JPH0573510U - 直線案内装置 - Google Patents

直線案内装置

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JPH0573510U
JPH0573510U JP8715691U JP8715691U JPH0573510U JP H0573510 U JPH0573510 U JP H0573510U JP 8715691 U JP8715691 U JP 8715691U JP 8715691 U JP8715691 U JP 8715691U JP H0573510 U JPH0573510 U JP H0573510U
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cylinder
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 直線案内ガイドの案内面が変形しても、直線
案内ガイドとエアパッドとの間に形成するエアギャップ
を常に一定に保つことを目的とする。 【構成】 互いに平行な2つの案内面に対応するエアパ
ッド3a、3bの一方を保持する保持部材に、空気室1
2をもつシリンダ11と、シリンダ11の内面を摺動す
るピストン10とから構成されるエアシリンダと、空気
室12に気体圧力を供給し、ピストン10が摺動しても
空気室12の気体圧力を常に一定に制御するレギュレー
タ13とを設けた。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は、エアパッドを有するキャリッジが直線案内ガイドに沿って移動する 直線案内装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の直線案内装置は図4のように構成されている。図4において、エアパッ ド3a、3b、3cを直線案内ガイド1の各々の案内面に併設し、エアパッド3 a、3cはエアパッド3a、3cの窪みに嵌入した鋼球6a、6cをキャリッジ 2の調整ネジ5a、5cの窪みに嵌入し、その結果エアパッド3a、3cは傾動 自在にキャリッジ2と直線案内ガイド1の案内面との間に支持される。 また、 エアパッド3bはエアパッド3bの窪みに嵌入した鋼球6b、ピボット軸7を介 して皿バネ8に係合し、皿バネ8はキャリッジ2の調整ネジ9に取り付けられて いる。従って、エアパッド3bは傾動自在に直線案内ガイド1の案内面に向けて 弾圧される。
【0003】
【考案が解決しようとする課題】
従来の技術における直線案内装置の問題点は、上記の如き構造において直線案 内ガイドを移動するキャリッジの剛性を高めるためには、案内面に併設されたキ ャリッジのエアパッドに対して大きなスラスト荷重を与える必要があり、また、 直線案内ガイドの変形を十分に吸収するためには皿バネのバネ定数を極力小さく しなければならなかった。しかし、一般的な弾性部材において、小さいバネ定数 で大きな荷重に耐えるためには、弾性部材のたわみ量を大きくし、なおかつ、そ の弾性部材の材料固有の弾性限界を越えないようにしなければならない。従って 、バネ定数とエアパッドに発生するスラスト荷重は使用する弾性部材の弾性限界 に左右され、その弾性部材の材料定数によっては上記構造の効果を十分に得られ ない場合もあった。
【0004】 本考案はこの様な従来の問題点に鑑みてなされたもので、弾性部材のバネ定数 を極力小さくし、なおかつ大きなスラスト荷重をエアパッドに与え、しかも、直 線案内ガイドの案内面が変形しても、直線案内ガイドとエアパッドとの間に形成 するエアギャップを常に一定に保つことを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
請求項1における本考案は、3つの案内面に対応するエアパッド(3a、3b 、3c)の1つを保持する保持部材に案内面の変形にもかかわらず案内面とエア パッドとの間のエアギャップを一定にする付勢力制御装置(10、11、13) を設けたものである。
【0006】 請求項2における本考案は、ガイドを互いに略平行な2つの案内面と、2つの 案内面に略直交する1つの案内面とで構成し、付勢力制御装置(10、11、1 3)を互いに略平行な2つの案内面に対応するエアパッド(3a、3b)の一つ を保持する保持部材に設けたものである。 請求項3における本考案は、互いに平行な2つの案内面に対応するエアパッド (3a、3b)の一方を保持する保持部材(6b、10、11)に、エアパッド (3b)を傾動自在に係合するピストン(10)と、キャリッジ(2)に固定さ れ、ピストン(10)が出入自在に嵌合するシリンダ(11)と、シリンダ(1 1)の空気室(12)に気体圧力を供給し、ピストン(10)が摺動しても空気 室(12)の気体圧力を常に一定に制御するレギュレータ(13)を有している ものである。
【0007】
【作用】
上記の構成によれば、環境温度の影響を受けて直線案内ガイド1の案内面が変 形し、エアパッド3a、3bと直線案内ガイド1の案内面との間に形成されるエ アギャップが変化しようとした場合、エアパッド3aはキャリッジ2と高い剛性 で係合しており、他方のエアパッド3bを保持する保持部材に付勢力制御装置を 備えることでエアギャップを一定にできる。また、キャリッジ2の姿勢を調整す るために、調整ネジ5aを押し引きした場合も、直線案内ガイド1とエアパッド 3a、3bとの間に形成されるエアギャップ及びエアパッド3a、3bに与える スラスト荷重は上述の付勢力制御装置の作用によって一定に保てる。なおかつ、 付勢力制御装置の付勢力の設定を変えることによって、直線案内ガイド1とエア パッド3a、3bの間に形成されるエアギャップの間隔が調整でき、直線案内ガ イド1に沿って移動するキャリッジ2の剛性を調整することができる。
【0008】 レギュレータ13は気体圧力をシリンダ11の空気室12に供給し、ピストン 10が摺動しても気体圧力を常に一定に制御している。従って、エアパッド3a 、3bに与えるスラスト荷重は常に一定である。また、レギュレータ13から供 給される気体圧力の設定を変え、直線案内ガイド1とエアパッド3a、3bの間 に形成されるエアギャップの間隔を調整することによって、直線案内ガイド1に 沿って移動するキャリッジ2の剛性を調整することができる。
【0009】 以上のように、直線案内ガイド1が変形しても常に一定のスラスト荷重を与え ることができので、直線案内ガイド1とエアパッド3a、3bとの間に形成され るエアギャップを常に一定に保つことができる。
【0010】
【実施例】
図1は本考案の第1実施例である。互いに平行な2つの案内面1a、1bと、 2つの案内面1a、1bに直交する少なくとも1つの案内面1cとで構成される 直線案内ガイド1と、直線案内ガイド1に沿って移動するキャリッジ2と、各々 の案内面に対応させて設けたエアパッド3a、3b、3cと、エアパッド3a、 3b、3cをキャリッジ2と各々の案内面1a、1b、1cとの間に傾動自在に 保持する保持部材5a、5c、6a、6b、6c、10、11とが設けられてい る。エアッパッド3aの保持部材は、エアパッド3aの窪みに嵌入した鋼球6a をキャリッジ2に螺合する調整ネジ5aの窪みに嵌入しており、エアパッド3b の保持部材は、エアパッド3bの窪みに嵌入した鋼球6bをピストン10の窪み に嵌入し、案内面1bに直交する方向へ移動するピストン10を摺動自在に保持 するシリンダ11がキャリッジ2に固定されており、エアパッド3cの保持部材 は、エアパッド3cの窪みに嵌入した鋼球6cをキャリッジ2に螺合する調整ネ ジ5cの窪みに嵌入している。その結果、エアパッド3a、3b、3cと案内面 1a、1b、1cとの間に形成したエアギャップによって、直線案内ガイド1に 沿ってキャリッジ2が移動する。エアパッド3bを保持する保持部材は、案内面 の変形にもかかわらず案内面とエアパッド3a、3bとの間のエアギャップを一 定に制御する。
【0011】 そのために、シリンダ11およびシリンダ11の内面を摺動するピストン10 とから構成されるエアシリンダと、ピストン10とシリンダ11とから形成され る空気室12に気体圧力を供給し、ピストン10が摺動しても空気室12の気体 圧力を常に一定に制御するレギュレータ13と、を設けた。 直線案内ガイド1の案内面が環境温度の影響等により変形した場合、エアパッ ド3a、3bと案内面との間に形成されるエアギャップの間隔が変化しようとす る。しかし、付勢力制御装置を構成するエアシリンダのピストン10がシリンダ 11の内面を摺動することによって、エアパッド3bを移動させ案内面が変形し てもエアギャップを一定に保つことができる。
【0012】 また、案内面の変形に伴ってピストン10がエアギャップを一定にするために シリンダ11内面を摺動した場合、シリンダ11の空気室12の気体圧力が変化 しようとするが、レギュレータ13によって空気室12の気体圧力を常に一定に なるように制御している。従って、エアパッド3a、3bに与えているスラスト 荷重は常に一定なので、案内面が変形してもエアギャップは常に一定に保たれる 。
【0013】 レギュレータ13から供給される気体圧力の設定を変え、直線案内ガイド1と エアパッド3a、3bの間に形成されるエアギャップの間隔を調整することによ って、直線案内ガイド1に沿って移動するキャリッジ2の剛性を調整することが できる。 また、キャリッジ2の姿勢を調整するには調整ネジ5aを押し引きして行うこ とができる。その時、調整ネジ5aを押し引きした場合も、直線案内ガイド1と エアパッド3a、3bとの間に形成されるエアギャップ及びエアパッド3a、3 bに与えるスラスト荷重は上述の付勢力制御装置の作用によって一定に保てる。
【0014】 図2は第2実施例である。上記第1実施例で構成される直線案内装置に設ける 付勢力制御装置を空気室12をもつシリンダ11と、シリンダ11の内面に固定 したダイアフラム15と、ダイアフラム15にピボット軸14を固定し、ピボッ ト軸14に鋼球6bを介してエアパッド3bを係合したものである。また、空気 室12には案内面の変形に伴って、ダイアフラム15が変形しても空気室12の 気体圧力を常に一定に制御するレギュレータ13が設けられている。直線案内ガ イド1の案内面が環境温度の影響により変形した場合、エアパッド3a、3bと の間に形成されるエアギャップの間隔が変形しようとする。しかし、シリンダ1 1内に固定されたダイアフラム15が案内面の変形に対応した変化をすることに よってエアギャップを一定に保つことができる。その時、シリンダ11内の空気 室12の気体圧力も変わろうとするが、レギュレータ13によって空気室12の 気体圧力を常に一定に制御している。また、キャリッジ2の姿勢の調整も第1実 施例と同様に行うことができ、同様な効果が得られる。
【0015】 図3は第1実施例、第2実施例の直線案内ガイド1を異なるガイド形式にした ものである。定盤50の側面50aと、定盤50の側面と平行な面50bを形成 する部材52と、定盤50の上面50cとを案内面とする直線案内ガイドである 。各々の案内面50a、50b、50cに対応させて設けたエアパッド3a、3 b、3cを回転かつ傾動自在に保持部材5a、5c、6a、6b、6c、14、 15、11を介してキャリッジ51に保持させている。エアパッド3a、3b、 3cと案内面50a、50b、50cとの間に形成したエアギャップによって、 直線案内ガイドに沿ってキャリッジ51が移動する。付勢力制御装置11、13 、14、15はシリンダ11にダイアフラム15を固定した第2実施例と同様の 構成であり、シリンダ11はキャリッジ51に固定されている。
【0016】 直線案内ガイドの案内面が環境温度の影響により変形した場合、エアパッド3 a、3bとの間に形成されるエアギャップの間隔が変形しようとする。しかし、 シリンダ11内に固定されたダイアフラム15が案内面の変形に対応した変化を することによってエアギャップを一定に保つことができる。その時、シリンダ1 1内の空気室12の気体圧力も変わろうとするが、レギュレータ13によって空 気室12の気体圧力を常に一定に制御している。
【0017】 従って、エアパッド3a、3bに与えているスラスト荷重は常に一定であるの で、直線案内ガイドの案内面が変形してもエアギャップは常に一定に保たれる。 第3実施例において、第1実施例で用いた付勢力制御装置を用いてもよい。 以上の実施例において、レギュレータ13からシリンダ11の空気室12に供 給される気体圧力を変化させることによって、エアパッド3a、3bに与えるス ラスト荷重を変化させ、剛性を高めることもできる。
【0018】 また、上述のそれぞれの実施例では空気圧を用いたが、油圧等のその他の流 体を用いてもよい。 本実施例の直線案内ガイド形状は、ガイド断面が三角形形状のもので付勢力制 御装置を3面のうち一つの面に対応するエアパッドに設けたものや、また、ガイ ド断面が台形上のもので付勢力制御装置を互いに平行でない案内面の一方に設け たものを使用してもよい。
【0019】
【考案の効果】
以上の様に本考案によれば、エアパッドに一定のスラスト荷重が得られ、直線 案内ガイドとエアパッドとの間に形成されるエアギャップを常に一定に保つこと ができる。また、ガイド形状を互いに平行な2つの案内面と、2つの案内面に直 交する案内面とで構成し、付勢力制御装置を互いに平行な2つの案内面に対応す るエアパッドの一つを保持する保持部材に設けたとき、スラスト荷重を常に一方 向に発生でき、エアギャップを効率よく一定に制御できる。なおかつ、付勢力制 御装置の付勢力を変えることによって、スラスト荷重の負荷量も変えることがで き、高剛性な案内装置を得ることができる。
【0020】 シリンダの空気室をレギュレータで制御することによって付勢力制御装置と同 様な効果を得ることができる。また、ピストンのストローク量を確保することに よりガイドとキャリッジの相対位置の調整範囲を広く、容易に調整でき、調整時 間を減少することができる。 以上のように、直線案内ガイドが変形しても常に一定のスラスト荷重を与える ことができので、直線案内ガイドとエアパッドとの間に形成されるエアギャップ を常に一定に保つことができる。
【0021】 例えば、この案内装置を3次元測定機等に使用した場合、測定機の精度を向上 する事ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による装置の第1実施例の断面図であ
る。
【図2】本発明による装置の第2実施例の断面図であ
る。
【図3】本発明による装置の第3実施例の要部断面図で
ある。
【図4】従来の技術による装置の断面図である。
【符号の説明】
1 直線案内ガイド 2 キャリッジ 7、14 ピボット軸 8 皿バネ 9 調整ネジ 10 ピストン 11 シリンダ 12 空気室 13 レギュレータ 15 ダイアフラム 50 定盤 51 キャリッジ 52 部材 1a、1b、1c 案内面 3a、3b、3c エアパッド 5a、5b、5c 調整ネジ 6a、6b、6c 鋼球 50a、50b、50c 案内面

Claims (3)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】少なくとも3つの案内面を有す直線案内ガ
    イドと、 前記ガイドに沿って移動するキャリッジと、 前記案内面の各々に対応させて設けたエアパッドと、 前記キャリッジと前記案内面各々との間で傾動自在に前
    記エアパッドを保持する保持部材と、 を有し、前記エアパッドと前記案内面との間に形成した
    エアギャップによって、前記直線案内ガイドに沿って前
    記キャリッジを移動させる直線案内装置において、 前記エアパッドの一つを保持する保持部材は、前記案内
    面の変形にもかかわらず前記案内面と前記エアパッドと
    の間のエアギャップを一定に制御する付勢力制御装置を
    有することを特徴とする直線案内装置。
  2. 【請求項2】前記ガイドの3つの案内面は、互いに略平
    行な2つの案内面と、前記2つの案内面に略直交する少
    なくとも1つの案内面であり、前記付勢力制御装置は前
    記互いに平行な2つの案内面に対応するエアパッドの一
    つを保持する保持部材に設けたことを特徴とする請求項
    1に記載の直線案内装置。
  3. 【請求項3】互いに平行な2つの案内面と、前記2つの
    案内面に直交する少なくとも1つの案内面とで構成され
    る直線案内ガイドと、 前記ガイドに沿って移動するキャリッジと、 前記案内面の各々に対応させて設けたエアパッドと、 前記エアパッドを傾動自在に前記キャリッジと前記案内
    面各々との間に保持する保持部材と、 を有し、前記エアパッドと前記案内面との間に形成した
    エアギャップによって、前記ガイドに沿って前記キャリ
    ッジを移動させる直線案内装置において、 前記エアパッドの一つを保持する保持部材は、前記エア
    パッドを傾動自在に係合するピストンと、 前記キャリッジに固定され、前記ピストンが出入自在に
    嵌合するシリンダと、前記シリンダの空気室に気体圧力
    を供給し、前記ピストンが摺動しても空気室の気体圧力
    を常に一定に制御するレギュレータとを有することを特
    徴とする直線案内装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09317767A (ja) * 1996-05-28 1997-12-09 Nippon Seiko Kk 位置決め装置
JP2006020478A (ja) * 2004-07-05 2006-01-19 Neomax Co Ltd ステージ装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63171726U (ja) * 1987-04-28 1988-11-08

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63171726U (ja) * 1987-04-28 1988-11-08

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09317767A (ja) * 1996-05-28 1997-12-09 Nippon Seiko Kk 位置決め装置
JP2006020478A (ja) * 2004-07-05 2006-01-19 Neomax Co Ltd ステージ装置

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