SU838325A1 - Интерференционный датчик линейногопЕРЕМЕщЕНи Об'ЕКТА - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано, в частности , дл  измерени  линейных перемещений объекта в системах позиционировани  станков с программнь1м управлением.

Известен интерферометр Майкельсона, содержащий источник когерентного света, коллиматор, светоделитель, систему двух плоских отражателей, один из которых неподвижен , а второй жестко св зан с перемещаемым объектом, диафрагму и фотоприемник 1 .

Недостатком данного интерферометра  вл етс  то, что выход щий из него пучок лучей частично возвращаетс  в источник света , что приводит к снижению стабильности длины волны источника и, следовательно, к снижению точности измерени .

Наиболее близким к изобретению по техничесой сущности  вл етс  интерференционный датчик линейного перемещени  объекта, содержащий источник когерентного света, светоделитель, дел щий световой поток на дре ветви, и неподвижные отражатели, установленные в этих ветв х, светосоёдинитель и фотоприемник, жестко св зываемые с объектом , и счетчик импульсов. Светосоединитель выполнен а виде двугранного зеркала и двух линз, установленных так, что линзы фокусируют излучение у вершины двугранного зеркала 2.

Недостатком известного датчика  вл етс  низка  точность измерени , обусловленна  изменением контрастности интерференционной картины при перемещении объекта.

Цель изобретени  - повышение точности измерени .

Поставленна  цель достигаетс  за счет того, что датчик снабжен трем  линзами, перва  из которых расположена между источником света и светоделителем, втора  и треть  - в каждой из ветвей между светоделителем и неподвижным отражателем, а светосоёдинитель выполнен в виде двугран5 ного зеркала, одна из граней которого полупрозрачна .

На чертеже изображена принципиальна  схема интерференционного датчика линейного перемещени  объекта.

Claims (2)

1. Датчик содержит источник 1 когерентно0 го света, линзы 2, 3 и 4, светоделитель 5, неподвижные отражатели 6-9, светосоёдинитель 10, диафрагму 11, фотоприемник 12, счетчик 13 импульсов, индексом 14 обозначен контролируемый объект. Линза 2 расположена на пути пучка света от источника 1 когерентного света перед светоделителем 5, дел щим световой поток на две ветви . Линзы 3 и 4 расположены между светоделителем 5 и неподвижными отражател ми 6-9 в обеих ветв х интерферометра. Светосоединитель 10 жестко св зан с подвижным объектом 14. Диафрагма 11 и фотоприемник 12 размещены последовательно на пути интерференционного потока после светосоединител  10, выполненного в виде двугранного зеркала, одна из граней которого полупрозрачна . Фотоприемник 12 соединен со счетчиком 13 импульсов. Предлагаемый датчик работает следующим образом. Выход щий из источника 1 когерентного света световой поток проходит линзу 2 и раздел етс  светоделителем 5 на две ветви. В одной из ветвей поток, отразившись от светоделител  5, проходит линзу 3, котора  вместе с линзой 2 формирует расход щийс  световой поток, и отражател ми 8 и 9 направл етс  на светосоединитель 10. В другой из ветвей поток, отразивщись от светоделител  5, проходит линзу 4, котора  вместе с линзой 2 формирует сход щийс  световой поток, и отражател ми 6 и 7 направл етс  на светосоединитель 10. Светосоединитель совмещает оба пучка и направл ет через диафрагму 11, вырезающую участок интерференционных полос на фотоприемник 12. Площади сечений потоков на светосоединителе устанавливаютс  равными. При перемещеНИИ объекта 14 со светосоединителем 10 вдоль пучков измен етс  разность хода пучков , что вызывает перемещение интерферен 1 ционных полос в плоскости диафрагмы 11. О величине перемещени  объекта 14 суд т по числу полос, зарегистрированных счетчиком 13 импульсов. При перемещении объекта площади сечени  интерферирующих пучков измен ютс , но остаютс  равными друг другу, поэтому контрастность интерференционной картины не измен етс , что повыщает точность измерени  перемещений. Формула изобретени  Интерференционный датчик линейного перемещени  объекта, содержащий источник когерентного света, светоделитель, дел щий световой поток на две ветви, и неподвижные отражатели, установленные в этих ветв х , светосоединитель и фотоприемник, жестко св зываемые с объектом, и счетчик импульсов , отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности измерени , он снабжен трем  линзами, перва  из которых расположена между источником света и светоделителем , втора  и треть  - в каждой  з ветвей между светоделителем и неподвижным отражателем, а светосоединитель выполнен в виде двугранного зеркала, одна из граней которого полупрозрачна, Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Ландсберг Г. С. Оптика. М., «Наука, 1976, с. 134.
2. 2. Авторское свидетельство СССР №,364838, кл. G 01 В 11/02, 1972 (прототип ).