SU1603189A1 - Устройство дл измерени перемещений объекта - Google Patents
Устройство дл измерени перемещений объекта Download PDFInfo
- Publication number
- SU1603189A1 SU1603189A1 SU894642129A SU4642129A SU1603189A1 SU 1603189 A1 SU1603189 A1 SU 1603189A1 SU 894642129 A SU894642129 A SU 894642129A SU 4642129 A SU4642129 A SU 4642129A SU 1603189 A1 SU1603189 A1 SU 1603189A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- measuring
- grating
- photodetectors
- counter
- indicator
- Prior art date
Links
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано при прецизионных измерени х перемещений объекта. Целью изобретени вл етс повышение точности за счет уменьшени погрешностей изготовлени дифракционной решетки и расширение пределов измерени . Излучение от источника света расщепл етс на два пучка и поступает на корректирующий элемент, который направл ет их на измерительную решетку, св занную с перемещающимс объектом. Решетка выполнена из оптических одножильных световодов. Прошедшее решетку излучение интерферирует. Объектив увеличивает интерференционные полосы и проецирует их на двухщелевую диафрагму и дальше - на два фотоприемника. Сигналы с фотоприемников усиливаютс и поступают в счетчик. 1 ил.
Description
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано при прецизионных измерени х перемещений объекта.
Цель изобретени - повьшение точности за счет уменьшени погрешностей изготовлени дифракционной решетки и расширение пределов измерени .
На чертеже изображено ycTpoiicTBO дл измерени -перемещений объекта.
Устройство содержит последовательно установленные источник 1 света и две прозрачные решетки 2 и 3, одна из которых (2) индикаторна , а друга (3) измерительна , предназначенна дл св зи с объектом, и приемную cиcтe ry, состо щую из последовательно установленных объектива 4, двух- щелевой диафрап-о. 5 и двлтс фотоприемников 6 и 7, счетчика 8 и двух усилителей 9 и 10, электрически св зан - ных входа№1 с фотоприемниками 6 и 7, а выходами - со счетчиком 8, и кор- ректрфующий элемент 11 , установленный за индикаторной решеткой 2 в диафрагированных ею пучках i1-ro пор дка. Измеритепьна решетка 3 выполнена в виде приставленных друг к другу без зазора оптических одножильных световодов (ОЖС) без защитной оболочки и установлена в месте пересечени дифрагированных в плоскости, параллельной плоскости решетки 2.
Устройство работает следующим образом ,
.Изл чeшie от источш1ка 1 света, в .качестве которого использован лазер,
о;
ос
расщепл етс индикаторной решеткой 2 на два пучка, которые поступают на корректирующий элемент 11. Корректи- рующий элемент 11 направл ет оба пучка в заданную точку, где они пересекаютс . Элемент 11 состоит из одной неподвижной и двух подвижных частей. Это обеспечивает возможность изменени элементом 11 углов, под которыми пучки направл ютс в точку пересечени . Измен углы, можно мен ть чувствительность устройства к перемещени м. Д aпaзoн изменени углов - от нескольких градусов дол АО. Соответственно, чувствительность может мен тьс в диапазоне 100-1 мкм. В точке пересечени дифрагированные пучки попадают на измерительную решетку 3, св занную с перемещаю1цимс ; объектом. Решетка 3 выполнена из при- ставленных друг к другу без зазора ОЖС без защитной оболочки и представл ет собой наборный оптический растр (НОР). Наращивание НОР путем прйсты-I ковки к нему новых ОМС дает возйож- ность измер ть перемещени объекта практически на любые рассто ни . Прошедшее НОР излучение интерфериру ет. Объектив 4 увеличивает интерференционные полосы и проецирует их на двухщелевую диафрагму 5 и даль- ше на фотоприемники 6 и 7, сдвинутые в пространстве интерференционной полосы на If/Z, При перемеще1ши НОР интерференционные полосы перемещаютс , усилители 9 и 10 усиливают фототоки с фотоприемников 6 и 7 и преобразуют их в импульсы, которые накапливаютс в счетчике 8,:
дааметр дифрагированных пучков должен быть вдвое больше диаметра ОЖС, из которых составлен НОР. Выполнение этого услови обеспечивает по16031894
сто нный контакт интерференционных полос.
В качестве источника 1 света мо- J гут примен тьс лазеры с малой длиной когерентности (например, полупроводниковые ) .
НОР может быть выполнен по любой криволинейной траектории с радиусом 10 кривизны 10-12 диаметров ОЖС и выше, что дает возможность измер ть криволинейные перемещени при движении устройства вдоль НОР. НОР может быт выполнен пут ем креплени как на жестп 15 У так и на гибкую поверхность.
20
25
30
35
Claims (1)
- Формула изобретениУстройство дл измерени перемещений объекта, содержащее последовательно установленные источник света и две прозрачные решетки, одна из которых индикаторна , а друга измерительна , предназначенна дп св зи с объектом, и приемную систему, сос то щую из последовательно установленных объектива, двухще евой диафрагмы и двух фотоприемников, счетчика и двух усилителей, электрически св зан- ных входами с фотоприемниками, а выходами - со счетчиком, о т л и ч а -i ю щ е е с тем, что, с целью по- вьрцени точности и расширени пределов измерени , оно снабжено корректи рующим элементом, установленньм за индикаторной решеткой в дифрагирован- ных ею пучках 1-г6 пор дка, а измерительна решетка выполнена в виде приставленных друг к другу без зазора оптических одножильных световодов без защитной оболочки и установлена в месте пересечеии дифрагированных пучков в плоскости, параллельной плоское ти.реветки.0505Формула изобретениУстройство дл измерени перемещений объекта, содержащее последовательно установленные источник света и две прозрачные решетки, одна из которых индикаторна , а друга измерительна , предназначенна дп св зи с объектом, и приемную систему, сос то щую из последовательно установленных объектива, двухще евой диафрагмы и двух фотоприемников, счетчика и двух усилителей, электрически св зан- ных входами с фотоприемниками, а выходами - со счетчиком, о т л и ч а -i ю щ е е с тем, что, с целью по- вьрцени точности и расширени пределов измерени , оно снабжено корректи рующим элементом, установленньм за индикаторной решеткой в дифрагирован- ных ею пучках 1-г6 пор дка, а измерительна решетка выполнена в виде приставленных друг к другу без зазора оптических одножильных световодов без защитной оболочки и установлена в месте пересечеии дифрагированных пучков в плоскости, параллельной плоское ти.реветки.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894642129A SU1603189A1 (ru) | 1989-01-27 | 1989-01-27 | Устройство дл измерени перемещений объекта |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894642129A SU1603189A1 (ru) | 1989-01-27 | 1989-01-27 | Устройство дл измерени перемещений объекта |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1603189A1 true SU1603189A1 (ru) | 1990-10-30 |
Family
ID=21424967
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU894642129A SU1603189A1 (ru) | 1989-01-27 | 1989-01-27 | Устройство дл измерени перемещений объекта |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1603189A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2675922C1 (ru) * | 2017-12-22 | 2018-12-25 | Максим Борисович ЕФИМОВ | Установка для тренировок в различных видах спорта с мячом |
-
1989
- 1989-01-27 SU SU894642129A patent/SU1603189A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Фотозлектрические преобразователи информации/Под ред, Л.И. Пресну- хина. М.: Машиностроение, 1974, с. 135-174, фиг. 80. * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2675922C1 (ru) * | 2017-12-22 | 2018-12-25 | Максим Борисович ЕФИМОВ | Установка для тренировок в различных видах спорта с мячом |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4570065A (en) | Robotic compensation systems | |
US4938595A (en) | Diffraction photoelectric displacement measuring device | |
EP0311144A3 (en) | Optical instrument for measuring displacement | |
US4433585A (en) | Device for measurement of the torsional angular deviation of a loaded rotating or static shaft | |
JPH048724B2 (ru) | ||
JP2732849B2 (ja) | 干渉測長器 | |
SU1603189A1 (ru) | Устройство дл измерени перемещений объекта | |
US4115008A (en) | Displacement measuring apparatus | |
CN85102930A (zh) | 光学位移测量仪 | |
SU1525662A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных перемещений | |
CN114705136B (zh) | 基于光谱辨析技术的自准直绝对测角方法及系统 | |
SU1364866A1 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений | |
JPH07270723A (ja) | 定点検出装置 | |
SU1281878A1 (ru) | Устройство дл измерени внутреннего диаметра крупногабаритного издели | |
SU1649262A1 (ru) | Интерференционный преобразователь угла | |
JPH044974Y2 (ru) | ||
SU1265467A1 (ru) | Устройство дл измерени пространственного положени объекта | |
SU1696855A1 (ru) | Двухкоординатный оптикоэлектронный угломер | |
JPS62156563A (ja) | 速度および距離測定装置 | |
RU1770739C (ru) | Устройство дл измерени угловых перемещений объекта | |
JPS6041287B2 (ja) | 微小角測定方法 | |
SU1126812A1 (ru) | Устройство дл измерени деформаций диффузно отражающих объектов | |
SU1093889A1 (ru) | Датчик линейных перемещений | |
SU1693369A1 (ru) | Устройство дл определени нулевого положени объекта | |
SU1196686A1 (ru) | Система компенсации угловых смещений объекта дл двухлучевых интерференционных измерителей перемещений |