JPS6253296B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPS6253296B2
JPS6253296B2 JP58198803A JP19880383A JPS6253296B2 JP S6253296 B2 JPS6253296 B2 JP S6253296B2 JP 58198803 A JP58198803 A JP 58198803A JP 19880383 A JP19880383 A JP 19880383A JP S6253296 B2 JPS6253296 B2 JP S6253296B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ball
screw shaft
shaft
nut
ball screw
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP58198803A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6090648A (ja
Inventor
Hiroshi Teramachi
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP14493779A external-priority patent/JPS5668265A/ja
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to JP58198803A priority Critical patent/JPS6090648A/ja
Priority claimed from JP59221295A external-priority patent/JPS61100334A/ja
Priority claimed from JP60085430A external-priority patent/JPS61244439A/ja
Publication of JPS6090648A publication Critical patent/JPS6090648A/ja
Priority to DE19853537728 priority patent/DE3537728A1/de
Publication of JPS6253296B2 publication Critical patent/JPS6253296B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q5/00Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
    • B23Q5/22Feeding members carrying tools or work
    • B23Q5/34Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
    • B23Q5/38Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously
    • B23Q5/40Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously by feed shaft, e.g. lead screw
    • B23Q5/402Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously by feed shaft, e.g. lead screw in which screw or nut can both be driven
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/26Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
    • B23Q1/40Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using ball, roller or wheel arrangements
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/56Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/60Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/601Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism a single sliding pair followed parallelly by a single sliding pair
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q5/00Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
