JPS632445B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS632445B2 JPS632445B2 JP56215252A JP21525281A JPS632445B2 JP S632445 B2 JPS632445 B2 JP S632445B2 JP 56215252 A JP56215252 A JP 56215252A JP 21525281 A JP21525281 A JP 21525281A JP S632445 B2 JPS632445 B2 JP S632445B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- optical axis
- flatness
- reflecting mirror
- height
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 37
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 10
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/306—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces for measuring evenness
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、平面部又は梁状物体等の表面などの
平面度を測定する装置に関するものである。
平面度を測定する装置に関するものである。
例えば、梁状物体が撓んでいるか否かを測定す
るためには、梁状物体の表面の平面度を測定すれ
ば良い。従つて、従来では梁状物体の表面（被測
定面）に該表面と平行に糸を張設し、スコヤー等
をあてがいながら被測定面から糸までの高さを測
定して平面度を知り、これによつて梁状物体の撓
みが許容範囲内であるか否かを推定していた。
るためには、梁状物体の表面の平面度を測定すれ
ば良い。従つて、従来では梁状物体の表面（被測
定面）に該表面と平行に糸を張設し、スコヤー等
をあてがいながら被測定面から糸までの高さを測
定して平面度を知り、これによつて梁状物体の撓
みが許容範囲内であるか否かを推定していた。
ところが、従来のように被測定面から糸までの
高さを測定するようにした場合は、高さの測定誤
差がそのまま平面度の誤差として表われると共
に、測定に長時間を要するという問題点があつ
た。
高さを測定するようにした場合は、高さの測定誤
差がそのまま平面度の誤差として表われると共
に、測定に長時間を要するという問題点があつ
た。
本発明は上記に鑑みてなされたものであつて、
光軸の直進性を利用し、プリズム等で構成した反
射鏡による光軸の反射現象を利用することによ
り、被測定面の平面度の程度等を迅速かつ確実に
測定できるようにした平面度測定装置を提供する
ことを目的としている。
光軸の直進性を利用し、プリズム等で構成した反
射鏡による光軸の反射現象を利用することによ
り、被測定面の平面度の程度等を迅速かつ確実に
測定できるようにした平面度測定装置を提供する
ことを目的としている。
斯る目的を達成するために本発明では、被測定
面と平行な光軸を出力する投光器と、前記被測定
面上に摺動自在に載置した測定台と、前記光軸を
測定台の表面に向つて反射させる反射鏡とを設け
ている。そして、前記反射鏡を測定台に保持させ
ると共に、前記光軸の入射高さ（被測定面から光
軸に至る距離）を測定台の表面に拡大表示すべく
被測定面からのからの距離に応じて前記反射鏡の
反射面の角度を異ならせた構成としている。
面と平行な光軸を出力する投光器と、前記被測定
面上に摺動自在に載置した測定台と、前記光軸を
測定台の表面に向つて反射させる反射鏡とを設け
ている。そして、前記反射鏡を測定台に保持させ
ると共に、前記光軸の入射高さ（被測定面から光
軸に至る距離）を測定台の表面に拡大表示すべく
被測定面からのからの距離に応じて前記反射鏡の
反射面の角度を異ならせた構成としている。
このように、被測定面からの高さ（光軸の入射
高さ）に応じて反射面の角度を異ならせた構成と
しているために、反射鏡への光軸の入射高さに応
じて反射鏡による光軸の反射方向が変化する。従
つて、被測定面の凹凸にともなつて光軸の入射高
さが僅かでも変化すれば、測定台の表面における
映像の位置が大きく異なるというように、光軸の
入射高さ（被測定面の凹凸）を測定台の表面に拡
大表示させることができるので被測定面の平面度
を容易かつ的確に測定することができる。
高さ）に応じて反射面の角度を異ならせた構成と
しているために、反射鏡への光軸の入射高さに応
じて反射鏡による光軸の反射方向が変化する。従
つて、被測定面の凹凸にともなつて光軸の入射高
さが僅かでも変化すれば、測定台の表面における
映像の位置が大きく異なるというように、光軸の
入射高さ（被測定面の凹凸）を測定台の表面に拡
大表示させることができるので被測定面の平面度
を容易かつ的確に測定することができる。
以下に本発明の実施例を図面に基づいて詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例を示したものであ
り、被測定物１の表面、つまり、被測定面２の一
端上面には投光器３を着脱自在に載置すると共
に、この投光器３と反対側の端部上面には受光装
置４を載置している。ここに、前記投光器３と受
光装置４とは同一高さに構成されており、投光器
３から出た光軸５を受光装置４の受光面中心に正
しく照射させると、光軸５が被測定面２と平行に
なるようになつている。尚、投光器３及び受光装
置４は、マグネツト等で被測定面２に吸着保持さ
れるようになつているが、クランプ等で機械的に
安定させ、又は、それぞれの自重で安定させるよ
うにしても良い。
り、被測定物１の表面、つまり、被測定面２の一
端上面には投光器３を着脱自在に載置すると共
に、この投光器３と反対側の端部上面には受光装
置４を載置している。ここに、前記投光器３と受
光装置４とは同一高さに構成されており、投光器
３から出た光軸５を受光装置４の受光面中心に正
しく照射させると、光軸５が被測定面２と平行に
なるようになつている。尚、投光器３及び受光装
置４は、マグネツト等で被測定面２に吸着保持さ
れるようになつているが、クランプ等で機械的に
安定させ、又は、それぞれの自重で安定させるよ
うにしても良い。
又、前記被測定面２上には測定台６を摺動自在
に載置し、被測定面２と平行に形成された測定台
６の表面７に向つて前記光軸５を反射する反射鏡
８を測定台６に装着している。
に載置し、被測定面２と平行に形成された測定台
６の表面７に向つて前記光軸５を反射する反射鏡
８を測定台６に装着している。
ここに、前記反射鏡８は、例えば第２図に示す
ように、投光器３と対向する面を光軸５と直交さ
せると共に、測定台６の表面７と対向する面を該
面７と平行に形成し、かつ、斜辺部（反射面）を
円弧面で構成した三角状のプリズムで構成され、
前記円弧面の中心高さを光軸５の高さと一致させ
ている。そして、前記プリズムの円弧面の中心の
直下をゼロ点とする同心円を測定台６の表面に表
示することにより、円弧面の中心に入射した光軸
５が測定台６の表面７のゼロ点に向つて反射投影
されるようにしている。
ように、投光器３と対向する面を光軸５と直交さ
せると共に、測定台６の表面７と対向する面を該
面７と平行に形成し、かつ、斜辺部（反射面）を
円弧面で構成した三角状のプリズムで構成され、
前記円弧面の中心高さを光軸５の高さと一致させ
ている。そして、前記プリズムの円弧面の中心の
直下をゼロ点とする同心円を測定台６の表面に表
示することにより、円弧面の中心に入射した光軸
５が測定台６の表面７のゼロ点に向つて反射投影
されるようにしている。
上記の構成において、被測定面２の平面度を測
定しようとする時は、第１図に示したように被測
定面２の一端上面に投光器３をセツトすると共
に、他端上面に受光装置４をセツトして投光器３
から出た光軸５を受光装置４の所定位置に正確に
入射させる。尚、このとき、投光器３に高さ調整
手段を設けている場合は、角度調整手段を省略
し、逆に、光軸５の角度調整手段を設けている場
合は、高さ調整手段を省略して光軸５の平行度を
容易に確保できるようにすることが望まれる。
定しようとする時は、第１図に示したように被測
定面２の一端上面に投光器３をセツトすると共
に、他端上面に受光装置４をセツトして投光器３
から出た光軸５を受光装置４の所定位置に正確に
入射させる。尚、このとき、投光器３に高さ調整
手段を設けている場合は、角度調整手段を省略
し、逆に、光軸５の角度調整手段を設けている場
合は、高さ調整手段を省略して光軸５の平行度を
容易に確保できるようにすることが望まれる。
又、上記のようにして被測定面２と平行な光軸
５を得た後に、測定台６を被測定面２上に載置し
て反射鏡８に光軸５を入射させる。すると、反射
鏡８に入射した光軸５が測定台６の表面７に向つ
て反射されるので、この反射によつて得られた光
