JPH0632566Y2

JPH0632566Y2 - 光学式変位検出器

Info

Publication number: JPH0632566Y2
Application number: JP1989070393U
Authority: JP
Inventors: 久雄久保田; 直義寺尾
Original assignee: Mitutoyo Corp
Current assignee: Mitutoyo Corp
Priority date: 1989-06-16
Filing date: 1989-06-16
Publication date: 1994-08-24
Anticipated expiration: 2004-06-16
Also published as: JPH0310206U

Description

【考案の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本考案は光学式変位検出機に係り、特に、スケール部材
と取付部材との固着構造の改良に関する。

〔背景技術〕所定位置に肉眼では視認不能な透過部と反射部とが交互
に設けられる光学格子を有し、かつ、ガラス板等よりな
るスケール部材と、これと同様な光学格子を有するイン
デックススケール、並びに、発光器及び受光器等を含む
照明手段とを相対変位させ、その相対変位量を検出手段
で検知する種々の光学式変位検出器が広範に利用されて
いる。この種の光学式変位検出器の中には、例えば、前
記スケール部材を金属製の取付部材に固着して使用され
ているものがあり、第７図及び第８図に示されている。

すなわち、第７，８図において、アルミニウム材等から
なる取付部材１０１の切欠き段部１０１Ａに、例えば厚
さ５mm、幅２２mmのガラス板からなり、光学格子１０２
を有するスケール部材１０３を載置し、このスケール部
材１０３を取付部材１０１にボルト１０４で一端を固定
された板ばね１０５の他端で押圧、固定する。このスケ
ール部材１０３には、図示しないインデックススケール
及び照明手段を有する検出部１０６が対向されてスケー
ル部材１０３と検出部１０６との相対変位量を検出でき
るようになっている。

〔考案が解決しようとする課題〕

しかしながら、前述の構造では、取付部材１０１の材質
を金属にしているので、重量が嵩み、かつ、取付部材１
０１が高価なものとなる不都合が生じる。また、スケー
ル部材１０３の固定が、スケール部材１０３から突出し
た板ばね１０４で行われるため、検出器全体の幅が板ば
ね１０４を設ける分、広くなり、小型化できないという
不都合もある。

そこで、前記不都合のうち、重量と価格の点の改善に関
し、取付部材を軽量化するとともに、安価に提供するた
めに、取付部材の材質を、製造が容易で、かつ、軽い合
成樹脂で成形することが提案される。

その際、この取付部材、すなわち光学式変位検出器は主
にμｍオーダーの測定を可能にする精密測定機に装着さ
れるものであり、この精密測定機を、温度、湿度ともに
一定に保持された恒温室で使用する場合には全く問題は
生じない。

ところが、この精密測定機を海外等へ輸出する場合に
は、その輸出手段が様々であり、例えば、飛行機で前記
精密測定機を空輸する際には、飛行機は、数千ｍ上空を
飛行するので極端に低温状態となる事があり、また、船
舶で前記精密測定機を輸送する場合には、船舶内のエン
ジン、タービン等の余熱によって極端に高温状態となる
事がある。

このような場合には、合成樹脂よりなる取付部材とガラ
スよりなるスケール部材との線膨張係数が相違すること
に基づく不都合が生ずる。すなわち、線膨張係数は、合
成樹脂が略２２×１０^−６、ガラスが略７×１０^−６で
あるので、当然合成樹脂の方がガラスより大きく変形す
ることになり、実質的には合成樹脂よりなる取付部材に
４〜６μｍの撓み、歪み等が惹起されると、この歪み等
が測定時に残留してしまうことになる。これにより、取
付部材に固着されるスケール部材も前記取付部材の撓
み、歪み等に伴って４〜６μｍ変形することになるの
で、この結果、μｍオーダーで測定を行っている精密測
定機では数μｍ変形した取付部材を用いて精密測定を行
うことは、精度維持上、非常に困難となる欠点が露呈す
る。

本考案の目的は、スケール部材を保持する取付部材を合
成樹脂製とすることにより、製造の簡易化および軽量化
の実現を図り、かつ、合成樹脂製としたために温度変化
等の環境変化に基づく歪み、撓み等が取付部材に残留し
ても、精密測定の維持が可能な光学式変位検出器を提供
することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本考案の光学式変位検出器は、合成樹脂よりなる取付部
材にガラス等よりなるスケール部材を取付けるにあた
り、スケール部材の一部分を取付部材に固着し、他の部
分を弾性的に支持したことを特徴とする。

