SU1037066A1 - Способ измерени угла поворота издели - Google Patents
Способ измерени угла поворота издели Download PDFInfo
- Publication number
- SU1037066A1 SU1037066A1 SU813323834A SU3323834A SU1037066A1 SU 1037066 A1 SU1037066 A1 SU 1037066A1 SU 813323834 A SU813323834 A SU 813323834A SU 3323834 A SU3323834 A SU 3323834A SU 1037066 A1 SU1037066 A1 SU 1037066A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- interferometer
- product
- scale
- length
- certified
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Description
1Il)37 Изобретение относитс к измерительной технике и может быть йспольэо вано дЛ измерении угла поворота издели например, при проверке и аттестации высокоточных автоколлиматоров и других угломерных приборов в диапазоне углов поворота +15, с погрешностью 0,01 . Известен способ измерени угла поворота издели с помощью интерферо -10 метра Майкельсона, заключающийс в том, что закрепл ют концевые отража тели интерферометра на концах издели и угол его поворота определ ют как отношение изменени разности хо да, вносимой этим поворотом, к длине базы интерферометра, представл юи ей рассто ние между ос ми интер ферирующих пучков, падающих на концевые отражатели ,Г В известном способе база определ етс косвенно - путем измерени аттестованного значени угла поворота , что ограничивает точность изме рени углов. Наиболее близким к изобретению по технической сущности вл етс способ измерени угла поворота издели с помощью интерферометра Майкельсона, включающего систему наблюдени интер ференционных полос и концевые отражатели , и аттестованной шкалы,заключающийс в том, что закрепл ют концевые отражатели на концах издели , устанавливают на изделие аттестованную шкалу, частично перекрыва ею концевые отражатели, .наблюдают в поп зрени интерферометра изменение раз ности хода,.вносимое поворотом издели , определ ют длину базы интерфе рометра по аттестованной шкале с учетом поправки на длину базы и нахо д т угол поворота издели как отношение . изменени Г разности хода к длине базы интерферометра. Поправка определ етс как рассто ние между изображени ми штрихов аттестованной шкалы в поле зрени системы наблюдени интерференционных полос и изме р етс с помощью окул рного микромет ра С2 . Недостатком этого способа вл етс низка точность определени уг ла поворота издели , что не позвол ет производить аттестацию автоколлиматоров , вход щих в состав первичного , вторичного и рабочего эталонов плоского угла. Это объ сн етс тем. 6 что при измерении поправки на длину базы с помощью окул рного микрометре возникают погрешности при определении увеличени системы наблюдени интерферометра и при определении цены делени окул рного микрометра. Например, при длине базы интерферометра мм в измер емом угле 6 погрешность может достигать 0,10-0,15. Целью изобретени вл етс повышение точности измерени угла поворота издели . Поставленна цель достигаетс тем, что согласно способу измерени угла поворота издели с помощью интерферометра Майкельсона, включающего систему наблюдени интерференционных полос и концевые отражатели, и аттестованной шкалы, заключающемус в том, что закрепл ют концевые отражатели на концах издели , устанавливают на изделие аттестованную шкалу, частично перекрыва ею концевые отражатели, наблюдают в поле зрени интерЛерометра изменение разности хода, вносимое поворотом издели , определ ют длину базы интерферометра по аттестованной шкале с учетом поправки на длину базы и наход т угол поворота издели как отношение изменени разности хода к длине базы интерферометра, перемещают аттестованную шкалу до совмещени изображени одного из крайних штрихов этой шкалы с осью системы наблюдени интерферометра, затем совмещают изображение другого крайнего штриха с осью этой системы и определ ют поправку на длину базы интерферометра как величину перемещени шкалы между этими двум совмещени ми. На чертеже изображена принципиальна схема устройства, реализующего предлагаемый способ измерени угла поворота издели . . Устройство содержит интерферометр айкельсона, включающий источник света - лазер 1, диафрагму-2, объектив 3, светоделительный кубик 4, зеркала , концевые отражатели 8 и 9, систему наблюдени , интерфенционных полос, состо щую из объектива 10, полупрозрачной пластины 11, неподвижого биссектора 12, окул ра 13 и ботоэлектрического микроскопа 1, атестованную шкалу 15, направл ющие 1б дл перемещени аттестованной
шкалы 15, измеритель 17 перемещений аттестованной шкалы 15 микрокатор с ценой делени 0,1 мкм, аттестуемый автоколлиматор 18, отражатель 19 жестко закрепл емый на изделии 20.
Предлагаемый способ осуществл етс следующим образом.
