JP6489221B2 - 表面形状測定装置および表面形状測定プログラム - Google Patents
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Description
[先行技術文献]
[特許文献]
[特許文献1]特開平11−51624号公報
[特許文献1]特開2003−161615号公報
Claims (10)
- 被測定物を支持するステージと、
前記被測定物の表面の測定点における傾きを測定する測定器と、
前記測定器の出力値と、予め定められた前記被測定物の基準形状データと、前記測定器を走査する際のサンプリング間隔とに基づいて前記被測定物の表面形状データを演算する演算部と、
前記ステージにおける前記被測定物の目標設置位置の情報、前記表面形状データ、および前記基準形状データに基づいて、前記ステージにおける前記被測定物の実際の設置位置と前記目標設置位置との設置誤差を算出する算出部と
を備え、
前記演算部は、前記設置誤差を用いて前記被測定物の表面形状データを更新する表面形状測定装置。 - 前記算出部は、前記設置誤差により前記目標設置位置を更新し、前記演算部により更新された表面形状データに基づいて前記ステージにおける前記被測定物の実際の設置位置と前記目標設置位置との設置誤差を再算出し、
前記演算部は、再算出された前記ステージにおける前記被測定物の実際の設置位置と前記目標設置位置との設置誤差を用いて更に前記被測定物の表面形状データを再更新する請求項1に記載の表面形状測定装置。 - 前記設置誤差の算出後には、前記測定器を用いて再度の測定を行わない請求項1または2に記載の表面形状測定装置。
- 前記測定器は、第1プローブ光を用いて前記被測定物の表面の測定点における傾きを測定し、
前記演算部は、前記第1プローブ光の出射位置および出射位置および出射方向と前記目標設置位置または前記設置誤差により更新された更新設置位置に設置された場合の前記基準形状データとに基づいて前記被測定物の表面形状データを再更新する請求項1から3のいずれか1項に記載の表面形状測定装置。 - 前記測定器を支持する支持体と、
前記支持体を前記被測定物に対して移動させる駆動部と、
前記駆動部を制御する制御部と
を備え、
前記測定器は、第2プローブ光を用いて前記測定点までの距離を測定する距離測定器を含み、
前記制御部は、前記測定器から前記測定点までの距離が一定となるように、前記距離測定器の出力値を用いて前記駆動部により前記支持体を走査させる請求項4に記載の表面形状測定装置。 - 前記演算部は、前記測定器の出力を用いた積分演算により前記被測定物の表面形状データを導出する請求項4または5に記載の表面形状測定装置。
- 前記基準形状データは、前記被測定物の設計データである請求項1から6のいずれか1項に記載の表面形状測定装置。
- 被測定物の表面形状を測定する表面形状測定プログラムであって、
測定器を用いて前記被測定物の表面の測定点における傾きを測定する測定ステップと、
前記表面形状の基準形状データを取得する取得ステップと、
前記測定器の出力値と、前記基準形状データと、前記測定器を走査する際のサンプリング間隔とに基づいて前記被測定物の表面形状データを演算する演算ステップと、
前記被測定物を支持するステージにおける前記被測定物の目標設置位置の情報、前記表面形状データ、および前記基準形状データに基づいて、前記ステージにおける前記被測定物の実際の設置位置と前記目標設置位置との設置誤差を算出する算出ステップと、
前記算出ステップで算出した前記設置誤差を用いて前記被測定物の前記表面形状データを更新する再更新ステップと
をコンピュータに実行させる表面形状測定プログラム。 - 前記設置誤差により前記目標設置位置を更新し、前記再更新ステップにより再更新された前記表面形状データを用いて前記被測定物の実際の設置位置と前記目標設置位置との設置誤差を再算出する前記算出ステップと、
再算出された前記設置誤差を用いて更に前記被測定物の表面形状データを再更新する前記再更新ステップと
を繰り返す請求項8に記載の表面形状測定プログラム。 - 前記測定器は、第1プローブ光を用いて前記被測定物の表面の測定点における傾きを測定し、
前記再更新ステップは、前記第1プローブ光の出射位置および出射方向と前記目標設置位置に設置された場合の前記基準形状データとに基づいて前記被測定物の表面形状データを更新し、
前記再更新ステップは、前記第1プローブ光の出射位置および出射方向と前記設置誤差により更新された更新設置位置に設置された場合の前記基準形状データとに基づいて前記被測定物の表面形状データを再更新する請求項8または9に記載の表面形状測定プログラム。
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