JP3215274B2 - 移動ステージ装置及びその組み立て製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハ等を載置
してこれを位置合わせのために例えばＸＹ方向へ移動さ
せる移動ステージ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体集積回路の製造工程にあ
っては、ウエハ上に多数形成したＩＣチップを最終的に
チップ毎に切断して樹脂等によりパッケージングする前
に、個々のＩＣチップが適正な電気的特性を有するか否
かをプローブ装置を用いて検査するようになっている。

【０００３】プローブ装置によるＩＣチップの検査は、
被検査体である半導体ウエハを、Ｘ・Ｙ・Ｚ軸方向へ移
動可能になされると共にＺ軸のまわり方向（θ方向）へ
回転可能になされたステージ上に設け、プローブカード
のプローブ針を各ＩＣチップの電極パッドに接触させて
検査用信号を流すことにより行われる。

【０００４】そして、１つのＩＣチップの検査が終了す
ると、ステージを次の検査ＩＣまで歩進させ、上述と同
様に検査を行う。これにより、パッケージングする前に
不良チップを拾い出すことができ、また、歩留まりが悪
い場合には前工程にその旨がフィードバックされる。

【０００５】ここで従来のプローブ装置及びこれに用い
た移動ステージ装置について説明する。図７は従来のプ
ローブ装置を示す斜視図である。図示するようにプリン
ト基板により形成されたリング状のプローブカード２に
は、ＩＣチップのパッド配列に対応させて多数のプロー
ブ針４が植設されており、この下方には、載置台６の上
面に載置固定された半導体ウエハＷが設けられる。

【０００６】尚、このプローブカードは図示しないテス
トヘッド側に接続されている。上記載置台６は、ウエハ
をＸ、Ｙ、Ｚ方向へ移動可能とすると共にθ方向へも回
転可能とする必要から、そのような動作が可能な移動ス
テージ装置６上に設けられる。

【０００７】この移動ステージ装置８は、固定デスク１
０上に、合成ゴムのような板状の振動防止材１２を介し
て取り付けたステージベース１４を有しており、このス
テージベース１４の上面には例えばＹ方向に延びる一対
の凸状のレール取付台１６が形成されており、このレー
ル取付台１６の上面に沿ってＹ方向ガイドレール１８が
取り付けられている。

【０００８】このＹ方向ガイドレール１８間には、Ｙス
テージ２０がＹ方向へ移動可能に嵌め込まれており、こ
のＹステージ２０はボールネジを備えたＹモータ２２に
より移動される。Ｙステージ２０の上面には、Ｙ方向と
直交するＸ方向へ延びる一対のＸ方向ガイドレール２４
が設けられており、このＸ方向ガイドレール２４間には
Ｘステージ２６がＸ方向へ移動可能に嵌め込まれてい
る。このＸステージ２６は、ボールネジ２８を備えたＸ
モータ（図示せず）により移動される。

【０００９】このＸステージ２６の上面には、図示しな
いＺ移動機構によりＺ方向すなわち上下方向へ移動可能
になされたＺステージ３０が設けられ、更にこのＺステ
ージ３０と上記載置台６との接合部には、Ｚステージ３
０に対して載置台６を回転させるθ移動機構３２が設け
られる。従って、各ステージを移動させることにより、
載置台６上のウエハＷをＸ、Ｙ、Ｚ、θ方向へ移動可能
としている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、半導体デバ
イスの高集積化、線幅の微細化に伴って、パッド幅及び
パッド間隔も非常に小さくなっており、従って、ウエハ
Ｗの位置合わせ精度は極めて高くしなければならない。
移動ステージ装置８を構成する各構成要素、特に装置自
体の荷重を支持する固定デスク１０やステージベース１
４は位置合わせ精度を上げるために比較的剛性が高くな
されており、歪等が生じ難くなっている。