具体的には、変位検出用の光学格子がその長手方向に沿
って形成されるスケール部材と、このスケール部材を一
体的に保持する取付部材と、前記スケール部材に対向さ
れて相対移動可能にされるとともにスケール部材の光学
格子と同様な光学格子を有するインデックススケール
と、このインデックススケールと前記スケール部材とに
対し前記光学格子を読み取るための照明光を出力する照
明手段と、前記スケール部材とインデックススケールと
を相対変位させる際その相対変位量を検知する検出回路
とを含む光学式変位検出器であって、前記取付手段は、
前記スケール部材の背面に対向配置される合成樹脂製の
平板状の部材とされ、かつ、前記スケール部材に向かっ
て延びる複数の突出部が一体的に設けられ、これらの突
出部の少なくとも一つは先端部分に配置された固定部材
を介して前記スケール部材を支持する固定支持部とさ
れ、残りの突出部は先端部分に配置された弾性変形部材
を介して前記スケール部材を支持する弾性支持部とされ
ていることを特徴とする。

〔作用〕

前述のように構成された本考案において、取付部材を合
成樹脂製としたので、取付部材の軽量化および製造の簡
略化が実現される。

また、取付部材を合成樹脂製としたために、取付部材と
スケール部材とが極端な温度変化状態に放置され、例え
ば、前記取付部材に４〜６μｍの変位が残留している場
合でもこの変形は、弾性支持部によってそのほとんどが
吸収される。従って、取付部材の撓み、歪み等に伴って
スケール部材が変形することはほとんどなく、これによ
り、スケール部材の真直性が維持されることになって、
精密測定が温度変化等の環境の変化に拘わりなく可能と
なる。

〔実施例〕以下、本考案について好適な実施例を挙げ、添付の図面
を参照しながら詳細に説明する。

第１図ないし第５図には、本考案の第１実施例が示され
ている。

第１図において、参照符号３０は、本実施例に係る光学
式変位検出器１０を図に示す矢印Ｘ，Ｙ方向に沿って各
１個、計２個装着した顕微鏡である。この顕微鏡３０
は、床上に配置される側面略Ｌ字状の支持台３１を含
み、この支持台３１の水平方向に延長された基部３１Ａ
上には、いわゆるＸ−Ｙテーブルから位置調整手段５０
が設置されている。

前記位置調整手段５０は、基部３１Ａに固着される固定
板５１を備え、この固定板５１上に設けられた凹部５１
Ａ内に載物台５２が配置されている。この載物台５２
は、水平面内における直交二軸、すなわち、左右方向で
ある矢印Ｘ方向と、前後方向である矢印Ｙ方向との二軸
方向に移動可能にされている。この載物台５２のこれら
Ｘ，Ｙ方向への移動量は、それぞれ移動手段としてのＸ
軸用及びＹ軸用のマイクロメータヘッド５３，５４によ
り、設定できるようになっている。また、載物台５２上
にはコイン等の被測定物Ｗが載置されている。

前記支持台３１の前面上部には、上下動つまみ３２を有
する上下動ガイド３３が取付けられている。この上下動
ガイド３３には、形状認識手段３５の支持枠３６が上下
動可能に支持され、上下動つまみ３２を矢印Ａ方向に回
動操作することにより、図示しないラック、ピニオン機
構等により支持枠３６が矢印Ｚ方向に上下動するように
なっている。

前記支持枠３６の中心部には、支持枠３６の下方に突出
された図示しない対物レンズを囲むように照明手段３７
が設けられるとともに、支持枠３６上に突出されてＣＣ
Ｄカメラ３８が設けられている。このＣＣＤカメラ３８
は、照明手段３７から被測定物Ｗに照射される照明光Ｌ
_１の被測定物Ｗからの反射光Ｌ_２を電気信号に変換する
ものである。ここにおいて、前記支持枠３６、照明手段
３７及びＣＣＤカメラ３８により前記形状認識手段３５
が構成されている。

前記２個の光学式変位検出器１０は、両者全く同一構成
であるため、両者同一符号を用い、以下１つについての
み説明する。

光学式変位検出器１０は、第２〜５図に拡大して示され
るように、前記載物台５２上に側面略Ｌ字状の支持板１
１を介して取付けられた合成樹脂からなる平板状の取付
部材１２を備えている。この取付部材１２と支持板１１
とは、例えば、ねじ止めなどにより固定され、支持板１
１に対する取付部材１２の位置調整が可能にされてい
る。

