SU1712777A1

SU1712777A1 - Способ контрол формы вогнутых эллиптических поверхностей

Info

Publication number: SU1712777A1
Application number: SU4766213K
Authority: SU
Inventors: Юрий Васильевич Кондратов; Юрий Петрович Контиевский
Original assignee: Научно-Исследовательский Институт Приборостроения
Priority date: 1989-11-09
Filing date: 1989-11-09
Publication date: 1992-02-15
Also published as: SU1712776A1

Abstract

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при контроле оптических деталей с вогнутыми зллиптическими поверхностями. Изобретение позволяетупростить контроль путем анализа интерференционной картины с помощью автоколлимационной си'стемы, состоящей из эллиптической пЬверхности и вспомогательного оптического элемента. Освещение эллиптическо.й поверхности производят из ее ближнего фокуса, в качестве которого используют плоское зеркало с центральным отверстием и устанавливают его посередине между контроли- 'руемой поверхностью и дальним ее фокусом. 1 ил.СОсИзобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при контроле оптических деталей с вогнутыми эллиптическими поверхностями.Известен способ контроля .вогнутых e/i- липтических поверхностей, в котором ко>&нт- ролируемую эллиптическую поверхность освещают из дальнего ее фокуса гомоцентрическим пучком лучей. Затем посередине между фокусами устанавливают полупрозрачное зеркало. Лучи, отраженные от полупрозрачного зеркала, создак)т эталонный волновой фронт. Лучи, прошедшие через полупрозрачное зеркало, отраженные от контро'лируемой поверхности и вторично прошедшие через полупрозрач< ное зеркало создают анализируемый волнОг вой фронт.Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к предлагаемому является способ контроля вогнутыхэллиптических поверхностей, в котором Сначала подбирают вспомогательное сферическое зеркало в зависимости от параметра и эксцентриситета эллиптической поверхности, вспомогательное сферическое зеркало устанавливают соосно с эллиптической п

Description

Цель изобретени - упрощение контрол вогнутых эллиптических поверхностей.

Поставленна цель достигаетс тем, что усовершенствуетс способ контрол вогнутых эллиптических поверхностей, заключа- 5 ющийс в том, что контролируемую поверхность освещают из ее фокуса гомоцентрическим пучком лучей, устанавливают вспомогательный оптический элемент перпендикул рно оси излучени , регистрируют 10 отраженный волновой фронт, по которому суд т о форме контролируемой поверхности .

Освещение контролируемой поверхности производ т из ее ближнего фокуса, в 15 качестве вспомогательного оптического элемента используют плоское зеркало с центральным отверстием и устанавливают его посередине между контролируемой поверхностью и дальним ее фокусом.20

На чертеже изображена схема.реализующа способ контрол вогнутой эллиптической поверхности с помощью неравноплечего интерферометра.

Схема контрол включает лазер 1, рас- 25 ширитель лазерного излучени 2, светоделитель 3, эталонное зеркало 4, первый объектив 5, контролируемую поверхность 6, плоское зеркало 7, объектив 8, экран 9.

Контроль вогнутой эллиптической по- 30 верхности осуществл етс следующим образом .

Излучение лазера 1 преобразуетс в широкий пучок с помощью расширител 2. Светоделитель 3 делит пучок параллельных 35 лучей на два, один из которых-направл етс на эталонное плоское зеркало 4, а другой преобразуетс первым объективом 5 в гомоцентрический пучок. Контролируемую деталь 6 устанавливают так, что ближ- 40 НИИ к ней фокус Р2 совмещают с центром гомоцентрического пучка (с задним фокусом первого объектива 5). Затем располагают посередине между контролируемой деталью 6 и дальним ее фокусом FI перпен- 45 дикул рно оси излучени отражающую поверхность плоского зеркала 7. Оптические элементы б и 7 образуют автоколлимационную схему. Лучи, выход щие из F2 падают на контролируемую поверхность 6, после отражени от нее направл ютс в фокус FI. Плоское зеркало 7 собирает лучи в вершине (на чертеже точка FI ) контролируемой поверхности. Лучи после отражени от плоской и контролируемой поверхности собираютс в фокус Fa и преобразуютс первым объективом 5 в параллельный пучок. Второй объектив 8 строит изображение контролируемой поверхности в плоскости экрана 9 и проецирует в ту же плоскость другой пучок от эталонного зеркала 4. На экране 9 наблюдают интерференционную картину, по которой суд т о форме контролируемой поверхности 6.

Предлагаемый способ контрол вогнутых эллиптических поверхностей по сравнению с прототипом исключает необходимость при изготовлении очередной эллиптической поверхности с другими параметрами и эксцентриситетом подбирать или изготавливать снова вспомогательный сферический элемент и тем самым обеспечивает уменьшение числа вспомогательных сферических элементов.

Claims

Формула изобретени Способ контрол формы вогнутых эллиптических поверхностей, заключающийс в том, что контролируемую поверхность освещают из ее фокуса гомоцентрическим пучком лучей, устанавливают вспомогательный оптический элемент перпендикул рно оси излучени , регистрируют отраженный волновой фронт, по которому суд т о форме контролируемой поверхности, отличающийс тем, что, с целью упрощени контрол , освещение поверхности производ т из ее ближнего фокуса, в качестве вспомогательного оптического элемента используют плоское зеркало с центральным отверстием и устанавливают его посередине между контролируемой поверхностью и дальним ее фокусом. 2 4