JP4442843B2 - 被検レンズの屈折率測定装置 - Google Patents

被検レンズの屈折率測定装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4442843B2
JP4442843B2 JP2000243894A JP2000243894A JP4442843B2 JP 4442843 B2 JP4442843 B2 JP 4442843B2 JP 2000243894 A JP2000243894 A JP 2000243894A JP 2000243894 A JP2000243894 A JP 2000243894A JP 4442843 B2 JP4442843 B2 JP 4442843B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lens
refractive index
measurement
angle detection
test lens
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2000243894A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2002055023A (ja
Inventor
英一 柳
康文 福間
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Topcon Corp
Original Assignee
Topcon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Topcon Corp filed Critical Topcon Corp
Priority to JP2000243894A priority Critical patent/JP4442843B2/ja
Publication of JP2002055023A publication Critical patent/JP2002055023A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4442843B2 publication Critical patent/JP4442843B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被検レンズ(眼鏡レンズ)の屈折率を非破壊で簡単にかつ迅速に検査することのできる被検レンズの屈折率測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来から、被検レンズの屈折率測定は、その被検レンズに使用する材料と同じ材料を用いて頂角σが既知の試験プリズム1Aを図1に示すように作成し、この試験プリズム1Aに測定光線を入射させ、最小ふれ角μを測定して、下記式によりその材料の屈折率nを求めることが行われている。
n=(sin(μ+σ)/2)/(sin(σ/2))
また、レンズメータを用いて、被検レンズの空気中での屈折力を求め、次いで、被検レンズを水等の液体に浸漬して、被検レンズの液中での屈折力を求め、液中での被検レンズの屈折力と空気中での被検レンズの屈折力との比から、その被検レンズの材質の屈折率nを求めることも行われている。
【0003】
更に、被検レンズを液体に浸漬する代わりに、透明で屈折率が既知の柔軟なシリコンゴムをその被検レンズの表面に押し付けた状態での屈折力を求め、空気中での被検レンズの屈折力とシリコンゴムを押しつけた状態での屈折力の比とから、被検レンズの屈折率nを求めることも行われている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、試験プリズム1Aを作成して被検レンズの屈折率nを測定する方法は、被検レンズを破壊して屈折率を求めなければならず、非破壊で被検レンズの屈折率nを測定できないという問題点がある。
【0005】
一方、レンズメータを用いて被検レンズの空気中での屈折力を測定し、次いでその被検レンズを液体に浸漬して液中での屈折力を測定し、液中での屈折力と空気中での屈折力との比からその被検レンズの屈折率nを測定する方法、既知の屈折率のシリコンゴムを用いて、そのシリコンゴムを押しつけた状態での屈折力と被検レンズの屈折力とを求め、その比から被検レンズの屈折率を測定する方法は、非破壊で被検レンズの屈折率nを非破壊で測定することはできるが、測定が煩雑になるという問題点がある。
【0006】
本発明は、上記の事情に鑑みて為されたもので、その目的とするところは、被検レンズの屈折率を非破壊で簡単にかつ迅速に検査することのできる被検レンズの屈折率測定装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の被検レンズの屈折率測定装置は、光源部から発生された測定光線が被検レンズの前面に対して略垂直に入射するように前記被検レンズの測定光路中に設けられかつ前記被検レンズの前面が当接されて該被検レンズをサポートするレンズサポートと、前記レンズサポートを境に前記光源部とは反対側の位置に設けられかつ前記被検レンズの裏面で屈折された測定光線を受光して前記測定光路の光軸に対する射出角を検出するための射出角検出センサと、前記被検レンズの裏面と前記測定光路の光軸との交点における接平面に立てた法線と前記測定光路の光軸との為す角度を求めるために前記交点に向けてかつ前記光軸に沿って前記測定光線の進行方向とは反対方向から角度測定光を投光する角度測定光学系と、前記角度測定光の前記交点における反射光を受光して前記測定光路の光軸と前記反射光の反射方向との為す反射角を検出する反射角検出センサと、前記射出角検出センサに基づき得られる射出角と前記反射角検出センサに基づき得られる反射角とに基づき前記被検レンズの屈折率を演算する屈折率演算回路と、を有することを特徴とする。
