JPH08321541A - 薄型基板用カセットの位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 薄型基板が収納されたカセットをカセットス
テーションに位置決めする際、位置決めにおける調整を
極めて簡単に行い、しかもコストも低減できるカセット
位置決め装置を提供すること。 【構成】 カセット位置決め装置は、カセット１０が載
置されるカセットベース６と、カセットベース６を滑動
するころ台３と、カセット１０の位置決めをするストッ
パー４と、カセット１０をクランプするクランパー５
と、カセットベース１６を定位置に復帰させようとする
バネ手段から構成されている。そして前記バネ手段が、
一端がカセットベース６に、他端が架台２に固着され、
架台からカセットベースに延設する方向に対して直角方
向に付勢力を有するバネ鋼製針金７を有している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、薄型基板用カセット
をカセットステーションに位置決めする装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、薄型基板を収納するカセットは、
半導体または液晶プロセスにより各々のプロセス装置の
カセットステーションへＡＧＶ（自動搬送車）等より搬
送されていた。そして、カセットステーションに搬入さ
れたカセットをカセットシステム内のロボットの位置に
合わせセンタリングをしていた。

【０００３】従来のセンタリングをするための位置決め
装置は、カセットステーションに固定されたベースと、
前記ベースに取り付けられたストッパーと、前記カセッ
トをクランプするクランプ部材を有し、前記カセットを
前記ベース上で摺動させることによって位置決めを行っ
ていた。しかし、この方法ではカセットの摺動によりカ
セットとベース間で塵を発生させることになり、もとも
とクリーンルーム内で行われる半導体等の作業には適し
ていなかった。

【０００４】このため、カセットの位置決めに対して
は、カセットをカセットベースに載置し、カセットベー
スをボールによって滑動する装置が提案されていた。こ
の従来装置は、図７〜図９に示されるように、カセット
ステーション１に架台１２が固定されている。架台１２
の両側の各々に４個が１組にセットされたコロ台１３が
配置されている。また、架台１２にはカセット１０に当
接されるようにストッパー１４が３か所配設され、カセ
ット１０を各々のストッパー１４に押圧するようにクラ
ンパー１５が架台１２に配設されている。クランパー１
５は油圧または空圧によって駆動され、カセットに当接
する部分はカセットが入出するために回動可能に形成さ
れている。

【０００５】一方、１組のボール台１３上を各々滑動す
るようにカセット１０が載置される２組のカセットベー
ス１６、１６が配設され、各々のカセットベース１６、
１６の裏側にバネ受け１７が各々４か所固着され、各々
バネ１８、１８、１８、１８の一端が係止される。そし
て、各々のバネ１８、１８、１８、１８の他端は架台１
２に固着された各々ブラケット１９、１９、１９、１９
に各々調整ねじ２０、２０、２０、２０を介して掛着さ
れる。各々のバネ１８は、バネ受け１７より約４５°外
方に向かって配設され、カセットベース１６の位置を前
後左右に調節できるようになっている。

【０００６】このように構成されたカセット位置決め装
置の作用を説明する。カセットをカセットステーション
に位置決めする際、まず、カセットベース１６を図面上
の定位置に位置するように、各々のバネ１８を調整ねじ
によって調整する。

【０００７】これは、架台１２とカセットベース１６と
の隙間が余り多くないため、カセットベース１６が傾い
たままカセットを載置させると、カセット１０の位置決
めの際、カセットベース１６はある程度ボール台１３上
を滑動するが、カセット１０が位置決め位置に到達しな
いと、カセット１０そのものをカセットベース１６上で
摺動させることになり、塵の発生になって問題が残るた
め、予めカセットベース１６を調整する必要がある。

【０００８】カセットベース１６が定位置に調整された
後、カセット１０をカセットベース１６に載置し、ボー
ル台１３上を滑らせてストッパー１４に当接させ、クラ
ンパー１５によってカセット１０をクランプする。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の薄型基
板用カセットの位置決め装置は、カセットベース１６を
設定位置にくるように調整する時に、８か所のバネ１８
の調整をしなければならない。バネ１８の調整はロック
されているねじを緩め、調整ねじ２０によってカセット
ベース１６を前後左右に移動させた後、再びねじをロッ
クする。このため、この調整作業に手間がかかるばかり
でなく、部品点数も多いのでコストもかかっている。