    • B23Q5/22Feeding members carrying tools or work
    • B23Q5/28Electric drives
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02Linear motors; Sectional motors
    • H02K41/03Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Transmission Devices (AREA)
  • Linear Motors (AREA)
  • Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
本発明はボールねじ軸に鋼球を介してボールナ
ツトを螺合してそれらボールねじ軸とボールナツ
トとが相対的に回転移動あるいは軸方向移動でき
るようにして、ボールナツトに連結したワークテ
ーブル等の移動テーブルを微動送り、早送りする
移送装置に関する。 従来、固定のベツドに回転方向に可動で且つ軸
方向に固定させて支持したボールねじ軸にステツ
ピングモータを連結し、そのボールねじ軸に鋼球
を介して螺合したボールナツトに移動テーブルを
連結し、ステツピングモータの駆動によりボール
ねじ軸を回転させてボールナツトを該ボールねじ
軸方向に移動させてボールナツトに連結された移
動テーブルを固定のベツドに対し移動させるよう
にした移送装置が知られている。然しながらこの
ようなものでは、ステツピングモータの1ステツ
プの回転(例えば、800分割のステツプモータの
場合には、回転角360/800=0.45゜の回転)によ
りボールねじ軸が一定角度回転されると、ボール
ナツトはそれらボールねじ軸およびボールナツト
に形成されたねじのリードに応じて一定距離だけ
ボールねじ軸に対してその軸方向に移動する。こ
の場合、ねじのリード角を変えるか、あるいはス
テツピングモータとボールねじ軸との間に変速装
置を介在させてその変速装置によつてモータの所
定の回転角度によるボールナツトの軸方向移動距
離を変化させ、これによつて移動テーブルを微小
送りしたり、早送りするようにすることが考えら
れるが、微小送りのためにねじのリードを小さく
すると早送りができなくなるとともに精密なねじ
切り加工が困難になり、一方、ねじのリードを大
きくすると微小送りが難かしくなり、また変速装
置を用いた場合には、装置全体が大型化するばか
りでなく変速装置自体の不可避的な製作誤差等に
より正確な微小送りが非常に難かしく、更にステ
ツプ数の多い(即ち1ステツプ当りの回転角が小
さい)ステツピングモータを用いて微小な送りを
得ようとする場合には、ステツプ数の多いステツ
ピングモータ自体が極めて高価なものとなり装置
全体の製造費が高騰する。さらにまた、特開昭58
−57557号公報及び同58−118361号公報に開示さ
れた従来例においては、2個のモータのうち一方
のモータが可動部材側に搭載されていることか
ら、可動部材の全体重量が大きくなり、比例的に
慣性力が増加して可動部材の起動時や停止時の応
答性が低下するばかりでなく、駆動源の動力損を
招来する不都合があつた。また可動部材にモータ
を搭載する場合には、可動部材の移動とともにリ
ード線も移動するので当該リード線が近傍の機器
と干渉したり、或いはこの干渉を避けるための余
分なスペースを余儀なくされる等の不都合を生じ
ていた。 そこで本発明は、変速装置を必要とせず、しか
も可動部材を軽量化でき2個のステツピングモー
タを用いて、一方のステツピングモータによりボ
ールねじ軸を回転駆動するとともに、他方のステ
ツピングモータにより、ボールスプライン軸にス
プライン嵌合された外筒を介して、ボールねじ軸
に螺合したボールナツトを該ボールねじ軸に対し
て回転させて、それらモータによるボールナツト
の移動量を加え合わせて、あるいはそれらの差に
よつてボールナツトをボールねじ軸に対して極め
て正確な微小送り、あるいは早送りして応答性が
よくかつ高精度の位置決めを行ないうる、安価で
コンパクトな微動および早送り可能な移送装置を
提供することを目的とするものである。 以下、図面により本発明の実施例について説明
すると、先ず第1〜3図に示されるように、固定
のベツド1の上面には一対の軌道台2,2が配設
され、これら軌道台2,2上には4個の直線摺動
用ベアリング3,3,3,3を介して移動テーブ
ル4が該軌道台2,2に沿つて軸方向に摺動しう
るように設けられている。 第2図から明らかなように、ベツド1の一端
(第2図左端)にボルト等の固着具5,5,…に
より固着された端板6には、互に平行なボールね
じ軸7およびスプライン軸8の一端が軸受9およ
び10を介してそれぞれ回転自在に支持され、そ
れらの他端は左右のベツド1,1間にボルト1
3,13等により横架した支持部材14に軸受
9′および10′を介して回転自在に支持されると
ともに、ベツド1,1の他端にボルト15,15
等により固着されたモータ取付板16に取付けら
れたステツピングモータ17,18の出力軸に継
手19,20を介してそれぞれ連結されている。 ボールねじ軸7の外周面には、その両端のジヤ
ーナル部を除いて略全長に亘つて螺旋状のボール
ねじ(例えば右ねじ)が刻設され、またこのボー
ルねじ軸7には後述するボールナツト組立体23
が嵌合され、このボールナツト組立体23は移動
テーブル4の下面にボルト等の固着具24,24
により固着された軸受ハウジング25に複列アン
ギユラ玉軸受26を介して回転方向に可動で且つ
軸方向に固定して支持されており、従つてボール
ねじ軸7の回転によりボールナツト組立体23は
ボールねじ軸7に対して軸方向に移動するように
なつている。 第2,4図を参照してボールナツト組立体23
の構成について説明すると、ボールねじ軸7の外
周には円筒状のボールナツト29が嵌合され、そ
のボールナツト29は、一端外周面に雄ねじ30
を形成した円筒状の第1ナツト素体31と、一端
に取付フランジ32を一体に形成した円筒状の第
2ナツト素体33と、それら第1,第2ナツト素
体31,33間に介入された環状の間座34とか
らなり、第1,第2ナツト素体31,33の内周
面には、ボールねじ軸7外周の螺旋状のねじ溝7
aに対応してそれと同一リードの螺旋状のねじ溝
31a,33aが螺旋状にそれぞれ形成され、そ
れらねじ溝31a,33aとボールねじ軸7外周
のねじ溝7aとの間には多数の鋼球35,35…
が配設され、ボールねじ軸7の回転に伴い鋼球3
5,35…がボールねじ軸7と第1,第2ナツト
素体31,33の互に対応するねじ溝7a,31
a,33a内を転動して、第1,第2ナツト素体
31,33よりなるボールナツト29をボールね
じ軸7に対してその軸方向に移動させる。また第
1,第2ナツト素体31,33はそれらの間に挿
入された間座34により互に離隔する方向へ付勢
されており、鋼球35,35…とねじ溝7a,3
1a,33a間にはバツクラツシユ(軸方向間
隙)がなく、ボールねじ軸7の回転によりボール
ナツト29が軸方向へ移動する際の応答性がよく
なつている。 ボールナツト29の外周には複列アンギユラ玉
軸受26および円筒状の間座36が嵌合され、ア
ンギユラ玉軸受26の内レース26aは第1ナツ
ト素体31の一端外周に形成した雄ねじ37に螺
合されたロツクナツト38により間座36を介し
て第2ナツト素体33の取付フランジ33bへ押
圧、固定されており、他方アンギユラ玉軸受26
の外レース26bは軸受ハウジング25に固定支
持されている。従つてボールねじ軸7の回転によ
りボールナツト29が該ボールねじ軸7の軸方向
に移動すると、軸受ハウジング25もボールナツ
ト29とともにボールねじ軸7の軸方向に移動す
る。 第2,3,5および6図に示すように、スプラ
イン軸8の外周面には、その両端のジヤーナル部
を除いて略全長に亘つて軸方向に延びる3条のス
プライン8a,8a,8aが形成され、またスプ
ライン軸8の外周には外筒40がスプライン嵌合
され、この外筒40の内周面には軸方向に延び
る、深さの大きな無負荷ボール案内溝40a,4
0a,40aおよびそれよりも浅いトルク伝達用
の負荷ボール案内溝40b,40b,40bが円
周方向に間隔を置いて交互に形成され、第6図に
示すように、互に隣接する無負荷ボール案内溝4
0aと負荷ボール案内溝40bとはそれらの両端
において連続してループ形状を呈するようになつ
ており、またトルク伝達用負荷ボール案内溝40
b,40b,40bの両隅部にはボールの曲率よ
り若干大きい曲率のボール転走面が形成されてい
る。またボールスプライン軸8の各スプライン8
a,8a,8aの両側基部にもボールの曲率より
若干大きい曲率を有するボール転走面が形成され
る。而して、スプライン軸8は、そのスプライン
8a,8a,8aが外筒40の各負荷ボール案内
溝40b,40b,40bの中央部と対応するよ
うに外筒40内に嵌挿され位置決めされている。
この際、無負荷ボール案内溝40a,40a,4
0aおよび負荷ボール案内溝40b,40b,4
0bには鋼球よりなる多数のボール50,50,
…が収容され、それらボール50,50,…の直
径は、自由状態で、各負荷ボール案内溝40bの
ボール転送面とボールスプライン軸8の対応する
ボール転送面との間の距離よりも大きく、外筒4
0がボールスプライン軸8に嵌合される際にボー
ル50,50,…が圧縮されて予圧を加えられ、
ボール50,50,…とボール転送面間にトルク
伝達方向の間隙が形成されないようになつてい
る。外筒40とスプライン軸8の間には保持器4
1が組込まれ、この保持器41は外筒40の各負
荷ボール案内溝40b内にあつてスプライン軸8
と当接してトルクを伝達する負荷ボールおよび外
筒40の無負荷ボール案内溝40a,40a,4
0aにあつてトルク伝達に寄与しない無負荷ボー
ルをそれぞれ軸方向へ整列循環運動させるボール
溝41a,41aを有している。尚、負荷ボール
および無負荷ボールは全く同一のボールであり、
外筒40の案内溝40a,40bと保持器41の
ボール溝41a,41a内を循環移動する際に、
トルク伝達に直接寄与しているか否かにより異な
る名称を付したものにすぎない。 外筒40の外周には複列アンギユラ玉軸受42
が嵌合され、このアンギユラ玉軸受42は軸受ハ
ウジング25に固定保持され、外筒40の一端に
