JPH0570745B2 - - Google Patents

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JPH0570745B2
JPH0570745B2 JP59109620A JP10962084A JPH0570745B2 JP H0570745 B2 JPH0570745 B2 JP H0570745B2 JP 59109620 A JP59109620 A JP 59109620A JP 10962084 A JP10962084 A JP 10962084A JP H0570745 B2 JPH0570745 B2 JP H0570745B2
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JP
Japan
Prior art keywords
preload
ball
ball nut
piezoelectric element
nut
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
JP59109620A
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English (en)
Other versions
JPS60256667A (ja
Inventor
Masaaki Tsukiji
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP10962084A priority Critical patent/JPS60256667A/ja
Publication of JPS60256667A publication Critical patent/JPS60256667A/ja
Publication of JPH0570745B2 publication Critical patent/JPH0570745B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16HGEARING
    • F16H25/00Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
    • F16H25/18Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
    • F16H25/20Screw mechanisms
    • F16H25/22Screw mechanisms with balls, rollers, or similar members between the co-operating parts; Elements essential to the use of such members
    • F16H25/2204Screw mechanisms with balls, rollers, or similar members between the co-operating parts; Elements essential to the use of such members with balls
    • F16H25/2209Screw mechanisms with balls, rollers, or similar members between the co-operating parts; Elements essential to the use of such members with balls with arrangements for taking up backlash

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Transmission Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、送りねじ軸に多数のボールを介して
螺合するボールナツトの相対位置を変化させるこ
とにより、適正な予圧量を得ることを可能とした
ボールねじ送り装置の予圧調整機構に関するもの
である。
〔従来技術〕
ボールねじ送り機構で必要な剛性を得またねじ
軸とボールナツトのバツクラツシユを除くために
2つのボールナツトを用いて予圧を負荷している
ものがあるが、しかし高速移動時や高頻度な使用
状態においては前記予圧による摩擦によりねじ軸
にその摩耗、発熱による変形が生じ、ために位置
決め精度が悪化してしまう欠点がある。
そこで上記欠点を解決するため、上記予圧量を
各作業工程に応じてそれら工程毎に必要充分な予
圧量とし、予圧による摩擦を極力低減してねじ軸
の変形を防止するようにした所謂予圧調整機構が
知られている。この種の機構としては特開昭58−
225256に示されるような機構等があるが、例えば
該機構によれば、一方のナツトはハウジングに固
定されており、他方のナツトはボールベアリング
を介してハウジングに取り付けられ円周方向の回
転は自在であるが軸方向の移動は不可能となつて
おり、パルスモータにより減速機を介して前記他
方のナツトに回転変位を与えることにより、各作
動工程に応じた所期の予圧量を得るように構成さ
れている。これにより、予圧による摩擦が低減し
ねじ軸の変形が押えられるので、前述した位置決
め精度の悪化を防ぐことができる。
しかしながら例示した前記機構からも明らかな
ように、この種の予圧調整機構は例えばパルスモ
ータや減速機等を必要とすることからその装置が
複雑、大型化し、ために小規模の送りねじ装置に
は到底適用することが不可能なものであつた。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、かかる欠点を克服し、ナツト
を支持する支持面に微小な伸縮を達成する素子を
間座として挿入し、ナツトの軸方向の移動速度に
応じて予圧を可変することにより、各作動工程毎
に適正な予圧量を簡単に得るようにした小型な予
圧調整装置を提供することにある。
即ち後述する本発明の実施例による予圧調整機
構は、2つのボールナツトを使用するボールねじ
送り装置において、ボールナツトフランジ面とハ
ウジングの間または一方のボールナツトと他方の
ボールナツトとの間に圧電素子を間座として挿入
し、この圧電素子に電圧を与える予圧可変手段を
設け、これによりボールナツトの軸方向の移動速
度に応じて予圧が可変となるように構成されてい
る。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例について添付図面を参照
して説明する。第1図並びに第2図は夫々1つの
圧電素子を用いた場合の本発明の実施例、第3図
は2つの圧電素子を用いた場合の本発明の実施例
である。
先ず第1図及び第2図において、1は送りねじ
5に螺合する固定側ボールナツトで、ハウジング
4にフランジ4′を介して固定されている。2は
仝じく送りねじ5に螺合する可動側ボールナツト
で、ハウジング4にフランジ4″を介して固定さ
れている。7はフランジ4″を間座として挿入さ
れた圧電素子3を介してハウジング4に取り付け
るボルトで、プラスチツク等の弾性材料で形成さ
れ、圧電素子3の膨脹、収縮に伴いフランジ4″
をねじ軸軸方向に変位自在に支持している。6は
移動テーブルで例えば測定器等を載置する。な
お、ボールねじ5の軸承や回転駆動器は省く。又
ボルト7は調整量がわずかであれば金属でも良
い。
このような構成において、圧電素子を制御する
ための予圧可変手段である、図示しない制御装置
から所要の電圧を圧電素子3に与え、ボールナツ
トの軸方向の移動速度に応じて二つのボールナツ
ト間に与える予圧を変えるために、この電圧を可
変することによつて、圧電素子3を膨脹或いは収
縮させることにより、可動側ボールナツト2を送
りねじ5の軸方向にのみ所定量変位させ、固定側
ボールナツト1と可動側ボールナツト2との間の
相対変位を増大もしくは減少させ予圧量を変化さ
せるものである。又このとき前記制御装置にテー
ブル6の移動速度や或いは加工負荷等に応じた適
正な予圧量を予め設定しておくことにより、各作
業工程毎に必要、充分な予圧量を負荷することが
できる。このようにして例えばテーブルの高速移
動時等高い剛性を必要としないときは自動的に予
圧量が低減されるので、摩擦が減小しねじ軸の変
形が押えられ、高速にもかかわらず高精度の位置
決めが可能となる。またこれと同時に摩擦力の減
小に伴いボールねじの摩耗が減小しその寿命を延
長することができると共に、また仮りにボールね
じが摩耗してもその摩耗に対する補正を制御装置
に与えることによりこれによる精度の低下を防止
することができる。
以上説明したように本実施例による予圧調整機
構は、ボールナツトの支持面に圧電素子を間座と
して挿入するだけの簡単な構成であるから、極め
て小型、簡単に形成することができ従つて小規模
の送りねじ装置にも自由に装着することができ
る。更にまた、圧電素子はその特性上応答が速く
且つミクロンオーダーの微小変位が可能であるこ
とから、負荷すべき予圧量を極めて正確にかつ応
答よく調整することができ前述した位置決め精度
の向上等に極めて効果的である。
次に第3図を参照すると、図は2つの圧電素
子3,3′を用いた場合を示すが、図において、
固定側ボールナツト1はハウジング4に固定され
ており、一方可動側ボールナツト2は、その一側
面が圧電素子3を介して固定側ボールナツト1に
その他側面が圧電素子3′を介して弾性的に変位
可能なナツト押え板8に対接している。即ち可動
側ボールナツト2は圧電素子3,3′の膨脹収縮
に伴いキー9に案内されてねじ軸5軸方向に変位
自在に構成されている。
このような構成において、制御装置からは2つ
の圧電素子3,3′に夫々所定の電圧が与えられ、
片方の圧電素子が膨脹するときは他方の圧電素子
が収縮することにより、可動側ボールナツト2と
固定側ボールナツト1との間の相対変位を増大も
しくは減少させ予圧量を変化させるが、このと
き、制御装置はテーブル6の移動方向に応じて2
つのボールナツト1,2による予圧の向きを引張
り或いは圧縮の向きの何れかに変換し、テーブル
6の送り負荷を常に固定側のボールナツト1で受
けるように制御する。従つてこの場合2つのボー
ルナツト1,2に負荷される予圧量は全体的には
更に減少し摩擦による摩耗や発熱量を更に減少す
ることができる。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明による予圧調整装
置によれば、予圧量を調整するボールナツトの変
位を間座として挿入した圧電素子を介して行なう
ものであるから、その構造が簡単で装置が極めて
小型となり小規模の送りねじ装置にも自由に装着
できる利点がある。更にこれと同時に、圧電素子
はその特性上応答が速く且つ微小変位が可能であ
ることから、負荷すべき予圧量を極めて正確に且
つ応答よく調整でき、従つて予圧に伴う摩擦が可
及的に減少し、ねじ軸の変形が可及的に押えられ
極めて高精度に位置決めを行うことができる利点
がある。また前記摩擦の減小に伴い、ボールねじ
の寿命を延長すると共に更にボールねじの摩耗に
よる精度の低下を防止できる利点がある。
【図面の簡単な説明】
第1図並びに第2図は1つの圧電素子を用いた
場合の本発明の実施例、第3図は2つの圧電素子
を用いた場合の本発明の実施例である。 1……固定側ボールナツト、2……可動側ボー
ルナツト、3,3′……圧電素子、4……ハウジ
ング、4′,4″……フランジ、5……送りねじ、
6……移動テーブル、7……ボルト、8……ナツ
ト押え板、9……キー。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 二つのボールナツトを使用するボールねじ送
    り装置において、ボールナツトフランジ面とハウ
    ジングの間または一方のボールナツトと他方のボ
    ールナツトとの間に圧電素子を間座として挿入
    し、ボールナツトの軸方向の移動速度に応じて両
    ボールナツト間の予圧を変えるように前記圧電素
    子を制御する予圧可変手段を設けたことを特徴と
    するボールねじ送り装置の予圧調整機構。
JP10962084A 1984-05-31 1984-05-31 ボ−ルねじ送り装置の予圧調整機構 Granted JPS60256667A (ja)

Priority Applications (1)

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JP10962084A JPS60256667A (ja) 1984-05-31 1984-05-31 ボ−ルねじ送り装置の予圧調整機構

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JP10962084A JPS60256667A (ja) 1984-05-31 1984-05-31 ボ−ルねじ送り装置の予圧調整機構

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60256667A JPS60256667A (ja) 1985-12-18
JPH0570745B2 true JPH0570745B2 (ja) 1993-10-05

Family

ID=14514904

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JP10962084A Granted JPS60256667A (ja) 1984-05-31 1984-05-31 ボ−ルねじ送り装置の予圧調整機構

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