【００１１】更に、各ガイドレール１８、２４の上面
は、取り付け前に予め高い精度で平坦度が出るように研
磨処理されており、特に上部構造体の荷重を集中的に受
けるＹ方向ガイドレール１８のレール取付台１６の上面
であるレール取付面１６Ａも高い平坦性を出すために予
め研磨処理されており、このレール取付面１６Ａの僅か
な凹凸がその上部構造に与える影響を未然に防止するよ
うになっている。

【００１２】そして、このように精度良く研磨処理され
た各部材は、例えば図８に示すように組み立てられる。
まず、固定デスク１０上に、上述のように予め精度良く
仕上げ処理したステージベース１４を、振動防止材１２
を介してボルト等により取り付け固定し、このベース１
４の予め高い平坦度で研磨処理したレール取付面１６Ａ
にＹ方向ガイドレール１８を取り付けるようになってい
る。そして、その後、Ｙステージ２０やＸステージ２６
等の上部構造物を順次組み立てている。

【００１３】ところで、この装置全体の大きさは縦横そ
れぞれ５００ｍｍ〜１０００ｍｍもあり、固定デスク１
０はパイプ材や角材により組み立てられて高い剛性を有
するといえども上部構造物を設置した時にその重量でデ
スクの横桁等が僅かに撓んで歪むことは避けることはで
きない。

【００１４】このデスク１０の歪を防止するために支柱
等を多く設けることも考えられるが、このデスク１０内
の空間部には装置の動作に必要な各種の電装品等を収容
する必要から多数の支柱を設けることもできず、また、
支柱等の梁の厚さ等も制限されてしまう。

【００１５】また、固定デスク１０の上部に設けられる
ステージベース１４は、高い剛性を維持するために厚さ
が例えば７０ｍｍ程度になされているが、それ自体の重
量により僅かな量、例えば数μｍ程度の撓みが発生する
ことは避けることができない。

【００１６】更には、前述のように個々の構成部材の仕
上げ精度を高くしても、これらを最終的にボルト等によ
り組み立てることにより、組み立てによる変形も発生す
る。また、この組み立てによる変形は、固定デスク１０
とステージベース１４との間に合成ゴム等よりなる振動
防止材１２を介設したことにより助長されてしまう。

【００１７】このように、個々の構成部材は、誤差数μ
ｍ程度の高い精度で仕上げても、組み立て後においては
上記した誤差原因が相乗して作用し、数１００μｍもの
大きな誤差となってしまう。

【００１８】そのために、高い精度の平坦度で予め仕上
げられたレール取付面１６Ａには、ステージベース１４
の組み付け後においては、上述したように数１００μｍ
程度の大きさの撓みやねじれが発生し、この取付面１６
Ａに取り付けるガイドレール１８も取付面の影響を受け
て同様な変形を受けてしまう。

【００１９】この数１００μｍ程度の変形量は、視覚的
に見れば僅かであるが、前述のように高集積化及び微細
化が進んだＩＣチップに対しては大きな変形量となり、
適正な位置合わせができなくなる恐れがあった。

【００２０】本発明は、以上のような問題点に着目し、
これを有効に解決すべく創案されたものである。本発明
の目的はガイドレールの平坦度を大幅に改善することの
できる移動ステージ装置及びその組み立て製造方法を提
供することにある。

【００２１】

【課題を解決するための手段】請求項１に規定する第１
の発明は、固定デスク上に、上面にレール取付台を有す
るステージベースを取り付け、前記レール取付台のレー
ル取付面にガイドレールを設け、このガイドレールに走
行移動可能に移動ステージ部を設けるようにした移動ス
テージ装置において、前記レール取付台のレール取付面
は、前記固定デスクと前記ステージベースとを取り付け
固定した後に研磨された、高い平坦性を有するレール取
付面であるように構成したものである。

【００２２】請求項５に規定する第２の発明は、固定デ
スク上に、上面にレール取付台を有するステージベース
を取り付け、前記レール取付台のレール取付面にガイド
レールを設け、このガイドレールに走行移動可能に移動
ステージ部を設けるようにした移動ステージ装置の組み
立て製造方法において、前記固定デスクと前記ステージ
ベースとを組み立て固定した後に、前記レール取付台の
レール取付面を研磨してその平坦性を高めるように構成
したものである。