Выход щий из лазера 1 пучок света , пройд диафрагму 2, установленную в фокальной плоскости объектива 3, попадает на светоделительный кубик }, который делит его на два пучка. Первый из них после отражени зеркалом 7 попадает на концевой отражатель 9, а второй после отражений от зеркал 5 и 6 падает на концевой отражатель 8. Отраженные пучки лучей идут обратно по пре ним направлени м и попадают в систему наблюдени интерферометра. Дл определени длины базы интерферометра перемещают аттестованную шкалу 15 по направл ющим 1б, изображение одного из крайних штрихов этой шкалы совмещают с осью системы наблюдени , совпадаю1цей с серединой биесектора 12 (или щелью модул тора фотоэлектрического микроскопа 1), и ведут отсчет по измерителю 17 перемещений аттестованной шкалы. Затем производ т такую же операцию с изображением другого крайнего штриха . Разность отсчетов по измерителю 17 перемещений аттестованной шкалы
равна поправке дР, которую суммируют с действительным рассто нием Eg между крайними штрихами аттестованной шкалы 15, -И определ ют длину базы интерферометра
() . Знак поправки определ ют по взаимному расположе:нию изображени штрихов.
Такой способ непосредственного определени поправки позвол ет исключить р д источников погрешностей, присущих известному способу, и повысить точность измерени углов. На-, пример, при длине базы интерферометра 100 мм в измер емом угле Ч 6 погрешность не превышает 0,00t.
. VCT
t
1
Claims (1)
- СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ УГЛА ПОВОРОТА ИЗДЕЛИЯ с помощью интерферометра Майкельсона, включающего систему наблюдения интерференционных полос и концевые отражатели, и аттестованной шкалы,/ заключающийся в том, 4jp закрепляют концевые отражатели на концах изделия, устанавливают на изделие аттестованную шкалу, частично перекрывая ею концевые отражатели, наблюдают в поле зрения интерферометра изменение разности хода, вносимое поворотом изделия, определяют длину базй интерферометра по аттестованной шкале с учетом поправки на длину базы и находят угол поворота изделия как отношение изменения разности хода к длине базы интерферометра, отличающийся тем, - что, с целью повышения точности измерения угла поворота изделия, перемещают аттестованную шкалу до совмещения изображения одного из крайних штрихов q этой шкалы с осью системы наблюдения интерферометра, затем совмещают .изображение другого крайнего штриха с осью этой системы· и определяют поправку на длину базы интерферомет· ра как величину перемещения шкалы между этими двумя совмещениями.SU 1037006,
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU813323834A SU1037066A1 (ru) | 1981-07-30 | 1981-07-30 | Способ измерени угла поворота издели |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU813323834A SU1037066A1 (ru) | 1981-07-30 | 1981-07-30 | Способ измерени угла поворота издели |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1037066A1 true SU1037066A1 (ru) | 1983-08-23 |
Family
ID=20971487
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU813323834A SU1037066A1 (ru) | 1981-07-30 | 1981-07-30 | Способ измерени угла поворота издели |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1037066A1 (ru) |
-
1981
- 1981-07-30 SU SU813323834A patent/SU1037066A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
1. Deslattes R.D., Kesl,er E.G., Sauder VI. С. and Hen ins A. Remeasurement of j-Ray Reference Lines. Annals of phisics 129, 1980, P. 378-i 3, 2. Авторское свидетельство СССР ff 696283, кл. G 01 В 11/26, G Ot t3 9/02, 1977 (прототип). * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4969744A (en) | Optical angle-measuring device | |
GB2235789A (en) | Michelson interferometer | |
US3090279A (en) | Interferometer using a diffraction grating | |
US5355210A (en) | Method and apparatus for measuring optical properties of optical devices | |
CN104792269A (zh) | 一种对线性相移误差不敏感的光纤端面高度值的解算方法 | |
CN110082071B (zh) | 一种直角棱镜光学平行差的测量装置及方法 | |
SU1037066A1 (ru) | Способ измерени угла поворота издели | |
US3832063A (en) | Lens axis detection using an interferometer | |
CN204202853U (zh) | 离轴抛物面镜焦距的检测装置 | |
US3043182A (en) | Interferometer for testing large surfaces | |
JP3461566B2 (ja) | 円錐形状測定用干渉計 | |
RU2769305C1 (ru) | Автоколлиматор | |
US6081333A (en) | Bi-lateral shearing interferometer with beam convergence/divergence indication | |
SU759845A1 (ru) | ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ НАРУЖНЫХ РАЗМЕРОВ ДЕТАЛЕЙ 1 "" ' / | |
CN108663192A (zh) | 波前传感器的检测装置和方法 | |
SU696283A1 (ru) | Способ измерени угла поворота издели | |
JPH03156305A (ja) | 非球面形状測定装置 | |
US3374704A (en) | Linear calibrating interferometer | |
SU352479A1 (ru) | ||
Saxena et al. | Low cost method for subarcsecond testing of a right angle prism | |
SU712654A1 (ru) | Интерферометр | |
IL100440A (en) | Method and apparatus for measuring optical properties of optical devices | |
SU1679301A1 (ru) | Устройство дл измерени показател преломлени прозрачных сред | |
SU1762118A1 (ru) | Интерферометрический способ контрол детали | |
JPH05180642A (ja) | 平面物体の真直度測定機 |