JP5059700B2 - 被測定物形状測定治具及び三次元形状測定方法 - Google Patents
被測定物形状測定治具及び三次元形状測定方法 Download PDFInfo
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Description
また、異なる工程で取得した三次元形状測定データを基準球及び基準円筒の測定結果を用いて座標変換により位置合わせし、一つの工程で測定した三次元形状データとして解析することができる。
さらに、基準球と基準円筒により得られた面を利用することで、基準球のみによる被測定物の表裏面の位置合わせに比べて精度を高め、表裏面の偏心及び傾きの測定を高速に行うことができる。
2 コンピュータシステム
3 架台
4 測定テーブル
5,6 支持アーム
7 X軸ガイド
8 撮像ユニット
10 被測定物形状測定治具(測定治具)
11 板状体
12 被測定物保持部
13 基準球搭載部
14 基準円筒取付部
15 支持軸部
20 レンズ
20A 基準球
21 コンピュータ
22 キーボード
23 ジョイスティック
24 マウス
26 プリンタ
30 基準円筒
100 測定機座標系
Claims (3)
- 第1面及びこれに対向する第2面を有する板状体と、
前記第1面及び前記第2面のそれぞれにおいてその表面が外部に露出するように前記板状体に固定された基準球と、
前記第1面及び前記第2面のそれぞれにおいてその外周表面が外部に露出するように前記板状体の側方に固定された基準円筒と、
前記板状体を貫通するように形成された孔部を有し被測定物の表面及び裏面がそれぞれ前記第1面及び第2面において露出するように前記孔部において前記被測定物を保持する被測定物保持部と
を備えた
ことを特徴とする被測定物形状測定治具。 - 前記板状体を前記第1面と前記第2面が反転可能なように回動自在に支持する支持軸部を更に備えたことを特徴とする請求項1記載の被測定物形状測定治具。
- 第1面及びこれに対向する第2面を有すると共に、基準球、及び基準円筒を固定的に保持する板状体からなる被測定物形状測定治具において、前記基準球、前記基準円筒及び少なくとも一つの被測定物を、前記第1面及び前記第2面のそれぞれにおいてそれらの表面が露出する状態で保持する工程と、
前記基準球の三次元形状を測定してこの基準球の中心点座標を算出する工程と、
前記基準円筒における軸方向に所定距離離れた2点の断面を二次元形状測定して、各断面により構成される円のそれぞれの中心点座標を算出する工程と、
前記被測定物の一方の面の三次元形状を測定して測定データを得る工程と、
前記基準球、前記基準円筒及び前記被測定物の測定結果に基づいて、前記円の各中心点座標を結ぶ線分がY軸と一致するよう、前記中心点座標及び前記測定データに関し、X軸の回り及びZ軸の回りに座標変換を行う工程と、
前記基準球、前記基準円筒及び前記被測定物の測定結果に基づいて、前記基準球及び前記円の各中心点座標を結んで構成される面がX−Y平面と平行となるよう、前記中心点座標及び前記測定データに関し、Y軸の回りに座標変換を行う工程と
を、前記被測定物の表面、及び裏面のそれぞれについて実行すると共に、
前記被測定物の表面に関し得られた測定データと前記被測定物の裏面に関し得られた測定データとに基づき、前記表面と前記裏面との間の相対位置データを算出する工程と
を備えることを特徴とする三次元形状測定方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008167087A JP5059700B2 (ja) | 2008-06-26 | 2008-06-26 | 被測定物形状測定治具及び三次元形状測定方法 |
US12/457,032 US7869060B2 (en) | 2008-06-26 | 2009-05-29 | Jig for measuring an object shape and method for measuring a three-dimensional shape |
DE602009000525T DE602009000525D1 (de) | 2008-06-26 | 2009-06-19 | Einspannvorrichtung zur Messung einer Objektform und Verfahren zur Messung einer dreidimensionalen Form |
AT09163212T ATE494525T1 (de) | 2008-06-26 | 2009-06-19 | Einspannvorrichtung zur messung einer objektform und verfahren zur messung einer dreidimensionalen form |
EP09163212A EP2138803B1 (en) | 2008-06-26 | 2009-06-19 | Jig for measuring an object shape and method for measuring a three-dimensional shape |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008167087A JP5059700B2 (ja) | 2008-06-26 | 2008-06-26 | 被測定物形状測定治具及び三次元形状測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010008193A JP2010008193A (ja) | 2010-01-14 |
JP5059700B2 true JP5059700B2 (ja) | 2012-10-24 |
Family
ID=41588890
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008167087A Active JP5059700B2 (ja) | 2008-06-26 | 2008-06-26 | 被測定物形状測定治具及び三次元形状測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5059700B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102013219838B4 (de) * | 2013-09-30 | 2015-11-26 | Carl Zeiss Ag | Verfahren und System für das Ermitteln der räumlichen Struktur eines Gegenstands |
CN105164507B (zh) * | 2013-05-02 | 2019-07-26 | 卡尔蔡司光学国际有限公司 | 用于确定对象的空间结构的方法和系统 |
DE102018201481A1 (de) | 2018-01-31 | 2019-08-01 | Carl Zeiss Vision Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der dreidimensionalen Oberflächengeometrie von Objekten |
JP7327299B2 (ja) * | 2019-07-11 | 2023-08-16 | Jfeスチール株式会社 | 破面形状評価方法、破面形状データ格納方法、及び破面形状評価装置 |
TWI806294B (zh) | 2021-12-17 | 2023-06-21 | 財團法人工業技術研究院 | 三維量測設備與三維量測方法 |
WO2024202476A1 (ja) * | 2023-03-24 | 2024-10-03 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | レンズ測定方法及びレンズ測定装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002340503A (ja) * | 2001-05-16 | 2002-11-27 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定機における被測定物の相対姿勢調整方法 |
JP4098649B2 (ja) * | 2003-03-19 | 2008-06-11 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定機の校正用治具、表面性状測定機の校正方法、表面性状測定機の校正プログラムおよびこの校正プログラムを記録した記録媒体 |
JP2006078398A (ja) * | 2004-09-10 | 2006-03-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 表裏面の偏心及び傾きの測定方法及びその装置 |
JP4705828B2 (ja) * | 2005-09-22 | 2011-06-22 | 株式会社ミツトヨ | 相対関係測定方法、及び相対関係測定装置 |
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2008
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010008193A (ja) | 2010-01-14 |
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A621 | Written request for application examination |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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