JP3191338B2 - ウェハ保持器の保持装置 - Google Patents
ウェハ保持器の保持装置Info
- Publication number
- JP3191338B2 JP3191338B2 JP23811591A JP23811591A JP3191338B2 JP 3191338 B2 JP3191338 B2 JP 3191338B2 JP 23811591 A JP23811591 A JP 23811591A JP 23811591 A JP23811591 A JP 23811591A JP 3191338 B2 JP3191338 B2 JP 3191338B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer holder
- holding
- holding device
- moving
- fixed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Packaging For Recording Disks (AREA)
- Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造装置における
ウェハ保持器の保持構造に関する。
ウェハ保持器の保持構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造装置におけるウェハ保
持器の保持方法としては、固定された４方向のガイド８
により決められた位置で保持するか（図２に示す）、あ
るいは他方向を固定し、シリンダなどの駆動装置９によ
りウェハ保持器を挟持している（図３に示す）。
持器の保持方法としては、固定された４方向のガイド８
により決められた位置で保持するか（図２に示す）、あ
るいは他方向を固定し、シリンダなどの駆動装置９によ
りウェハ保持器を挟持している（図３に示す）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ウェハ
保持器を固定されたガイドにより決められた位置で保持
する前者の構成にあっては、位置決めの調整が非常に不
便であり、ウェハ保持器の変形には対応できず隙間等が
発生してしまうという不具合があった。
保持器を固定されたガイドにより決められた位置で保持
する前者の構成にあっては、位置決めの調整が非常に不
便であり、ウェハ保持器の変形には対応できず隙間等が
発生してしまうという不具合があった。
【０００４】また、ウェハ保持器をシリンダで押え込む
後者の構成においては、構造が複雑になりシリンダを駆
動させる動力源が必要となる。更に、ウェハ保持器を数
個並べる場合にはスペースを多く取ってしまう問題もあ
った。
後者の構成においては、構造が複雑になりシリンダを駆
動させる動力源が必要となる。更に、ウェハ保持器を数
個並べる場合にはスペースを多く取ってしまう問題もあ
った。
【０００５】本発明の目的はかかる従来技術の欠陥をな
くして、ウェハ保持器の出し入れを容易にする装置を提
供するものである。
くして、ウェハ保持器の出し入れを容易にする装置を提
供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係るウエハ保持
器の保持装置は、ウエハ保持器を保持する移動保持部材
を備えたウエハ保持器の保持装置であって、前記移動保
持部材は、互いに略平行に配置された２枚の板ばねによ
って前記保持装置に設置されてなり、前記２枚の板ばね
は、その長手方向が前記移動保持部材の移動する方向に
対して略垂直となるように配置されてなることを特徴と
する。また、上記ウエハ保持器の保持装置において、前
記保持装置に固定された固定保持部材をさらに有し、前
記固定保持部材は、互いに略垂直となる２方向から前記
ウエハ保持器を保持する位置に配置され、前記移動保持
部材は、前記２方向に対してそれぞれ対向する方向から
前記保持器を保持する位置に配置されてなることを特徴
とする。
器の保持装置は、ウエハ保持器を保持する移動保持部材
を備えたウエハ保持器の保持装置であって、前記移動保
持部材は、互いに略平行に配置された２枚の板ばねによ
って前記保持装置に設置されてなり、前記２枚の板ばね
は、その長手方向が前記移動保持部材の移動する方向に
対して略垂直となるように配置されてなることを特徴と
する。また、上記ウエハ保持器の保持装置において、前
記保持装置に固定された固定保持部材をさらに有し、前
記固定保持部材は、互いに略垂直となる２方向から前記
ウエハ保持器を保持する位置に配置され、前記移動保持
部材は、前記２方向に対してそれぞれ対向する方向から
前記保持器を保持する位置に配置されてなることを特徴
とする。
【０００７】
【実施例】本発明の実施例を半導体製造装置の例を用い
て説明する。
て説明する。
【０００８】図１（ａ）はウェハ保持器の保持装置の平
面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）の断面図である。
面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）の断面図である。
【０００９】図面中、１はウェハ保持器、２はウェハ保
持器を固定するための移動ガイド、３は板バネで弾性を
有する。４は板バネ３を固定するブロック、５は板バネ
３を固着するネジ、６は移動ガイド２の移動量を決める
ストッパ、７はウェハ保持器の位置決めをするための固
定ガイドである。
持器を固定するための移動ガイド、３は板バネで弾性を
有する。４は板バネ３を固定するブロック、５は板バネ
３を固着するネジ、６は移動ガイド２の移動量を決める
ストッパ、７はウェハ保持器の位置決めをするための固
定ガイドである。
【００１０】図１（ａ）において、ウェハ保持器１は保
持器収納部に挿入され、その側面が移動ガイド２及び固
定ガイド７に接触している。
持器収納部に挿入され、その側面が移動ガイド２及び固
定ガイド７に接触している。
【００１１】板バネ３は弾性を有して移動ガイド２を移
動させ、ウェハ保持器１の側面を弾圧しながら保持され
る。（図１（ａ）のように、移動ガイド２は互いに略平
行に配置された２枚の板バネ３によってブロック４に設
置されており、この２枚の板バネ３はいずれもその長手
方向が、移動ガイド２が移動する方向に対して略垂直と
なるように配置されている。）
動させ、ウェハ保持器１の側面を弾圧しながら保持され
る。（図１（ａ）のように、移動ガイド２は互いに略平
行に配置された２枚の板バネ３によってブロック４に設
置されており、この２枚の板バネ３はいずれもその長手
方向が、移動ガイド２が移動する方向に対して略垂直と
なるように配置されている。）
【００１２】更に、ウェハ保持器１の出し入れは２枚の
板バネ３により移動ガイド２が平行移動されるため、移
動ガイド２の平端部全体に力が加わり部分的に力が加わ
