JP2554458Y2 - 直線案内装置 - Google Patents

直線案内装置

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JP2554458Y2
JP2554458Y2 JP9408591U JP9408591U JP2554458Y2 JP 2554458 Y2 JP2554458 Y2 JP 2554458Y2 JP 9408591 U JP9408591 U JP 9408591U JP 9408591 U JP9408591 U JP 9408591U JP 2554458 Y2 JP2554458 Y2 JP 2554458Y2
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carriage
air
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air pad
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洋一 新井
清 大家
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Nikon Corp
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Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は、エアパッドを有するキ
ャリッジが直線案内ガイドに沿って移動する直線案内装
置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の直線案内装置は図2のように構成
されている。図2において、エアパッド3a、3b、3
cを直線案内ガイド1の各々の案内面に対応させて配設
する。エアパッド3a、3cにはガイド1の案内面とは
反対側の面(背面)に窪みをそれぞれ形成し、この窪み
に鋼球6a、6cを嵌入させ、さらに鋼球6a、6cを
キャリッジ2に螺合した調整ネジ5a、5cの窪みに嵌
入している。その結果、エアパッド3a、3cは傾動自
在にキャリッジ2と直線案内ガイド1の案内面との間に
支持される。また、エアパッド3bはエアパッド3bの
背面に形成した窪みに鋼球6bを嵌入させ、この鋼球6
bをピボット軸7で受け、ピボット軸7をキャリッジ2
に螺合した調整ネジ9に取り付けられた皿バネ8でガイ
ド1の案内面に向かって弾圧している。従って、エアパ
ッド3bは傾動自在に直線案内ガイド1の案内面に向け
て弾圧される。
【0003】
【考案が解決しようとする課題】上記の如き従来の技術
において、皿バネは大きなスラスト荷重を発生できる
が、バネ定数が大きく案内面とキャリッジのエアパッド
との相対位置が変化した場合、皿バネの発生するスラス
ト荷重が大きく変化し、直線案内ガイドとエアパッドと
の間に形成されるエアギャップが変化してしまう。
【0004】本考案はこの様な従来の問題点に鑑みてな
されたもので、直線案内ガイドの案内面とキャリッジの
エアパッドとの相対位置が変化しても、直線案内ガイド
とエアパッドとの間に形成するエアギャップを常に一定
に保つことを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】請求項1における本考案
は、少なくとも一つの案内面に対応するエアパッド(3
b)の一つを保持する保持部材は、一つのエアパッド
(3b)に対応する案内面(1b)の方向に開放された
ハウジング(12)をキャリッジ(2)と一体に設け、
エアパッド(3b)を傾動自在に保持する補助部材(1
0、6b)と、補助部材(10、6b)を介してエアパ
ッド(3b)に付勢力を与える第1弾性部材(11)を
ハウジング(12)内に設け、第1弾性部材(11)の
付勢方向へ変位可能であり、かつ付勢方向以外には略変
位しないように補助部材(10、6b)をキャリッジ
(2)に保持する第2弾性部材(13)と、から構成さ
れたものである。
【0006】請求項2における本考案は、互いに平行な
2つの案内面に対応するエアパッド(3a、3b)の一
方を保持する保持部材を、一方のエアパッド(3b)に
対応する案内面(1b)の方向に開放されたハウジング
(12)をキャリッジ(2)と一体に設け、エアパッド
(3b)を傾動自在に保持する補助部材と、補助部材
(10、6b)を介して一方のエアパッド(3b)に付
勢力を与えるコイルバネ(11)をハウジング(12)
内に設け、コイルバネ(11)の付勢方向へ変位可能で
あり、かつ付勢方向以外には略変位しないように補助部
材(10、6b)をキャリッジ(2)に保持する板バネ
(13)と、から構成されたものである。
【0007】
【作用】上記の構成によれば、弾性部材のたわみ量を大
きくすることによって大きなスラスト荷重をエアパッド
に発生でき、なおかつ弾性部材のバネ定数を極力小さく
することによって案内面の変形を吸収することができ
る。従って、環境温度の影響を受けて直線案内ガイドの
案内面が変形しても、エアパッドと直線案内ガイドの案
内面との間に形成されるエアギャップを常に一定に保つ
ことができる。
【0008】
【実施例】図1は本考案の実施例である。紙面垂直方向
へ延びる角柱状の直線案内ガイド1によって、互いに平
行な2つの案内面1a、1bと、2つの案内面1a、1
bに直交する少なくとも1つの案内面1cを得る。直線
案内ガイド1に沿って移動するキャリッジ2と、各々の
案内面1a、1b、1cに対応させて設けたエアパッド
3a、3b、3cと、エアパッド3a、3b、3cをキ
ャリッジ2と各々の案内面1a、1b、1cとの間に傾
動自在に保持する保持部材5a、5c、6a、6b、6
c、10、11、12、13とが設けられている。エア
パッド3aの保持部材5a、6aは、エアパッド3aの
ガイド1の案内面1aとは反対の面(背面)に形成した
窪みに鋼球6aを嵌入させ、鋼球6aをキャリッジ2に
螺合した調整ネジ5aの窪みに嵌入して構成する。エア
パッド3bの保持部材は、エアパッド3bに対応する案
内面1bに略直交する方向に開放されたハウジング12
をキャリッジ2と一体に設け、ハウジング12内には、
一方のエアパッド3bに対応する案内面1bに略直交す
る方向へ弾性力を発生するコイルバネ11を設け、コイ
ルバネ11と係合するピボット軸10の窪みに嵌入した
鋼球6bをエアパッド3bの背面の窪みに嵌入して構成
する。また、ピボット軸10をガイド1の案内面1bの
方向へ変位可能に保持するために一端をキャリッジ2に
固定された板バネ13が他端をピボット軸10に固定し
ている。エアパッド3cの保持部材は、エアパッド3c
の背面に形成した窪みに嵌入した鋼球6cをキャリッジ
2に螺合する調整ネジ5cの窪みに嵌入して構成してい
る。その結果、エアパッド3a、3b、3cと案内面1
a、1b、1cとの間に形成したエアギャップによっ
て、直線案内ガイド1に沿ってキャリッジ2が移動す
る。
【0009】以上の構成において、ハウジング12内に
設けられたコイルバネ11のバネ定数を小さく、また、
たわみ量を大きく設定する。直線案内ガイド1の案内面
が環境温度の影響等により変形した場合、エアパッド3
a、3bと案内面1a、1bとの間に形成されるエアギ
ャップの間隔が変化しようとするが、コイルバネ11が
案内面の変形量を吸収することによってエアギャップを
一定に保ったままキャリッジ2を直線案内ガイド1に沿
って移動することができる。この時、コイルバネ11の
伸縮に伴ってスラスト荷重も変化するが、コイルバネ1
1のバネ定数が小さく設定されているためエアパッド3
a、3bに発生するスラスト荷重の変化は極めて小さ
い。従って、これに伴う直線案内ガイド1とエアパッド
3a、3bとの間に形成されるエアギャップの間隔の変
化は無視できる。また、コイルバネ11のたわみ量を大
きく設定することによって直線案内ガイド1を移動する
キャリッジ2の高い剛性に必要な大きなスラスト荷重を
キャリッジ2のエアパッド3a、3bに発生することが
できる。
【0010】エアギャップの間隔の調整は、キャリッジ
2と螺合しているハウジング12を押し引きすることに
よって、ハウジング12内に設けられたコイルバネ11
のたわみ量を変化させ、スラスト荷重の負荷量を変える
ことによって行うことができる。また、直線案内ガイド
1に対するキャリッジ2の相対位置の調整は調整ネジ5
aの押し引きで行うが、この時、コイルバネ11のたわ
み量が変化するがコイルバネ11のバネ定数が小さく設
定されているため、直線案内ガイド1に対するキャリッ
ジ2の相対位置の調整範囲ではスラスト荷重の変化は無
視できる程度におさえることができ、エアギャップは変
化しないと考えてよい。
【0011】板バネ13はバネ定数が小さいコイルバネ
11がスラスト荷重をエアパッド3bに略直交する方向
へ発生させるための位置決めを行う。また、コイルバネ
11が案内面の変形に応じて伸縮しても、板バネ13が
ピボット軸10に係合するコイルバネ11を保持してい
るので、ハウジング12とコイルバネ11は接触するこ
とはないので摩擦の影響がない。従って、コイルバネ1
1は確実に案内面の変形量を吸収することができ、しか
も、コイルバネ11の発生するスラスト荷重をそのまま
伝えることができる。なおかつ、スラスト荷重はコイル
バネ11が発生するので板バネ13にかかる負荷応力は
極めて小さい。また、板バネ13の形状および材料等は
本実施例に限らることはない。
【0012】
【考案の効果】以上の様に本考案によれば、直線案内ガ
イドが変形しても直線案内ガイドとエアパッドとの間に
形成されるエアギャップは常に一定に保つことができ
る。
【0013】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による装置の第1実施例の断面図であ
る。
【図2】従来の技術による装置の断面図である。
【符号の説明】
1 直線案内ガイド 2 キャリッジ 7、10 ピボット軸 8 皿バネ 9 調整ネジ 11 コイルバネ 12 ハウジング 13 板バネ 1a、1b、1c 案内面 3a、3b、3c エアパッド 5a、5b、5c 調整ネジ 6a、6b、6c 鋼球

Claims (2)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】少なくとも3つの案内面を有す直線案内ガ
    イドと、 前記ガイドに沿って移動するキャリッジと、 前記案内面の各々に対応させて設けたエアパッドと、 前記エアパッドを傾動自在に前記キャリッジと前記案内
    面各々との間に保持する保持部材と、 を有し、前記エアパッドと前記案内面との間に形成した
    エアギャップによって、前記ガイドに沿って前記キャリ
    ッジを移動させる直線案内装置において、 前記エアパッドの一つを保持する保持部材は、 前記キャリッジと一体に設けられ、前記エアパッドの一
    つに対応する案内面の方向に開放されたハウジングと、 前記エアパッドを傾動自在に保持する補助部材と、 前記ハウジング内に設けられ、前記補助部材を介して前
    記エアパッドに付勢力を与える第1弾性部材と、 前記第1弾性部材の付勢方向へ変位可能であり、かつ前
    記付勢方向以外にはほぼ変位しないように前記補助部材
    を前記キャリッジに保持する第2弾性部材と、から構成
    されることを特徴とする直線案内装置。
  2. 【請求項2】互いに平行な2つの案内面と、前記2つの
    案内面に直交する少なくとも1つの案内面とで構成され
    る直線案内ガイドと、 前記ガイドに沿って移動するキャリッジと、 前記案内面の各々に対応させて設けたエアパッドと、 前記エアパッドを傾動自在に前記キャリッジと前記案内
    面各々との間に保持する保持部材と、 を有し、前記エアパッドと前記案内面との間に形成した
    エアギャップによって、前記ガイドに沿って前記キャリ
    ッジを移動させる直線案内装置において、 前記互いに平行な2つの案内面に対応するエアパッドの
    一方を保持する保持部材は、 前記キャリッジと一体に設けられ、前記一方のエアパッ
    ドに対応する案内面の方向に開放されたハウジングと、 前記エアパッドを傾動自在に保持する補助部材と、 前記ハウジング内に設けられ、前記補助部材を介して前
    記一方のエアパッドに付勢力を与えるコイルバネと、 前記第1弾性部材の付勢方向へ変位可能であり、かつ前
    記付勢方向以外にはほぼ変位しないように前記補助部材
    を前記キャリッジに保持する板バネと、 から構成されることを特徴とする直線案内装置。
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