【0008】
請求項2に記載の被検レンズの屈折率測定装置は、前記反射角が一定値となったときの前記射出角を検出して前記屈折率を演算することを特徴とする。
【0009】
請求項3に記載の被検レンズの屈折率測定装置は、前記射出角が一定値となったときの前記反射角を検出して前記屈折率を演算することを特徴とする。
【0010】
請求項4に記載の被検レンズの屈折率測定装置は、前記レンズサポートと前記射出角検出センサとの間に前記角度測定光を前記被検レンズに向けて反射させる斜設ハーフミラーが設けられている。
【0011】
請求項5に記載の被検レンズの屈折率測定装置は、前記反射角検出センサが2個であり、その反射角検出センサの一方は前記射出角検出センサに共用され、その反射角検出センサの他方は前記測定光路外に配設され、前記斜設ハーフミラーは前記反射光を前記他方の反射角検出センサに向けて反射する機能を有し、前記他方の反射角検出センサが等価的に前記測定光路に配設されているとみなしたときに、該2個の反射角検出センサの前記測定光路の光軸上での前記レンズサポートからの光学距離が互いに異ならされていることを特徴とする。
【0012】
請求項6に記載の被検レンズの屈折率測定装置は、前記反射角検出センサと前記射出角検出センサとが共用され、前記レンズサポートと前記射出角検出センサとの間に平行平面板が設けられていることを特徴とする。
【0013】
請求項7に記載の被検レンズの屈折率測定装置は、前記被検レンズの前面側で反射された反射光を受光して前記被検レンズの前面が前記測定光路の光軸に対して垂直に維持されているか否かを確認する確認光学系が設けられていることを特徴とする。
【0014】
【発明の実施の形態】
図2は被検レンズの屈折率の測定に用いる測定装置の測定光学系を示す図である。その図2において、1は光源部(例えばLED)、2はスリット板、3はラインセンサである。
【0015】
光源部1とスリット板2との間には、ピンホール板4、投影レンズ5が設けられている。光源部1の輝度ムラが大きい場合には、光源部1とピンホール板4との間に図示を略す拡散板が配置される。スリット板2とラインセンサ3との間には結像レンズ6、レンズサポート7、斜設ハーフミラー8が配設されている。レンズサポート7には被検レンズTLが当接される。
【0016】
投影レンズ5はピンホール板4と被検レンズTLの仮想当接面80とを共役関係に保つ役割を果たし、投影レンズ5はピンホール板4、スリット板2を通過した測定光線に基づき2次光源像を被検レンズTL上に形成する。
【0017】
スリット板2には図3に示すようにスリット2a、2b、2cが形成されている。そのスリット2aは光軸Oを横切る方向に延びており、このスリット2aを挟んでその両側にスリット2b、2cが光軸Oを原点として点対称に形成されている。
【0018】
スリット板2とラインセンサ3とは結像レンズ6に関して共役位置に設けられ、被検レンズTLが測定光路SOにセットされていないときには、そのスリット板2のスリット像がラインセンサ3を含む面Q内の所定位置に投影される。
【0019】
レンズサポート7には被検レンズTLの前面(凸面)TLaが当接される。このレンズサポート7は円環状に形成され、被検レンズTLはこのレンズサポート7に均一に押しつけられることにより、被検レンズTLの前面TLaを光軸Oに対して略垂直に保持させることができる。なお、図示を略すレンズ押さえを用いて被検レンズTLの裏面TLbの側から一定加重で均一にその被検レンズTLをレンズサポート7に押しつける構成とすることもできる。
【0020】
被検レンズTLを測定光路SOに挿入すると、スリット板2とラインセンサ3を含む面Qの共役関係がずれるが、ピンホール板4のピンホール4aの径を小さくすることにより、焦点深度を深くすることができるので、ラインセンサ3を含む面Q内でスリット板2のスリット像がぼけることを防止できる。
【0021】
被検レンズTLの光軸O1と測定光路SOの光軸Oとが一致しているとき、ラインセンサ3を含む面上でのスリット像の位置は、被検レンズTLを挿入する前のスリット像の位置と同じであり、変化しない。
【0022】
被検レンズTLを矢印A−A方向に移動させると、図4に示すように、スリット像2a’〜2c’はラインセンサ3の画素3aの配列方向(矢印B−B方向)に移動する。このスリット像2a’〜2c’は被検レンズTLが凸レンズのときはその被検レンズTLの移動方向と反対方向に移動し、凹レンズのときはその被検レンズTLの移動方向と同方向に移動する。
【0023】
このとき、図5に示すように、ラインセンサ3上に形成されたスリット像2a’〜2c’に基づき画素3aから出力される検出出力Q1〜Q3のピーク間隔L1、L2が等しい値に保たれたまま、スリット像2a’〜2c’が矢印B−B方向に移動する。
【0024】
