KR0125879Y1

KR0125879Y1 - 다이 본드용 다이 픽업 장치의 위치 조절 장치

Info

Publication number: KR0125879Y1
Application number: KR2019950013542U
Authority: KR
Inventors: 김용석
Original assignee: 문정환; 엘지반도체주식회사
Priority date: 1995-06-15
Filing date: 1995-06-15
Publication date: 1998-11-02
Also published as: KR970003232U

Abstract

본 고안은 다이 본드용 다이 픽업 장치의 위치 조절 장치에 관한 것으로, 본체(1)와 받침대(1a) 사이에 개재되는 위치조절장치의 몸체(20)와, 상기 픽업장치의 본체(1)의 하면에 일체로 형성됨과 아울러 상기 몸체(20)에 슬라이딩가능하게 설치되는 X축방향 위치조정용 슬라이드(21)와, 상기 픽업장치의 받침대(1a)와 일체로 형성됨과 아울러 상기 몸체(20)와 상대적으로 슬라이딩가능하게 설치되는 Y축방향 위치조정용 슬라이드(22)와, 상기 X축방향 위치조정용 슬라이드(21)를 이동시키는 X축조정볼트(23)와, 상기 Y축조정용 슬라이드(22)를 이동시키는 Y축조정볼트(24)와, 상기 X축조정볼트(23)를 지지하며 상기 몸체(20)와 일체로 형성되어 있는 X축조정볼트 지지대(25)와, 상기 Y축조정볼트(24)를 지지하며 상기 몸체(20)와 일체로 형성되어 있는 Y축조정볼트 지지대(26)와, 상기 X축방향 위치조정용 슬라이드(21)와 X축조정볼트(23), 상기 Y축방향 위치조정용 슬라이드(22)와 Y축조정볼트(24) 사이에 각각 개재되어 있는 탄성부재(27)(28)로 구성되어 정확하고 간편하게 이젝터 핀(4)의 위치조절이 이루어지도록 한 것이다.

Description

다이 본드용 다이 픽업 장치의 위치 조절 장치

제1도는 종래 다이 본드용 다이 픽업 장치의 구성을 보인 외관사시도.

제2도는 다이 본드용 다이 픽업 장치의 상세한 구성을 보인 단면도.

제3도는 본 고안에 의한 위치 조절 장치가 적용된 다이 본드용 다이 픽업 장치의 외관사시도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

20 : 몸체 21,22 : X,Y축방향 위치조절 슬라이드

23,24 : X,Y축조정볼트 25,26 : X,Y축조정볼트 지지대

27,28 : 탄성부재

본 고안은 반도체 장비인 다이 본드용 다이 픽업 장치에 관한 것으로, 특히 이젝트 핀의 위치를 사용자가 간편하게 조절하도록 X,Y축 조정용 슬라이드를 설치하여서 된 다이 본드용 다이 픽업 장치의 위치 조절 장치에 관한 것이다.

종래 다이 본드용 다이 픽업 장치는 제1도 및 제2도에 도시한 바와 같이, 받침대(1a)에 지지되는 본체(1)에 설치되며 반도체 다이(2)가 놓여지는 이젝터 핀(4)과, 상기 이젝터 핀(4)을 승강시키는 이젝터 핀 홀더(5)와, 상기 이젝터 핀 홀더(5)를 상하이동시키는 이센트릭 콘(Eccentric cone)(6)과, 상기 이센트릭 콘(6)의 회전구동원인 모터(7)로 구성되어 있다.

상기 이젝터 핀 홀더(5)에는 상기 이센트릭 콘(6)과 연결되도록 베어링(8)이 설치되어 이센트릭 콘(6)의 회전운동을 이젝터 핀 홀더(5)의 상하운동으로 전환시키도록 한다.

또한, 상기 이젝터 핀 홀더(5)의 하부에는 높이조정용 볼트(9)가 스프링(10)에 의해 지지되어 있다.

미설명 부호 3은 스틱키 포일, 11은 솔레노이드 밸브를 나타낸 것이다.

이와 같이 구성되어 있는 본 고안에 의한 다이 본드용 다이 픽업 장치는 모터(7)의 회전에 의해 이센트릭 콘(6)이 회전되어 베어링(8)을 통해 이센트릭 콘(6)의 회전구동력이 이젝터 핀 홀더(5)의 상하운동으로 전환되어 이젝터 핀(4)이 다이(2)의 중심부에 위치하면서 다이(2)를 스틱키 포일(STICKY FOIL)(3)에서 분류하도록 하고 있다.

한편, 상기한 바와 같이 구성되어 동작되는 다이 본드용 다이 픽업 장치에서는 이젝터 핀(4)이 다이(2)를 지지하는 위치가 정확하지 않을때, XY기울기 조정볼트(12)를 사용하여 본체(1)의 하면에 설치되는 받침판(1b)과 받침대(1a)의 위치를 조절함으로써 전체적인 기기의 기울기를 조정하여 이젝터 핀(4)의 위치를 조절하도록 하고 있는 바, 종래의 장치에서는 이러한 기울기의 조정으로 인한 위치조절이 어려워 다이 표면 위치에 명암상태가 고르지 못한 문제가 있고, 이러한 명암상태의 불균형으로 인해 점프 다이(JUMP DIE) 현상이 발생되며, X,Y축의 위치도를 조절하기 위하여 일일이 볼트를 조절해야 하기 때문에 작업상 불편한 문제가 있었다.

이와 같은 문제점에 착안하여 안출한 본 고안의 목적은 정확한 이젝터 핀의 위치 조절 작업을 정확하게 실시함과 아울러 간편하게 실시하려는데 있다.

이러한 본 고안의 목적을 달성하기 위하여, 픽업장치의 본체와 받침대 사이에 개재되는 몸체와, 상기 본체의 하면에 일체로 형성됨과 아울러 상기 몸체에 슬라이딩가능하게 설치되는 X축방향 위치조정용 슬라이드와, 상기 받침대와 일체로 형성됨과 아울러 상기 몸체와 상대적으로 슬라이딩가능하게 설치되는 Y축방향 위치조정용 슬라이드와, 상기 X축방향 위치조정용 슬라이드를 이동시키는 X축조정볼트와, 상기 Y축조정용 슬라이드를 이동시키는 Y축조정볼트와, 상기 X축조정볼트를 지지하며 상기 몸체와 일체로 형성되어 있는 X축조정볼트 지지대와, 상기 Y축조정볼트를 지지하며 상기 몸체와 일체로 형성되어 있는 Y축조정볼트 지지대와, 상기 X축방향 위치조정용 슬라이드와 X축조정볼트, 상기 Y축방향 위치조정용 슬라이드와 Y축조정볼트 사이에 각각 개재되어 있는 탄성부재로 구성함을 특징으로 하는 다이 본드용 다이 픽업 장치의 위치조절 장치가 제공된다.

이하, 상기한 바와 같은 본 고안을 첨부도면에 도시한 일실시예에 의거하여 보다 상세하게 설명한다.

첨부도면 제3도는 본 고안에 의한 다이 본드용 다이 픽업 장치의 위치조절장치에서 모터(7)와, 상기 모터(7)에 의해 회전되는 이센트릭 콘(6)과, 상기 이센트릭 콘(6)의 회전에 의해 상하운동되는 이젝터 핀 홀더(5)와, 상기 이센트릭 콘(6)과 이젝터 핀 홀더(5) 사이에서 회전구동력을 상하구동력으로 전환시키는 베어링(8)과, 상기 이젝터 핀 홀더(5)의 하부에 설치되는 핀 높이 조절 볼트(9) 및 핀 높이 조절 볼트의 하면을 지지하는 스프링(10)으로 구성되어 있는 다이 본드용 다이 픽업 장치의 구성은 종래와 동일하다.

여기서, 이젝터 핀(4)의 위치를 조절하는 위치조절장치는 본체(1)와 받침대(1a) 사이에 기재되는 위치조절장치의 몸체(20)와, 상기 픽업장치의 본체(1)의 하면에 일체로 형성됨과 아울러 상기 몸체(20)에 슬라이딩가능하게 설치되는 X축방향 위치조정용 슬라이드(21)와, 상기 픽업장치의 받침대(1a)와 일체로 형성됨과 아울러 상기 몸체(20)와 상대적으로 슬라이딩가능하게 설치되는 Y축방향 위치조정용 슬라이드(22)와, 상기 X축방향 위치조정용 슬라이드(21)를 이동시키는 X축조정볼트(23)와, 상기 Y축조정용 슬라이드(22)를 이동시키는 Y축조정볼트(24)와, 상기 X축조정볼트(23)를 지지하며 상기 몸체(20)와 일체로 형성되어 있는 X축조정볼트 지지대(25)와, 상기 Y축조정볼트(24)를 지지하며 상기 몸체(20)와 일체로 형성되어 있는 Y축조정볼트 지지대(26)와, 상기 X축방향 위치조정용 슬라이드(21)와 X축조정볼트(23), 상기 Y축방향 위치조정용 슬라이드(22)와 Y축조정볼트(24) 사이에 각각 개재되어 있는 탄성부재(27)(28)로 구성되어 있다.

이와 같이 구성되어 있는 본 고안에 의한 다이 본드용 다이 픽업 장치의 위치조절장치에 의한 이젝터 핀의 위치조절 동작을 설명한다.

먼저, X축방향으로 이젝터 핀(4)을 이동시키고자 하면, X축조정볼트(23)를 회전시켜 X축방향 위치조정용 슬라이드(21)를 원하는 위치조정거리만큼 이동시킴으로써 X축방향 위치조정용 슬라이드(21)와 일체로 된 본체(1)가 이동되어 이젝터 핀 홀더(5)가 이동되고, 홀더(5)에 의해 고정되어 있는 이젝터 핀(4)의 위치가 조절된다. X축의 (-)방향으로의 위치조절은 X축조정볼트(23)를 반대방향으로 회전시킴으로써 탄성부재(27)의 탄성복원력이 작용되면서 동시에 X축방향 위치조정용 슬라이드(21)이 이동되어 이루어진다.

또한, Y축방향으로 이젝터 핀(4)의 위치를 조절하고자 하면, Y축조정볼트(24)를 회전시켜 주어 Y축방향 위치조정용 슬라이드(22)를 이동시켜주는데, 이때 상기 Y축방향 위치조정용 슬라이드(22)는 받침대(1a)와 일체로 형성되어 있기 때문에 움직이지 않게 되고, Y축조정볼트(24)를 지지하고 있는 Y축조정볼트 지지대(26)가 이동되면서 몸체(20)가 이동되면서 몸체(20)에 결합되어 있는 X축방향 위치조정용 슬라이드(21)이 Y축방향으로 이동되고, X축방향 위치조정용 슬라이드(21)와 일체로 된 본체(1)가 이동되어 이젝터 핀(4)의 Y축방향의 위치가 조절된다. Y축의 (-)방향으로의 위치조절은 Y축조정볼트(24)를 반대방향으로 회전시킴으로써 탄성부재(27)의 탄성복원력이 작용되면서 상기의 원리에 의해 동시에 이루어지게 된다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안에 의한 이젝터 핀의 위치조절장치는 X축조정볼트 또는 Y축조정볼트를 사용하여 픽업장치의 위치를 X축 또는 Y축으로 슬라이딩 시킴으로써 정확한 이젝터 핀의 위치조절이 이루어지며, 그 조절방법도 간편하여 위치조절작업을 용이하게 실시할 수 있는 효과가 있다.

Claims

픽업장치의 본체와 받침대 사이에 개재되는 몸체와, 상기 본체의 하면에 일체로 형성됨과 아울러 상기 몸체에 슬라이딩가능하게 설치되는 X축방향 위치조정용 슬라이드와, 상기 받침대와 일체로 형성됨과 아울러 상기 몸체와 상대적으로 슬라이딩가능하게 설치되는 Y축방향 위치조정용 슬라이드와, 상기 X축방향 위치조정용 슬라이드를 이동시키는 X축조정볼트와, 상기 Y축조정용 슬라이드를 이동시키는 Y축조정볼트와, 상기 X축조정볼트를 지지하며 상기 몸체와 일체로 형성되어 있는 X축조정볼트 지지대와, 상기 Y축조정볼트를 지지하며 상기 몸체와 일체로 형성되어 있는 Y축조정볼트 지지대와, 상기 X축방향 위치조정용 슬라이드와 X축조정볼트, 상기 Y축방향 위치조정용 슬라이드와 Y축조정볼트 사이에 각각 개재되어 있는 탄성부재로 구성함을 특징으로 하는 다이 본드용 다이 픽업 장치의 위치조절 장치.