JP2575664Y2 - 付勢力一定のエアーパッドを有する移動案内装置 - Google Patents
付勢力一定のエアーパッドを有する移動案内装置Info
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- JP2575664Y2 JP2575664Y2 JP1991087156U JP8715691U JP2575664Y2 JP 2575664 Y2 JP2575664 Y2 JP 2575664Y2 JP 1991087156 U JP1991087156 U JP 1991087156U JP 8715691 U JP8715691 U JP 8715691U JP 2575664 Y2 JP2575664 Y2 JP 2575664Y2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、エアパッドを有するキ
ャリッジが、平行な案内面を有する案内ガイドに沿って
移動する移動案内装置に関するものである。
ャリッジが、平行な案内面を有する案内ガイドに沿って
移動する移動案内装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の直線案内装置は図４のように構成
されている。図４において、エアパッド３ａ、３ｂ、３
ｃを直線案内ガイド１の各々の案内面に併設し、エアパ
ッド３ａ、３ｃはエアパッド３ａ、３ｃの窪みに嵌入し
た鋼球６ａ、６ｃをキャリッジ２の調整ネジ５ａ、５ｃ
の窪みに嵌入し、その結果エアパッド３ａ、３ｃは傾動
自在にキャリッジ２と直線案内ガイド１の案内面との間
に支持される。 また、エアパッド３ｂはエアパッド３
ｂの窪みに嵌入した鋼球６ｂ、ピボット軸７を介して皿
バネ８に係合し、皿バネ８はキャリッジ２の調整ネジ９
に取り付けられている。従って、エアパッド３ｂは傾動
自在に直線案内ガイド１の案内面に向けて弾圧される。
されている。図４において、エアパッド３ａ、３ｂ、３
ｃを直線案内ガイド１の各々の案内面に併設し、エアパ
ッド３ａ、３ｃはエアパッド３ａ、３ｃの窪みに嵌入し
た鋼球６ａ、６ｃをキャリッジ２の調整ネジ５ａ、５ｃ
の窪みに嵌入し、その結果エアパッド３ａ、３ｃは傾動
自在にキャリッジ２と直線案内ガイド１の案内面との間
に支持される。 また、エアパッド３ｂはエアパッド３
ｂの窪みに嵌入した鋼球６ｂ、ピボット軸７を介して皿
バネ８に係合し、皿バネ８はキャリッジ２の調整ネジ９
に取り付けられている。従って、エアパッド３ｂは傾動
自在に直線案内ガイド１の案内面に向けて弾圧される。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】従来の技術における直
線案内装置の問題点は、上記の如き構造において直線案
内ガイドを移動するキャリッジの剛性を高めるために
は、案内面に併設されたキャリッジのエアパッドに対し
て大きなスラスト荷重を与える必要があり、また、直線
案内ガイドの変形を十分に吸収するためには皿バネのバ
ネ定数を極力小さくしなければならなかった。しかし、
一般的な弾性部材において、小さいバネ定数で大きな荷
重に耐えるためには、弾性部材のたわみ量を大きくし、
なおかつ、その弾性部材の材料固有の弾性限界を越えな
いようにしなければならない。従って、バネ定数とエア
パッドに発生するスラスト荷重は使用する弾性部材の弾
性限界に左右され、その弾性部材の材料定数によっては
上記構造の効果を十分に得られない場合もあった。
線案内装置の問題点は、上記の如き構造において直線案
内ガイドを移動するキャリッジの剛性を高めるために
は、案内面に併設されたキャリッジのエアパッドに対し
て大きなスラスト荷重を与える必要があり、また、直線
案内ガイドの変形を十分に吸収するためには皿バネのバ
ネ定数を極力小さくしなければならなかった。しかし、
一般的な弾性部材において、小さいバネ定数で大きな荷
重に耐えるためには、弾性部材のたわみ量を大きくし、
なおかつ、その弾性部材の材料固有の弾性限界を越えな
いようにしなければならない。従って、バネ定数とエア
パッドに発生するスラスト荷重は使用する弾性部材の弾
性限界に左右され、その弾性部材の材料定数によっては
上記構造の効果を十分に得られない場合もあった。
【０００４】本考案は、この様な従来の問題点に鑑みて
なされたもので、弾性部材のバネ定数を極力小さくし、
なおかつ大きなスラスト荷重をエアパッドに与え、しか
も、案内ガイドの案内面が変形しても、案内ガイドとエ
アパッドとの間に形成するエアギャップを常に一定に保
つことを目的とする。
なされたもので、弾性部材のバネ定数を極力小さくし、
なおかつ大きなスラスト荷重をエアパッドに与え、しか
も、案内ガイドの案内面が変形しても、案内ガイドとエ
アパッドとの間に形成するエアギャップを常に一定に保
つことを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１における本考案
は、少なくとも所定の一方向において互いに平行な案内
面を有する案内ガイド（１、５０ａ及び５０ｂ）と、前
記案内ガイドに沿って移動するキャリッジ（２、５１）
と、前記案内面の各々に対応させて設けたエアパッド
（３ａ、３ｂ）と、前記エアパッドを傾動自在に前記キ
ャリッジと前記案内面各々との間に保持する保持部材
と、を有し、前記エアパッドと前記案内面との間に形成
したエアギャップによって、前記案内ガイドに沿って前
記キャリッジを移動させる移動案内装置において、前記
エアパッドの一つを保持する保持部材（６ｂ、１０、１
１）は、供給された気体の圧力によって該エアパッドを
前記案内面の方向に付勢する、アクチュエータ（１０及
び１１、１１及び１５、）を有することを特徴とする移
動案内装置である。
は、少なくとも所定の一方向において互いに平行な案内
面を有する案内ガイド（１、５０ａ及び５０ｂ）と、前
記案内ガイドに沿って移動するキャリッジ（２、５１）
と、前記案内面の各々に対応させて設けたエアパッド
（３ａ、３ｂ）と、前記エアパッドを傾動自在に前記キ
ャリッジと前記案内面各々との間に保持する保持部材
と、を有し、前記エアパッドと前記案内面との間に形成
したエアギャップによって、前記案内ガイドに沿って前
記キャリッジを移動させる移動案内装置において、前記
エアパッドの一つを保持する保持部材（６ｂ、１０、１
１）は、供給された気体の圧力によって該エアパッドを
前記案内面の方向に付勢する、アクチュエータ（１０及
び１１、１１及び１５、）を有することを特徴とする移
動案内装置である。
【０００６】請求項２における本考案は、請求項１に記
載の装置において、前記アクチュエータは、前記エアパ
ッドを傾動自在に係合するピストン（１０）又はシリン
ダ（１１）と、前記キャリッジに固定された前記シリン
ダ又はピストンとからなる直線作動型アクチュエータで
あり、前記アクチュエータの圧力室（１２）に常時供給
される気体の圧力を所定の圧力に制御するレギュレータ
（１３）をさらに備えたことを特徴とする移動案内装置
である。請求項３における本考案は、請求項１又は請求
項２に記載の装置において、前記案内ガイドは、前記キ
ャリッジを直線方向に案内する直線案内ガイドであるこ
とを特徴とする移動案内装置である。
載の装置において、前記アクチュエータは、前記エアパ
ッドを傾動自在に係合するピストン（１０）又はシリン
ダ（１１）と、前記キャリッジに固定された前記シリン
ダ又はピストンとからなる直線作動型アクチュエータで
あり、前記アクチュエータの圧力室（１２）に常時供給
される気体の圧力を所定の圧力に制御するレギュレータ
（１３）をさらに備えたことを特徴とする移動案内装置
である。請求項３における本考案は、請求項１又は請求
項２に記載の装置において、前記案内ガイドは、前記キ
ャリッジを直線方向に案内する直線案内ガイドであるこ
とを特徴とする移動案内装置である。
【０００７】
【作用】上記の構成によれば、環境温度の影響を受けて
案内ガイド１の案内面が変形し、エアパッド３ａ、３ｂ
と案内ガイド１の案内面との間に形成されるエアギャッ
プが変化しようとした場合、エアパッド３ａはキャリッ
ジ２と高い剛性で係合しており、他方のエアパッド３ｂ
を保持する保持部材にアクチュエータ１０及び１１、又
は１１及び１５と、レギュレータ１３とからなる付勢力
制御装置を備えることでエアギャップを一定にできる。
また、キャリッジ２の姿勢を調整するために、調整ネジ
５ａを押し引きした場合も、案内ガイド１とエアパッド
３ａ、３ｂとの間に形成されるエアギャップ及びエアパ
ッド３ａ、３ｂに与えるスラスト荷重は上述の付勢力制
御装置の作用によって一定に保てる。なおかつ、付勢力
制御装置の付勢力の設定を変えることによって、案内ガ
イド１とエアパッド３ａ、３ｂの間に形成されるエアギ
ャップの間隔が調整でき、案内ガイド１に沿って移動す
るキャリッジ２の剛性を調整することができる。
案内ガイド１の案内面が変形し、エアパッド３ａ、３ｂ
と案内ガイド１の案内面との間に形成されるエアギャッ
プが変化しようとした場合、エアパッド３ａはキャリッ
ジ２と高い剛性で係合しており、他方のエアパッド３ｂ
を保持する保持部材にアクチュエータ１０及び１１、又
は１１及び１５と、レギュレータ１３とからなる付勢力
制御装置を備えることでエアギャップを一定にできる。
また、キャリッジ２の姿勢を調整するために、調整ネジ
５ａを押し引きした場合も、案内ガイド１とエアパッド
３ａ、３ｂとの間に形成されるエアギャップ及びエアパ
ッド３ａ、３ｂに与えるスラスト荷重は上述の付勢力制
御装置の作用によって一定に保てる。なおかつ、付勢力
制御装置の付勢力の設定を変えることによって、案内ガ
イド１とエアパッド３ａ、３ｂの間に形成されるエアギ
ャップの間隔が調整でき、案内ガイド１に沿って移動す
るキャリッジ２の剛性を調整することができる。
【０００８】レギュレータ１３は気体圧力をシリンダ１
１の空気室１２に供給し、ピストン１０が摺動しても気
体圧力を常に一定に制御している。従って、エアパッド
３ａ、３ｂに与えるスラスト荷重は常に一定である。ま
た、レギュレータ１３から供給される気体圧力の設定を
変え、案内ガイド１とエアパッド３ａ、３ｂの間に形成
されるエアギャップの間隔を調整することによって、案
内ガイド１に沿って移動するキャリッジ２の剛性を調整
することができる。
１の空気室１２に供給し、ピストン１０が摺動しても気
体圧力を常に一定に制御している。従って、エアパッド
３ａ、３ｂに与えるスラスト荷重は常に一定である。ま
た、レギュレータ１３から供給される気体圧力の設定を
変え、案内ガイド１とエアパッド３ａ、３ｂの間に形成
されるエアギャップの間隔を調整することによって、案
内ガイド１に沿って移動するキャリッジ２の剛性を調整
することができる。
【０００９】以上のように、案内ガイド１が変形しても
常に一定のスラスト荷重を与えることができるので、案
内ガイド１とエアパッド３ａ、３ｂとの間に形成される
エアギャップを常に一定に保つことができる。
常に一定のスラスト荷重を与えることができるので、案
内ガイド１とエアパッド３ａ、３ｂとの間に形成される
エアギャップを常に一定に保つことができる。
【００１０】
【実施例】図１は本考案の第１実施例である。互いに平
行な２つの案内面１ａ、１ｂと、２つの案内面１ａ、１
ｂに直交する少なくとも１つの案内面１ｃとで構成され
る直線案内ガイド１と、直線案内ガイド１に沿って移動
するキャリッジ２と、各々の案内面に対応させて設けた
エアパッド３ａ、３ｂ、３ｃと、エアパッド３ａ、３
ｂ、３ｃをキャリッジ２と各々の案内面１ａ、１ｂ、１
ｃとの間に傾動自在に保持する保持部材５ａ、５ｃ、６
ａ、６ｂ、６ｃ、１０、１１とが設けられている。エア
ッパッド３ａの保持部材は、エアパッド３ａの窪みに嵌
入した鋼球６ａをキャリッジ２に螺合する調整ネジ５ａ
の窪みに嵌入しており、エアパッド３ｂの保持部材は、
エアパッド３ｂの窪みに嵌入した鋼球６ｂをピストン１
０の窪みに嵌入し、案内面１ｂに直交する方向へ移動す
るピストン１０を摺動自在に保持するシリンダ１１がキ
ャリッジ２に固定されており、エアパッド３ｃの保持部
材は、エアパッド３ｃの窪みに嵌入した鋼球６ｃをキャ
リッジ２に螺合する調整ネジ５ｃの窪みに嵌入してい
る。その結果、エアパッド３ａ、３ｂ、３ｃと案内面１
ａ、１ｂ、１ｃとの間に形成したエアギャップによっ
て、直線案内ガイド１に沿ってキャリッジ２が移動す
る。エアパッド３ｂを保持する保持部材は、案内面の変
形にもかかわらず案内面とエアパッド３ａ、３ｂとの間
のエアギャップを一定に制御する。
行な２つの案内面１ａ、１ｂと、２つの案内面１ａ、１
ｂに直交する少なくとも１つの案内面１ｃとで構成され
る直線案内ガイド１と、直線案内ガイド１に沿って移動
するキャリッジ２と、各々の案内面に対応させて設けた
エアパッド３ａ、３ｂ、３ｃと、エアパッド３ａ、３
ｂ、３ｃをキャリッジ２と各々の案内面１ａ、１ｂ、１
ｃとの間に傾動自在に保持する保持部材５ａ、５ｃ、６
ａ、６ｂ、６ｃ、１０、１１とが設けられている。エア
ッパッド３ａの保持部材は、エアパッド３ａの窪みに嵌
入した鋼球６ａをキャリッジ２に螺合する調整ネジ５ａ
の窪みに嵌入しており、エアパッド３ｂの保持部材は、
エアパッド３ｂの窪みに嵌入した鋼球６ｂをピストン１
０の窪みに嵌入し、案内面１ｂに直交する方向へ移動す
るピストン１０を摺動自在に保持するシリンダ１１がキ
ャリッジ２に固定されており、エアパッド３ｃの保持部
材は、エアパッド３ｃの窪みに嵌入した鋼球６ｃをキャ
リッジ２に螺合する調整ネジ５ｃの窪みに嵌入してい
る。その結果、エアパッド３ａ、３ｂ、３ｃと案内面１
ａ、１ｂ、１ｃとの間に形成したエアギャップによっ
て、直線案内ガイド１に沿ってキャリッジ２が移動す
る。エアパッド３ｂを保持する保持部材は、案内面の変
形にもかかわらず案内面とエアパッド３ａ、３ｂとの間
のエアギャップを一定に制御する。
【００１１】そのために、シリンダ１１およびシリンダ
１１の内面を摺動するピストン１０とから構成されるエ
アシリンダと、ピストン１０とシリンダ１１とから形成
される空気室１２に気体圧力を供給し、ピストン１０が
摺動しても空気室１２の気体圧力を常に一定に制御する
レギュレータ１３と、を設けた。直線案内ガイド１の案
内面が環境温度の影響等により変形した場合、エアパッ
ド３ａ、３ｂと案内面との間に形成されるエアギャップ
の間隔が変化しようとする。しかし、付勢力制御装置を
構成するエアシリンダのピストン１０がシリンダ１１の
内面を摺動することによって、エアパッド３ｂを移動さ
せ案内面が変形してもエアギャップを一定に保つことが
できる。
１１の内面を摺動するピストン１０とから構成されるエ
アシリンダと、ピストン１０とシリンダ１１とから形成
される空気室１２に気体圧力を供給し、ピストン１０が
摺動しても空気室１２の気体圧力を常に一定に制御する
レギュレータ１３と、を設けた。直線案内ガイド１の案
内面が環境温度の影響等により変形した場合、エアパッ
ド３ａ、３ｂと案内面との間に形成されるエアギャップ
の間隔が変化しようとする。しかし、付勢力制御装置を
構成するエアシリンダのピストン１０がシリンダ１１の
内面を摺動することによって、エアパッド３ｂを移動さ
せ案内面が変形してもエアギャップを一定に保つことが
できる。
【００１２】また、案内面の変形に伴ってピストン１０
がエアギャップを一定にするためにシリンダ１１内面を
摺動した場合、シリンダ１１の空気室１２の気体圧力が
変化しようとするが、レギュレータ１３によって空気室
１２の気体圧力を常に一定になるように制御している。
従って、エアパッド３ａ、３ｂに与えているスラスト荷
重は常に一定なので、案内面が変形してもエアギャップ
は常に一定に保たれる。
がエアギャップを一定にするためにシリンダ１１内面を
摺動した場合、シリンダ１１の空気室１２の気体圧力が
変化しようとするが、レギュレータ１３によって空気室
１２の気体圧力を常に一定になるように制御している。
従って、エアパッド３ａ、３ｂに与えているスラスト荷
重は常に一定なので、案内面が変形してもエアギャップ
は常に一定に保たれる。
【００１３】レギュレータ１３から供給される気体圧力
の設定を変え、直線案内ガイド１とエアパッド３ａ、３
ｂの間に形成されるエアギャップの間隔を調整すること
によって、直線案内ガイド１に沿って移動するキャリッ
ジ２の剛性を調整することができる。また、キャリッジ
２の姿勢を調整するには調整ネジ５ａを押し引きして行
うことができる。その時、調整ネジ５ａを押し引きした
場合も、直線案内ガイド１とエアパッド３ａ、３ｂとの
間に形成されるエアギャップ及びエアパッド３ａ、３ｂ
に与えるスラスト荷重は上述の付勢力制御装置の作用に
よって一定に保てる。
の設定を変え、直線案内ガイド１とエアパッド３ａ、３
ｂの間に形成されるエアギャップの間隔を調整すること
によって、直線案内ガイド１に沿って移動するキャリッ
ジ２の剛性を調整することができる。また、キャリッジ
２の姿勢を調整するには調整ネジ５ａを押し引きして行
うことができる。その時、調整ネジ５ａを押し引きした
場合も、直線案内ガイド１とエアパッド３ａ、３ｂとの
間に形成されるエアギャップ及びエアパッド３ａ、３ｂ
に与えるスラスト荷重は上述の付勢力制御装置の作用に
よって一定に保てる。
【００１４】図２は第２実施例である。上記第１実施例
で構成される直線案内装置に設ける付勢力制御装置を空
気室１２をもつシリンダ１１と、シリンダ１１の内面に
固定したダイアフラム１５と、ダイアフラム１５にピボ
ット軸１４を固定し、ピボット軸１４に鋼球６ｂを介し
てエアパッド３ｂを係合したものである。また、空気室
１２には案内面の変形に伴って、ダイアフラム１５が変
形しても空気室１２の気体圧力を常に一定に制御するレ
ギュレータ１３が設けられている。直線案内ガイド１の
案内面が環境温度の影響により変形した場合、エアパッ
ド３ａ、３ｂとの間に形成されるエアギャップの間隔が
変形しようとする。しかし、シリンダ１１内に固定され
たダイアフラム１５が案内面の変形に対応した変化をす
ることによってエアギャップを一定に保つことができ
る。その時、シリンダ１１内の空気室１２の気体圧力も
変わろうとするが、レギュレータ１３によって空気室１
２の気体圧力を常に一定に制御している。また、キャリ
ッジ２の姿勢の調整も第１実施例と同様に行うことがで
き、同様な効果が得られる。
で構成される直線案内装置に設ける付勢力制御装置を空
気室１２をもつシリンダ１１と、シリンダ１１の内面に
固定したダイアフラム１５と、ダイアフラム１５にピボ
ット軸１４を固定し、ピボット軸１４に鋼球６ｂを介し
てエアパッド３ｂを係合したものである。また、空気室
１２には案内面の変形に伴って、ダイアフラム１５が変
形しても空気室１２の気体圧力を常に一定に制御するレ
ギュレータ１３が設けられている。直線案内ガイド１の
案内面が環境温度の影響により変形した場合、エアパッ
ド３ａ、３ｂとの間に形成されるエアギャップの間隔が
変形しようとする。しかし、シリンダ１１内に固定され
たダイアフラム１５が案内面の変形に対応した変化をす
ることによってエアギャップを一定に保つことができ
る。その時、シリンダ１１内の空気室１２の気体圧力も
変わろうとするが、レギュレータ１３によって空気室１
２の気体圧力を常に一定に制御している。また、キャリ
ッジ２の姿勢の調整も第１実施例と同様に行うことがで
き、同様な効果が得られる。
【００１５】図３は第１実施例、第２実施例の直線案内
ガイド１を異なるガイド形式にしたものである。定盤５
０の側面５０ａと、定盤５０の側面と平行な面５０ｂを
形成する部材５２と、定盤５０の上面５０ｃとを案内面
とする直線案内ガイドである。各々の案内面５０ａ、５
０ｂ、５０ｃに対応させて設けたエアパッド３ａ、３
ｂ、３ｃを回転かつ傾動自在に保持部材５ａ、５ｃ、６
ａ、６ｂ、６ｃ、１４、１５、１１を介してキャリッジ
５１に保持させている。エアパッド３ａ、３ｂ、３ｃと
案内面５０ａ、５０ｂ、５０ｃとの間に形成したエアギ
ャップによって、直線案内ガイドに沿ってキャリッジ５
１が移動する。付勢力制御装置１１、１３、１４、１５
はシリンダ１１にダイアフラム１５を固定した第２実施
例と同様の構成であり、シリンダ１１はキャリッジ５１
に固定されている。
ガイド１を異なるガイド形式にしたものである。定盤５
０の側面５０ａと、定盤５０の側面と平行な面５０ｂを
形成する部材５２と、定盤５０の上面５０ｃとを案内面
とする直線案内ガイドである。各々の案内面５０ａ、５
０ｂ、５０ｃに対応させて設けたエアパッド３ａ、３
ｂ、３ｃを回転かつ傾動自在に保持部材５ａ、５ｃ、６
ａ、６ｂ、６ｃ、１４、１５、１１を介してキャリッジ
５１に保持させている。エアパッド３ａ、３ｂ、３ｃと
案内面５０ａ、５０ｂ、５０ｃとの間に形成したエアギ
ャップによって、直線案内ガイドに沿ってキャリッジ５
１が移動する。付勢力制御装置１１、１３、１４、１５
はシリンダ１１にダイアフラム１５を固定した第２実施
例と同様の構成であり、シリンダ１１はキャリッジ５１
に固定されている。
【００１６】直線案内ガイドの案内面が環境温度の影響
により変形した場合、エアパッド３ａ、３ｂとの間に形
成されるエアギャップの間隔が変形しようとする。しか
し、シリンダ１１内に固定されたダイアフラム１５が案
内面の変形に対応した変化をすることによってエアギャ
ップを一定に保つことができる。その時、シリンダ１１
内の空気室１２の気体圧力も変わろうとするが、レギュ
レータ１３によって空気室１２の気体圧力を常に一定に
制御している。
により変形した場合、エアパッド３ａ、３ｂとの間に形
成されるエアギャップの間隔が変形しようとする。しか
し、シリンダ１１内に固定されたダイアフラム１５が案
内面の変形に対応した変化をすることによってエアギャ
ップを一定に保つことができる。その時、シリンダ１１
内の空気室１２の気体圧力も変わろうとするが、レギュ
レータ１３によって空気室１２の気体圧力を常に一定に
制御している。
【００１７】従って、エアパッド３ａ、３ｂに与えてい
るスラスト荷重は常に一定であるので、直線案内ガイド
の案内面が変形してもエアギャップは常に一定に保たれ
る。第３実施例において、第１実施例で用いた付勢力制
御装置を用いてもよい。以上の実施例において、レギュ
レータ１３からシリンダ１１の空気室１２に供給される
気体圧力を変化させることによって、エアパッド３ａ、
３ｂに与えるスラスト荷重を変化させ、剛性を高めるこ
ともできる。
るスラスト荷重は常に一定であるので、直線案内ガイド
の案内面が変形してもエアギャップは常に一定に保たれ
る。第３実施例において、第１実施例で用いた付勢力制
御装置を用いてもよい。以上の実施例において、レギュ
レータ１３からシリンダ１１の空気室１２に供給される
気体圧力を変化させることによって、エアパッド３ａ、
３ｂに与えるスラスト荷重を変化させ、剛性を高めるこ
ともできる。
【００１８】また、上述のそれぞれの実施例では空気圧
を用いたが、油圧等のその他の流体を用いてもよい。本
実施例の直線案内ガイド形状は、ガイド断面が三角形形
状のもので付勢力制御装置を３面のうち一つの面に対応
するエアパッドに設けたものや、また、ガイド断面が台
形上のもので付勢力制御装置を互いに平行でない案内面
の一方に設けたものを使用してもよい。
を用いたが、油圧等のその他の流体を用いてもよい。本
実施例の直線案内ガイド形状は、ガイド断面が三角形形
状のもので付勢力制御装置を３面のうち一つの面に対応
するエアパッドに設けたものや、また、ガイド断面が台
形上のもので付勢力制御装置を互いに平行でない案内面
の一方に設けたものを使用してもよい。
【００１９】
【考案の効果】以上の様に本考案によれば、エアパッド
に一定のスラスト荷重が得られ、案内ガイドとエアパッ
ドとの間に形成されるエアギャップを常に一定に保つこ
とができる。また、スラスト荷重を常に一方向に発生で
きるので、エアギャップを効率よく一定に制御できる。
なおかつ、付勢力制御装置による付勢力を変えることに
より、即ちアクチュエータに供給する気体の圧力の設定
値をレギュレータで変更することによって、スラスト荷
重の負荷量も変えることができ、高剛性な案内装置を得
ることができる。
に一定のスラスト荷重が得られ、案内ガイドとエアパッ
ドとの間に形成されるエアギャップを常に一定に保つこ
とができる。また、スラスト荷重を常に一方向に発生で
きるので、エアギャップを効率よく一定に制御できる。
なおかつ、付勢力制御装置による付勢力を変えることに
より、即ちアクチュエータに供給する気体の圧力の設定
値をレギュレータで変更することによって、スラスト荷
重の負荷量も変えることができ、高剛性な案内装置を得
ることができる。
【００２０】また、ピストンのストローク量を確保する
ことによりガイドとキャリッジの相対位置の調整範囲を
広く、容易に調整でき、調整時間を減少することができ
る。以上のように、案内ガイドが変形しても常に一定の
スラスト荷重を与えることができるので、案内ガイドと
エアパッドとの間に形成されるエアギャップを常に一定
に保つことができる。
ことによりガイドとキャリッジの相対位置の調整範囲を
広く、容易に調整でき、調整時間を減少することができ
る。以上のように、案内ガイドが変形しても常に一定の
スラスト荷重を与えることができるので、案内ガイドと
エアパッドとの間に形成されるエアギャップを常に一定
に保つことができる。
【００２１】例えば、この案内装置を３次元測定機等に
使用した場合、測定機の精度を向上する事ができる。
使用した場合、測定機の精度を向上する事ができる。
【図１】本発明による装置の第１実施例の断面図であ
る。
る。
【図２】本発明による装置の第２実施例の断面図であ
る。
る。
【図３】本発明による装置の第３実施例の要部断面図で
ある。
ある。
【図４】従来の技術による装置の断面図である。
１ 直線案内ガイド ２ キャリッジ ７、１４ ピボット軸 ８ 皿バネ ９ 調整ネジ １０ ピストン １１ シリンダ １２ 空気室 １３ レギュレータ １５ ダイアフラム ５０ 定盤 ５１ キャリッジ ５２ 部材 １ａ、１ｂ、１ｃ 案内面 ３ａ、３ｂ、３ｃ エアパッド ５ａ、５ｂ、５ｃ 調整ネジ ６ａ、６ｂ、６ｃ 鋼球 ５０ａ、５０ｂ、５０ｃ 案内面
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭54−105505（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−102186（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−174611（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−180201（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−171726（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−93622（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01B 21/00 F16C 32/06
Claims (3)
- 【請求項１】 少なくとも所定の一方向において互いに
平行な案内面を有する案内ガイドと、 前記案内ガイドに沿って移動するキャリッジと、 前記案内面の各々に対応させて設けたエアパッドと、 前記エアパッドを形動自在に前記キャリッジと前記案内
面各々との間に保持する保持部材と、を有し、 前記エアパッドと前記案内面との間に形成したエアギャ
ップによって、前記ガイドに沿って前記キャリッジを移
動させる移動案内装置において、 前記保持部材は、供給された気体の圧力によって前記エ
アパッドの一つを前記案内面の方向に付勢するアクチュ
エータを有することを特徴とする移動案内装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の装置において、前記ア
クチュエータは、 前記エアパッドを傾動自在に係合す
るピストン又はシリンダと、前記キャリッジに固定され
た前記シリンダ又はピストンとからなる直線作動型アク
チュエータであり、 前記アクチュエータの圧力室に常時供給される気体の圧
力を所定の圧力に制御するレギュレータをさらに備えた
ことを特徴とする移動案内装置。 - 【請求項３】 請求項１又は請求項２に記載の装置にお
いて、 前記案内ガイドは、前記キャリッジを直線方向に案内す
る直線案内ガイドであることを特徴とする移動案内装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991087156U JP2575664Y2 (ja) | 1991-10-24 | 1991-10-24 | 付勢力一定のエアーパッドを有する移動案内装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991087156U JP2575664Y2 (ja) | 1991-10-24 | 1991-10-24 | 付勢力一定のエアーパッドを有する移動案内装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0573510U JPH0573510U (ja) | 1993-10-08 |
| JP2575664Y2 true JP2575664Y2 (ja) | 1998-07-02 |
Family
ID=13907128
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991087156U Expired - Fee Related JP2575664Y2 (ja) | 1991-10-24 | 1991-10-24 | 付勢力一定のエアーパッドを有する移動案内装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2575664Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09317767A (ja) * | 1996-05-28 | 1997-12-09 | Nippon Seiko Kk | 位置決め装置 |
| JP2006020478A (ja) * | 2004-07-05 | 2006-01-19 | Neomax Co Ltd | ステージ装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0517447Y2 (ja) * | 1987-04-28 | 1993-05-11 |
-
1991
- 1991-10-24 JP JP1991087156U patent/JP2575664Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0573510U (ja) | 1993-10-08 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |