SU712655A1 - Калибратор фазовых сдвигов - Google Patents

Калибратор фазовых сдвигов Download PDF

Info

Publication number
SU712655A1
SU712655A1 SU782654869A SU2654869A SU712655A1 SU 712655 A1 SU712655 A1 SU 712655A1 SU 782654869 A SU782654869 A SU 782654869A SU 2654869 A SU2654869 A SU 2654869A SU 712655 A1 SU712655 A1 SU 712655A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
channel
phase shift
working
phase
polarizers
Prior art date
Application number
SU782654869A
Other languages
English (en)
Inventor
Аркадий Гаикович Данелян
Юрий Суренович Манукян
Юлиус Александрович Джагаров
Николай Александрович Джиджоев
Original Assignee
Всесоюзный Научно-Исследовательский Институт Автоматизации Средств Метрологии
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Всесоюзный Научно-Исследовательский Институт Автоматизации Средств Метрологии filed Critical Всесоюзный Научно-Исследовательский Институт Автоматизации Средств Метрологии
Priority to SU782654869A priority Critical patent/SU712655A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU712655A1 publication Critical patent/SU712655A1/ru

Links

Landscapes

  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Description

Изобретение относится к оптико-интерференционным устройствам и может быть использовано в метрологии для проведения поверочных работ в качестве источника колебаний с заданным сдвигом фаз.
Известны устройства для получения колебаний, регулируемых по фазе, включающие тракт опорного сигнала и тракт сигнала со сдвинутой фазой [1].
Наиболее близким по техническому решению задачи является калибратор фазовых сдвигов [2], содержащий рабочий канал и канал измерения разности фаз.
Недостатком известного устройства является низкая точность задания фазового сдвига, обусловленная наличием источника систематической погрешности измерений фазового сдвига в оптической системе формирования двух световых модулированных, рабочих световых потоков, один из которых является опорным, а другой связан оптически с подвижным отражателем, а механически — с измерительным интерферометром, обеспечивающим задание и измерение фазового сдвига между световыми потоками. Наличие механической связи рабочего светового потока с измерительным световым потоком интерферометра приводит к появлению неучтенной оптической разности хода лучей рабочих световых потоков и обус2 лавливает появление систематической погрешности задания фазовых сдвигов.
Целью изобретения является увеличение точности задания фазовых сдвигов.
Поставленная цель достигается тем, что в устройстве, содержащем рабочий канал и канал измерения разности фаз, канал измерения разности фаз оптически совмещен с рабочим каналом, а на входе и выходе 10 рабочего канала и на канале измерения разности фаз установлены линейные поляризаторы, причем ориентация поляризаторов в рабочем канале ортогональна к ориентации поляризаторов в канале измерения 15 разности фаз.
Функциональная схема устройства изображена на чертеже.
Устройство содержит источник света 1, светоделитель 2, модулятор 3, подключение) ный к нему источник модулирующего сигнала 4, линейный поляризатор 5, светоделитель 6, зеркало 7, светоделитель 8, линейный поляризатор 9, фотоприемник 10, зеркало 11, уголковый отражатель 12, зер25 кало 13, светоделитель 14, линейный поляризатор 15, фотоприемник 16, зеркала 17 и 18, линейные поляризаторы 19 и 20 и счетчик интерференционных полос 21.
Устройство работает следующим обра30 зом.
Световой поток источника 1 через светоделитель 2 поступает на модулятор 3, управляемый источником модулирующих колебаний 4 и далее на поляризатор 5. Модулированный и поляризованный световой поток разделяется на светоделителе 6 на два световых потока. Отраженный от делителя 6 световой поток посредством зеркала 7 передается на делитель 8. Пройдя делитель 8 и поляризатор 9, световой поток поступает на фотоприемник 10 и образует на его выходе (выход I) выходной опорный электрический сигнал. Модулированный световой поток, проходящий через делитель 6, отражается от зеркала 11, поступает в отражатель 12 и далее после отражения от зеркала 13 через светоделитель 14 и поляризатор 15 попадает на фотоприемник 16. На выходе фотоприемника 16 (выход II) образуется выходной электрический сигнал со сдвинутой фазой. Перемещением отражателя 12 вдоль линии М—Н в сигнал, поступающий на фотоприемник 16, вводится заданный сдвиг фаз относительно сигнала, поступающего на фотоприемник 10. Величина перемещения отражателя- 12 и, следовательно, величина введенного фазового сдвига контролируется с помощью светового потока источника 1, отраженного от светоделителя 2 и зеркал 17 и 18. Этот световой поток, пройдя через поляризатор 19, делится на две части, одна из которых, пройдя путь, образованный элементами 7,8 и 14, поступит на поляризатор 20 и далее на счетчик интерференционных полос 21, а другая часть, пройдя по пути, образованному элементами 11—14, также поступит на счетчик интерференционных полос 21. Встречаясь на светоделителе 14 названные световые потоки образуют интерференционную картину, вид которой зависит от вели5 чины разности хода, внесенной перемещением отражателя 12. Через поляризаторы 9 и 15 эти световые потоки не проходят, так как их поляризация ортогональна по отношению к пропусканию поляризаторов 9 и 15. 10 Поскольку оптические пути рабочих световых потоков и световых потоков, служащих для измерения разности хода, совпадают, то тем самым исключается систематическая погрешность, возникающая при 15 механической связи измерительного канала с рабочими каналами.