被検レンズTLを紙面に直交する平面内で、紙面に対して垂直方向に移動させると、スリット像2a’〜2c’は図6に示すようにラインセンサ3の各画素3aの配列方向と直交する方向(矢印C−C方向)に移動し、ラインセンサ3上に形成されたスリット像2a’〜2c’に基づき画素3aから出力される検出出力Q1〜Q3のピーク間隔L1、L2は、スリット像2a’〜2c’が全体に右に移動したときには、図7に示すようにL1<L2となり、スリット像が全体に左に移動したときには、図8に示すようにL1>L2となり、ラインセンサ3の検出出力Q1〜Q3のピーク間隔L1、L2とスリット像2a’〜2c’の移動方向とに基づき、被検レンズTLの測定光路SOに対する上下左右方向の移動方向を検出できる。その検出出力Q1〜Q3は図に示す屈折率演算回路15に入力される。
【0025】
屈折率演算回路15はその検出出力Q1〜Q3に基づいてその被検レンズTLの移動方向と移動量とを演算し、図示を略すモニターにその移動方向と移動量とを図形表示する。
【0026】
レンズサポート7の頂点7aからラインセンサ3の面Qまでの光学距離dは光学設計により既知である。従って、ラインセンサ3上での像の移動量h1から、射出角εを求めることができ、ラインセンサ3はスリット像を検出して光軸Oに対して射出光線が為す射出角εを検出する役割を果たす。なお、移動量h1はスリット像2a’についてのみ検出すれば足りる。
【0027】
すなわち、被検レンズTLの前面TLaは光軸Oに対して垂直面となるようにしてレンズサポート7に維持されるので、測定光線は被検レンズTLの前面TLaでは屈折せずに裏面TLbに向かって直進し、その裏面TLbで屈折作用を受ける。
【0028】
従って、裏面TLbでの法線Nに対して測定光線の為す角度をθとすると、 スネルの法則に基づき、
sin(θ)=n・sin(θ−ε)
上記式から明らかなように、法線Nに対して測定光線の為す角度(光軸Oに対して法線Nの為す角度)θを測定することができれば、被検レンズTLの屈折率nを求めることができる。ここで、法線Nは被検レンズTLの裏面TLbと光軸Oとの交点Xを含む接平面に対して垂直に立てた垂線である。
【0029】
この測定光学系には、図2、図9に示すように、その光軸Oに対して法線Nの為す角度θを求めるために角度測定光学系16が設けられている。角度測定光学系16は、被検レンズTLの裏面TLbと光軸Oとの交点Xにおいて光軸Oに沿って入射させた角度測定光P’の反射角を測定する機能を果たす。
【0030】
この角度測定光学系16は光源部17、ピンホール板18、投影レンズ19、スリット板20、結像レンズ21からなっている。ピンホール板18と被検レンズTLの裏面TLbとは投影レンズ19に関して共役である。スリット板20はその中央に1個のスリット20aを有する。
【0031】
その角度測定光学系16の光軸O2は斜設ハーフミラー8に関して光軸Oと共役であり、光軸O2と光軸Oとは光学的に合致しているものとする。
【0032】
角度測定光学系16の光源部17から出射された角度測定光P’はピンホール板18、投影レンズ19、スリット板20、結像レンズ21を経由して斜設ハーフミラー8に導かれる。その角度測定光P’はその斜設ハーフミラー8によって反射され、光軸Oに沿って進行し、被検レンズTLの裏面TLbに導かれる。
【0033】
その被検レンズTLの裏面TLbには、角度測定光P’によってその交点Xにピンホール板18の光源像が形成される。その被検レンズTLの交点Xにおいて反射された反射光P”は斜設ハーフミラー8に導かれ、その反射光P”の一部は斜設ハーフミラー8を透過し、その残余の反射光はその斜設ハーフミラー8によって反射される。
【0034】
その残余の反射光の反射方向には、ラインセンサ22が設けられている。このラインセンサ22は、このラインセンサ22が等価的にその測定光路SOの光軸O上にあるとしたときに、その被検レンズTLの裏面TLbからラインセンサ22までの光学距離d’は被検レンズTLの裏面TLbからラインセンサ3の面Qまでの光学距離dとは異ならされている。ここでは、d’>dである。
【0035】
ラインセンサ3とラインセンサ22との中間位置MPとスリット板20とは結像レンズ21に関して共役であり、ラインセンサ3とラインセンサ22とにはスリット20aのスリット像20a’、20a”が形成される。そのスリット像20a’、20a”はラインセンサ3、22の各画素の配列方向と直交する方向に延びている。
【0036】
反射光P”に基づくスリット像20a’、20a”のラインセンサ3、22上での像高をそれぞれh2、h3とする。また、角度測定光P’と反射光P”との為す反射角をδとすると、法線Nに対して入反射法則の原理により、δ=2θである。
【0037】
また、三角形のタンジェントの公式により、
tan2θ=(h3−h2)/(d’−d)
の関係式が成り立つ。
【0038】
従って、角度測定光学系16、ラインセンサ3、22を用いて反射角δを測定することによって、被検レンズTLの屈折率を測定することができ、ラインセンサ3、22は協働して反射角δを検出する反射角検出センサとしての役割を果たす。
【0039】
ここでは、図9に示すように、被検レンズTLの前面TLaの光軸Oに対する垂直性を維持しつつ、かつ、この反射角δが一定値となるように図示を略すモニターを見ながら指示に従って手で被検レンズTLを移動させて偏心させ、この反射角δが一定値の時の射出角εを測定する。これによって、屈折率演算回路15が演算を実行し、被検レンズTLの屈折率nが求められる。この射出角εの測定は、反射角δが一定値であることがモニターに表示された時点で、図示を略す測定ボタンを押すことにより、光源部1を発光させて実行する構成、反射角δが一定値に達したことを図示を略す屈折率演算回路15により検出して光源部1を自動的に発光させて実行する構成のいずれをも採用可能である。
【0040】
