JPH0648201Y2 - 精密移動装置 - Google Patents
精密移動装置Info
- Publication number
- JPH0648201Y2 JPH0648201Y2 JP1986116537U JP11653786U JPH0648201Y2 JP H0648201 Y2 JPH0648201 Y2 JP H0648201Y2 JP 1986116537 U JP1986116537 U JP 1986116537U JP 11653786 U JP11653786 U JP 11653786U JP H0648201 Y2 JPH0648201 Y2 JP H0648201Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nut
- feed screw
- movable table
- movable
- metal bellows
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Transmission Devices (AREA)
- Moving Of Heads (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は例えばレーザ光による精密測定装置の試料台
（微動ステージ）及び半導体製造装置等における試料の
最終位置決め装置として適用し得る精密移動装置に関す
るものである。
（微動ステージ）及び半導体製造装置等における試料の
最終位置決め装置として適用し得る精密移動装置に関す
るものである。
第２図は例えば特開昭59−194161号公報に示された従来
の精密移動装置を示すもので、図において、１は移動台
であり、その腹部中央にナツト部材２が嵌着固定され、
固定台３にベアリング４を介して回動自在に挿通支持さ
れた送りねじ（ボールねじ）５を上記ナツト部材２に螺
嵌し、送りねじ５を減速機付モータ（図示せず）で回動
させることにより、移動台１を一定の方向へ移動させる
ものである。なお、上記移動台１の移動方向の規制は、
移動台１に固定され、ボールブツシユ６を介して固定台
３を貫通するガイドポスト７によつて行なうように構成
されている。ところでこの種移動装置においては、移動
位置決め精度が重視されるものであつて、その精度の維
持は、サブミクロンレベルが要求される。そこで従来の
装置では上記精度を維持するために、送りねじの高精度
化、ねじとナツトのバツクラツシユを無くすること、並
びに移動台の案内機構に利用されているリニアボールガ
イド、クロスローラガイド及びすべり軸受、静圧軸受等
の高精度化がはかられている。
の精密移動装置を示すもので、図において、１は移動台
であり、その腹部中央にナツト部材２が嵌着固定され、
固定台３にベアリング４を介して回動自在に挿通支持さ
れた送りねじ（ボールねじ）５を上記ナツト部材２に螺
嵌し、送りねじ５を減速機付モータ（図示せず）で回動
させることにより、移動台１を一定の方向へ移動させる
ものである。なお、上記移動台１の移動方向の規制は、
移動台１に固定され、ボールブツシユ６を介して固定台
３を貫通するガイドポスト７によつて行なうように構成
されている。ところでこの種移動装置においては、移動
位置決め精度が重視されるものであつて、その精度の維
持は、サブミクロンレベルが要求される。そこで従来の
装置では上記精度を維持するために、送りねじの高精度
化、ねじとナツトのバツクラツシユを無くすること、並
びに移動台の案内機構に利用されているリニアボールガ
イド、クロスローラガイド及びすべり軸受、静圧軸受等
の高精度化がはかられている。
上記のような従来の移動装置では、移動台の移動にガイ
ドポスト及びボールブツシユからなる案内機構を有する
以上、気温の変化や摺動部の発熱により、上記機構部材
は熱変形をきたし、更にまた案内部の摩耗により精度の
劣化を招き、加えて動力伝達系にあつてはバツクラツシ
ユ現象がつきものであり、また案内部及び駆動系の加工
・組立精度の維持が極めて困難である等の問題点があつ
た。
ドポスト及びボールブツシユからなる案内機構を有する
以上、気温の変化や摺動部の発熱により、上記機構部材
は熱変形をきたし、更にまた案内部の摩耗により精度の
劣化を招き、加えて動力伝達系にあつてはバツクラツシ
ユ現象がつきものであり、また案内部及び駆動系の加工
・組立精度の維持が極めて困難である等の問題点があつ
た。
この考案は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、従来の案内機構を排し、また駆動系に差動ボール
ねじによる高減速機構および防塵を兼ねたバツクラツシ
ユ防止手段を組込んだ精密移動装置を得ることを目的と
する。
ので、従来の案内機構を排し、また駆動系に差動ボール
ねじによる高減速機構および防塵を兼ねたバツクラツシ
ユ防止手段を組込んだ精密移動装置を得ることを目的と
する。
この考案に係る精密移動装置は、移動台と固定台とを軸
方向に伸縮可能な金属ベローズをもつて連結し、かつ差
動送りねじを組込んで移動台に送り動作を伝達するよう
にしたものである。
方向に伸縮可能な金属ベローズをもつて連結し、かつ差
動送りねじを組込んで移動台に送り動作を伝達するよう
にしたものである。
この考案においては、金属ベローズにより移動台をその
移動方向に対して常に附勢しているので差動送りねじの
バツクラツシユが防止される。
移動方向に対して常に附勢しているので差動送りねじの
バツクラツシユが防止される。
第１図はこの考案の一実施例を示す縦断面図であり、移
動台１の外周縁近傍に軸方向に伸縮可能な金属ベローズ
８が一体的に成形されるかまたは固着され、その他端座
部９を固定台３の上面に接合し、ボルト10をもつて固定
している。また上記移動台１の腹部中央にはボールねじ
用の第１のナット11がボルト12で固定され、この第１の
ナツト11の軸心延長下の固定台３に同じくボールねじ用
の第２のナツト13が挿嵌されボルト10をもつて固定して
いる。金属ベローズ８は移動台１をボールねじ14の軸方
向に押圧または引張り力を与えるようにしている。なお
上記第１のナツト11と第２のナツト13はねじピツチをわ
ずかに異にしている。14はボールねじであり、これはそ
の中央部を境にして上記第１・第２のナツト11、13に精
嵌螺合するピツチP1、P2のボールねじ14a、14bが形成さ
れている。なお、上記ボールねじ14の軸端は減速機付駆
動モータ（図示せず）へ連結されるものである。
動台１の外周縁近傍に軸方向に伸縮可能な金属ベローズ
８が一体的に成形されるかまたは固着され、その他端座
部９を固定台３の上面に接合し、ボルト10をもつて固定
している。また上記移動台１の腹部中央にはボールねじ
用の第１のナット11がボルト12で固定され、この第１の
ナツト11の軸心延長下の固定台３に同じくボールねじ用
の第２のナツト13が挿嵌されボルト10をもつて固定して
いる。金属ベローズ８は移動台１をボールねじ14の軸方
向に押圧または引張り力を与えるようにしている。なお
上記第１のナツト11と第２のナツト13はねじピツチをわ
ずかに異にしている。14はボールねじであり、これはそ
の中央部を境にして上記第１・第２のナツト11、13に精
嵌螺合するピツチP1、P2のボールねじ14a、14bが形成さ
れている。なお、上記ボールねじ14の軸端は減速機付駆
動モータ（図示せず）へ連結されるものである。
この考案は以上のような構造であり、移動台１の始動位
置（下死点）は金属ベローズ８がわずかに伸びている状
態もしくは押圧されている状態からスタートし、その必
要最大移動量は、上記金属ベローズ８の内部応力が弾性
限度内であり、その範囲内においてモータの正逆駆動に
より移動台１が上下動作（微動）するのであつて、その
移動量は、例えばP1＝P2−0.01mmの場合、ボールねじ14
が１回転する毎に0.01mm移動することになる。
置（下死点）は金属ベローズ８がわずかに伸びている状
態もしくは押圧されている状態からスタートし、その必
要最大移動量は、上記金属ベローズ８の内部応力が弾性
限度内であり、その範囲内においてモータの正逆駆動に
より移動台１が上下動作（微動）するのであつて、その
移動量は、例えばP1＝P2−0.01mmの場合、ボールねじ14
が１回転する毎に0.01mm移動することになる。
この考案は以上説明したとおり、移動台と固定台を金属
ベローズで連結し、固定台に設けた第１のナツトのねじ
ピツチをわずかに異にするねじ山を有する第２のナツト
を固定台に取付け、上記第１、第２のナツトに精合する
ボールねじを螺嵌したものであり、従来のように相対移
動する案内部材がなく、しかも金属ベローズに常時附勢
力を保有させた状態で使用するため、駆動伝達系のバツ
クラツシユが全くなく、高精度の移動が達成される。ま
た構造が簡素化されるため加工・組立が容易であり、更
に金属ベローズによりねじ部が保護されており、塵芥の
侵入がなく保守も不要である等経済的にも有利である。
ベローズで連結し、固定台に設けた第１のナツトのねじ
ピツチをわずかに異にするねじ山を有する第２のナツト
を固定台に取付け、上記第１、第２のナツトに精合する
ボールねじを螺嵌したものであり、従来のように相対移
動する案内部材がなく、しかも金属ベローズに常時附勢
力を保有させた状態で使用するため、駆動伝達系のバツ
クラツシユが全くなく、高精度の移動が達成される。ま
た構造が簡素化されるため加工・組立が容易であり、更
に金属ベローズによりねじ部が保護されており、塵芥の
侵入がなく保守も不要である等経済的にも有利である。
第１図はこの考案の一実施例を示す縦断面図、第２図は
従来の装置を示す縦断面図である。 図中、１は移動台、３は固定台、８は金属ベローズ、11
は第１のナツト、13は第２のナツト、14はボールねじで
ある。 尚、図中同一符号は同一または相当部分を示す。
従来の装置を示す縦断面図である。 図中、１は移動台、３は固定台、８は金属ベローズ、11
は第１のナツト、13は第２のナツト、14はボールねじで
ある。 尚、図中同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 【請求項１】固定台を貫いて回動自在に支持された送り
ねじを移動台に装着した第１のナットに螺嵌し、上記送
りねじの回動により移動台を微動させる装置において、
上記移動台の外周縁近傍と固定台上面とを上記移動台に
附勢力を及ぼす金属ベローズをもって連絡すると共に、
上記送りねじ部を包囲し、かつ上記金属ベローズはバッ
クラッシュの防止可能な程度に上記移動台をその移動方
向に対して常に附勢し、かつ上記移動台に装着した第１
のナットの軸心延長下の上記固定台に上記第１のナット
のねじピッチとわずかに異なるねじピッチを有する第２
のナットを装着し、これら第１、第２のナットに上記送
りねじとして差動ボールねじを螺嵌したことを特徴とす
る精密移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986116537U JPH0648201Y2 (ja) | 1986-07-28 | 1986-07-28 | 精密移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986116537U JPH0648201Y2 (ja) | 1986-07-28 | 1986-07-28 | 精密移動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6322459U JPS6322459U (ja) | 1988-02-15 |
| JPH0648201Y2 true JPH0648201Y2 (ja) | 1994-12-12 |
Family
ID=31001222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986116537U Expired - Lifetime JPH0648201Y2 (ja) | 1986-07-28 | 1986-07-28 | 精密移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0648201Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2521857Y2 (ja) * | 1990-01-23 | 1997-01-08 | コニカ株式会社 | ズーム式ファインダ |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52153068A (en) * | 1976-06-14 | 1977-12-19 | Hitachi Ltd | Backlash removing mechanism |
| JPS5835174U (ja) * | 1981-08-27 | 1983-03-07 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | 送り装置 |
-
1986
- 1986-07-28 JP JP1986116537U patent/JPH0648201Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6322459U (ja) | 1988-02-15 |
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