KR960039174A - 연마장치 및 그 보정방법 - Google Patents

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요시아키 고무로
슈조 사토
히데아키 하야가와
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이데이 노부유키
소니 가부시기가이샤
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Abstract

고스루풋으로 또한 피처리기판의 기판면내에서의 균일성 및 평탄성을 향사시킬 수 있는 연마장치를 제공한다. 연마헤드(4)로 지지한 피처리기판(6)을 가압부에 의해 연마가공압을 가지고 연마플레이트상의 패드면에 압접함에 있어서, 그 패드면에 대한 피처리기판(6)의 면내접촉압을 에러어마다 조정가능한 접촉압조정기구로서, 헤드상면에 부착된 가이드부재(12)와, 가이드부재(12)에 이동가능하게 계합된 중랑부하체(13)와, 가이드부재(12)에 중량부하체(13)를 고정하는 클램프수단을 구비하고 있다.

Description

연마장치 및 그 보장방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 관한 연마장치의 제1 실시예를 설명하는 도면.

Claims (6)

  1. 상면에 연마패드가 배설된 연마플레이트와, 이 연마플레이트사의 패드면에 대향하여 배치되고 또한 그 대향면측에서 피처리기판을 지지하는 연마헤드와, 이 연마헤드에 연마가공압을 부여하는 가압부와를 구비하고, 상기 연마헤드로 지지한 피처리기판을 상기 가압부에 의한 연마가공압을 가지고 상기 연마플레이트상의 패드면에 압접하면서 연마처리를 행하는 연마장치에 있어서, 상기 연마플레이트상의 패드면에 대한 사기 피처리기판의 면내접촉압을 에리어마다 조정가능한 접촉압조정기구를 구비한 것을 특징으로 하는 연마장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 접촉압조정기구는 상기 연마헤드의 반경방향에 따라서 헤드상면에 부착된 가이드부제와, 이 가이드부재에 이동가능하게 계합된 중향부하체와, 상기 가이드부재에 상기 중량부하체를 고정하는 클램프수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 연마장치.
  3. 상면에 연마패드가 배설된 연마플레이트와, 이 연마플레이트상의 패드면에 대향하여 배치되고 또한 그 대향면측에서 피처리기판을 지지하는 복수개의 연마헤드와를 구비하고, 상기 연마헤드로 지지한 피처리기판을 상기 연마플레이트상의 패드면에 압접하면서 연마처리를 행하는 연마장치에 있어서, 상기 연마헤드마다 패드면날세우기용의 드레서가 배설되어 잇는 것을 특징으로 하는 연마장치.
  4. 상면에 연마패드가 배설된 연마플레이트와, 이 연마플레이트상의 패드면에 대향하여 배치되고 또한 그 대향면측에서 피처리기판을 지지하는 연마헤드와를 구비하고, 상기 연마헤드로 지지한 피처리기판을 상기 연마플레이트상의 패드면에 압접하면서 연마처리를 행하는 연마장치에 있어서, 상기 연마플레이트의 반경방향에 따라서 이동하는 이동체와, 상기 이동체에 센서부착구를 통하여 장착되고, 상기 이동체의 이동량에 따른 상기 연마플레이트상의 패드면의 형상변화를 검출한는 변위센서와 를 구비하는 것을 특징으로 하는 연마장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 변위센서가 비접촉식 센서인 것을 특징으로 하는 연마장치.
  6. 상면에 연마패드가 배설된 연마플레이트와, 이 연마플레이트상의 패드면에 대향하여 배치되고 또한 그 대향면측에 부착된 기판흡착필름을 개재하여 피처리기판을 지지하는 연마헤드와, 상기 연마플레이트와 상기 연마헤드를 회전구동하는 구동수단과를 구비하고, 상기 연마헤드로 지지한 피처리기판을 상기 연마플레이트상의 패드면에 압접하면서 연마처리를 행하는 연마장치에 있어서, 상기 연마플레이트와 상기 연마헤드를 각각 회전시킨 상태에서 상기 기판흡착필름을 상기 연마플레이트상의 패드면에 압접하여 필름면의 맞춤을 행하는 것을 특징으로 하는 연마장치의 보정방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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