SU1523905A1 - Интерферометр дл контрол асферических поверхностей второго пор дка - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике. Цель изобретени  - повышение точности и производительности контрол  за счет одновременного контрол  всей рабочей зоны асферической поверхности второго пор дка. Пучки лучей источника 1 монохроматического излучени  собираютс  конденсором 2 на диафрагме 3. Затем проход т через светоделитель 4 и объектив 5. Параллельные пучки лучей после объектива 5 частично отражаютс  светоделителем 6, а частично попадают в объектив 7, который формирует в апланатической точке-предмете первой поверхности 10 линзы 9 изображени  диафрагмы 3. При этом в апланатической точке-изображении поверхности 10, совпадающей с вершиной поверхности 10 линзы 9, формируетс  безаберрационное изображение диафрагмы 3. Пучок лучей, последовательно отразившись от контролируемой асферической поверхности 12, от сферической поверхности 11 линзы 9, еще раз от контролируемой асферической поверхности 12, проходит через линзу 9, объектив 7, светоделитель 6, объектив 5 и, отразившись от светоделител  4, попадет в блок 13 регистрации, в котором с опорным пучком лучей после отражени  от светоделител  6 формирует интерференционную картину. По этой картине суд т о качестве асферической поверхности. Точность и производительность контрол  повышаетс  благодар  тому, что вс  асферическа  поверхность контролируетс  за один прием. 1 ил.

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  контрол  асферических поверхностей второго пор дка.

Целью изобретени   вл етс  повышение точности и производительности контрол  за счет одновременного контрол  всей рабочей зоны асферической поверхности второго пор дка.

На чертеже представлена функциональна  схема интерферометра.

Интерферометр содерлсит источник 1 монохроматического излучени  и последовательно установленные по ходу пучка лучей источника 1 монохроматического излучени  конденсатор 2, диафрагму 3, светоделитель 4, объектив 5, передний фокус которого совмещен с диафрах мой 3, формирователь 6 опорного пучка лучей, выполненный, например в виде светоделител , установленного перпендикул рно оптической оси интерферометра , объектив 7, ножевую диафрагму 8, установленную с возможностью поворота вокруг оптической оси интерферометра так, что ее рабоча  кромка совмещена с оптической осью интерферометра , линзу 9, перва поиерх сость 10 которой по ходу пучка лучей источника 1 -выполнена выпуклой сферической так, что ее апланатическа  точка- изображение совмещена с вершиной рой поверхности линзы 9, втора  по-- верхность 1 1 линзы 9 выполнена в РИ-- де сферы с полупрозрачным покрыти -: ,, радиус кривизны которой равен pacci ;-  нию между фокусами контролируемой асферической поверхности 12, блок регистрации , оптически св занный через светоделитель 4 с линзой 9, Линза 9 установлена так, что апланатическа  точка-предмет первой поверхности совмещена с фокусом объектива 7,

Контролируема  асферическа  поверхность 12 устанавливаетс  так, что один из ее фокусов совмещаетс  с вер шиной второй поверхности 11 линзы 9, а другой ее фокус совмещен с центром кривизны поверхности 1 1. При этом ли за 9 и контролируема  асферическа  поверхность 12 составл ют автоколли- мацион1гую систему. Ножева  диафрасма 8 перекрывает половину пучка лучей, выход щего из объектива 7, и служит дл  экранировани  пучка лучей, отраженного вершиной поверхности 11 в обратном направлении.

5

0

5

0

5

0

Интерферометр работает следующим образом.

Пучки лучей источника 1 монохроматического излучени  собиршотс  конденсором 2 на диафрагме 3, проход т через светоделитель 4 и объектив 5. Параллельные пучки лучей после объектива 5 частично отражаютс  светоделителем 6, а частично попадают в объектив 7. Частично отражающа  поверхность светоделител  6  вл етс  эталонной плоскостью, формирующей опорный пучок лучей интерферометра. Объектив 7 формирует в апланатической точке-предмете первой полерхности 10 линзы 9 изображение диафрагмы 3, в апланатической точке-изобра сении первой поверхности 10, совпадающей с вершиной поверхности 11 линзы 9, формируетс  безаберрациоиное изображение диафраг- мь; 3. Далее пучок лучей падает па контролируемую асферическую поверхность 12, отразившись от нее, затем от поверхности 11 линзы 9 и вторично от контролируемой асферической поверхности 12, проходит через линзу 9 и попадает в объектив 7. Параллельный пучок лучей после объектива 7 проходит через светоделитель 6 и интерферирует с опорным пучком лучей. Далее 1)ба лучка лучей проход т через объектив 5, отражаютс  от светоделител  4 и попадают в блок регистрации, в котором по анализу интерференционной картины суд т о качестве контролируемой поверхности 12. При вращении ножевой диафрагмы 8 интерференционна  картина последовательно соответствует всей контролируемой поверхности .

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Интерферометр дл  контрол  асферических поверхностей второго пор дка, содержащий источник монохроматического излучени  и последовательно установленные по ходу пучка лучей источника конденсор, диафрагму, све- .тоделитель, объектив, передний фокус которого совмещен с диафрагмой, формирователь опорного пучка лучей, второй объектив, линзу, втора  по ходу пучка лучей от источника поверхность которой выполнена в виде сферы, и блок регистрации, оптически св зан51523905 ,

   ный через светоделитель с линзой, ка выполнена выпуклой сферической отличающийс  тем, что, с так, что ее апланатическа  точка-изо- целью повышени  точности и произво- бражение совмещена с вершиной второй дительности контрол , он снабжен но- , поверхности линзы, линза у.станволеиа женой диафрагмой, установленной с воз- в положение, в котором апланатическа  можностью поворота вокруг оптической точка-предмет первой по ходу пучка оси интерферометра между вторым объ- лучей поверхности совмещена с фоку- ективом и линзой так, что ее рабоча  сом второго объектива, а втора  по кромка совмещена с оптической осью ю ходу пучка лучей от источника поверх- интерферометра, перва  поверхность ность линзы выполнена с полупрозрач- линзы по ходу пучка лучей от источни- ным покрытием.