SU1712778A1

SU1712778A1 - Интерферометр дл контрол асферических поверхностей второго пор дка

Info

Publication number: SU1712778A1
Application number: SU904797764A
Authority: SU
Inventors: Владимир Андреевич Феоктистов
Original assignee: Государственный Институт Прикладной Оптики
Priority date: 1990-03-02
Filing date: 1990-03-02
Publication date: 1992-02-15

Abstract

Изобретение относитс к измеритель^ ной технике и может быть использовано дл технологического и аттестационного контрол вогнутых параболоидов и зллипсоидов, в том числе с большими относительными отверсти ми, в оптическом приборостроении. Цель изобретени - повышение точности контрол . Оптическа система интерферометра позвол ет направить а ра-бочую ветвь световой пучок после однократного отражени от контролируемой поверхности. Это дает возможность' исключить суммирование искажений волнового фронта, вносимых различными зонами контролируемой поверхности, возникающее при использовании интерферометров с автокол- лимаЦйонным ходом лучей. Световой пучок от источника 1 монохроматического излучени раздел етс светоделителем 2 на два пучка. Из прошедшей части пучка объектив 6 формирует плоский эталонный фр'онт, который после прохождени светоделител 1 попадает в объектив В блока регистрации интерференционной картины. Отраженна светоделителем 2 часть пучка после отражени от зеркала 11 попадает на второй фокусирующий объектив 12 и после прохождени диафрагмы 13 попадает на контролируемую деталь 15, после отражени от детали 15 излучение падает на светоделитель 7, который совмещает эталонный и контролируемый волновые фронты до получени интерференционной картины, по которой суд т о качестве контролируемой поверхности детали 15. 2 ил.Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использован4р дл технологического и аттестационного контрол вогнутых параболоидов и эллипсоидов, в том числе с большими относительными Отверсти ми, в оптическом приборостроении.Цель изобретени - повышение точности контрол .'Это достигаетс тем, что световой пучОк направл етс на контролируемую пове|эх- ность дополнительными светоделителем ифокусирующим объективом с диафрагмой, установленной в его заднем фокусе. Это позвол ет направить световой пучок после однократного отражени от контролируемой поверхности в рабочую ветвь интерферометра, что дает возможность исключить суммирование искажений волнового фронта, вносимых различными зонами поверхности, возникающее при использовании интерферометров с автоколлимационным ходом лучей.\^ VI ^С»Е

Description

На фиг. 1 изображена оптическа схема интерферометра дл контрол вогнутых параболоидов; на фиг. 2 - схема рабочей ветви интерферометра дл контрол вогнутых эллипсоидов .

Интерферометр содержит источник 1 монохроматического излучени , светоделитель 2 дл разделени излучени на две ветви - рабочую и эталонную, последовательно установленные по ходу прошедшего светоделитель 2 излучени фокусирующий объектив 3, диафрагму 4, плоское зерка)10 5, объектив 6 дл формировани плоского эталонного волнового фронта, светоделитель 7 дл совмещени эталонного и контролируемого волновых фронтов, блок регистрации интерференционной картины , состо щий из объектива 8, диафрагмы 9 и фотоприемного устройства 10, и размещенные по ходу отраженного светоделителем 2 излучени плоское зеркало 11, второй фокусирующий объектив 12, диафрагму 13, установленную в заднем фокусе объектива 12, объектив 14, установленный с возможностью вывода из хода лучей.

Интерферометр работает следующим образом.

Световой пучок от источника 1 монохроматического излучени частично проход т светоделитель 2, частично им отражаетс . Прошедша часть пучка направл етс объективом 3 в диафрагму 4 и после отражени от зеркала 5 попадает в объектив 6, формирующий плоский эталонный волновой фронт. После прохождени светоделител 7 эталонный волновой фронт попадает в объектив 8 блока регистрации интерференционной картины. Отраженна светоделителем 2 часть пучка после отражени от плоского зеркала 11 попадает на второй фокусирующий объектив 12 и после прохождени диафрагмы 13 падает на контролируемую деталь 15.

При контроле параболоидов объектив 14 выведен из рабочей ветви интерферометра . Контролируемый параболоид 15 установлен так, что его фокус Fn совмещен с

диафрагмой 13, а ось параболоида параллельна оптической оси рабочей ветви интерферометра . После отражени от контролируемого параболоида 15 волновой

фронт падает на светоделитель 7, который совмещает эталонный и контролируемый волновые фронты. Интерферирующие волновые фронты попадают затем во входной объектив 8 блока регистрации, в котором

по анализу интерференционной картины суд т о качестве контролируемой поверхности 15.

При контроле эллипсоидов объектив 14 введен в рабочую ветвь интерферометра.

Контролируемый эллипсоид 15 установлен так, что один из его фокусов Fa совмещен с диафрагмой 13, а другой фокус FI - с фокусом объектива 14. Далее контролируемый волновой фронт, пройд объектив 14, падает на светоделитель 7 и интерферирует с эталонным волновым фронтом. Качество контролируемой поверхности определ етс как и при контроле параболоидов.

Claims

Формулаизобретени

Интерферометр дл контрол асферических поверхностей второго пор дка, содержащий источник монохроматического излучени и последовательно установленные

по ходу лучей фокусирующий объектив, диафрагму , объектив, предназначенный дл формировани эталонного волнового фронта, размещенный так, что его передний фокус совмещен с диафрагмой, и светоделитель,

предназначенный дл совмещени эталонного и контролируемого волновых фронтов, и расположенный в выходном пучке блок регистрации интерференционной картины, отличающийс тем, что, с целью

повышени точности контрол , он снабжен вторым светоделителем, установленным между источником излучени и фокусирующим объективом, и размещенными по ходу отраженных вторым светоделителем лучей

вторым фокусирующим объективом и второй диафрагмой, установленной в заднем фокусе второго фокусирующего объектива.