ることを防いでいる。このため無理な力を加えずとも出
し入れが可能となる。
板バネ３により移動ガイド２が平行移動されるため、移
動ガイド２の平端部全体に力が加わり部分的に力が加わ
ることを防いでいる。このため無理な力を加えずとも出
し入れが可能となる。
【００１３】また、ウェハ保持器１の変形に対しても、
移動ガイド２に取り付いている板バネ３のスプリング力
により、その形状にあった位置で押え込むので保持器の
変形には追随するようにしてある。
移動ガイド２に取り付いている板バネ３のスプリング力
により、その形状にあった位置で押え込むので保持器の
変形には追随するようにしてある。
【００１４】図１（ｂ）においては、位置出し調整を行
なう際、固定ガイド７の２方向の位置を決めるだけでよ
く、調整作業が簡易的に行うことができる。しかも、最
初の組み付け時に調整するだけで、多少の位置ずれが発
生しても移動ガイド２がずれを解消してしまうため再調
整する必要がなくなる。
なう際、固定ガイド７の２方向の位置を決めるだけでよ
く、調整作業が簡易的に行うことができる。しかも、最
初の組み付け時に調整するだけで、多少の位置ずれが発
生しても移動ガイド２がずれを解消してしまうため再調
整する必要がなくなる。
【００１５】更に、移動ガイド２の弾圧力の調整に関し
ても、ブロック４がストッパ６に取り付いているためス
トッパ６自体を調整することにより、押え込む弾圧力を
変化させることが可能となる。このことより、出し入れ
時の弾圧力を作業状態にあった圧力に変更できる。
ても、ブロック４がストッパ６に取り付いているためス
トッパ６自体を調整することにより、押え込む弾圧力を
変化させることが可能となる。このことより、出し入れ
時の弾圧力を作業状態にあった圧力に変更できる。
【００１６】しかしながら、半導体製造装置本体におけ
る振動、ショックに対しては、１方向からのみの保持で
は充分でない場合もあるため、２方向からウェハ保持器
１を保持する構造にしてある。具体的には、図１（ａ）
にあるように、固定ガイド７は、互いに略垂直となる２
方向からウェハ保持器１を保持する構造にしてあり、移
動ガイド２は、固定ガイド７の２方向に対して対向する
２方向からウェハ保持器１を保持する構造にしてある。
また、固定ガイド７（または移動ガイド２）は、１方向
につき２つの固定ガイド７（または移動ガイド２）によ
ってウェハ保持器１を保持する構造にしてある。
る振動、ショックに対しては、１方向からのみの保持で
は充分でない場合もあるため、２方向からウェハ保持器
１を保持する構造にしてある。具体的には、図１（ａ）
にあるように、固定ガイド７は、互いに略垂直となる２
方向からウェハ保持器１を保持する構造にしてあり、移
動ガイド２は、固定ガイド７の２方向に対して対向する
２方向からウェハ保持器１を保持する構造にしてある。
また、固定ガイド７（または移動ガイド２）は、１方向
につき２つの固定ガイド７（または移動ガイド２）によ
ってウェハ保持器１を保持する構造にしてある。
【００１７】尚、本発明の保持方法は構造が単純で、し
かも、調整が非常に簡単に出来ることから、半導体製造
装置におけるウェハ保持器の保持装置としては高い実施
効果が得られる。
かも、調整が非常に簡単に出来ることから、半導体製造
装置におけるウェハ保持器の保持装置としては高い実施
効果が得られる。
【００１８】
【発明の効果】以上の如く本発明によれば、ウェハ保持
器を機械体に保持するに際し、弾性を有する保持部材に
より側面からウェハ保持器を弾圧して機械体に保持する
構成なので、ウェハ保持器の出し入れを簡単にするとと
もに、位置出し調整が組み付け時だけで済み、ウェハ保
持器の変形に対しても追随できるというメリットを有す
る。
器を機械体に保持するに際し、弾性を有する保持部材に
より側面からウェハ保持器を弾圧して機械体に保持する
構成なので、ウェハ保持器の出し入れを簡単にするとと
もに、位置出し調整が組み付け時だけで済み、ウェハ保
持器の変形に対しても追随できるというメリットを有す
る。
【図１】（ａ）は本発明の実施例におけるウェハ保持器
の保持装置正面図。（ｂ）は図１（ａ）の断面図。
の保持装置正面図。（ｂ）は図１（ａ）の断面図。
【図２】本発明の他の実施例におけるウェハ保持器の保
持装置正面図。
持装置正面図。
【図３】本発明の他の実施例における駆動系を用いた保
持装置側面図。
持装置側面図。
１・・・・・ウェハ保持器 ２・・・・・移動ガイド ３・・・・・板バネ ４・・・・・固定用ブロック ５・・・・・止めネジ ６・・・・・ストッパ ７・・・・・固定ガイド ８・・・・・固定ガイド（従来タイプ） ９・・・・・シリンダ（駆動装置）
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭57−114250（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−156954（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−247788（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−126244（ＪＰ，Ａ) 特開 昭50−55770（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−260165（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−126189（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−173238（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−178136（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−12619（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−50048（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−73470（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−65236（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭59−85957（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−124576（ＪＰ，Ｕ) 特表 昭59−501062（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68 B65D 85/86
Claims (2)
- 【請求項１】 ウエハ保持器を保持する移動保持部材を
備えたウエハ保持器の保持装置であって、 前記移動保持部材は、互いに略平行に配置された２枚の
板ばねによって前記保持装置に設置されてなり、 前記２枚の板ばねは、その長手方向が前記移動保持部材
の移動する方向に対して略垂直となるように配置されて
なることを特徴とするウエハ保持器の保持装置。 - 【請求項２】 請求項１において、 前記保持装置に固定された固定保持部材をさらに有し、 前記固定保持部材は、互いに略垂直となる２方向から前
記ウエハ保持器を保持する位置に配置され、 前記移動保持部材は、前記２方向に対してそれぞれ対向
する方向から前記保持器を保持する位置に配置されてな
ることを特徴とするウエハ保持器の保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23811591A JP3191338B2 (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | ウェハ保持器の保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23811591A JP3191338B2 (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | ウェハ保持器の保持装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000302724A Division JP2001102422A (ja) | 2000-10-02 | 2000-10-02 | ウェハ保持器の保持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0574923A JPH0574923A (ja) | 1993-03-26 |
| JP3191338B2 true JP3191338B2 (ja) | 2001-07-23 |
Family
ID=17025405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23811591A Expired - Fee Related JP3191338B2 (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | ウェハ保持器の保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3191338B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2587362Y2 (ja) * | 1993-07-07 | 1998-12-16 | 住友精密工業株式会社 | ウエハキャリア位置決め機構 |
| DE4425208C2 (de) * | 1994-07-16 | 1996-05-09 | Jenoptik Technologie Gmbh | Einrichtung zur Kopplung von Be- und Entladegeräten mit Halbleiterbearbeitungsmaschinen |
| US6883770B1 (en) * | 1999-05-18 | 2005-04-26 | Tdk Corporation | Load port mounting mechanism |
-
1991
- 1991-09-18 JP JP23811591A patent/JP3191338B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0574923A (ja) | 1993-03-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3191338B2 (ja) | ウェハ保持器の保持装置 | |
| KR100508858B1 (ko) | 가공재료 진동 댐퍼 | |
| JP3621759B2 (ja) | Ｚ移動ステージ機構 | |
| JP2551638B2 (ja) | 自動焦点調整用対物レンズ駆動装置 | |
| KR100816233B1 (ko) | 디스크 클램프 장치 | |
| JP2001102422A (ja) | ウェハ保持器の保持装置 | |
| KR930014284A (ko) | 자기 테이프를 갖춘 카셋트와 합체하는데 적합한 장치, 이 장치에 이용되는 자기헤드 및 자기헤드 유니트, 자기헤드 유니트에 이용되는데 적합한 하우징 및, 자기헤드의 제조 방법 | |
| JPH0353208Y2 (ja) | ||
| JPS61142582A (ja) | フロツピ−デイスクドライブ装置における可動ヘツドア−ムの弾圧装置 | |
| JP2700911B2 (ja) | 測尺装置のスケール取付方法及び取付具 | |
| JPH08321541A (ja) | 薄型基板用カセットの位置決め装置 | |
| JP3732872B2 (ja) | 光学素子の位置調整装置 | |
| JP2525823Y2 (ja) | 自動縫製機のクランプ板固定構造 | |
| JP2627556B2 (ja) | 光学部品の保持手段 | |
| JPH04329625A (ja) | 半導体基板の固定装置 | |
| JPS63138292A (ja) | 直動ステ−ジ | |
| JP4164144B2 (ja) | 微動ステージ装置における圧電素子の予圧力付与方法並びに微動ステージ装置 | |
| JP2554458Y2 (ja) | 直線案内装置 | |
| JPH0227743A (ja) | ワイヤボンデイング装置用ワイヤクランパ | |
| SU1062781A1 (ru) | Лентоприжим дл блока магнитных головок с несколькими зазорами | |
| JP3203937B2 (ja) | 磁気ヘッド移動装置 | |
| JPH035025Y2 (ja) | ||
| JPS63102078A (ja) | ヘツド移動装置 | |
| JP3205685B2 (ja) | カセット装填装置 | |
| JP2589211Y2 (ja) | 磁気ヘッドの調整装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080525 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090525 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100525 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |