SU1677506A1

SU1677506A1 - Микроинтерферометр

Info

Publication number: SU1677506A1
Application number: SU884625208A
Authority: SU
Inventors: Григорий Борисович Кайнер
Original assignee: Всесоюзный Научно-Исследовательский И Конструкторский Институт Средств Измерения В Машиностроении
Priority date: 1988-12-26
Filing date: 1988-12-26
Publication date: 1991-09-15

Description

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля микроперемещений, а также геометрической формы объектов .

Цель изобретения - повышение точности контроля за счет исключения влияния дестабилизирующих факторов на результаты измерения.

На чертеже представлена функциональная схема микроинтерферометра.

Микроинтерферометр содержит источник 1 света, интерференционный узел в виде последовательно установленных по ходу пучка лучей источника 1 света конденсора 2, диафрагмы 3, светоделителя 4, микрообъектива 5, плоского отражателя 6, микрообъектива 7, оптически связанного с диафрагмой 3 через светоделитель 4, микроскоп 8, оптически связанный с микрообъективами 5 и 7 через светоделитель 4, предметный столик (на чертеже не показан), предназначенный для размещения контролируемого объекта 9 и оптически связанный с микрообъективом 7, направляющую 10, неподвижная часть которой жестко скреплена с микрообъективом 7, и отражатель 11, скрепленный с подвижной частью направляющей так, что его поверхность перпендикулярна оптической оси микрообьектива 7.

Пучки лучей источника 1 света собираются конденсором 2 на диафрагме 3 и затем разделяются светоделителем 4 на два пучка лучей, один и? которых проходит через микрообъектив 5 и отражается от плоского отражателя 6, д второй проходит через микрообьектив 7 и одна часть его отражается от контролируемого объекта 9, вторая от отражателя 11. Затем пучки лучей проходят через микрообьектив 7. Посредством микроскопа 8 регистрируются две интерференционные картины, одна из которых соответствует пучкам лучей, отразившимся от контролируемого объекта 9, а другая - от отражателя 11.

При контроле формы контролируемого объекта 9 в качестве отражателя 11 может быть использован образец - аналог контролируемого объекта 9.

Перемещением отражателя 11 посредством направляющей 10 подгоняют их по положению и ширине интерференционных полос, соответствующих контролируемому объекту. По взаимному смещению интерфе10 ренционных полос определяют положение (величину перемещения) контролируемого объекта, а по сопоставлению формы интерференционных полос оценивается отклонение формы контролируемого объекта от 15 номинального значения.

Предложенный микроинтерферометр обеспечивает более высокую точность измерения за счет исключения влияния дестабилизирующих факторов на результаты 20 измерения вследствие создания независимой регулируемой системы интерференционных полос, выполняющих функцию отсчетных элементов.

Claims

25 Формула изобретения

Микроинтерферометр, содержащий источник света, интерференционный узел в виде последовательно установленных по ходу пучка лучей источника света, конденсора, диафрагмы светоделителя, первого микрообъектива, плоского отражателя, второго микрообьектива, оптически связанного с диафрагмой через светоделитель, микроскоп, оптически связанный с микрообъективами через светоделитель, предметный столик для размещения контролируемого объекта, оптически связанный со вторым микрообъективом, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, он снабжен направляющей, неподвижная часть которой жестко скреплена с вторым микрообъективом, отражателем, скрепленным с подвижной частью направляющей так, что его поверхность перпендикулярна оптической оси второго микрообьектива.