Claims (1)

  1. Формула изобретения
    Калибратор фазовых сдвигов, содержа20 щий рабочий канал и канал измерения разности фаз, отличающийся тем, что, с целью увеличения точности задания фазовых сдвигов, канал измерения разности фаз оптически совмещен с рабочим кана25 лом, а на входах и выходах рабочего канала и канала измерения разности фаз установлены линейные поляризаторы, причем ориентация поляризаторов в рабочем канале ортогональна к ориентации поляризато30 ров в канале измерения разности фаз.
SU782654869A 1978-07-26 1978-07-26 Калибратор фазовых сдвигов SU712655A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU782654869A SU712655A1 (ru) 1978-07-26 1978-07-26 Калибратор фазовых сдвигов

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU782654869A SU712655A1 (ru) 1978-07-26 1978-07-26 Калибратор фазовых сдвигов

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU712655A1 true SU712655A1 (ru) 1980-01-30

Family

ID=20781407

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU782654869A SU712655A1 (ru) 1978-07-26 1978-07-26 Калибратор фазовых сдвигов

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU712655A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0646767B1 (en) Interferometric distance measuring apparatus
KR100253496B1 (ko) 절대 거리를 위한 전기 광학적 측정기
US3891321A (en) Optical method and apparatus for measuring the relative displacement of a diffraction grid
US5106191A (en) Two-frequency distance and displacement measuring interferometer
US4859066A (en) Linear and angular displacement measuring interferometer
US4600299A (en) Optical distance measuring instrument
US5493395A (en) Wavelength variation measuring apparatus
US4717250A (en) Angle measuring interferometer
JPH02236103A (ja) ロボット端部作動体および工具用の集積光ファイバ結合近接センサ
JPH03180704A (ja) レーザ干渉計
US3635552A (en) Optical interferometer
JPH03504768A (ja) 特に可動な構成要素の距離及至シフト運動を測定するための干渉計システム
JP5786270B2 (ja) 2色干渉計測装置
SU712655A1 (ru) Калибратор фазовых сдвигов
US6064482A (en) Interferometric measuring device for form measurement on rough surfaces
JP2004055775A (ja) 波長モニタ及びモータ駆動制御装置
EP0461773A2 (en) Linear pitch, and yaw displacement measuring interferometer
SU1423914A1 (ru) Устройство дл измерени длины волоконного световода
CN110849593B (zh) 基于声光调制器外差干涉测量光学系统波像差的测量设备
SU1275322A1 (ru) Фазометрическое устройство
GB2333834A (en) Interferometer with deadpath error compensation
SU1362923A1 (ru) Двухчастотна интерферометрическа система дл измерени линейных перемещений
SU1478064A1 (ru) Способ измерени оптической длины волоконных световодов
US3495911A (en) Extended range interferometer
CN115560680A (zh) 空间光学组件绝对距离和相对位移融合的测量系统