前記取付部材１２には、その中央上下方向に配置された
２箇所の固定支持部１３と、その両端上下方向に配置さ
れた４箇所の弾性支持部１４とを有し、ガラス板等より
なるスケール部材１５の背面１５Ａに対向配置され、固
定支持部１３および弾性支持部１４を介してスケール部
材１５を保持するようになっている。前記固定支持部１
３は、スケール部材１５に向かって延びるとともに取付
部材１２に一体的に設けられた突出部１６と前記スケー
ル部材１５の背面１５Ａとの間にエポキシ接着剤等から
なる固定部材１７を介在させることにより構成される。
一方、弾性支持部１４は、スケール部材１５に向かって
延びるとともに取付部材１２に一体的に設けられた突出
部１８と前記背面１５Ａとの間にウレタン、シリコン樹
脂等よりなる弾性変形部材１９を介在させて構成され
る。この時、第３〜５図から容易に諒解されるように、
弾性支持部１４の突出部１８は、固定支持部１３の突出
部１６よりその突出量が少なく突設されている。

また、２箇所の固定支持部１３と４箇所の弾性支持部１
４とで支持されたスケール部材１５の前面１５Ｂには、
肉眼では視認不能な光透過部及び光反射部が交互に形成
される光学格子２１がスケール部材１５の長手方向に沿
って形成されている。

前記取付部材１２には、４つの凸部２２が設けられてお
り、この４つのうち、互いに上下に対向される各２個の
凸部２２はスケール部材１５の図中上下方向の幅よりや
や広い寸法分、離して突設され、これらの凸部２２によ
りスケール部材１５の必要以上の変位を阻止するように
構成されている。

一方、第１、第２図に示すように前記各スケール部材１
５に対向された固定板５１の端部にはそれぞれ支持台５
１Ｂが立設されており、これらの支持台５１Ｂには前記
移動手段としてのＸ軸用及びＹ軸用のマイクロメータヘ
ッド５３，５４がそれぞれ装着されている。これらのＸ
軸及びＹ軸用のマイクロメータヘッド５３，５４の各部
の構成は、同一であるため、詳細に説明する各部の構成
は、両者共、同一符号を用い、一括して説明する。

各マイクロメータヘッド５３，５４は本体５５を含み、
この本体５５の一端にはハンドル５６が取着されてお
り、他端には前記ハンドル５６を矢印Ａ方向あるいは矢
印Ｂ方向に回動させると、矢印Ｘ方向あるいは矢印Ｙ方
向に進退するスピンドル５７が設けられている。更に、
このスピンドル５７には変位部材５８が装着され、この
変位部材５８の一面には２本のガイドバー５９が突設さ
れている。このガイドバー５９は、前記支持台５１Ｂに
対して矢印Ｘ方向あるいは矢印Ｙ方向へ摺動自在に配設
されている。また、変位部材５８の他面には、載物台５
２の側面５２Ａに当接され、載物台５２の変位に伴って
回動する２つのローラ６１が設けられる。

前記２つのローラ６１間にあって、かつ、変位部材５８
上には前記光学式変位検出器１０の一部である照明手段
２３が設けられている。この照明手段２３は、スケール
部材１５に指向して斜めに照明光Ｌを出力する２つの発
光器２４と、照明光Ｌのスケール部材１５からの反射光
を受光する２つの受光器２５とを含む。また、照明手段
２３のスケール部材１５に対向された面には、前記発光
器２４によって出力された照明光Ｌをスケール部材１５
に到達させるように透明板から形成され、かつ、前記ス
ケール部材１５の光学格子２１と同様な光学格子（図示
せず）を有するインデックススケール２６が設けられて
いる。

更に、前記受光器２５には、この受光器２５の中で光電
変換された電気信号を増幅するアンプ２７が接続され、
このアンプ２７には、前記電気信号を波形整形、カウン
ト等して図示しない表示手段に、載物台５２ひいては被
測定物Ｗの変位量を表示するための検出回路２８が接続
される。

