフィッティング演算により算出された設置誤差量分だけ基準測定面の設置位置をずらす。これにより、前回の演算時より、基準測定面が実際に計測した測定面201に近づくことが期待できる。そして、新たな基準測定面によりステップS2013への移行を再度実行する。
演算部187は、ステップS2015で評価基準を満たすと判断したら、ステップS2016へ進み、導出された実測表面形状を最終的な測定結果として確定させる。たとえば、確定した実測表面形状を画像生成部188でグラフィック化してユーザインタフェース182に表示しても良い。ユーザへの呈示を終えたら一連の処理を終了する。
以上の実施形態においては、表面形状測定装置10の演算部187が図11のステップS1013および図15のステップS2014のフィッティング演算を実行したが、外部の演算装置でフィッティング演算を行ってもよい。例えば、表面形状測定装置10が通信部を有して外部のクラウドサーバと接続しており、当該クラウドサーバ上でフィッティング処理演算を行うように構成してもよい。また、図15のステップS2013の光線追跡演算についても、同様に外部の演算装置で行ってもよい。
以上の実施形態においては、第1形状データ生成のフィッティングパラメータとして、面の形状についてのパラメータのみを選択する例を説明したが、位置および姿勢を一致させるための移動量としての偏心パラメータを併せて選択して、設置誤差の除去を同時に行ってもよい。フィッティングパラメータとして偏心パラメータを加えることにより、設置誤差の影響でフィッティングが収束しない弊害を回避することができる。また、図13を用いて説明した設置誤差を除くためのフィッティング演算をスキップすることができる。
以上の実施形態においては、未知の被測定物の第1形状データを、距離測定器を用いて取得した三次元座標データに対する近似曲面であるフィッティング関数として求めたが、関数へのフィッティングを行わずに、取得した三次元座標データ間の形状を補間するサブルーチンにより第1形状データを構成してもよい。例えば、NURBS(None Uniform Rational B−Spline)曲面を使用することができる。これにより、三次元座標データの分布形状および被測定物の設置誤差に依らず、被測定物の第1形状データを生成することができる。
以上の実施形態においては、フィッティング関数の一例としてZerike多項式を用いて説明したが、XY多項式およびべき級数展開された一般的な非球面式など公知の関数を使用してもよい。また、ユーザがフィッティング関数を任意に定義してもよい。第1形状データについてのフィッティング処理において、複数の関数からユーザが任意にフィッティング関数を選択してもよい。
以上の実施形態においては、フィッティング関数の一例としてZernike多項式を用いて説明したが、フィッティング関数には、球面を表す関数を使用してもよい(フィッティングパラメータは、曲率もしくは曲率半径のみ)。この場合には、図13を用いて説明した設置誤差の算出のためのフィッティング演算処理にて、曲率中心を一致させるまでの平行移動量(Δx、Δy、Δz)は算出できても、回転移動量(Δθx、Δθy、Δθz)を一意に定めることができない。このため、例えば回転移動量には、予め定めた値を与えておき、以後のフィッティング演算処理をすればよい。球面であれば、平行移動量(Δx、Δy、Δz)が把握できている限り、光線追跡演算において測定点の座標を正しく算出できるからである。
以上説明した表面形状測定装置10は、測定ユニット110を備えるヘッドをyz平面内での平行移動とθx方向の回転移動の3自由度により移動させた。ヘッドがこの3自由度に限って移動し得る構成を採用することにより、ヘッドの軽量化を図り、測定の高速化を実現した。しかし、測定の高速化は、ヘッド構成の最適化による貢献のみならず、移動の自由度を3自由度に限ることによる制御の簡易化および演算の簡易化による貢献も大きい。
この観点からすれば、ヘッド自体はより多くの自由度による移動が可能である構成を有するとしても、回転対称面を測定する場合において、yz平面内での平行移動とθx方向の回転移動の3自由度に制限した制御を行うことにより、測定の高速化を実現できる。すなわち、測定制御部が、ヘッドの移動をこの3自由度に限って制御を実行することにより、精確で高速な測定を実現できる。したがって、測定装置自体が汎用的な装置であっても、回転対称面を測定する場合に測定制御プログラムを変更すれば、一定の水準において測定の高速化を期待できる。
以上の実施形態においては、測定面201は、回転対称面であると仮定して説明したが、回転対称面でない表面を有する被測定物であっても同様の手法により精度の高い表面形状を導出することができる。例えば自由曲面に対して精度の高い表面形状を導出する場合、これまで説明した構成のうち、回転対称面の特性に基づく構成を変更すれば良い。例えば、測定ユニット110が測定点において対向する姿勢を取り得るように、表面形状測定装置10は、第1支持体120をx方向へ移動させたり、θy方向にも回転させたりする機構を採用する。これに伴い、その移動量、回転角を監視するセンサも設ける。
回転対称面を有する被測定物であれば、当該回転対称面の回転対称軸とθz回転の回転軸とをおよそ一致させる初期位置を採用したが、自由曲面を計測する場合のXYステージ160に対する初期位置はこれとは異なる。また、自由曲面の測定点の設定は、回転対称面が図8を用いて説明したような対称性を利用した場合とは異なり、例えば、xy平面に投影した場合の格子点に測定点を設定する。この場合、測定時において測定制御部186は、XYステージ160をθz方向へ回転させるのではなくxy方向へ平行移動させる。
XYステージ160をxy方向へ移動させつつ測定を行うのであれば、初期位置を任意の位置に定めても良い。ただし、XYステージ160のxy方向の移動については、第2支持体130のyz方向への移動精度と同様の精度を有するものとする。この場合は、第2支持体130のθx方向の回転成分を干渉計ユニット151を用いて検出したように、XYステージ160のθz方向の回転成分も、例えば同様の干渉計ユニットを利用して、精度良く検出する。
回転対称面の回転対称軸とθz回転の回転軸とのずれが図14(d)を用いて説明したような実際の反射点と認識している測定点座標との差を生じないのであれば、上述のステップS2012からステップS2015の処理も不要となる。別言すれば、第1形状データとして算出したフィッティング関数を用いて、測定ユニット110が測定点において対向する姿勢を取るように制御しつつステップS2011の測定を行えば、実際の反射点と認識している測定点座標との差は事実上無視し得る。
図4では、凹凸の深さ方向を回転対称面に直交する方向であると説明したが、表面形状として導出する凹凸の深さは、例えば単純にz方向の深さであっても良い。上述のように、測定制御部186は、測定ユニット110が測定点において対向する姿勢を取るように測定しているので、計測される凹凸情報は三次元のベクトルを持つ。したがって、ユーザがいずれの断面で表面形状を評価したいかにより、凹凸情報をその断面方向で成分分解して、当該断面の表面形状を生成することができる。
上述の実施形態においては、フィッティング関数として回転対称面に適用しやすいZernike多項式を用いたが、自由曲面においては様々なフィッティング関数を適用し得る。例えば、XY多項式を用いることができる。
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。
請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。