RU2158416C1 - Устройство для определения размеров деталей - Google Patents
Устройство для определения размеров деталей Download PDFInfo
- Publication number
- RU2158416C1 RU2158416C1 RU99119799A RU99119799A RU2158416C1 RU 2158416 C1 RU2158416 C1 RU 2158416C1 RU 99119799 A RU99119799 A RU 99119799A RU 99119799 A RU99119799 A RU 99119799A RU 2158416 C1 RU2158416 C1 RU 2158416C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- optical
- photodetector
- output
- photodetectors
- boundary
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к гетеродинной лазерной интерферометрии, и может быть использовано для контроля размеров деталей. Устройство состоит из трех основных блоков: блока фиксации границы детали, подвижного предметного столика и интерферометра перемещений. Особенность устройства заключается в использовании оригинальной конструкции блока фиксации границы деталей, который реализован с помощью интерференционной схемы и позволяет с высокой точностью формировать в оптическом потоке две пространственно-чувствительные координаты. Перемещение контролируемой детали на подвижном предметном столике и ее пересечение с оптическим потоком приводит к образованию двух импульсных перепадов импульсов, синхронизирующих измерение сигнала на выходе интерферометра перемещений. Интерферометр перемещений реализован по схеме Маха-Цендера с триппель-призмой, прикрепленной к подвижному предметному столику. Устройство позволяет повысить точность измерений. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.
Description
Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к лазерной интерферометрии, и может быть использовано для измерений линейных размеров различных деталей (объектов).
Процесс определения размеров деталей состоит из двух операций:
1) определение границ контролируемой детали;
2) измерение линейного расстояния в интервале между этими границами.
1) определение границ контролируемой детали;
2) измерение линейного расстояния в интервале между этими границами.
Соответственно суммарная погрешность измерения состоит из двух составляющих: Δгр - погрешность фиксации границы детали и Δлр - погрешность измерения линейного расстояния между границами детали.
В настоящее время в различных отраслях машиностроения определение геометрических размеров изделий в основном производится на координатных измерительных машинах. Для фиксации границы детали широко используются контактные измерительные головки (ИГ), а для определения расстояния в интервале между границами применяются растровые, индуктосинные и магнитные шкалы. Однако наиболее часто используются лазерные измерительные системы (ЛИС), обеспечивающие наивысшую точность. Погрешность таких ЛИС Δлр не превышает (0,1-0,5) мкм/м.
В связи с тем, что у комнатных ИГ погрешность Δгр намного превышает погрешность Δлр и находится на уровне 1-2 мкм, то переходят к использованию оптических устройств определения границы детали, среди которых самыми распространенными являются амплитудные устройства определения границы деталей.
Известно устройство для контроля зазоров /1/ (аналог), состоящее из лазера, светоделителя, линзы, интерферометра, образованного светоделителем, двумя зеркалами, двух фотоприемников, счетчика импульсов.
При работе этого устройства контролируемую деталь перемещают поперечно световому лучу, который представляет тонкий оптический пучок, и определяют интенсивность отраженного оптического пучка. Резкое изменение интенсивности свидетельствует о прохождении лучом границы детали.
Недостатками такого устройства измерения является невысокая точность измерения, обусловленная различными внешними засветками и флуктуациями оптических и электрически параметров фотоприемной части устройства.
Также известно устройство /2/ (аналог), состоящее из блока фиксации границы детали, измерителя линейных перемещений подвижного стола и блока обработки информации. Первый блок представляет собой оптически соединенные источник монохроматического излучения, коллиматор, собирающую линзу, диафрагму, фотодетектор. Второй блок состоит из оптически соединенных источника монохроматического излучения, гомодинного интерферометра Маха-Цендера с перемещающейся, закрепленной на подвижном столе триппель-призмой и фотодетектора.
Блок обработки информации состоит из формирователя импульсов, фильтра, делителя частоты, системы фазовой автоподстройки частоты и счетчика импульсов.
Недостатком этого устройства является общая невысокая точность измерений, обусловленная как невысокой точностью определения границы детали при использовании амплитудного метода, так и невысокой точностью измерения линейных перемещений при использовании интерферометра на постоянном токе.
Повышение точности измерений получается при переходе к использованию гетеродинного интерферометра (например, с акустооптическим модулятором). Поэтому наиболее близким по технической сущности к предлагаемому устройству является устройство /3/ (прототип), состоящее из трех основных блоков: блока фиксации границы детали, передвижного предметного столика и интерферометра перемещений.
Блок фиксации границы детали состоит из оптически соединенных источника монохроматического излучения, коллиматора, зеркала, двух линз, зеркала, линзы, диафрагмы и фотоприемного устройства.
С помощью передвижного предметного столика устанавливаемая деталь перемещается относительно сформированного оптического луча.
Интерферометр перемещений реализован по схеме Маха-Цендера с триппель-призмой, прикрепленной к подвижному предметному столику, и пространственным совмещением двух разночастотных оптических потоков.
Несмотря на уменьшение погрешности измерения линейного расстояния между границами детали Δлр за счет использования гетеродинного интерферометра, повышение точности всего устройства в значительной степени ограничивается точностью измерений, обусловленной большим значением погрешности фиксации границы детали Δгр из-за фиксации границы детали амплитудным способом - по изменению амплитуды сигнала.
Изобретение направлено на достижение технического результата, который заключается в повышении точности измерений.
Указанный результат достигается тем, что предлагаемое устройство состоит из блока фиксации границы детали, включающее источник монохроматического излучения и последовательно установленные по ходу оптического луча коллиматор, две линзы, фотоприемное устройство с одним оптическими входом и электрическим выходом, являющийся электрическим выходом блока фиксации границы детали; подвижного предметного столика, на который устанавливается деталь, с возможностью перемещения перпендикулярно оптическому лучу; интерферометра перемещений, реализованного по схеме Маха-Цендера с триппель-призмой, прикрепленной к подвижному предметному столику, и пространственным совмещением двух разночастотных оптических потоков на оптическом входе фотоприемного устройства, выход которого является электрическим выходом интерферометра перемещений, в блок фиксации границы детали введены акустооптический модулятор с одним электрическим и оптическими входами и возможностью формирования трех пространственно разнесенных разночастотных выходных оптических потоков, генератор, светоделитель, дифракционная решетка и второе фотоприемное устройство с одним электрическим выходом, при этом в обоих фотоприемных устройствах сформирован второй оптический вход, причем на оптических входах первого фотоприемного устройства пространственно совмещены часть среднего и крайний разночастотные оптические потоки, а на оптических входах второго фотоприемного устройства - другие, часть среднего и крайний разночастотные оптические потоки, при этом в качестве линз используются цилиндрические линзы, причем акустооптический модулятор установлен между коллиматором и первой цилиндрической линзой, а светоделитель размещается между первой и второй цилиндрическими линзами, причем дифракционная решетка размещена между второй цилиндрической линзой и оптическими входами фотоприемных устройств, при этом выход генератора подключен к электрическому входу акустооптического модулятора и является первым электрическим выходом блока фиксации границы детали, а его вторым и третьим выходами являются выходы фотоприемных устройств, причем подвижный предметный столик имеет возможность перемещаться между светоделителем и второй цилиндрической линзой.
Другим отличием устройства является то, что каждое фотоприемное устройство блока фиксации границы детали состоит из двух оптических волокон, двух фотоприемников, фазового детектора и компаратора, при этом одними концами оптические волокна прикреплены к оптическим входам фотоприемников, а другие являются оптическими входами фотоприемных устройств и расположены со сдвигом друг относительно друга на линии перемещения подвижного предметного столика, причем электрические выходы фотоприемников подключены к соответствующим входам фазового детектора, а его выход соединен с компаратором, при этом выход последнего является электрическим выходом фотоприемного устройства.
Полученное новое качество от данной совокупности признаков ранее не было известно и достигается только в данном устройстве.
Описание устройства поясняется фиг. 1 - 3.