螺着されたロツクナツト44により外筒40の外
周に嵌合された間座43を介して該外筒40の他
端に一体に形成された取付フランジ45へ押圧、
固定されており、従つて外筒40はアンギユラ玉
軸受42を介して軸受ハウジング25に回転方向
に可動で且つ軸方向に固定して支持されている。 また外筒40の取付フランジ45には、ボルト
等の固着具46(第6図)により駆動歯車47が
固着され、この駆動歯車47はボールナツト29
の取付フランジ33bにボルト等の固着具48に
より固着された被動歯車49と噛合しており、ま
た図示の例では、該被動歯車49と略同一の直径
を有しており、従つてスプライン軸8が回転する
と、該スプライン軸8と外筒40間に介在された
ボール50,50,…を介して外筒40が一体的
に回転され、互に噛合する駆動歯車47および被
動歯車49を介してボールナツト29はスプライ
ン軸8の回転方向と反対方向に回転される。この
とき、ボール50,50,…には前記したように
トルク伝達方向に予圧が加えられているので、ス
プライン軸8が回転すると外筒40も作動遅れな
く回転され、従つてスプライン軸8の回転に対す
る外筒40の回転応答性が極めて良い。 第7および8図に示すように、移動テーブル4
は4個の直線摺動用ベアリング3,3,3,3を
介して軌道台2,2上に摺動自在に支持されてお
り、即ち、各ベアリング3の内面には軸方向に延
びる深さの浅いボール転動用溝53とボール循環
用溝54が交互に形成され、互に隣接するボール
転動用溝53およびボール循環用溝54はそれら
の両端において連続されてそれぞれ無端状のルー
プを形成するようになつており、また各軌道台
2,2にも、各ベアリング3のボール転動用溝5
3に対応してボール転動用溝5,55がそれぞれ
形成され、それらボール転動溝53,53,5
5,55およびボール循環用溝54,54内には
多数のボール56,56…が配設される。各ベア
リング3と各軌道台2,2間には保持器57が組
込まれ、この保持器57によりボール56,5
6,…が保持されている。従つて、ベアリング
3,3,3,3が軌道台2,2上を軸方向に移動
すると、ボール56,56,…はボール転動用溝
53,53,55,55内を転動してボール循環
用溝54,54に入つてそこを軸方向に移動して
再びボール転動用溝53,53,55,55内に
戻るようになつており、このようにして移動テー
ブル4の軌道台2,2に対する円滑な移動を保証
することができる。 次にこの実施例の作用について説明すると、先
ずボールねじ軸7に連結されたステツピングモー
タ17として例えば800分割、即ち1ステツプ当
りの回転角度が360/800=0.45゜であるステツピ
ングモータを、またボールスプライン軸8に連結
されたステツピングモータ18として1000分割の
ステツピングモータをそれぞれ使用し、またボー
ルねじ軸7のボール溝7aは右ねじでそのリード
は4mmであるものとする。 今、ステツピングモータ18を停止させた状態
でステツピングモータ17を1ステツプ右回りに
回転すると、継手19を介してボールねじ軸7が
360/800=0.45゜の角度だけ回転されて、そのボ
ールねじ軸7に螺合されたボールナツト29が該
ボールねじ軸7の軸方向に4×(0.45/360)=
0.005mmだけ右方に移動され、従つて軸受ハウジ
ング25を介して移動テーブル4が軌道台2,2
上を同方向(右方)に同距離移動される。 また、ステツピングモータ17の右回転時にス
テツピングモータ18をステツピングモータ17
と同一方向(右回り)に回転駆動すると、継手2
0を介してボールスプライン軸8がボールねじ軸
7と同一方向に回転されて該ボールねじ軸7と外
筒40との間の負荷ボールを介して該外筒40が
回転されてその外筒40と一体の駆動歯車47が
ボールスプライン軸8と同一方向に回転され、従
つてこの駆動歯車47に噛合する被動歯車49は
該駆動歯車47の回転方向、即ちボールスプライ
ン軸8の回転方向と反対方向に回転される。この
際、ステツピングモータ18が1ステツプ右回り
に回転されると、ボールスプライン軸8は360/
1000=0.36゜の角度だけ回転され、また駆動およ
び被動歯車47,49の直径は等しいので、ボー
ルナツト29はボールねじ軸7の軸方向に、且つ
該軸7の回転により移動する方向と同一方向(右
側)に4×(0.36/360)=0.004mmの距離だけ移動
される。従つて、ボールナツト29はボールねじ
軸7の軸方向に、ステツピングモータ17による
移動距離0.005mmとステツピングモータ18によ
る移動距離0.004mmとの和0.009mmだけ右方に移動
され、即ち早送りされる。 さらに、ステツピングモータ17の右回転時に
ステツピングモータ18を該モータ17の回転方
向と反対方向(左回り)に1ステツプ回転させる
と、ボールナツト29はボールねじ軸7の軸方向
に、且つ該軸7の回転により移動する方向と反対
方向(左方)に、0.004mmの距離だけ移動され、
従つてボールナツト29はボールねじ軸7の軸方
向に、ステツピングモータ17による移動距離
0.005mmとステツピングモータ18による移動距
離0.004mmとの差0.001mmだけ右方に移動され、即
ち微動送りされる。 以上の説明では、ステツピングモータ17を右
回りに回転させる場合について説明したが、ステ
ツピングモータ18を左回りに回転させるとボー
ルナツト29は上記とは逆にボールねじ軸7の軸
方向左方に移動される。 上記したようなステツピングモータ17,18
の回転方向とボールナツト29の移動距離との関
係を、ステツピングモータ17として800分割お
よび1600分割の4相のものを、またステツピング
モータ18として500分割および1000分割の5相
のものをそれぞれ使用するとともに、ボールねじ
7のねじのリードをそれぞれ4mmおよび5mmとし
た場合について示すと下表の通りである。
【表】
【表】 尚、以上の実施例では、駆動および被動歯車4
7,49を同径とした場合について説明したが、
これら歯車47,49の径を異ならせてもよい。
また、外筒40とボールナツト29とを連動させ
る連動機構として互に噛合する駆動および被動歯
車47,49を使用した場合について説明した
が、そのような連動機構としては、外筒40に設
けた駆動スプロケツトとボールナツト29に設け
た被動スプケツトとの間にタイミングベルトを懸
回して構成したり、外筒40に設けた駆動ローラ
とボールナツト29に設けた被動ローラとを互に
圧着させるようにして構成してもよい。 以上の構成および作用を有する本発明の移送装
置においては、2個のステツピングモータを適当
に制御することにより、ボールねじ軸を段階的に
微小角度回転させて、それらモータによるボール
ナツトの移動量を加え合わせて、あるいはそれら
の差によつてボールナツトをボールねじ軸に対し
て極めて正確に微小送り、あるいは早送りして高
精度の位置決めを行なうことができる。 また、2つのモータのステツプおよび回転方向
を適当に選択することにより微小送りから早送り
まで段階的に変更制御することができる。 さらに、ボールねじ軸とステツピングモータと
の間に変速装置を使用する必要がないので、変速
装置を用いた場合に較べて変速用ギアやクラツチ
等の遊びや製作誤差による作動遅れがなく応答性
が非常に良いとともに、装置全体をコンパクトに
まとめることができ、またボールナツトを微小送
りするためにリードを小さくしたり、あるいは1
ステツプの回転当りの回転角が小さく高価なステ
ツピングモータを使用する必要もないので製造費
が安価になる。さらにまたステツピングモータを
可動部材に設けないで固定ベツド上に設けたの
で、可動部材全体の重量を軽量化することができ
動力損を低減することができる。一方、慣性力に
よる起動、停止時の作動遅れを防止できることか
ら、変速装置等が不用になることと相俟つて、よ
り一層の応答性の向上を図ることができる。ま
た、可動部材にステツピングモータを設ける場合
のようにモータのリード線等の干渉防止用のスペ
ースを設ける必要がないので、装置構成の一層の
小型化を図ることもできる等の種々の効果を奏す
るものである。
【図面の簡単な説明】
第1図乃至第8図は本発明に係る送り装置の実
施例を示すもので、第1図は第2図の−線断
面図、第2図はその一部破断平面図、第3図はそ
の一部破断正面図、第4図はボールナツトのボー
ルねじ軸への螺合状態を示す縦断面図、第5図は
第6図の−線断面図、第6図は外筒のボール
スプライン軸への嵌合状態を示す一部破断側面
図、第7図は移動テーブルを直線摺動用ベアリン
グを介して軌道台に摺動可能に支承した状態を示
す側面図、第8図は直線摺動用ベアリングと軌道
台との関係を示す部分断面正面図である。 符号の説明、1……固定のベツド、2……軌道
台、3……直線摺動用ベアリング、4……移動テ
ーブル、7……ボールねじ軸、8……ボールスプ
ライン軸、17,18……ステツピングモータ、
29……ボールナツト、35……鋼球、40……
外筒、47……連動機構としての駆動歯車、49
……連動機構としての被動歯車、50……鋼球。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 固定ベツドに定位置で回転可能に軸支される
    ボールねじ軸と、前記固定ベツドに定位置で回転
    可能に軸支される、上記ボールねじ軸と平行配置
    のボールスプライン軸と、上記ボールねじ軸及び
    ボールスプライン軸上を両軸に沿つて直線方向へ
    移動する可動部材と、当該可動部材に回転自在に
    保持され且つ前記ボールねじ軸に鋼球を介して螺
    合されるボールナツトと、前記可動部材に回転自
    在に保持され且つ前記ボールスプライン軸に鋼球
    を介してスプライン嵌合される筒体であつて、前
    記ボールナツトに連動機構を介して作動連結され
    該ボールナツトとともに回転する外筒と、前記ボ
    ールねじ軸とボールスプライン軸にそれぞれ駆動
    連結される固定ベツド上の2個のステツピングモ
    ータとからなることを特徴とする、微動および早
    送り可能な移送装置。 2 前記連動機構は前記ボールナツトに設けられ
    た被動歯車と、前記外筒に設けられ、前記被動歯
    車と噛合する駆動歯車とからなる、特許請求の範
    囲第1項記載の微動および早送り可能な移送装
    置。 3 固定ベツド上に平行配置された一組の軌道台
    と、該各軌道台上に直線摺動用ベアリングを介し
    て直線移動可能に支持される移動テーブルと、固
    定ベツドに定位置で回転可能に軸支されるボール
    ねじ軸と、前記固定ベツドに定位置で回転可能に
    軸支される、上記ボールねじ軸と平行配置のボー
    ルスプライン軸と、前記移動テーブルに回転自在
    に保持され且つ前記ボールねじ軸に鋼球を介して
    螺合されるボールナツトと、前記移動テーブルに
    回転自在に保持され且つ前記ボールスプライン軸
    に鋼球を介してスプライン嵌合される筒体であつ
    て、前記ボールナツトに連動機構を介して作動連
    結され該ボールナツトとともに回転する外筒と、
    前記ボールねじ軸とボールスプライン軸にそれぞ
    れ駆動連結される固定ベツド上の2個のステツピ
    ングモータとからなることを特徴とする、微動お
    よび早送り可能な移送装置。 4 前記連動機構は前記ボールナツトに設けられ
    た被動歯車と、前記外筒に設けられた被動歯車
    と、前記外筒に設けられ、前記被動歯車と噛合す
    る駆動歯車とからなる、特許請求の範囲第3項記
    載の微動および早送り可能な移送装置。
JP58198803A 1979-11-10 1983-10-24 微動および早送り可能な移送装置 Granted JPS6090648A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58198803A JPS6090648A (ja) 1979-11-10 1983-10-24 微動および早送り可能な移送装置
DE19853537728 DE3537728A1 (de) 1979-11-10 1985-10-23 Linearmotorgetriebene tischvorrichtung mit grob- und feintrieb

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14493779A JPS5668265A (en) 1979-11-10 1979-11-10 Linear pulse motor
JP58198803A JPS6090648A (ja) 1979-11-10 1983-10-24 微動および早送り可能な移送装置
JP59221295A JPS61100334A (ja) 1984-10-23 1984-10-23 微動および速送り可能なリニアモ−タ付テ−ブル
JP60085430A JPS61244439A (ja) 1979-11-10 1985-04-23 微動および早送り可能なリニアモ−タ付テ−ブル

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6090648A JPS6090648A (ja) 1985-05-21
JPS6253296B2 true JPS6253296B2 (ja) 1987-11-10

Family

ID=32686163

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58198803A Granted JPS6090648A (ja) 1979-11-10 1983-10-24 微動および早送り可能な移送装置

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JPS6090648A (ja)
DE (1) DE3537728A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03234936A (ja) * 1990-02-05 1991-10-18 Mitsubishi Heavy Ind Ltd ライニング摩耗量検出装置

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4769565A (en) * 1985-04-23 1988-09-06 Hiroshi Teramachi Linear motor-driven table apparatus capable of operating both in fine-feed and large-feed modes
JPS61293740A (ja) * 1985-06-21 1986-12-24 Hiroshi Teramachi テ−ブル移送装置
DE8614673U1 (de) * 1986-05-30 1987-10-15 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Lineareinheit für Handhabungsgeräte
JPH0541143U (ja) * 1991-11-08 1993-06-01 日本電子株式会社 Xy移動テーブル駆動機構
DE19641879A1 (de) * 1996-10-10 1998-04-23 Heinz Peter Brandstetter Stellantrieb

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3487734A (en) * 1966-12-05 1970-01-06 Ikegai Iron Works Ltd Feed mechanism for engine lathe
JPS56147953A (en) * 1980-04-15 1981-11-17 Tsubakimoto Kogyo Kk Screw shaft driven moving device
JPS57145336A (en) * 1981-12-30 1982-09-08 Shinkawa Ltd Transfer table feed gear in bonding device
JPS5856747A (ja) * 1981-09-11 1983-04-04 フエスト−アルピ−ネ・アクチエンゲゼルシヤフト 旋盤の工具往復台の送り運動及びねじ切り運動のための駆動装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3268747A (en) * 1964-02-28 1966-08-23 Superior Electric Co Linear electric motor
US4427240A (en) * 1982-02-13 1984-01-24 Hiroshi Teramachi Endless linear ball bearing
JPS58198803A (ja) * 1982-05-14 1983-11-18 三菱電機株式会社 絶縁電線の製造方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3487734A (en) * 1966-12-05 1970-01-06 Ikegai Iron Works Ltd Feed mechanism for engine lathe
JPS56147953A (en) * 1980-04-15 1981-11-17 Tsubakimoto Kogyo Kk Screw shaft driven moving device
JPS5856747A (ja) * 1981-09-11 1983-04-04 フエスト−アルピ−ネ・アクチエンゲゼルシヤフト 旋盤の工具往復台の送り運動及びねじ切り運動のための駆動装置
JPS57145336A (en) * 1981-12-30 1982-09-08 Shinkawa Ltd Transfer table feed gear in bonding device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03234936A (ja) * 1990-02-05 1991-10-18 Mitsubishi Heavy Ind Ltd ライニング摩耗量検出装置

Also Published As

Publication number Publication date
DE3537728A1 (de) 1986-04-24
DE3537728C2 (ja) 1989-09-28
JPS6090648A (ja) 1985-05-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0470505B2 (ja)
US5094118A (en) Splined ball screw assembly having a nested structure
US5121647A (en) Composite motion guiding unit and composite motion guiding apparatus incorporating same
JP2722345B2 (ja) 産業用ロボットの手首用2自由度駆動機構
JPS6253296B2 (ja)
JPH0357346B2 (ja)
JPH0660671B2 (ja) ボールねじユニット及びこれを利用した伸縮装置
JPH022659B2 (ja)
JP2559974Y2 (ja) 電動一軸アクチュエータ
JPS6411864B2 (ja)
JP2523219Y2 (ja) 直角座標ロボットのスライド案内機構
JP2501839B2 (ja) 半割型のボ―ルスクリュ―
JPH0144464B2 (ja)
JP2001099260A (ja) ボールねじ装置の中間サポート
JPH0372422B2 (ja)
JP2863529B2 (ja) 転動ボール形変速装置
JPS60177838A (ja) 微動および早送り可能な移送装置
JPS5928774B2 (ja) 複合運動用ボ−ルスプライン
JPS5833324Y2 (ja) ボ−ルねじ装置
JPH09253969A (ja) ボールスプラインを備えたテーブル装置
JP3141950B2 (ja) 早送り及び微速送り可能な移送装置
JPH0648201Y2 (ja) 精密移動装置
JP2767860B2 (ja) 加工ユニット
JPH0730263Y2 (ja) 移動テーブルユニット
JPH0640504U (ja) ボールねじ式移動装置