ここにおいて、取付部材１２と、スケール部材１５と、
照明手段２３と、インデックススケール２６と、検出回
路２８とで光学式変位検出器１０が構成されることにな
る。

なお、載物台５２の側面５２Ａと各変位部材５８との間
には、それぞれ磁石等の磁性体（図示せず）が配設され
ているので、これらの間には常時、引張力が作用し、載
物台５２を必要時以外は変位させないように構成されて
いる。この際、第２図中二点鎖線で示すように、前記磁
性体に代えて比較的ばね定数の小さい引張コイルばね６
２を用い、この引張コイルばね６２を載物台５２の中央
部と固定板５１の所定の角部、すなわち、前記載物台５
２のローラ６１が当接する２つの側面５２Ａが交叉する
角部に対向した角部５１Ｃとに掛け渡してもよい。これ
により、載物台５２の両側面５２Ａは、常に各２個のロ
ーラ６１に当接されることとなる。

本実施例に係る光学式変位検出器１０を有する顕微鏡３
０は、基本的には以上のように構成されるものであり、
次にその作用について説明する。

先ず、被測定物Ｗを載物台５２上に載置する。次いで、
形状認識手段３５の照明手段３７を作動させて照明光Ｌ
_１を被測定物Ｗに照射した後、その反射光Ｌ_２をＣＣＤ
カメラ３８に入射させて、この中で前記反射光Ｌ_２を光
電変換する。ＣＣＤカメラ３８内で光電変換された電気
信号は、図示しない表示手段に到達するので、被測定物
Ｗはこの表示手段にその拡大画像が描写されることにあ
る。この時、その画像が鮮明でない場合には、上下動つ
まみ３２を矢印Ａ方向に回動させて形状認識手段３５を
矢印Ｚ方向に変位させ、前記画像が鮮明に描写される位
置で、その回動動作を停止させる。

次に、被測定物Ｗの寸法、形状等を測定するために、載
物台５２を矢印Ｙ方向へ変位させるには、Ｙ軸用の移動
手段である図中手前側のマイクロメータヘッド５４を作
動させる。すなわち、載物台５２を矢印Ｙ_１方向へ変位
させるには、先ずマイクロメータヘッド５４のハンドル
５６を矢印Ｂ_１方向に回転させる。これにより、スピン
ドル５７が矢印Ｙ_１方向へ進出し、これに伴ってＹ軸側
のローラ６１が載物台５２を矢印Ｙ_１方向へ押圧、移動
させる。載物台５２が矢印Ｙ_１方向に移動すると、第２
図中右側の側面５２ＡがそれぞれＸ軸側のローラ６１を
転動させながらローラ６１によって案内される。これに
より、光学式変位検出器１０のスケール部材１５と照明
手段２３とが相対変位する。

更に詳述すれば、載物台５２が変位している間は、発光
器２４から照明光Ｌが斜めに出力され、この照明光Ｌは
インデックススケール２６の透過部（図示せず）を通過
してスケール部材１５の反射部（肉眼では視認不能）で
反射した後、再度インデックススケール２６の透過部を
通過して受光器２５に入射する。この入射した光は、受
光器２５内で光電変換されて電気信号となり、この電気
信号はアンプ２７内で増幅されてから、検出回路２８に
送られて図示しないＹ軸表示部に光学式変位検出器１０
の相対変位量として表示される。

また、載物台５２を矢印Ｘ方向に変位させる場合には、
Ｘ軸用の移動手段である図中右側のマイクロメータヘッ
ド５３を前記操作と同様に操作すれば、載物台５２を矢
印Ｘ方向に変位させることができ、その相対変位量は図
示しないＸ軸表示部に表示される。

従って、図示しないＸ軸、Ｙ軸表示部に表示される値及
び表示手段（図示せず）に描写される拡大画像を視認す
れば、被測定物Ｗの寸法、形状等を測定することができ
る。

ところで、前記顕微鏡３０の雰囲気温度が極端に変化し
た場合には、合成樹脂よりなる取付部材１２は４〜６μ
ｍ変形することになる。しかし、本実施例においては、
取付部材１２に４つの弾性支持部１４を設け、スケール
部材１５を弾性的に支持しているので、前記変形量はこ
の弾性支持部１４で効果的に吸収される。従って、スケ
ール部材１５は、ほとんど変形することがない。

前述のような本実施例によれば、次のような効果があ
る。

すなわち、本実施例においては、スケール部材１５の取
付部材１２への支持にあたり、２つの固定支持部１３の
他に、４つの弾性支持部１４が設けられているので、ス
ケール部材１５の変形はほとんどなく、その真直性が確
保され、この結果、精密測定が可能となる効果を奏す
る。

また、弾性支持部１４の突出部１８は、固定支持部１３
の突出部１６よりその突出量が少なく設けられ、かつ、
突出部１８とスケール部材１５との間に弾性変形部材１
９が介在されている。従って、取付部材１２が、輸送等
の際の温度変化によってその板厚方向に数μｍ変形して
生じた歪み等が残留していても、その変形量が前記弾性
変形部材１９によってほとんど吸収されるので、この点
からも精密測定が可能となる。

更に、取付部材１２に弾性支持部１４が設けられている
ので、取付部材１２を単体、すなわち、取付部材１２と
スケール部材１５とを取着した状態で運搬している間
に、不用意にこれを落下させても、その衝撃を弾性支持
部１４で効果的に吸収することができ、この結果、スケ
ール部材１５を保護することが可能となる効果も得られ
る。

また、取付部材１２には２つの固定支持部１３が設けら
れているので、スケール部材１５の支持を十分強固にで
き、当該顕微鏡３０の輸送時に発生する振動等による位
置ずれ等を効果的に阻止できる。

更に、本実施例では、スケール部材１５の変形等を生じ
させない支持構造を提供できることから、取付部材１２
の材質としてスケール部材１５とは線膨張係数が大幅に
異なるものも使用できる。従って、取付部材１２を合成
樹脂製とできるから、軽量化できるばかりでなく、形状
を自由にでき、載物台５２への取付け形状も任意にでき
て、設計の自由度を向上させることができる。また、取
付部材１２を合成樹脂製としたから、各突出部１６，１
８及び凸部２２を一体成形でき、安価に提供できる。し
かも、取付部材１２とスケール部材１５との取付けも簡
易であるから、光学式変位検出器１０自体をより安価に
できる。

さらに、取付部材１２でスケール部材１５の背面１５Ａ
を保持するようにしたので、ねじ等で固定するためにス
ケール部材１５の幅を拡張すること等を要せず、スケー
ル部材１５の幅が小さくてすみ、スケール部材１５およ
び取付部材１２を小型化でき、ひいては、光学式変位検
出器１０自体を小型化できる。

また、取付部材１２にスケール部材１５の幅寸法よりも
やや広い寸法だけ離れて配列された凸部２２を設け、こ
の凸部２２でスケール部材１５の必要以上の変位を阻止
するようにしたので、この点からも精密測定を可能とで
きる。

第６図には、本考案の第２実施例が示されている。ここ
において、本実施例の前記実施例と同一もしくは相当構
成部分には同一符号を用い、その説明を省略もしくは簡
略にする。

本実施例において、スケール部材１５の取付部材１２へ
の取付けを、２箇所の固定支持部１３と、４箇所の弾性
支持部１４とで行う点は前記第１実施例と同様である
が、本実施例では弾性支持部１４の構成が前記第１実施
例と異なり、他は同様である。

すなわち、本実施例においては、前記第１実施例におけ
る背の低い４つの突出部１８を設けず、スケール部材１
５の上下方向の側面１５Ｃに対向される４つの凸部２２
との間に、ウレタン、シリコン樹脂等からなる弾性変形
部材１９を介装して弾性支持部１４を構成したものであ
る。この際、スケール部材１５の側面１５Ｃと凸部２２
との間には前記実施例よりは広い隙間Ｄを設け、この隙
間Ｄ内に弾性変形部材１９を介装している。

このように本実施例では、隙間Ｄに弾性変形部材１９を
介在させているので、極端な温度変化によって取付部材
１２が板幅方向である矢印Ｚ方向に数μｍ変形した場合
でも、この変形を弾性支持部材１４で吸収できるので、
スケール部材１５はほとんど変形することがなく、その
真直性が確保される。この結果、精密測定が可能となる
効果が得られる。

その他、前記第１実施例と同様な効果も奏することは勿
論である。

以上、本考案について好適な実施例を挙げて説明した
が、本考案はこれらの実施例に限定されるものではな
く、本考案の要旨を逸脱しない範囲において種々の改良
並びに設計の変更が可能なことは勿論である。