Фиг. 1 представляет схему устройства для определения размеров деталей.
На фиг. 2 изображены пространственные диаграммы, поясняющие формирование выходных электрических сигналов.
На фиг. 3 показаны освещаемые оптические входы фотоприемных устройств при перемещении подвижного предметного столика с деталью.
Устройство (фиг. 1) состоит из трех основных блоков: блока фиксации границ (БФГ) 1, подвижного предметного столика 24 и интерферометра перемещений (ИП) 26.
Блок БФГ 1 содержит источник монохроматического излучения (лазер) 2, коллиматор 3, акустооптический модулятор (АОМ) 4, генератор 5, цилиндрические линзы 6 и 8, светоделитель 7, дифракционную решетку 9, первый фотоприемный канал 10, состоящий из оптических волокон 12 и 13, двух фотоприемников 14 и 15, фазового детектора 16 и компаратора 17; второй фотоприемный канал 11, состоящий из оптических волокон 18 и 19, двух фотоприемников 20 и 21, фазового детектора 22 и компаратора 23.
Блок ИП 26 состоит из диафрагмы 27, коллиматора 28, зеркал 29-31, триппель-призмы 33, светоделителя 32, фотоприемного устройства 34.
Предлагаемое устройство работает следующим образом. Излучение лазера 2 преобразуется коллиматором 3 в коллимированный пучок, проходит сквозь АОМ 4, в котором создаются бегущие акустические волны с периодом Λ1. Блок АОМ 4 возбуждается генератором 5, формирующим опорный электрический сигал U1= U0sin(ωt+φ0), выход которого является первым выходом устройства.
Коллимированный пучок дифрагирует в АОМ 4 в режиме Рамана-Ната на три разночастотных пространственно разнесенных дифракционных порядка E(+1), E(0) и E(-1). Эти дифракционные порядки после цилиндрической линзы 6 следуют в виде трех параллельных оптических потоков.
Светоделителем 7 дифракционные порядки E(+1), E(0) и E(-1) делятся каждый на два пучка, причем первый пучок каждого потока не меняет своего направления, а второй выводится из блока БФГ 1 и вводится в блок ИП 26.
Блок ИП 26 представляет собой интерферометр, собранный по схеме Маха-Цендера, с помощью диафрагмы 27 из общего оптического потока выделяются дифракционные порядки E(-1) и E(0).
Дифракционный порядок E(-1) с помощью зеркала 29 направляется на светоделитель 32. Для повышения эффективности пространственного совмещения дифракционный порядок E(0) коллиматором 28 преобразуется в более тонкий пучок и направляется зеркалами 30 и 31 на триппель-призму 33, после которой он следует на светоделитель 32, на котором пространственно совмещается с дифракционным порядком E(-1), следующим после зеркала 29.
Пространственное совмещение этих дифракционных порядков на входе фотоприемника 34 приводит к формированию на его выходе и, соответственно, блока ИП 26 электрического сигнала U10(Δl) = U0sin[ωt+φ5(Δl)]. Регистрация перемещения подвижного предметного столика 24 осуществляется путем определения фазового набега между сигналами U1 и U10(Δl), который при учете двойного хода лазерного луча определяется:
Δφ(Δl) = φ5(Δl)-φ0= 4πΔl/λ, (1)
где λ - длина света.
Δφ(Δl) = φ5(Δl)-φ0= 4πΔl/λ, (1)
где λ - длина света.
Процесс фиксации верхней и нижней границ детали 25 происходит следующим образом.
До пересечения детали 25 с оптическим потоком происходит пространственное совмещение пучков пар разночастотных дифракционных порядков E(+1) - E(0) и Е(-1) - E(0) после цилиндрической линзы 8 под равными углами β, приводящее к образованию двух бегущих интерференционных картин с периодом Λ2= λ/sinβ. Эти бегущие интерференционные картины освещают дифракционную решетку 9 и оптические входы обоих фотоприемных устройств 10 и 11. Пространственное совмещение бегущих интерференционных картин с периодом Λ2 и дифракционной решетки с шагом Λ3, приводит к формированию бегущих комбинационных полос, период которых Λ4 определяется выражением
(2)
При выполнении условия Λ2≈ Λ3 происходит резкое увеличение периода бегущих комбинационных полос, что позволяет обеспечить выполнение условия помехоустойчивого фотоэлектрического преобразования:
dв≤1/3Λ4, (3)
где dв - диаметр волокна, Λ4 - период бегущих комбинационных полос.