なお、ここでは、反射角δを一定値(固定値)として射出角εを測定するようにしたが、射出角εを一定値として、反射角δを測定することにより、被検レンズTLの屈折率nを求めることもできる。
【0041】
図2、図9に示す発明の実施の形態では、反射角δを測定するのに、2個のラインセンサ3、22を配設する構成としたが、図10に示すように、測定光路SOに平行平面板23を設け、反射光P”をその平行平面板23の前面23aと後面23bとでそれぞれ反射させ、ラインセンサ3によって反射光P”に基づくスリット像20a’、20a”を受像する構成とすることもできる。
【0042】
このとき、平行平面板23の厚さをDとすると、平行平面板23の後面23bと前面23aとによって反射された反射光P”と平行平面板23の後面23bをそのまま通過した反射光P”との間には、2倍の光路長差2Dが生じるので、
tan2θ=(h3−h2)/2D
の関係式が成り立つ。
【0043】
ここで、反射角δがほぼ一定値のときに測定する場合には、平行平面板23の前面23aの反射光P”が入射する箇所23cに反射防止コートを設け、後面23bの反射光P”が一部透過しかつ残余の反射光P”が反射される箇所23dにハーフミラーコートを設け、前面23aの反射光P”を反射する箇所23eに全反射コートを設ける構成とすれば、反射光P”の光量損失を防止できる。
【0044】
以上の発明の実施の形態では、被検レンズTLの厚さ(前面TLaから裏面TLbまでの距離)によって、反射光P”に基づくスリット像20a’、20a”のラインセンサ上での像高さが変化するので、2個のスリット像20a’、20a”を用いて、反射角δを測定することにしたが、眼鏡レンズのようにその厚さがほぼ決まっている被検レンズTLの角度θを測定するときには、レンズサポート7からラインセンサ3までの光学距離dを被検レンズTLの厚さを無視できる程度に大きく設計すれば、1個のスリット像20a’を用いて、反射角δを測定することができる。
【0045】
図11は被検レンズTLの前面TLaが光軸Oに対して垂直に配置されたか否かを確認するための確認光学系200の説明図であって、確認光学系200はハーフミラー24、結像レンズ25、受像素子26から構成されている。測定光束は被検レンズTLの前面TLaでその一部が反射され、残りが裏面TLbに向かって透過される。
【0046】
被検レンズTLの前面TLaで反射された測定光束はハーフミラー24によって反射され、結像レンズ25に導かれる。結像レンズ25は受像素子26がエリアセンサの場合には前面TLaをその受像素子26と共役関係に保持させ、その受像素子26がラインセンサの場合にはスリット板2と共役関係に保持させる。従って、受像素子26にはこれがエリアセンサの場合には、前面TLaで反射された測定光束によって光源像が形成され、これがラインセンサの場合には、前面TLaで反射された測定光によって、スリット像2a’〜2c’が形成される。
【0047】
被検レンズTLの前面TLaが光軸Oに垂直に保持されているときには、受像素子26の中央点26aに光源像又はスリット像の中央が位置するが、被検レンズTLの前面TLaが光軸Oに対して傾いていると、その傾きに比例して、その光源像又はスリット像がその中央点26aからずれることになる。そこで、受像素子26の受像出力を屈折率演算回路15に入力させて、中央点26aからのずれ量を算出させ、被検レンズTLの移動方向を図示を略すモニターに表示させるようにしても良い。
【0048】
また、以上、発明の実施の形態では、屈折率の測定について説明したが、光源部1として3波長の光束が得られるものを用いれば、被検レンズTLのアッベ数を測定することができる。これについての詳細原理は、特願平2000−190415号を参照されたい。
【0049】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したように構成したので、被検レンズの屈折率を非破壊で簡単かつ迅速に測定できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 試験プリズムを用いて屈折力を測定するための説明図である。
【図2】 本発明に係わる被検レンズの屈折率測定装置の測定光学系を示す図である。
【図3】 図2に示すスリット板の平面図である。
【図4】 図2に示す測定光路に配設のラインセンサに形成されたスリット像の説明図である。
【図5】 図4に示すラインセンサから出力された検出出力のピーク間隔の説明図である。
【図6】 図2に示す被検レンズを紙面に対して垂直な平面内で光軸に対して垂直に移動させたときに測定光路に配設のラインセンサに形成されるスリット像の説明図である。
【図7】 図6に示すスリット像が右に移動したときにラインセンサから出力される検出出力のピーク間隔を説明するための説明図である。
【図8】 図6に示すスリット像が左に移動したときにラインセンサから出力される検出出力のピーク間隔を説明するための説明図である。
【図9】 図2に示す測定光学系を用いての反射角の検出原理の説明図である。
【図10】 図に示す被検レンズの屈折率測定装置の測定光学系の変形例を示す図である。
【図11】 被検レンズが測定光路の光軸に対して垂直に配設されているか否かを確認するための確認光学系を備えた測定光学系を示す図である。
【符号の説明】
1…光源部
3…射出角検出センサ
7…レンズサポート
15…屈折率演算回路
16…角度測定光学系
22…反射角検出センサ
ε…射出角
N…法線
O…光軸
X…交点
TL…被検レンズ
SO…測定光路