軸５の映像の位置から被測定面２の平面度を知る
ことができる。
５を得た後に、測定台６を被測定面２上に載置し
て反射鏡８に光軸５を入射させる。すると、反射
鏡８に入射した光軸５が測定台６の表面７に向つ
て反射されるので、この反射によつて得られた光
軸５の映像の位置から被測定面２の平面度を知る
ことができる。
即ち、測定台６を載置した部分の被測定面２が
他の部分と同一平面内にある時は、第２図に実線
で示すように反射鏡８の中心に光軸５が入射する
ので、測定台６の表面７の中央に光軸５が反射さ
れる。又、測定台６を載置した部分が凹んでいる
時は、第２図に一点鎖線で示すように反射鏡８の
上部に光軸が入射し、逆に、測定台６の載置位置
が突出している時は第２図に二点鎖線で示すよう
に反射鏡８の下部に光軸が入射する。従つて、被
測定面２の凹凸によつて反射鏡８の反射角度が変
るため、前記凹凸の程度が倍加されて測定台６の
表面に現われるので、凹凸の状況、つまり平面度
の程度を容易に知ることができる。このために、
単に測定台６を移動させるのみで被測定面２の平
面度を容易に知ることができる。
他の部分と同一平面内にある時は、第２図に実線
で示すように反射鏡８の中心に光軸５が入射する
ので、測定台６の表面７の中央に光軸５が反射さ
れる。又、測定台６を載置した部分が凹んでいる
時は、第２図に一点鎖線で示すように反射鏡８の
上部に光軸が入射し、逆に、測定台６の載置位置
が突出している時は第２図に二点鎖線で示すよう
に反射鏡８の下部に光軸が入射する。従つて、被
測定面２の凹凸によつて反射鏡８の反射角度が変
るため、前記凹凸の程度が倍加されて測定台６の
表面に現われるので、凹凸の状況、つまり平面度
の程度を容易に知ることができる。このために、
単に測定台６を移動させるのみで被測定面２の平
面度を容易に知ることができる。
尚、上記実施例では反射鏡８の反射面を円弧面
で形成して反射面の角度を連続的に変化させてい
るが、例えば第３図に示す実施例のように反射面
の角度を所定の高さ領域ごとに変化させてプリズ
ムを多角形化することにより、光軸の入射高さが
所定の範囲（許容範囲）より大きく変化したとき
にのみ光軸の反射方向を大きく変化させるように
して被測定面の平面度が所定の許容範囲内にある
か否かを容易に判定できるようにしてもよい。
で形成して反射面の角度を連続的に変化させてい
るが、例えば第３図に示す実施例のように反射面
の角度を所定の高さ領域ごとに変化させてプリズ
ムを多角形化することにより、光軸の入射高さが
所定の範囲（許容範囲）より大きく変化したとき
にのみ光軸の反射方向を大きく変化させるように
して被測定面の平面度が所定の許容範囲内にある
か否かを容易に判定できるようにしてもよい。
上記実施例では、平面度が許容範囲内であるか
否かをのみ測定するようにしているが、平面度の
絶対量を知りたい場合は測定台６の表面（受像
面）に目盛を表示すれば良く、かつ、二次元測定
をしようとする場合は反射面を球面又は五角面等
で構成すれば良い。
否かをのみ測定するようにしているが、平面度の
絶対量を知りたい場合は測定台６の表面（受像
面）に目盛を表示すれば良く、かつ、二次元測定
をしようとする場合は反射面を球面又は五角面等
で構成すれば良い。
又、実施例では、いずれも反射鏡をプリズムで
構成して耐破損性を向上させているが、平面鏡、
凹面鏡又は凸面鏡等で反射鏡を構成しても良く、
場合によつては受光装置４を省略することもでき
る。
構成して耐破損性を向上させているが、平面鏡、
凹面鏡又は凸面鏡等で反射鏡を構成しても良く、
場合によつては受光装置４を省略することもでき
る。
以上説明したように本発明によれば、被測定面
と平行な光軸を投光器から出させたうえで、反射
鏡を備えた測定台を被測定面に沿つて摺動させる
のみで被測定面の平面度を光軸の映像位置から測
定することができるので、平面部、梁状物体の表
面等の平面度を迅速かつ正確に知ることができ
る。
と平行な光軸を投光器から出させたうえで、反射
鏡を備えた測定台を被測定面に沿つて摺動させる
のみで被測定面の平面度を光軸の映像位置から測
定することができるので、平面部、梁状物体の表
面等の平面度を迅速かつ正確に知ることができ
る。
又、被測定面からの高さ（光軸の入射高さ）に
応じて反射鏡の反射面の角度を異ならせることに
より、被測定面の凹凸に応じて変化する光軸の入
射高さ（被測定面の平面度）を測定台の表面に拡
大表示するようにしているために格別な増幅機構
を設けることなく被測定面の凹凸の程度を容易に
確認することができ、この種平面度測定装置を安
価に提供することもできる。
応じて反射鏡の反射面の角度を異ならせることに
より、被測定面の凹凸に応じて変化する光軸の入
射高さ（被測定面の平面度）を測定台の表面に拡
大表示するようにしているために格別な増幅機構
を設けることなく被測定面の凹凸の程度を容易に
確認することができ、この種平面度測定装置を安
価に提供することもできる。
第１図は本発明の一実施例による平面度の測定
状態を示す略示正面図、第２図は第１図の要部を
拡大した正面図、第３図はそれぞれ本発明の他の
実施例による反射鏡の正面図である。 ２……被測定面、３……投光器、４……受光装
置、５……光軸、６……測定台、７……表面、８
……反射鏡。
状態を示す略示正面図、第２図は第１図の要部を
拡大した正面図、第３図はそれぞれ本発明の他の
実施例による反射鏡の正面図である。 ２……被測定面、３……投光器、４……受光装
置、５……光軸、６……測定台、７……表面、８
……反射鏡。
Claims (1)
- １ 被測定面と平行な光軸を出力する投光器と、
前記被測定面上に摺動自在に載置した測定台と、
前記光軸を測定台の表面に向つて反射させる反射
鏡とを備えてなり、前記反射鏡を測定台に保持さ
せると共に、光軸の入射高さを測定台の表面に拡
大表示すべく前記被測定面からの距離に応じて反
射鏡の反射面の角度を異ならせたことを特徴とす
る平面度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21525281A JPS58111707A (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | 平面度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21525281A JPS58111707A (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | 平面度測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58111707A JPS58111707A (ja) | 1983-07-02 |
| JPS632445B2 true JPS632445B2 (ja) | 1988-01-19 |
Family
ID=16669233
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21525281A Granted JPS58111707A (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | 平面度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58111707A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6398044U (ja) * | 1986-12-16 | 1988-06-24 | ||
| JPH0567235U (ja) * | 1992-02-20 | 1993-09-07 | セイレイ工業株式会社 | コンバインの穀粒排出オ−ガロック装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103940382B (zh) * | 2014-04-24 | 2017-06-16 | 辛格林电梯（中国）有限公司 | 一种电梯导轨平整度检测系统及其检测方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5726168Y2 (ja) * | 1976-05-18 | 1982-06-07 |
-
1981
- 1981-12-25 JP JP21525281A patent/JPS58111707A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6398044U (ja) * | 1986-12-16 | 1988-06-24 | ||
| JPH0567235U (ja) * | 1992-02-20 | 1993-09-07 | セイレイ工業株式会社 | コンバインの穀粒排出オ−ガロック装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58111707A (ja) | 1983-07-02 |
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