При выполнении условия Λ2≈ Λ3 происходит резкое увеличение периода бегущих комбинационных полос, что позволяет обеспечить выполнение условия помехоустойчивого фотоэлектрического преобразования:
dв≤1/3Λ4, (3)
где dв - диаметр волокна, Λ4 - период бегущих комбинационных полос.
При перемещении подвижного предметного столика 24 и установленной на ней детали 25 вдоль оси 1 (фиг. 1) ее верхняя грань пересекается с дифракционным порядком E(+1). В результате этого последний дифрагирует и отклоняется от прямолинейного пути в направлении оси 1. Это приводит к тому, что интерференционная картина смещается и на выходах фотоприемников 20 и 21 формируются сигналы:
на выходе фотоприемника 20-U6(l) = U0sin[ωt+φ3(l)],
на выходе фотоприемника 21-U7(l) = U0sin[ωt+φ4(l)].
на выходе фотоприемника 20-U6(l) = U0sin[ωt+φ3(l)],
на выходе фотоприемника 21-U7(l) = U0sin[ωt+φ4(l)].
Так как оптические входы фотоприемников 20 и 21 пространственно смещены, то и фазовые характеристики φ3(l) и φ4(l) имеют нелинейный вид и смещены друг относительно друга (фиг. 2а).
Эти выходные сигналы U6(1) и U7(1) фотоприемников 20 и 21 поступают на входы фазового детектора 22, который формирует сигнал (фиг. 2б):
U8(l) = kфд[φ3(l)-φ4(l)], (4)
где kфд - коэффициент преобразования фазового детектора 22.
U8(l) = kфд[φ3(l)-φ4(l)], (4)
где kфд - коэффициент преобразования фазового детектора 22.
Дальнейшее смещение детали приводит к переходу функции U8(1) через нулевое значение, при котором срабатывает компаратор 17 и формирует положительный логический перепад "0" - "1" (фиг. 2в). Это соответствует фиксации верхней границы детали (координата 1а) 25. Таким образом, экстремальная точка 1а соответствует "пространственно-чувствительной координате" для верхней границы детали.
Дальнейшее смещение детали приводит к полному перекрытию всех дифракционных порядков E(+1), E(0) и E(-1) оптического потока, а затем при почти полном выходе детали 25 из оптического потока к частичному перекрытию E(-1) дифракционного порядка. В этом случае приходит в движение интерференционная картина, освещающая первое фотоприемное устройство 10.
Это приводит к тому, что интерференционная картина смещается и на выходах фотоприемников 14 и 15 появляется изменение сигналов:
на выходе фотоприемника 14 - U2(l) = U0sin[ωt+φ1(l)],
на выходе фотоприемника 15 - U3(l) = U0sin[ωt+φ2(l)].
на выходе фотоприемника 14 - U2(l) = U0sin[ωt+φ1(l)],
на выходе фотоприемника 15 - U3(l) = U0sin[ωt+φ2(l)].
Выходные сигналы U2(1) и U3(1) фотоприемников 14 и 15 первого фотоприемного устройства 10 поступают на входы фазового детектора 16, который формирует сигнал, который имеет нелинейный вид и переходит через нуль (фиг. 2б):
U4(l) = kфд[φ2(l)-φ1(l)], (5)
где kфд - коэффициент преобразования фазового детектора 16.
U4(l) = kфд[φ2(l)-φ1(l)], (5)
где kфд - коэффициент преобразования фазового детектора 16.
Смещение детали приводит к тому, что при переходе через нулевое значение функции U4(1) срабатывает компаратор 17 и формирует отрицательный перепад "1" - "0" (фиг. 2в), который означает фиксацию нижней границы детали (координата 1в) 25. Эта координата является "пространственно-чувствительной" координатой для нижней границы детали 25.
Таким образом, БФГ 1 фиксирует две границы детали 25, а ИП 26 с выходным сигналом Δφ(Δl) (формула (1)) измеряет расстояние между этими границами. Преобразование этого набега фаз с помощью интерполятора в цифровую последовательность с коэффициентом интерполяции kинт позволяет определить искомый размер детали по следующей формуле:
L = N(Δl)-lав= kинтΔφ(Δl)-lав, (6)
где N(Δl) - количество импульсов, соответствующих фазовому сдвигу Δφ(Δl), полученных после интерполяции, lав - расстояние между "пространственно-чувствительными" координатами lа и lв.
L = N(Δl)-lав= kинтΔφ(Δl)-lав, (6)
где N(Δl) - количество импульсов, соответствующих фазовому сдвигу Δφ(Δl), полученных после интерполяции, lав - расстояние между "пространственно-чувствительными" координатами lа и lв.
Сущность работы этого устройства заключается в следующем.
1. Установлено /4/, что для акустооптической дифракции светового потока в режиме Рамана-Ната при частичном перекрытии дифракционных порядков E(+1)-E(0) и E(-1)-E(0) образуются две области интерференции с периодом Λ = λ/sinα, где α - угол дифракции световой волны в акустооптическом модуляторе. Такая область интерференции, освещая фотоприемник, приводит к формированию частотного электрического сигнала U = U0sin[ωt+φ(l)]. Введение детали на Δl в любой из дифракционных порядков (E(+1) или E(-1)) приводят к его дифракции, смещению области интерференции и дополнительному фазовому набегу Δφ(Δl) сигнала.
Также установлено, что при определенных соотношениях параметров схемы фазовая характеристика φ(l) принимает колоколообразный вид - парабола с одним максимумом и квазилинейными участками /5/ (фиг. 2а).
2. Для высокоточной фиксации границы детали в данном устройстве предлагается сформировать нелинейные функции U8(1) и U4(1) с экстремальными точками lа и lв с максимальными коэффициентами преобразования в областях, прилежащих к обоим точкам - точкам перехода функций U8(l) и U4(l)нулевое значение. Эти функции образуются как разностные функции двух квазилинейных участков фазовых характеристик по выражениям (4) и (5) (фиг. 2а. б), формируемых двумя фотоприемными каналами, сдвинутыми друг относительно друга вдоль направления перемещения детали.
Использование двух фотоприемных каналов и формирование двух функций U8(l) и U4(l) позволяет создать две экстремальные, пространственно-чувствительные точки la и lв. Эти точки являются пространственно-чувствительными координатами для верхней и нижней границ детали (фиг. 2).
2. Входные оптические волокна фотоприемников одновременно выполняют роль диафрагм и каналов для передачи входного оптического интерференционного сигнала на вход фотоприемников. Малые размеры сердцевин волокон (от 10 мкм до 1 мм) позволяют получить малое расстояние между максимумами пар фазовых характеристик 
Использование оптических волокон позволяет легко смещать входящие концы волокон при фиксировании корпусов фотоприемников.
4. Для эффективного оптического сопряжения бегущей интерференционной картины с периодом Λ2= λ/sinβ и входов оптических волокон размерами dв в устройстве предлагается использовать дифракционную решетку с шагом Λ3 /6/. Такое сочетание позволяет сформировать бегущие комбинационные полосы, с увеличением периода которых Λ4 обеспечивается условие (3).
Такое техническое решение повышает точность фиксации границы детали за счет возможности уменьшения Λ2 и увеличивает период комбинационных полос до значений, сопоставимых с реальными размерами оптических волокон (0,125-0,5 мм).
