SU935701A1 - Устройство дл контрол оптических систем - Google Patents

Description

(5) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ

i

Изобретение относитс  к оптическим измерени м, в частности к сведетвам контрол  качества линз, объективов и зеркал.

Известны устройства дл  контрол  оптических систем (линз и криволинейных поверхностей) , содержащие -источники когерентного излучени  и интерферометры , в одно плечо которых устанавливаетс  исследуема  оптическа  система, а в другие - эталоны-компенсаторы . В этих устройствах о параметрах и качестве оптической системы суд т по результатам интерференции света, прошедшего через два каналаопорный и измерительный til.

Основным недостатком этих устройств  вл етс  их больша  сложность и мала  универсальность.

Наиболее близким к изобретению  вл етс  устройство дл  контрол  оптических систем, содержащее источник излучени , формирователь пучка излучени , рассеивающую пластину и регистрирующий блок ,22.

Недостатками этого устройства  вл етс  сложность изготовлени  и настройки , низка  точность и ограниченные функциональные возможности вследствие невозможности строгой количественной интерпретации результатов интерференции.

Цель изобретени  - упрощение, по10 вышение точности и расширение функциональных возможностей устройства.

Поставленна  цель достигаетс  тем, что в устройстве дл  контрол  оптических систем, содержащем источник

Claims (2)

15 излучени , формирователь пучка излучени , рассеивающую пластину и регистрирующий блок, рассеивающа  пластина установлена в фокальной плоскости оптической системы с возмож30 ностью перемещени  и выполнена со случайным и несимметричным относительно оси расположением рассеивающих центров, при этом регистрирую39 щий блок выполнен в виде установлен ных в плоскости наблюдени  симметри но относительно оси системы пар приемников излучени , выходы которых соединены попарно через коррел торы с регистрирующими приборами. Таким образом, основным принципиальным , отличием изобретени  от известных устройств  вл етс  то, что о кривизне фронта в фокальной плоскости суд т не по результатам интерференции только двух, преобразованных в двух, определенным образом съюстированных каналах, когерентных пучков энергии, а по статистическим свойствам интерференционной картины,  вл ющейс  результатом сложени  множества волн, переизлученных случайными центрами рассе ни , т.е. по результатам многолучевой интерференции . На чертеже представлена блок-схема устройства дл  контрол  оптически систем. Устройство содержит источник 1 когерентного излучени  (например лазер), расположенные за ним формирователь 2 пучка излучени  и испытуема  оптическа  система 3- В фокальной плоскости оптической системы установлена с возможностью перемещени  рассеивающа  пластина 4. Пластина 4 выполнена со случайным и несимметричным относительно оси расположением рассеивающих центров. Рассто  ние между оптической системой 3 и рассеивающей пластиной Ц контролируетс  по шкале 5 фокусных рассто ний Кроме того, устройство содержит регистрирующий блок, выполненный в виде установленных в плоскости наблюдени  симметрично относительно оси системы пар приемников 6-9 излучени , коррел торы 10, 11, через кото рые выходы с пар приемников соединены с регистрирующими приборами 12 Устройство работает следующим образом. Однородный с известной расходимостью пучок электромагнитного излучени  от источника 1 излучени  и формировател  2 поступает на вход оптической системы 3- Установленна  в фокальной плоскости системы 3 под вижна  рассеивающа  пластина 4 (например , ликоподий на стекле) рассеивает свет, который попадает на вход приемников 6-9 излучени .. 1 .4 Так как рассеивающа  среда движетс , то движутс  и п тна в структуре рассе нного света, хот  средн   картина сохран етс . Движение п тен вызывает соответствующие флуктуации , тока приемников излучени . Коэффициент коррел ции токов, пропорциональный коэффициенту коррел ции , интенсивности рассе нного излучени , измер етс  с помощью Коррел торов 10, 11 и регистрирующих приборов 12, 13. Коррел ци  интенсивности рассе нного случайным скоплением частиц когерентного света в противоположных относительно оси зондирующегр пучка направлени х обладает сильной зависимостью от кривизны фронта рассеиваемой волны, котора  может быть использована дл  аттестации этого фронта . Положение максимумов коэффициентов коррел ции на шкале фокусных рассто ний с учетом начальной расходимости пучка позвол ет легко определить фокусное рассто ние. Величина же самого максимума есть количественна  характеристика кривизны фронта в фокусе, т.е. характеристика качества оптической системы. Астигматизм легко вы вл етс  по несовпадению максимумов коэффициентов коррел ции сигналов, сн тых с пар приемников излучени , которые расположены взаимно перпендикул рно в плоскости наблюдени . Устройство не содержит прецизионных элементов, поэтому значительно проще известных устройств того же назначени . Упрощение касаетс  настройки и регулировки устройства, что особо важно в ИК и УФ диапазонах. Фокусное рассто ние здесь определ етс  не по моменту наиболее четкого изображени , а по кривизне фронта волны, котора  пропорциональна  расходимости, и, следовательно, пропорциональна производной от сечени  пучка. Это обуславливает большую точность в определении фокусных рассто ний и вы влении астигматизма. Коррел торы 10,11 обеспечивают непрерывную выдачу параметра расходимости (кривизны фронта) в двух продольных сечени х пучка, что позвол ет легко автоматизировать процесс контрол  оптических систем. Например, автоматическое перемещение рассеивающей-среды по шкале фокусных рассто ний позвол ет записать на ленту самописца количественные данные об астигматизме и кривизне соот ветствующих волновых фронтов в двух сечени х. Формула изобретени  Устройство дл  контрол  оптическ систем, содержащее источник излучени , формирователь пучка излучени , рассеивающую пластину и регистрирую щий блок, отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности и расширени  функциональных возможностей , рассеивающа  пластина . установлена в фокальной плоскости оптической системы с возможностью перемещени  и выполнена со случай- ным и несимметричным относительно ОСИ расположением рассеивающих центров , при этом регистрирующий блок выполнен в виде установленных в плос кости наблюдени  симметрично относительно оси системы пар приемников излучени , выходы которых соединены Попарно через коррел торы с регистрирующими приборами. Источники информации, пр ин тые во внимание при экспертиз. 1.Пур ев Д.Т. Методы контрол  оптических асферических поверхностей, М., Машиностроение, 1976, с. 132, 207.

2.Бубис И.Я., Кузнецов А.И. Некоторые вопросы изготовлени  и применени  интерферометра с рассеивающей пластинкой. - Оптико-механическа  промышленность, 1975, № 7, c.f k-kJ (прототип).

Iff