JPH01304339A - 屈折角測定装置 - Google Patents

屈折角測定装置

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JPH01304339A
JPH01304339A JP13258688A JP13258688A JPH01304339A JP H01304339 A JPH01304339 A JP H01304339A JP 13258688 A JP13258688 A JP 13258688A JP 13258688 A JP13258688 A JP 13258688A JP H01304339 A JPH01304339 A JP H01304339A
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Yasuji Hattori
服部 保次
Susumu Inoue
享 井上
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Sumitomo Electric Industries Ltd
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は長手方向にほぼ均一な特性を有する円柱状透明
体の側面より長手方向に沿う一断面をレーザ収束光によ
り走査し、透過光の屈折角を測定することより当該円柱
状透明体の内部屈折率分布を求めろ屈折角測定装置にて
、レーザ集光位置の位置決め部を備えたものに関する。
〈従来の技術とその課題〉 光フアイバ母材の内部屈折率分布を求めるには、屈折率
が変化している媒質中を光線が進む時この媒質中の各点
てn繍θ−一定(nは媒質の屈折率、θは光線の進行方
向を示す角度)が成立する様に光線が屈折されるので、
この屈折角を被検体である光フアイバ母材の各々の入射
点(初期条件)に対し求め、これら屈折角を用いて積分
計算を行うことによっている。
かかる原理により屈折角を求める具体的装置としては、
第2図に示す構成が知られている。この第2図において
、He−Neレーザ1による光は、集光レンズ2により
光フアイバ母材である被検体5の軸中心を含む長手方向
に沿う断面上に収束され、第3図に示すクラッド15と
コア14とからなる母材5のPl’面上に収束するよう
になっている。光フアイバ母材5は屈折角の測定精度を
向上させろためクラッド15と屈折率が略等しいマツチ
ングオイル4を充てんしたマツチングセル3内に保持機
構13にて保持される。光フアイバ母材5を通過した屈
折光は、レンズ6及び7を介して二次元の撮像素子8に
入射する。この場合、レンズ6及び7は屈折角が二次元
撮像素子8上で位置情報(光軸中心からの変位情報)に
変換されるよう選択され配置される。
また、ビームによる走査は、コントローラ10によりマ
ツチングセル3を搭載したステージ9を図面の表裏方向
に往復移動させることにより行なっている。
こうして、レーザビームの位置情報はカメラコントロー
ラ12を介してCPUIIにとり込まれる。
ところが、このような母材の測定装置にあっては、次の
ような問題が生じている。すなわち、レーザ光源1の光
は、レンズ2を介して第3図に示す軸中心を通るP1面
上に集光されろようになっているが、母材5が大型化し
た場合等にはその母材5の保持点とレーザ光の走査位置
である測定点とが離間することになり、保持点すなわち
ステージ9の位置を基準としてPR面を決めている関係
上、母材5が真直でない場合には第3図の軸中心を含む
PJ断面上レーザ光源1による光が収束しないこととな
る。
この場合、第3図に示すコア・クラッド境界点Pにおい
て走査ビーム光は拡がるため、例えばシングルモードフ
ァイバ用母材においては屈折光の方向が急激な屈折率変
化に起因=3− して急変する特性を有するにもかかわらず、屈折光の方
向も拡がったものとなり、屈折光の強度分布のうち最大
強度位置にて屈折角の測定が行なわれるが、この屈折角
の測定分解能はこの収束面のずれにより低下せざるを得
ない。
そこで、本発明は、円柱状透明体の内部屈折率を求める
装置にて、走査ビーム光の収束面を軸中心を含むPR面
と一致させるような位置決め部を備えた屈折角測定装置
を提供する。
く課題を解決するための手段と作用〉 上述の目的を達成する本発明は、長手方向に均一な特性
の円柱状透明体をこの長手方向に沿う一断面で収束する
光線にて幅方向に走査し、この走査による透過光の屈折
角を測定することにより上記円柱状透明体の内部屈折率
分布を求める屈折角測定装置において、上記長手方向及
び上記走査光線入射方向のいずれにも直交する方向に平
行ビームを上記円柱状透明体をはさんで照射する照明系
と、この照明系により照明された円柱状透明体の屈折光
による輝度分布を検出する受像光学系と、この受像光学
系の受像素子により得られた輝度分布の対称性を用いて
上記円柱状透明体をその軸中心を通り上記走査光線入射
方向に直交する断面が上記走査光線の集光位置となるよ
うに上記円柱状透明体を移動させる移動系と、を有する
位置決め部を備えたことを特徴とする。
かかる屈折角測定装置によれば測定に先立ち母材の位置
をモニターし、母材の中心を含むPN面が走査ビームの
集光点に一致するように母材を移動させることが可能と
なる為、レーザ収束光である小さなスポットで母材を走
査することが出来、屈折角測定における空間分解能を向
上させ、屈折角の高精度測定を可能とすることが出来る
〈実 施 例〉 ことて、第1図を参照して本発明の実施例を説明する。
第1図において、第2図に示す部分は一部省略する。第
1図において、16は定電流源、17はこの定電流源1
6にて駆動される比較時点光源性の強い光源例えばレー
ザダイオード、LED等、18は光源17による光を平
行光線とするレンズ、19はレンズ18による平行光を
マツチングセル3内の光フアイバ母材5やマツチングオ
イル4を透過後二次元撮像素子20 (−次元ラインセ
ンサてもよい)に結像させるための結像レンズ、21は
撮像素子20にて得られた光強度分布をモニタするため
のモニタTV、22はモニタTV21の影像信号を処理
する画像処理装置、23は画像処理結果に基づき光フア
イバ母材5の保持ステージ13を移動させるコントロー
ラである。
かかる装置にて、光源17からの平行光は、走査光線と
直交して母材5を照明して、母材5の屈折率分布にて屈
折される。この屈折光は例えば第3図PI’における強
度分布は結像レンズ19を介して撮像素子2oに結像さ
れる。乙の結像画像1まモニタTV21にてコア・クラ
ッド境界部の屈折に対応して暗線(ロ)Q→が顕著に観
測される。また、同時にマツチングオイル4の屈折率が
クラッド部15の屈折率と一致しない場合クラッド外縁
部の暗線(イ)に)も観測される。
こうして暗線(ロ)←→が明瞭に観測されるシングルモ
ードファイバ母材においては、その軸中心が予め求めら
れている走査光の収束面に一致するように光フアイバ母
材を母材5がら5′に移動させればよい。また、暗線(
ロ)、GI→の境界線が明瞭でないグレーディッド型母
材においては(イ)、(ロ)が観測可能な様にマツチン
グオイル4の屈折率、即ち液温をコントロールし、しか
る後同様な位置合せを行えば良い。
く具 体 例〉 光源17として波長0.73μm1出力10mWのLE
Dを用いた。直径100mmの平凸レンズ18て光束を
平行化し母材を照明した。母材としては直径50mmの
シングルモードファイバ用母材を用いた。結像レンズ1
9を介して2048素子の一次元ラインセンサ20で輝
度分布を求め、(口1. Q→の中点が予めレーザ光の
集光位置として求められた一次元ラインセンサの画素に
一致するようにステージ13を移動させた。ステージ1
3は1μmステップのパルスモータて駆動し、1μm読
取りのリニアスケールで位置再現性を求めたところN=
20での最大ばらつきは20μmとなった。
この結果、走査ビームの集光点からの拡り角を1°とし
た場合上記制訂を行った場合のデフォーカスによる拡り
は次の値となる。
20μm×πX 1/180 = 0.35μmところ
が一方長さ0.5rn、直径50mm程度の母材におい
ては、チャッキングによる曲がりも含めると通常2胴程
度の曲がりがある為、この場合のデイフォーカスによる
ビームの拡りは次の値となる。
2.000μm×πx (1/180)=35μmした
がって、空間分解能は格段に向上する。
〈発明の効果〉 す上述へた様に本発明による屈折角測定装置を用いた場
合には母材の中心を通るPIV面はレーザ走査光の集光
点に位置せしめられる為、走査時の空間分解能を向上さ
せることが出来ろ。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例に係る屈折角測定装置、第2図
は従来の屈折角測定装置、第3図は母材の断面を示す図
である。 図  中、 5.5′は光フアイバ母材、 16は定電流源、 17は光源、 18.19はレンズ、 20は撮像素子、 21はモニタTV。 22は画像処理装置、 23はコントローラである。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 長手方向に均一な特性の円柱状透明体をこの長手方向に
    沿う一断面で収束する光線にて幅方向に走査し、この走
    査による透過光の屈折角を測定することにより上記円柱
    状透明体の内部屈折率分布を求める屈折角測定装置にお
    いて、上記長手方向及び上記走査光線入射方向のいずれ
    にも直交する方向に平行ビームを上記円柱状透明体をは
    さんで照射する照明系と、この照明系により照明された
    円柱状透明体の屈折光による輝度分布を検出する受像光
    学系と、この受像光学系の受像素子により得られた輝度
    分布の対称性を用いて上記円柱状透明体をその軸中心を
    通り上記走査光線入射方向に直交する断面が上記走査光
    線の集光位置となるように上記円柱状透明体を移動させ
    る移動系と、を有する位置決め部を備えた屈折角測定装
    置。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0534295A (ja) * 1991-07-31 1993-02-09 Nec Corp 光フアイバ端面観察機
JP2003185532A (ja) * 2001-12-13 2003-07-03 Furukawa Electric Co Ltd:The 光ファイバ母材の屈折率測定方法
CN105092219A (zh) * 2015-09-21 2015-11-25 上海卫星工程研究所 整星级杂散光测试单元消光器
JP2018500542A (ja) * 2014-10-31 2018-01-11 コーニング インコーポレイテッド 円筒状ガラス体の屈折率プロファイルの高精度測定

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CN105092219A (zh) * 2015-09-21 2015-11-25 上海卫星工程研究所 整星级杂散光测试单元消光器

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