【００１０】この発明は、上述の課題を解決するもので
あり、カセット１０をカセットベース１６に載置する前
のカセットベース１６の位置調整を、極めて簡単に行
い、しかもコストを低減できる薄型基板用カセットの位
置決め装置を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この発明にかかわる薄型
基板用カセットの位置決め装置では、カセットステーシ
ョンを有する薄型基板搬送システムにおいて、薄型基板
を収納するカセットが載置されるカセットベースと、前
記カセットベースを滑動可能にさせるカセットベース滑
動手段と、前記カセットの位置決めをするカセット位置
決め手段と、前記カセットを固定するクランパー手段
と、前記カセットベースを定位置に復帰する弾性手段と
を有する薄型基板用カセットの位置決め装置であって、
前記弾性手段が、前記カセットベースに一端が固着され
他端が前記カセットステーションの架台に固着され、前
記架台からカセットベースに延設する方向に対して直角
方向に付勢力を有する弾性部材を有することを特徴とす
るものである。

【００１２】前記弾性部材がバネ鋼製針金であれば好ま
しい。

【００１３】

【発明の作用・効果】請求項１の薄型基板用カセットの
位置決め装置においては、２組のカセットベースの各々
に、長手方向に対して２か所、架台からカセットベース
に延設する方向に対して直角方向に付勢力を有する弾性
部材の一端を固着し、他端を架台に固着している。カセ
ットをカセットベースに載置する前は、カセットベース
に負荷がかかっていないため、前記弾性部材の付勢力に
よって、カセットベースを自動的にほぼ定位置に復帰し
た状態にしている。その状態でカセットをカセットベー
スに載置し、カセットベースをボール台上を滑らせスト
ッパーに当接させて位置決めする。そしてクランパーに
よりクランプする。

【００１４】そのため、カセットベースの位置調整作業
をする必要がなく、カセットの位置決め作業を極めて簡
単に行うことができる。また、部品点数が少なくなるの
でコストも低減する。

【００１５】請求項２の薄型基板用カセットの位置決め
装置においては、前記長手方向に対して直角方向に付勢
力を有する弾性部材をバネ鋼製針金で形成するので、傾
いたカセットベースの定位置復帰をスムーズに行うこと
ができる。そのため、カセットベースの位置調整作業を
する必要がなく、カセットの位置決め作業を極めて簡単
に行うことができる。

【００１６】

【実施例】以下、この発明の一実施例を図１〜図４に基
づいて説明する。

【００１７】図１はカセットステーション１に固定され
た薄型基板用カセットの位置決め装置の平面図を示し、
図２はその正面断面図を示し、図３はその側面断面図を
示すものである。

【００１８】カセットステーション１に架台２が固定さ
れていて、架台２の４隅に位置して８個のボール台３が
各々２個づつ並設されている。このボール台３は円筒状
の柱の上部にボール体が転動可能に配設され、下部には
ねじ部が螺設される構成になっている。

【００１９】また、架台２にはカセット１０の２面が位
置決めされるようにストッパー４が架台２に３か所取り
付けられ、カセット１０がストッパー４に押圧されるよ
うに、油圧又は空圧により駆動されるクランパー５が架
台２に１か所取り付けられている。

【００２０】６はカセットベースであり、架台２の両側
に１枚づつ各々４個のボール台３、３、３、３の上を転
動可能に配設される。各々のカセットベース６、６の裏
側には図３、に示すように、各々２個づつ併設された４
個のボール台の間に位置するように３本のバネ鋼製針金
７が、図４のように一端を４角状の補助板を介してカセ
ットベース６に、他端を架台２に取り付けられた受けね
じ８に固着される。

【００２１】なお、バネ鋼針金７は可撓性で細長い丸状
に形成され、架台２からカセットベース６に延設する方
向に対して直角方向に付勢力を有している。そのため、
カセットベース６に負荷がかかり、カセットベース６が
ボール台３上を滑動後、無負荷になると、カセットベー
ス６はもとの位置に復帰するように、バネ鋼針金７が働
く。

【００２２】なお上記針金７は、一端を直接カセットベ
ース６に、他端を直接架台２に固着するようにしても良
い。

【００２３】次に、上記のように構成された薄型基板用
カセットの位置決め装置の位置決め手順に付いて説明す
る。

【００２４】カセット１０には多数の薄型基板が収納さ
れている。このカセット１０を、離れている２枚のカセ
ットベース６上のほぼ中央に載置する。カセットベース
６は前述のバネ鋼針金７によって、設計上に設定された
位置に復帰されているため、カセットベース６と架台２
との間にはある程度の隙間（この場合、例えば１２ｍ
ｍ）を有することになる。カセットベース上にあるカセ
ット１０を手によって押すと、カセットベース６がボー
ル台３上を滑動し、カセットの２面がストッパー４に当
接するまで移動することになる。なお、この移動量はカ
セットベース６と架台２の隙間の範囲内に入るように設
計されている。

【００２５】カセット１０が位置決めされると、クラン
パー５が作動され、カセット１０をクランプする。

【００２６】そして、新たなカセットに交換する時、カ
セットが架台から取りはずされると、カセットベースは
自動的に定位置に復帰される。

【００２７】このように、バネ鋼製針金の採用により、
カセットベースの調整が不必要になるとともに、シンプ
ルになりコスト低減も役立つことができる。

【００２８】なお、バネ鋼針金の代わりに、図５のよう
に、架台２からカセットベース６に延設する方向に対し
て直角方向に付勢力を有するために、架台側にボルト７
０を下側から上方に突設するように取り付け、カセット
ベースに止めねじ７１を下側に突設するように螺着し、
ボルト７０と止めねじ７１の両突設部に１本のコイルバ
ネ７２を遊嵌するようにしても良い。

【００２９】また、この場合、ボルト７０及び止めねじ
７１の代わりに剛性のピンを使用しても良い。

【００３０】さらに、前記弾性部材が横方向に弾性を有
する板状のゴムであっても良い。この場合、図６のよう
に、板状のゴム８０の上下両端に薄い鉄板８１、８２を
張りつけ、上側の鉄板８１をカセットベース６に取り付
け、下側の鉄板８２を架台２に取り付けるようにすれば
良い。

【００３１】以上のように、弾性部材は、架台からカセ
ットベースに延設する方向に対して直角方向に付勢力を
有するものであれば何でも良い。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による１実施例の薄型基板用カセットの
位置決め装置の平面図

【図２】本発明による１実施例の薄型基板用カセットの
位置決め装置の正面断面図

【図３】本発明による１実施例の薄型基板用カセットの
位置決め装置の側面断面図

【図４】バネ鋼製針金の組み付け状態を示す詳細図

【図５】弾性部材の別の実施例

【図６】弾性部材の別の実施例

【図７】従来の薄型基板用カセットの位置決め装置の平
面図

【図８】従来の薄型基板用カセットの位置決め装置の正
面図

【図９】従来の調整用のバネの組付け状態を示す詳細図

【符号の説明】

１…カセットステーション ２…架台 ３…ボール台 ４…ストッパー ５…クランパー ６…カセットベース ７…バネ鋼製針金 ７０…ボルト ７１…止めねじ ７２…コイルバネ ８０…板状のゴム ８１…上側鉄板 ８２…下側鉄板

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 カセットステーションを有する薄型基板
   搬送システムにおいて、薄型基板を収納するカセットが
   載置されるカセットベースと、前記カセットベースを滑
   動可能にさせるカセットベース滑動手段と、前記カセッ
   トの位置決めをするカセット位置決め手段と、前記カセ
   ットを固定するクランパー手段と、前記カセットベース
   を定位置に復帰する弾性手段とを有する薄型基板用カセ
   ットの位置決め装置であって、前記弾性手段が、前記カ
   セットベースに一端が固着され他端が前記カセットステ
   ーションの架台に固着され、前記架台からカセットベー
   スに延設する方向に対して直角方向に付勢力を有する弾
   性部材を有することを特徴とする薄型基板用カセットの
   位置決め装置。
2. 【請求項２】 前記弾性部材がバネ鋼製針金であること
   を特徴とする請求項１記載の薄型基板用カセットの位置
   決め装置。