Claims (7)

  1. 光源部から発生された測定光線が被検レンズの前面に対して略垂直に入射するように前記被検レンズの測定光路中に設けられかつ前記被検レンズの前面が当接されて該被検レンズをサポートするレンズサポートと、
    前記レンズサポートを境に前記光源部とは反対側の位置に設けられかつ前記被検レンズの裏面で屈折された測定光線を受光して前記測定光路の光軸に対する射出角を検出するための射出角検出センサと、
    前記被検レンズの裏面と前記測定光路の光軸との交点における接平面に立てた法線と前記測定光路の光軸との為す角度を求めるために前記交点に向けてかつ前記光軸に沿って前記測定光線の進行方向とは反対方向から角度測定光を投光する角度測定光学系と、
    前記角度測定光の前記交点における反射光を受光して前記測定光路の光軸と前記反射光の反射方向との為す反射角を検出する反射角検出センサと、
    前記射出角検出センサに基づき得られる射出角と前記反射角検出センサに基づき得られる反射角とに基づき前記被検レンズの屈折率を演算する屈折率演算回路と、
    を有する被検レンズの屈折率測定装置。
  2. 前記反射角が一定値となったときの前記射出角を検出して前記屈折率を演算することを特徴とする請求項1に記載の被検レンズの屈折率測定装置。
  3. 前記射出角が一定値となったときの前記反射角を検出して前記屈折率を演算することを特徴とする請求項1に記載の被検レンズの屈折率測定装置。
  4. 前記レンズサポートと前記射出角検出センサとの間に前記角度測定光を前記被検レンズに向けて反射させる斜設ハーフミラーが設けられている請求項1に記載の被検レンズの屈折率測定装置。
  5. 前記反射角検出センサが2個であり、その反射角検出センサの一方は前記射出角検出センサに共用され、その反射角検出センサの他方は前記測定光路外に配設され、前記斜設ハーフミラーは前記反射光を前記他方の反射角検出センサに向けて反射する機能を有し、前記他方の反射角検出センサが等価的に前記測定光路に配設されているとみなしたときに、該2個の反射角検出センサの前記測定光路の光軸上での前記レンズサポートからの光学距離が互いに異ならされていることを特徴とする請求項に記載の被検レンズの屈折率測定装置。
  6. 前記反射角検出センサと前記射出角検出センサとが共用され、前記レンズサポートと前記射出角検出センサとの間に平行平面板が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の被検レンズの屈折率測定装置。
  7. 前記被検レンズの前面側で反射された反射光を受光して前記被検レンズの前面が前記測定光路の光軸に対して垂直に維持されているか否かを確認する確認光学系が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の被検レンズの屈折率測定装置。
JP2000243894A 2000-08-11 2000-08-11 被検レンズの屈折率測定装置 Expired - Fee Related JP4442843B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000243894A JP4442843B2 (ja) 2000-08-11 2000-08-11 被検レンズの屈折率測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000243894A JP4442843B2 (ja) 2000-08-11 2000-08-11 被検レンズの屈折率測定装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002055023A JP2002055023A (ja) 2002-02-20
JP4442843B2 true JP4442843B2 (ja) 2010-03-31