Если применить дифракционную решетку с шагом полос Λ1= 10 мкм и, подбирая значение угла β между парами интерферирующих порядков [E(+1)-E(0) и E(-1) - E(0)] так, чтобы период бегущей интерференционной картины был равен Λ3= 9,9 мкм, то период бегущих комбинационных полос будет равен Λ5≈ 1 мм. Для этого случая диаметр сердцевины оптического волокна может быть ≤ 0,3 мкм.
5. Использование двух фотоприемников и формирование разностных функций U8(l) и U4(l) в каждом фотоприемном канале также повышает точность измерений за счет компенсации погрешностей, вызванных флуктуациями температуры светозвукопровода в АОМ, нестабильностью оси диаграммы направленности лазерного луча, нестабильностью частоты генератора и другими.
Таким образом, с использованием предлагаемого устройства погрешность фиксации границы детали Δгр можно довести до значений 0,3 - 0,7 мкм, что сопоставимо со значением Δлр. В результате уменьшается суммарная погрешность измерений и повышается точность измерений.
Источники информации, используемые при сопоставлении описания:
1. Иванов В.А., Привалов В.Е. Применение лазеров в приборах точной механики. - СПб.: Политехника, 1993-216 с. (аналог).
1. Иванов В.А., Привалов В.Е. Применение лазеров в приборах точной механики. - СПб.: Политехника, 1993-216 с. (аналог).
2. Патент США N 4678337, НКИ 356/387, 356/386, МКИ G 01 B 11/02 (аналог).
3. Патент США N 4775236, НКИ 356/387, 356/386, МКИ G 01 B 11/02 (прототип).
4. А.с. N 1714359 (СССР) МКИ G 01 B 21/00. Способ определения положения границы объекта. Телешевский В.И., Абдикаримов Н.Н. Опубл. в Б.И. -1992. N 7.
5. Леун Е.В., Абдикаримов Н.Н. Акустоптоэлектронный сенсор для измерения смещений границы объекта с фазовым выходом /Тез. докл. 4 НТК "Состояние и проблемы технических измерений", Москва, МГТУ, 1997, с. 208.
6. Преснухин Л.Н., Майоров С.А., Меськин И.В. Фотоэлектрические преобразователи информации/ Под ред. Л.Н.Преснухина, М., Машиностроение, 1974, 376 с.
Claims (2)
1. Устройство для определения размеров деталей, состоящее из блока фиксации границы детали, включающее источник монохроматического излучения и последовательно установленные по ходу оптического луча коллиматор, две линзы, фотоприемное устройство с одним оптическим входом и электрическим выходом, являющимся электрическим выходом блока фиксации границы детали, подвижного предметного столика, на который устанавливается деталь с возможностью перемещения перпендикулярно оптическому лучу, интерферометра перемещений, реализованного по схеме Маха-Цендера с триппель-призмой, прикрепленной к подвижному предметному столику, и пространственным совмещением двух разночастотных оптических потоков на оптическом входе фотоприемного устройства, выход которого является электрическим выходом интерферометра перемещений, отличающееся тем, что в блок фиксации границы детали введены акустооптический модулятор с одним электрическим и оптическим входами и возможностью формирования трех пространственно разнесенных разночастотных выходных оптических потоков, генератор, светоделитель, дифракционная решетка и второе фотоприемное устройство с одним электрическим выходом, при этом в обоих фотоприемных устройствах сформирован второй оптических вход, причем на оптических входах первого фотоприемного устройства пространственно совмещены часть среднего и крайний разночастотные оптические потоки, а на оптических входах второго фотоприемного устройства другие часть среднего и крайний разночастотные оптические потоки, при этом в качестве линз используются цилиндрические линзы, причем акустооптический модулятор установлен между коллиматором и первой цилиндрической линзой, а светоделитель размещается между первой и второй цилиндрическими линзами, причем дифракционная решетка размещена между второй цилиндрической линзой и оптическими входами фотоприемных устройств, при этом выход генератора подключен к электрическому входу акустооптического модулятора и является первым электрическим выходом блока фиксации границы детали, а его вторым и третьим выходами являются выходы фотоприемных устройств, причем подвижный предметный столик имеет возможность перемещаться между светоделителем и второй цилиндрической линзой.
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что каждое фотоприемное устройство блока фиксации границы детали состоит из двух оптических волокон, двух фотоприемников, фазового детектора и компаратора, при этом одними концами оптические волокна прикреплены к оптическим входам фотоприемников, а другие являются оптическими входами фотоприемных устройств и расположены со сдвигом друг относительно друга на линии перемещения подвижного предметного столика, причем электрические выходы фотоприемников подключены к соответствующим входам фазового детектора, а его выход соединен с компаратором, при этом выход последнего является электрическим выходом фотоприемного устройства.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU99119799A RU2158416C1 (ru) | 1999-09-15 | 1999-09-15 | Устройство для определения размеров деталей |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU99119799A RU2158416C1 (ru) | 1999-09-15 | 1999-09-15 | Устройство для определения размеров деталей |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2158416C1 true RU2158416C1 (ru) | 2000-10-27 |
Family
ID=20224960
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU99119799A RU2158416C1 (ru) | 1999-09-15 | 1999-09-15 | Устройство для определения размеров деталей |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2158416C1 (ru) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2530444C1 (ru) * | 2013-04-08 | 2014-10-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Алтайский государственный университет" | Оптико-электронный измеритель для бесконтактного измерения диаметра |
| RU2689482C2 (ru) * | 2017-03-29 | 2019-05-28 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственный центр "Пружина" | Способ обработки опорных витков пружин методом плазменной резки, роботизированный комплекс и линия для его воплощения |
-
1999
- 1999-09-15 RU RU99119799A patent/RU2158416C1/ru active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2530444C1 (ru) * | 2013-04-08 | 2014-10-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Алтайский государственный университет" | Оптико-электронный измеритель для бесконтактного измерения диаметра |
| RU2689482C2 (ru) * | 2017-03-29 | 2019-05-28 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственный центр "Пружина" | Способ обработки опорных витков пружин методом плазменной резки, роботизированный комплекс и линия для его воплощения |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0658813B1 (en) | Radiation-source unit for generating a beam having two directions of polarisation and two frequencies | |
| JP2586120B2 (ja) | エンコーダー | |
| KR101275935B1 (ko) | 변위 검출 장치 및 변위 계측 장치 및 정점 검출 장치 | |
| EP2169358A2 (en) | Displacement measurement apparatus | |
| US5995224A (en) | Full-field geometrically-desensitized interferometer employing diffractive and conventional optics | |
| JP2755757B2 (ja) | 変位及び角度の測定方法 | |
| EP0433008A2 (en) | Laser interferometric measuring apparatus | |
| RU2158416C1 (ru) | Устройство для определения размеров деталей | |
| JP4155668B2 (ja) | 距離計 | |
| KR100531693B1 (ko) | 광학식 변위측정장치 | |
| JP2000186912A (ja) | 微小変位測定方法および装置 | |
| JP2503561B2 (ja) | レ―ザ―干渉式エンコ―ダ | |
| RU2069839C1 (ru) | Устройство для определения поперечных смещений | |
| JP2517929Y2 (ja) | 分離型レ−ザ干渉計 | |
| RU117020U1 (ru) | Измеритель линейных размеров (варианты) | |
| RU2502951C1 (ru) | Устройство контроля положения объекта нано- и субнанометровой точности | |
| RU1827540C (ru) | Способ контрол диаметра одножильных световодов | |
| JPS6225232A (ja) | 光フアイバの波長分散測定方法および装置 | |
| JP2000018918A (ja) | レーザ干渉式可動体の移動量検出装置 | |
| SU1111025A1 (ru) | Способ измерени линейных размеров микрообъектов | |
| SU1441190A1 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени малых перемещений | |
| SU1538015A1 (ru) | Способ измерени диаметра одножильных световодов | |
| SU1095034A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных перемещений | |
| CN118376388A (zh) | 基于泰伯-莫尔条纹全视场频率分析的透镜焦距高精度测量仪 | |
| RU2159406C2 (ru) | Многолучевой интерферометр для измерения параметров сферической оболочки |