SU1548669A1 - Оптический профилометр - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике и может быть использовано дл  измерени  микрогеометрии поверхностей. Цель изобретени  - увеличение точности и повышение быстродействи  устройства за счет снижени  погрешности от флуктуаций и дискретности считывани . Излучение лазера 1 фокусируетс  на измер емой детали объективом 2, отраженное излучение собираетс  тем же объективом 2 и делитс  светоделителем 3 на опорный поток, поступающий на опорный фотоприемник 4, и информационный поток, который через фокусирующую шину 5 поступает на координатно-чувствительный фотоприемник, состо щий из пластины 6 с линейным изменением оптической плотности и широкополосного фотоприемника 7. Выходы опорного фотоприемника 4 и координатно-чувствительного фотоприемника соединены с входами блока 8 делени . 1 ил.

Description

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения микрогеометрии поверхностей.

Цель изобретения - увеличение точности и быстродействия устройства.

На чертеже представлена блок-схема профилометра.

Профилометр состоит из источника jq

Излучения, оптически связанного с объективом 2. По ходу отраженного излучения установлен светоделитель 3, делящий отраженное излучение на два ^потока: опорный, который поступает 15 на опорный фотоприемник 4, и информационный, который через фокусирующую линзу 5 попадае·? на координатночувствительный фотоприемник, состоящий из пластины 6 с линейным измене- 20 нием оптической плотности, установленной в фокальной плоскости фокусирующей линзы 5, и широкополосного 'фотоприемника 7. Выходы опорного и 'координатно-чувствительного фотопри- 25 емников соединены с соответствующими входами блока 8 деления.,При этом светоделитель 3 и фокусирующая линза 5 представляют оптическую систе' му отраженного излучения.

Профилометр работает следующим образом.

Излучение источника 1 фокусируется на поверхности измеряемой детали объективом 2, отраженное от поверх, ности излучение собирается этим же объективом 2 и с помощью светоделителя 3 разделяется на два потока: ; опорный и- информационный. Опорный : поток попадает на опорный фотоприемник 4. Информационный'поток, пройдя через фокусирующую линзу 5, попадает на координатно-чувствитель-. ный фотоприемник, состоящий из пластины 6 с линейным изменением оптической плотности, и широкополосного фотоприемника 7. Отраженное излуче,, ние фокусируется линзой 5 на поверхности пластины 6, имеющей линейное изменение оптической плотности и позволяющей определять положение измеряемой поверхности относительно нуля, после чего световой поток попадает на Широкополосный фотоприемник 7. Электрические выходы опорного и широкополосного фотоприемников соединены с соответствующими входами блока 8 деления, по сигналу которого судят о характере микрорельефа измеряемой поверхности.

Claims (1)

1. Формула изо бретения

   Оптический профилометр, содержащий излучатель, объектив, оптическую систему для отраженного излучения, координатно-чувствительный фотоприемник, блок обработки информации, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерен ний и быстродействия, он снабжен опорным фотоприемником, оптическая система отраженного излучения выполнена в виде расположенного по ходу отраженного излучения светоделителя, предназначенного для деления излучения на информационный и опорный потоки, и фокусирующей линзы, установленной по ходу информационного потока, координатно-чувствительный фотоприемник выполнен 35 в виде пластины с линейным из^менением оптической плотности установленной в фокальной плоскости линзы, и широкополосного фотоприемника, оптически связанного с пласти40 ной, выходы опорного и координатночувствительного фотоприеыника соединены с соответствующими входами блока обработки информации, выполненного в виде блока деления, источник излучения выполнен в виде лазера,- а объектив является общим для падающего и отраженного излучений.