例えば、第１実施例と第２実施例の取付部材１２の構成
を組み合せ、スケール部材１５の背面１５Ａと側面１５
Ｃとの両方で弾性支持することもできる。また、前記各
実施例では、固定支持部１３を２箇所設けた例につき説
明したが、これに限定されるものではなく、１箇所ある
いは３箇所以上としてもよい。この場合、３箇所以上設
けるときは、弾性支持部１４を有効に機能させる上で、
比較的狭い範囲に集中的に配置するのがよい。同様に、
弾性支持部１４も４箇所に限らず、１〜３箇所あるいは
５箇所以上であってもよい。しかし、弾性支持部１４
は、前記実施例のように、固定支持部１３の両側に離し
て配置するのが、強度及び変形吸収上有利である。

更に、取付部材１２の載物台５２への取付けは、支持板
１１を介するものに限らず、直接取付けてもよい。この
場合、スケール部材１５の光学格子２１を載物台５２の
変位方向と平行に配置できるように、取付部材１２を載
物台５２に対して取付位置調整可能にするのがよい。

また、取付部材１２は、前記実施例のように載物台５２
上に突設せず、載物台５２の側面５２Ａに取付ける等、
他の位置に取付けてもよい。このように側面５２Ａに取
付ければ、載物台５２の上面に何ら突出部分がないた
め、被測定物Ｗの測定時に作業性がよく、更には、載物
台５２からはみ出すような大きさの被測定物Ｗをも測定
できるという効果を付加できる。

更に、取付部材１２と照明手段１３との取付けは、前記
実施例とは逆に、取付部材１２を変位部材５８側に取付
け、照明手段２３を載物台５２側に取付けてもよい。し
かし、照明手段２３には電源コード、信号線コード等が
接続されているため、前記実施例のように構成する方が
有利である。

また、本実施例に係る光学式変位検出器１０を投影機、
形状測定機等、あるいは、プローバ、光ディスク、光磁
気カードの読取装置等の載物台に装着することもでき、
更には載物台以外の一般の変位検出器に適用できる。

〔考案の効果〕

前述のように本考案の光学式変位検出器によれば、温度
変化等によっても変形等が生じず、高精度測定を可能と
するという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第５図は本考案に係る光学式変位検出器の
第１実施例を顕微鏡に適用した構成を示すもので、第１
図は全体構成を示す斜視図、第２図は載物台部分の拡大
平面図、第３図はスケール部材を取付けた状態の取付部
材を示す拡大斜視図、第４図は第３図の平面図、第５図
は第３図の分解斜視図、第６図は本考案の第２実施例を
示す正面図、第７図は従来例の一部を示す一部切欠正面
図、第８図は第７図のVIII−VIII線に沿う断面図であ
る。１０……光学式変位検出器、１２……取付部材、１３…
…固定支持部、１４……弾性支持部、１５……スケール
部材、１５Ａ……背面、１５Ｂ……前面、１５Ｃ……側
面、１６……突出部、１７……固定部材、１８……突出
部、１９……弾性変形部材、２１……光学格子、２２…
…凸部、２３……照明手段、２６……インデックススケ
ール、２８……検出回路、３０……顕微鏡、５０……位
置調整手段、５３，５４……移動手段としてのＹ軸用及
びＸ軸用のマイクロメータヘッド、Ｗ……被測定物。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】変位検出用の光学格子がその長手方向に沿
って形成されるスケール部材と、このスケール部材を一
体的に保持する取付部材と、前記スケール部材に対向さ
れて相対移動可能にされるとともにスケール部材の光学
格子と同様な光学格子を有するインデックススケール
と、このインデックススケールと前記スケール部材とに
対し前記光学格子を読み取るための照明光を出力する照
明手段と、前記スケール部材とインデックススケールと
を相対変位させる際その相対変位量を検出する検出回路
とを含む光学式変位検出器であって、前記取付手段は、前記スケール部材の背面に対向配置さ
れる合成樹脂製の平板状の部材とされ、かつ、前記スケ
ール部材に向かって延びる複数の突出部が一体的に設け
られ、これらの突出部の少なくとも一つは先端部分に配
置された固定部材を介して前記スケール部材を支持する
固定支持部とされ、残りの突出部は先端部分に配置され
た弾性変形部材を介して前記スケール部材を支持する弾
性支持部とされていることを特徴とする光学式変位検出
器。
【請求項２】請求項１記載の光学式変位検出器におい
て、前記取付部材には、前記スケール部材の幅寸法より
もやや広い寸法だけ離れて配列された少なくとも一対の
凸部が一体的に設けられていることを特徴とする光学式
変位検出器。