Family

ID=18734675

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000243894A Expired - Fee Related JP4442843B2 (ja) 2000-08-11 2000-08-11 被検レンズの屈折率測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4442843B2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2858408B1 (fr) * 2003-07-30 2005-11-11 Essilor Int Procede et machine de mesure de l'indice de refraction d'une lentille ophtalmique
US7019845B1 (en) * 2004-10-06 2006-03-28 Rudolph Technologies, Inc. Measuring elastic moduli of dielectric thin films using an optical metrology system
CN102323238B (zh) * 2011-10-25 2012-12-26 上海交通大学 中红外多波长材料折射率的测量装置及其测量方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2002055023A (ja) 2002-02-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2913984B2 (ja) 傾斜角測定装置
US6731380B2 (en) Method and apparatus for simultaneous measurement of the refractive index and thickness of thin films
US6937328B2 (en) Method for measuring refractive power and apparatus therefor
JP2001021449A (ja) 光学物体の光学特性の自動非接触測定のための方法およびシステム
US5059022A (en) Device for measuring radius of curvature and a method thereof
JP4442843B2 (ja) 被検レンズの屈折率測定装置
JP3120885B2 (ja) 鏡面の測定装置
JP2736741B2 (ja) 屈折度測定装置
US11493338B2 (en) Tilt detection apparatus and method thereof
JPS60209106A (ja) 平面度検査装置
JP2002286448A (ja) 傾斜検出装置
JPH03289504A (ja) 気泡計測装置
JPH05340723A (ja) 隙間間隔測定方法
JPH08261734A (ja) 形状測定装置
JPH0727544A (ja) レンズ検査装置
JPH01304339A (ja) 屈折角測定装置
JPH0533735B2 (ja)
JP4629835B2 (ja) アッベ数測定装置及びアッベ数測定方法
JPH10176927A (ja) 傾斜センサ
JPS632445B2 (ja)
JPH0580612B2 (ja)
JPH08166209A (ja) 多面鏡評価装置
JP4407433B2 (ja) 傾き角度測定装置
JPH04269640A (ja) オートレンズメータ
JP2001324315A (ja) 測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070528

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090512

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090728

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090914

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100106

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100108

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130122

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130122

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140122

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees