JPH0625735Y2 - 精密移動装置 - Google Patents

精密移動装置

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JPH0625735Y2
JPH0625735Y2 JP1986116536U JP11653686U JPH0625735Y2 JP H0625735 Y2 JPH0625735 Y2 JP H0625735Y2 JP 1986116536 U JP1986116536 U JP 1986116536U JP 11653686 U JP11653686 U JP 11653686U JP H0625735 Y2 JPH0625735 Y2 JP H0625735Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
feed screw
base
metal bellows
moving
moving device
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
JP1986116536U
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English (en)
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JPS6322457U (ja
Inventor
克房 田中
透 山下
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は例えばレーザ光による精密測定装置の試料台
（微動ステージ）及び半導体製造装置等における試料の
最終位置決め装置に好適な精密移動装置に関するもので
ある。
〔従来の技術〕
第２図は例えば特開昭59-194161号公報に示された従来
の精密移動装置を示す縦断面図であり、図において、１
は移動台であり、その腹部中央にナツト部材２が嵌着固
定され、固定台３にベアリング４を介して回動自在に挿
通支持された送りねじ（ボールねじ）５を上記ナツト部
材２に螺嵌し、送りねじ５を減速機付モータ（図示せ
ず）で回動させることにより移動台１を所定の方向へ移
動させるものである。なお、この時移動台１の移動方向
の規制は、移動台１に固定され、ボールブツシユ６を介
して固定台３を貫通するガイドポスト７によつて行なう
ように構成されている。ところでこの種移動装置におい
ては、移動位置決め精度が重視され、その精度の維持は
サブミクロンレベルが要求される。そこで従来の装置で
は、上記精度を維持するために送りねじの高精度化、ね
じとナツトのバツクラツシユを無くすること、並びに移
動台の案内機構に利用されているリニヤボールガイド、
クロスローラガイド及びすべり軸受、静圧軸受等の高精
度化がはかられている。
〔考案が解決しようとする問題点〕
上記のような従来の移動装置では、移動台の移動にガイ
ドポストやボールブツシユによる案内機構及び送りねじ
の組合せを有する以上、気温の変化や摺動部及び駆動部
の発熱により、案内機構部材や送りねじに熱変形を招き
互いに干渉し合うこと、またかかる機構を有する従来の
装置においては、案内部及び送りねじ取付け部の平行な
加工、組立て精度の維持が極めて困難である等の問題点
があつた。
この考案はかかる問題点を解決するためになされたもの
で、従来の相対的に移動する案内機構を排した精密移動
装置を得ることを目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
この考案に係る精密移動装置は、移動台の外周縁近傍に
軸方向に伸縮可能な金属ベローズを一体的に成形するか
または固着し、その他端を固定台に接合固定したもので
ある。
〔作用〕
この考案においては、移動台と固定台間に伸縮性金属ベ
ローズを介装しているので、これによつて送りねじ部や
ベアリングバツクラツシユが補償され、移動台の精密な
送りが達成される。
〔実施例〕
第１図はこの考案の一実施例を示す縦断面図であり、移
動台１の外周縁近傍に軸方向に伸縮可能な金属ベローズ
８が一体的に成形されるかまたは固着され、その他端座
部９を固定台３の上面に接合し、ボルト10をもつて固定
している。また移動台１の腹部中央にはナツト部材２が
ボルト11にて固定され、固定台３にベアリング４を介し
て挿通し、回動自在に支持された送りねじ５（ボールね
じ）の先端部を上記ナツト部材２に螺嵌している。な
お、上記送りねじ５の軸端は減速機付モータ（図示せ
ず）へ連結される。
ところで上記移動台１の始動位置（下死点）は金属ベロ
ーズ８がわずかに伸びている状態からスタートするもの
であり、必要最大移動量は、上記金属ベローズ８の内部
応力が弾性限度内であり、移動台１はその間をモータの
正逆駆動によつて上下動するのである。
〔考案の効果〕
この考案は以上説明したとおり、移動台と固定台間に伸
縮可能な金属ベローズを設けたものであつて従来のよう
に相対移動する案内部の構成がなく、しかも金属ベロー
ズは常に伸びようとする力を保有した状態で使用するた
め送りねじやベアリングのバツクラツシユが防止され、
円滑にして高精度の移動が可能である。また構造が簡素
化されるため加工、組立が容易であり、更に金属ベロー
ズによりねじ部及びベアリング部が保護されており、塵
芥の浸入がなく保守も不要である等経済的にも有利であ
る。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の一実施例を示す縦断面図、第２図は
従来の装置を示す縦断面図である。 図中、１は移動台、２はナツト部材、３は固定台、５は
送りねじ、８は金属ベローズである。 尚、図中同一符号は同一または相当部分を示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 実開 昭56−8957（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭56−127521（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−29163（ＪＰ，Ｕ)

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】固定台を貫いて回動自在に支持された送り
    ねじを移動台に装着したナット部材に螺嵌し、上記送り
    ねじの回動により移動台を微動させる装置において、上
    記移動台の外周縁近傍と固定台上面とを上記移動台に附
    勢力を及ぼす金属ベローズをもって連絡すると共に、上
    記送りねじ部を包囲し、かつ上記金属ベローズはバック
    ラッシュの防止可能な程度の常に伸びようとする力を保
    有したことを特徴とする精密移動装置。
JP1986116536U 1986-07-28 1986-07-28 精密移動装置 Expired - Lifetime JPH0625735Y2 (ja)

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JP1986116536U JPH0625735Y2 (ja) 1986-07-28 1986-07-28 精密移動装置

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JP1986116536U JPH0625735Y2 (ja) 1986-07-28 1986-07-28 精密移動装置

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Publication Number Publication Date
JPS6322457U JPS6322457U (ja) 1988-02-15
JPH0625735Y2 true JPH0625735Y2 (ja) 1994-07-06

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220096901A (ko) * 2020-12-31 2022-07-07 포항공과대학교 산학협력단 초고진공용 정밀 변위구동 액추에이터

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56127521U (ja) * 1980-02-25 1981-09-28

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220096901A (ko) * 2020-12-31 2022-07-07 포항공과대학교 산학협력단 초고진공용 정밀 변위구동 액추에이터

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JPS6322457U (ja) 1988-02-15

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