【００２３】

【作用】請求項１及び５に規定する第１及び第２の発明
によれば、固定デスクとステージベースとを取り付け固
定し、その後、レール取付台のレール取付面を研磨して
高い平坦性を出すようにしたので、固定デスクやステー
ジベース自体の変形や歪、或いはこれらの組み立てによ
り発生した組み立て変形等によりレール取付面に変形や
歪が生じてもこの変形表面を平坦に精度良く研磨するた
め、ここに取り付けるガイドレールが変形や歪の影響を
受けることがない。従って、このガイドレールに沿って
走行移動する移動ステージの精度の高い位置合わせを行
うことが可能となる。

【００２４】特に、固定デスクやステージベースをそれ
ぞれ剛性の高い鋳物より構成することにより、その変形
や歪を一層少なくすることができ、より高精度の位置合
わせを行うことができる。

【００２５】また、固定デスクとステージベースとガイ
ドレールをまず強固に取り付け固定し、その後にガイド
レールの摺動面を研磨して高い平坦性を出すようにすれ
ば、固定デスクやステージベース自体の変形や歪、或い
はこれの組み立てにより発生した組み立て変形等により
ガイドレールの摺動面に変形や歪が生じても、この変形
摺動面は平坦に精度良く研磨される。従って、このガイ
ドレールの摺動面に接触しつつ走行移動する移動ステー
ジの精度の高い位置合わせを行うことができる。

【００２６】

【実施例】以下に、本発明に係る移動ステージ装置及び
その組み立て製造方法の一実施例を添付図面に基づいて
詳述する。図１はプローブ装置に組み込まれた本発明に
係る移動ステージ装置を示す斜視図、図２はレール取付
台とガイドレールの取り付け状態を示す斜視図、図３は
ガイドレールを示す断面図、図４は固定デスクとステー
ジベースとの取り付け状態を示す側面図、図５は図１に
示す移動ステージ装置の組み立て工程を説明するための
工程図である。尚、従来装置と同一部分については同一
符号を付す。

【００２７】まず、本発明の移動ステージ装置３４を組
み込んだプローブ装置の全体を説明すると、このプロー
ブ装置はプリント基板により形成されたリング状のプロ
ーブカード２を有しており、このカード２には、ＩＣチ
ップのパッド配列に対応させて配置した多数のプローブ
針４が植設されている。このプローブカードは、起倒自
在になされたテストヘッド（図示せず）に取り付け固定
されている。

【００２８】プローブカード２の下方には、円板状の載
置台６が本発明に係る移動ステージ装置３４上に取り付
けられており、この載置台６上に被検査体としての半導
体ウエハＷが載置保持される。

【００２９】この移動ステージ装置３４は、縦方向及び
横方向に延びる複数のフレーム枠を箱状に接合して成る
固定デスク３６を有しており、この固定デスク３６の縦
横の長さは例えば５００ｍｍ〜１０００ｍｍ程度の比較
的長い寸法となっている。この固定デスク３６は、その
剛性を高くして変形を抑制するために鋳物により一体成
形するのが好ましい。

【００３０】この固定デスク３６の４つの角部の下面に
は、ここに螺合されて上下方向へ移動可能になされたネ
ジ３８とこの下端に取り付けた円板状の座金４０よりな
る高さ調整部材４２が設けられており、角部の高さ調整
を個別に行うようになっている。また、この座金４０の
下面には、例えば合成ゴムの如き弾発性を有する振動防
止材４４が貼り付けられており、床面の不要な振動を吸
収するようになっている。この固定デスク３６の上面
は、これに取り付けられる上部構造物の変形や歪を抑制
するために、平坦度が高く仕上げられている。

【００３１】この固定デスク３６の上面には、例えば厚
さが７０ｍｍ程度のステージベース４４が多数のボルト
４６により上記固定デスク３６に強固に固定されてい
る。このステージベース４４の上面には、図４にも示す
ように所定の間隔を隔てて平行に配列された一対の凸状
のレール取付台４８が設けられている。このレール取付
台４８の上面のレール取付面４８Ａの一側には、水平位
置規制凸部４８Ｂが設けられており、ガイドレール取付
時にその横方向への位置規制を行うようになっている。
レール取付台４８を含むステージベース４４は、前述と
同様にその剛性を高くして変形を抑制するために鋳物に
より一体成形するのが好ましい。

【００３２】上記レール取付台４８のレール取付面４８
Ａには、予め精度の高い平坦度となるように仕上げられ
たガイドレール、本実施例においては、Ｙ方向ガイドレ
ール１８が設けられるが、このガイドレール１８はこの
下部のレール取付面４８Ａの表面形状から大きく影響を
受けることから、レール取付面４８Ａは平坦度が比較的
高くなるように予め仕上げられている。本発明において
は、後述するように、固定デスク３６とステージベース
４４とを組み立て固定した後に上記レール取付面４８Ａ
の精密研磨加工を行ってその平坦度を高くしている。そ
して、このガイドレール１８上に移動ステージ部５０が
走行可能に取り付けられる。

【００３３】この移動ステージ部５０は、Ｙ方向へ移動
するＹステージ２０と水平面内においてＹ方向に直交す
るＸ方向へ移動するＸステージ２６と、Ｘ・Ｙ方向に直
交するＺ方向（垂直方向）へ移動するＺステージ３０と
により主に構成される。

【００３４】一対のＹ方向ガイドレール１８には、上記
Ｙステージ２０が跨がるようにして取り付けられ、レー
ル長さ方向へ走行可能になっている。具体的には、図２
及び図３（Ａ）に示すように一本のガイドレール１８に
２つずつで計４個の断面コ字状の移動体５２を跨がらせ
て設けており、この内側とガイドレールの側面である摺
動面１８Ａとの間でボール５４を転動させつつ走行させ
るようになっている。そして、この４つの移動体５２を
ステージ本体の下面側に取り付けて、ステージ全体を移
動し得るようになっている。

【００３５】この移動体５２の形状は図３（Ａ）に示す
構造に限定されず、遊び等がなく精度良く移動できるも
のであればどのようなものでもよく、例えば図３（Ｂ）
に示すようにガイドレール１８の左右のそれぞれの摺動
面１８Ａ、１８Ａを凸状に形成し、この部分に上下一対
のボール５４、５４を転動自在に介在させるようにした
構造でもよい。

【００３６】また、ステージベース１４の上面の縁部に
は、Ｙモータ２２とこれよりＹ方向ガイドレール１８と
平行に延びるボールネジ５６よりなるＹ方向駆動部５８
が設けられており、上記ボールネジ５６をＹステージ２
０に螺合させてこれを回転駆動することによりＹステー
ジ２０自体をＹ方向ガイドレール１８に案内させつつ移
動するようになっている。

【００３７】上記Ｙステージ２０の上面には、Ｘ方向に
延びる一対のＸ方向ガイドレール２４、２４が平行に設
けられており、このガイドレール２４、２４間には、上
述した図３で示したと同様の構造の移動体（図示せず）
を有するＸステージ２６が跨がって移動可能に設けられ
る。

【００３８】そして、Ｙステージ２０の上面の縁部に
は、Ｘモータ６０とこれよりＸ方向ガイドレール２４と
平行に延びるボールネジ６２よりなるＸ方向駆動部６４
が設けられており、このボールネジ６２をＸステージ２
６に螺合させてこれを回転駆動することによりＸステー
ジ２６自体をＸ方向ガイドレール２４に案内させつつ移
動するようになっている。

【００３９】更に、このＸステージ２６の上面には、取
付台６６を介してＺステージ２０が設けられており、こ
のＺステージ２０は図示しないＺ方向駆動部により上下
方向へ昇降可能になされている。また、このＺステージ
３０とこの上に回転可能に設けられる前記載置台６との
接合部には、Ｚステージ３０に対して上記載置台６を回
転させるθ移動機構３２が設けられている。従って、各
ステージ２０、２６、３０及び載置台６を移動させるこ
とにより載置台６上のウエハＷをＸ・Ｙ・Ｚ・θ方向へ
移動可能としている。尚、６５はこの装置全体を床上に
移動可能とするキャスタである。

【００４０】次に、このように全体が構成される移動ス
テージ装置の組み立て工程を図５も参照しつつ説明す
る。まず、下部構造体である固定デスク３６やステージ
ベース４４を、それぞれ例えば鋳物により成形してお
き、固定デスク３６の上面部及びステージベース４４の
レール取付台４８のレール取付面４８Ａを予め比較的精
度良く研磨加工しておき、平坦度を高くしておく。

【００４１】次に、上記のように個別に形成した固定デ
スク３６とステージベース４４を、図５（Ａ）に示すよ
うにステージベース４４をデスク上に乗せて、多数のボ
ルト４６によりその縁部を締め付け固定し、これらを強
固に一体的に結合する。この場合、固定デスク３６やス
テージベース４４を予め精度良く加工したとしても、ス
テージベース４４の自重や両部材の締め付け時の誤差等
に起因してステージベース４４のレール取付台４８Ａ
が、図５（Ｂ）に示すようにμｍのオーダで僅かに変形
したり歪が生じたりすることは避けられない。図５
（Ｂ）においては理解を容易にするためにレール取付面
４８Ａの変形量を誇張して記載している。

【００４２】そこで、レール取付面４８Ａのこの変形量
や歪を取るために、本発明においてはレール取付面４８
Ａを研磨機（図示せず）の砥石６８でもって研磨を行
い、高い平坦度が出るように仕上げ加工を行う。このよ
うに、組み付け時のずれや自重による撓み等によってレ
ール取付面４８Ａが変形したり、これに歪が生じても、
研磨加工によって高い平坦性を確保することが可能とな
る。

【００４３】そして、このレール取付面４８Ａ上に、図
５（Ｃ）に示すように予め平坦度が高く仕上げられてい
るガイドレール、本実施例の場合にはＹ方向ガイドレー
ル１８を多数のボルト７０により締め付け固定する。こ
の場合、上述のようにレール取付面４８Ａは、平坦度が
高く仕上げられているのでこの上に設けられるＹ方向ガ
イドレール１８にはほとんど変形や歪が発生することが
ない。

【００４４】以後は、このレール１８にＹステージ２０
を設け、Ｙステージ２０上にＸステージ２６を設け、こ
のＸステージ２６上にＺステージ３０及び載置台６を載
置し、全体の構成を完成する。

【００４５】次に、以上のように構成された本実施例の
動作について説明する。まず、被検査体である半導体ウ
エハＷを載置台６上に載置保持させておき、これをＸ方
向へ移動させる場合にはＸ方向駆動部６４のＸモータ６
０をパルス制御で駆動することによりＸステージ２６が
Ｘ方向ガイドレール２４に案内されつつＸ方向へ移動す
る。

【００４６】ウエハＷをＹ方向へ移動させる場合には、
Ｙ方向駆動部５８のＹモータ２２をパルス制御で駆動す
ることによりＹステージ２０がＹ方向ガイドレール１８
に案内されつつＹ方向へ移動する。また、ウエハＷをＺ
方向へ移動させる場合には、Ｚステージ３０を上下動さ
せることによりウエハを上下動させる。更に、ウエハＷ
をＺ軸のまわりに回転させる場合にはθ移動機構３２を
駆動して載置台６をθ回転させる。このようにして、ウ
エハＷをＸ、Ｙ、Ｚ、θの各方向へ任意の位置に移動制
御することができる。

【００４７】この場合、自重や組み立て時の誤差、或い
は微小な凹凸の、組み立てによる累積等により変形や歪
の生ずる恐れのあるレール取付台４８のレール取付面４
８Ａを、前述のように下部構造物の組み立て後に研磨し
て高い平坦性を出してあるので、移動時に精度の高い位
置合わせを行うことが可能となる。従って、プローブカ
ード２のプローブ針４を各チップの電極パッドに正確に
接触させることが可能となる。

【００４８】レール取付面４８Ａの研磨の仕上げの程度
は、ウエハＷの要求される位置合わせ精度等に依存する
が、例えばレール取付面の凹凸或いは変形量の誤差が数
μｍ程度の範囲内に収まるように設定するのが好まし
い。またレール取付面４８Ａの形状は単なる平面構造な
ので研磨機の砥石６８による研磨作業も比較的容易に行
うことができる。

【００４９】更に、この装置を設置する床等に僅かな凹
凸が存在したとしても、固定デスク３６の４角に設けた
高さ調整部材４２を個別に高さ調整することにより、床
面の凹凸等を吸収することができ、装置全体を水平に維
持することができる。

【００５０】また、各高さ調整部材４２の下面には、例
えば厚さが１０ｍｍ程度の合成ゴム等よりなる振動防止
材４４を設けてあるので、床等を伝わって来る振動をこ
の防止材４４により吸収することができ、位置合わせ精
度に悪影響を与えることを防止することができる。

【００５１】固定デスク３６やステージベース４４は、
通常の鋼材により構成してもよいが、これらを鋼材より
も剛性の高い鋳物により構成することにより、全体の変
形や歪を一層抑制することが可能となる。

【００５２】尚、固定デスク３６とステージベース４４
を別体で作るのではなく、これらを鋳物により予め一体
成形することも考えられるが、これらの寸法はともにか
なり大きいため、鋳物による一体成形は大幅なコスト高
となり、現実的ではない。

【００５３】前述した発明においては、固定デスク３６
とステージベース４４とを一体的に組み付け固定した後
に、レール取付台４８のレール取付面４８Ａを研磨加工
して高い平坦度を得るようにしたが、このレール取付面
４８Ａやこの上に取り付けられることになるガイドレー
ル１８の表面を予め精度良く研磨加工したといえども微
視的に見れば依然として表面に凹凸が存在し、組み立て
によりこれらの凹凸が累積されたり、また、ガイドレー
ル１８の組み付け誤差等による変形等も非常に僅かでは
あるが発生する恐れがある。そこで、この問題点を解決
するためにガイドレールをレール取付面に取り付け固定
した後に、レールの摺動面を平坦に研磨するように構成
するのが好ましい。

【００５４】これを図６に基づいて説明する。すなわ
ち、固定デスク３６とステージベース４４とを前述のよ
うに一体的に結合した後に、図５（Ｂ）に示すようにレ
ール取付面４８Ａを研磨処理し、その後に、或いはこの
研磨処理を行うことなくガイドレール１８を図５（Ｃ）
に示すように多数のボルト７０により取り付け固定す
る。ここまでの工程は、先に説明した発明と略同じであ
る。この状態では前述したように微視的な凹凸の累積や
組み立て誤差等に起因して、図６に示すようにガイドレ
ール１８のボール摺動面７２に変形や歪等が発生するこ
とが考えられる。

【００５５】そこで、研磨機の砥石６８を用いて、この
ガイドレール１８の摺動面７２を研磨して高い平坦度を
出すようにする。この場合、図３に示すようにガイドレ
ール１８の側部表面によりボールと接触する摺動面が存
在すれば、その部分の研磨処理を行う。

【００５６】このようにガイドレール１８の取り付け後
に、この摺動面７２の研磨処理を行って平坦度を高める
ことにより、組み立て等によって生じた誤差を略完全に
吸収することができ、位置合わせ精度を一層高めること
ができる。

【００５７】尚、以上の各実施例にあっては、移動ステ
ージ装置を半導体ウエハのプローブ装置に用いた場合に
ついて説明したが、これに限定されず、測定物等の位置
合わせを必要とするどのような装置にも適用し得るのは
勿論である。

【００５８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の移動ステ
ージ装置及びその組み立て方法によれば次のように優れ
た作用効果を発揮することができる。固定デスクとステ
ージベースとを組み付けて一体的に固定した後にレール
取付台のレール取付面を研磨するようにしたので、自重
による撓みや組み立て時の変形や歪等が生じてもこれを
研磨により修正でき、高い平坦度を出すことかてきる。
従って、位置合わせ精度を大幅に改善することができ
る。固定デスクとステージベースとガイドレールを組み
付けて一体的に固定した後にガイドレールの摺動面を研
磨するようにしたので、ガイドレールの平坦度を一層高
くすることができ、従って、位置合わせ精度を更に改善
することができる。また、固定デスクとステージベース
を鋳物により構成することにより、全体の剛性を高める
ことができるの変形や歪の発生を抑制でき、位置合わせ
精度の向上に寄与することができる。更に、固定デスク
の下端部に振動防止材を設けることにより、床等を伝わ
ってくる振動を吸収することができ、その分、位置合わ
せ精度の向上に寄与することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】プローブ装置に組み込まれた本発明に係る移動
ステージ装置を示す斜視図である。

【図２】レール取付台とガイドレールの取り付け状態を
示す斜視図である。

【図３】ガイドレールを示す断面図である。

【図４】固定デスクとステージベースとの取り付け状態
を示す側面図である。

【図５】図１に示す移動ステージ装置の組み立て工程を
説明するための工程図である。

【図６】本発明の移動ステージ装置の組み立て工程を示
す工程図である。

【図７】プローブ装置に組み込まれた従来の移動ステー
ジ装置を示す斜視図である。

【図８】移動ステージ装置の従来の組み立て工程を説明
するための工程図である。

【符号の説明】

２ プローブカード ４ プローブ針 ６ 載置台 １８ Ｙ方向ガイドレール １８Ａ 摺動面 ２０ Ｙステージ ２４ Ｘ方向ガイドレール ２６ Ｘステージ ３０ Ｚステージ ３４ 移動ステージ装置 ３６ 固定デスク ４２ 高さ調整部材 ４４ ステージベース ４８ レール取付台 ４８Ａ レール取付面 ５０ 移動ステージ部 ６８ 砥石 ７２ 摺動面 Ｗ 半導体ウエハ（被検査体）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｂ２３Ｑ 1/02 Ｗ (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/68 B23P 19/00 301 B23P 19/00 302 B23Q 1/01 G01R 31/26 H01L 21/66

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 固定デスク上に、上面にレール取付台を
   有するステージベースを取り付け、前記レール取付台の
   レール取付面にガイドレールを設け、このガイドレール
   に走行移動可能に移動ステージ部を設けるようにした移
   動ステージ装置において、前記レール取付台のレール取
   付面は、前記固定デスクと前記ステージベースとを取り
   付け固定した後に研磨されていることを特徴とする移動
   ステージ装置。
2. 【請求項２】 前記移動ステージ部は、一水平方向に移
   動するＸステージと、この水平方向と直交する他の水平
   方向に移動するＹステージとよりなることを特徴とする
   請求項１記載の移動ステージ装置。
3. 【請求項３】 前記固定デスクと前記ステージベース
   は、それぞれ鋳物により形成されていることを特徴とす
   る請求項１または２記載の移動ステージ装置。
4. 【請求項４】 前記固定デスクの下端部には、振動を吸
   収する振動防止材を設けるように構成したことを特徴と
   する請求項１乃至３記載の移動ステージ装置。
5. 【請求項５】 固定デスク上に、上面にレール取付台を
   有するステージベースを取り付け、前記レール取付台の
   レール取付面にガイドレールを設け、このガイドレール
   に走行移動可能に移動ステージ部を設けるようにした移
   動ステージ装置の組み立て製造方法において、前記固定
   デスクと前記ステージベースとを組み立て固定した後
   に、前記レール取付台のレール取付面を、その平坦性を
   高めるように研磨したことを特徴とする移動ステージ装
   置の組み立て製造方法。