KR102178700B1 - 다이 이젝팅 장치 - Google Patents

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KR102178700B1
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이희철
이재경
강홍구
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명은, 후드 하우징 및 후드 하우징의 상부에 회전 가능하게 장착된 탑 플레이트와; 탑 플레이트를 통하여 수직 방향으로 이동 가능하고 탑 플레이트의 회전 시 탑 플레이트와 함께 회전되는 에어 이젝터를 포함함으로써, 웨이퍼에 배열된 다이들의 방향에 따라 에어 이젝터를 회전시켜 다이들의 방향과 에어 이젝터의 방향을 일치시킬 수 있는, 다이 이젝팅 장치를 제공한다.

Description

다이 이젝팅 장치 {DIE EJECTING APPARATUS}
본 발명의 실시예는 반도체 제조 공정에서 리드 프레임(lead frame), 인쇄회로기판 등의 기판 상에 다이들을 본딩하기 위하여 다이싱 테이프(dicing tape)로부터 다이들을 분리하는 다이 이젝팅 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자들은 일련의 공정들을 반복적으로 수행함으로써 웨이퍼(wafer) 상에 형성될 수 있다. 반도체 소자들이 형성된 웨이퍼는 다이싱 공정(dicing process)에 의하여 복수의 다이로 분할될 수 있고, 분할된 다이들은 다이 본딩 공정(die bonging process)에 의하여 기판 상에 본딩될 수 있다.
다이 본딩 공정을 수행하기 위한 장비는, 분할된 다이들을 픽업하여 웨이퍼로부터 분리하는 다이 픽업 모듈(die pick-up module), 그리고 픽업된 다이를 기판 상에 부착하는 다이 본딩 모듈을 포함할 수 있다.
다이 픽업 모듈은, 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼 스테이지(wafer stage), 웨이퍼 스테이지에 의하여 지지된 웨이퍼의 다이싱 테이프로부터 선택적으로 다이를 분리시키는 다이 이젝팅 장치, 그리고 다이 이젝팅 장치에 의하여 분리된 다이를 픽업하는 픽업 장치를 포함할 수 있다.
다이 이젝팅 장치는, 상부가 개방된 챔버(chamber)를 가진 이젝터(ejector), 상부에 이젝터가 수직 방향으로 삽입되는 개구가 형성되고 개구의 주위에 다이싱 테이프의 이면을 흡착하기 위한 흡착 구멍들이 형성된 후드(hood), 이젝터를 수직 방향으로 이동시키는 이젝터 구동유닛, 그리고, 챔버와 흡착 구멍들을 통하여 다이싱 테이프의 이면에 음압을 제공하는 음압 제공부 및 챔버를 통하여 다이싱 테이프의 이면에 양압을 제공하는 양압 제공부로 구성된 압력 조절 유닛을 포함할 수 있다. 이러한 다이 이젝팅 장치와 관련한 선행기술문헌으로는 대한민국 등록특허공보 제10-1190442호(2012.10.11)가 참조될 수 있다.
다이들은 웨이퍼 상에 다른 방향으로 배열되는 경우가 있다. 또한, 다이들은 종횡 비율이 서로 다를 수 있다. 이러한 경우에는, 다이를 다이 이젝팅 장치에 의하여 다이싱 테이프의 표면으로부터 분리시키는 이젝팅 단계에서 다이의 방향과 이젝터의 방향이 불일치(예를 들어, 다이는 가로방향, 이젝터의 상부 영역은 세로방향)하기 때문에, 다이가 손상되거나 다이가 픽업 장치에 의하여 픽업되지 않는 불량 등이 발생할 수 있다.
대한민국 등록특허공보 제10-1190442호(2012.10.11)
본 발명의 실시예는 웨이퍼 상에 배열된 다이들의 방향에 탄력적으로 대응하여 다이들을 분리할 수 있는 다이 이젝팅 장치를 제공하는 데 목적이 있다.
해결하고자 하는 과제는 이에 제한되지 않고, 언급되지 않은 기타 과제는 통상의 기술자라면 이하의 기재로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.
본 발명의 실시예에 따르면, 후드 하우징과; 상기 후드 하우징의 상부에 회전 가능하게 장착되고 개구를 가지며 상기 개구의 주위에 다이싱 테이프를 흡착하는 흡착 구멍들이 형성된 탑 플레이트와; 상기 다이싱 테이프 상의 다이를 상기 다이싱 테이프로부터 분리시키기 위하여 상기 개구에 수직 방향으로 삽입되고 양압 또는 음압을 제공 받는 상부 개방 구조의 챔버를 가진 이젝터와; 상기 탑 플레이트와 상기 이젝터의 관계에서 상기 이젝터의 수직 방향 이동은 허용하고 상기 이젝터가 상기 탑 플레이트와 함께 회전될 수 있게 상기 이젝터의 회전은 구속하는 가이드와; 상기 이젝터를 수직 방향으로 이동시키는 이젝터 구동유닛을 포함하는, 다이 이젝팅 장치가 제공될 수 있다.
상기 가이드는, 상기 개구의 내주를 따라 다각형 형상으로 형성된 제1 안내 면과; 상기 이젝터의 외주에 상기 제1 안내 면과 대응하도록 형성되어 상기 제1 안내 면과 면 접촉을 하는 제2 안내 면으로 구성될 수 있다.
또는, 상기 가이드는, 상기 개구의 내주와 상기 이젝터의 외주 중 어느 하나에 수직 방향으로 형성된 안내 홈과; 상기 개구의 내주와 상기 이젝터의 외주 중 나머지 하나에 상기 안내 홈을 따라 이동 가능하게 형성된 안내 돌기를 포함할 수 있다.
상기 탑 플레이트의 외주에는 볼 플런저들이 일정한 간격으로 장착되고, 상기 후드 하우징의 상부에는 상기 탑 플레이트가 삽입되는 단차가 형성되며, 상기 단차에는 상기 볼 플런저들의 볼이 삽입되는 리세스들이 형성될 수 있다.
상기 리세스들 사이에는 상기 리세스들을 연결하고 상기 탑 플레이트의 회전 시 상기 볼들의 이동을 안내하는 그루브들이 형성될 수 있다.
상기 이젝터 구동유닛은 상기 이젝터의 하부와 결합되는 헤드를 포함하고, 상기 이젝터와 상기 헤드는 자력에 의하여 서로 결합되도록 구성될 수 있다.
상기 탑 플레이트는 투명한 재질로 이루어지고, 상기 후드 하우징에는 상기 탑 플레이트를 통하여 상방으로 빛을 조사하는 조명 유닛이 내장될 수 있다.
상기 이젝터는 투명한 재질로 이루어지고 상기 다이에 비하여 작은 상부 영역을 가지도록 형성될 수 있다.
상기 조명 유닛의 하측에는 상기 조명 유닛으로부터의 빛을 상기 탑 플레이트 쪽으로 반사하는 반사 부재가 배치될 수 있다.
상기 조명 유닛은 링 형상의 LED 기판 및 상기 LED 기판에 배열된 LED들을 포함하며 상기 LED들이 상기 이젝터의 주위에 위치하도록 배치되고, 상기 반사 부재는 상기 이젝터를 지지하도록 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 다이 이젝팅 장치는 상기 탑 플레이트를 회전시키는 플레이트 구동 유닛을 더 포함할 수 있다.
예를 들어, 상기 플레이트 구동유닛은, 상기 후드 하우징에 장착된 회전 모터와; 상기 회전 모터의 회전력을 상기 탑 플레이트 또는 상기 이젝터에 전달하는 기어식 또는 벨트식 또는 체인식 동력 전달 기구를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 후드 하우징, 후드 하우징의 상부에 회전 가능하게 장착되고 개구 및 개구의 주위에 형성된 흡착 구멍들을 가진 탑 플레이트, 그리고 개구에 수직 방향으로 삽입되고 양압 또는 음압을 제공 받는 챔버를 가지며 탑 플레이트와 함께 회전되는 이젝터를 포함할 수 있다.
따라서, 탑 플레이트의 회전에 따라 이젝터에 형성된 챔버의 방향이 변경될 수 있고, 이로서 웨이퍼 상에 배열된 다이의 방향에 따라 챔버의 방향을 변경할 수 있다. 결과적으로, 다른 방향의 다이를 가진 웨이퍼에 대응하여 이젝팅 단계를 정확히 수행할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 다이 이젝팅 장치를 포함하는 다이 본딩 장비가 도시된 구성도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 다이 이젝팅 장치가 도시된 단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 다이 이젝팅 장치의 후드가 도시된 분해 단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 다이 이젝팅 장치가 도시된 평면도이다.
도 5 내지 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 다이 이젝팅 장치의 이젝팅 과정이 도시된 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 본 발명의 실시예를 설명하기 위하여 참조하는 도면에서 구성요소의 크기나 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예를 설명하는 데 사용되는 용어는 주로 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이므로 사용자, 운용자의 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 용어에 대해서는 본 명세서의 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 해석하는 것이 마땅하겠다.
도 1에는 본 발명의 실시예에 따른 다이 이젝팅 장치를 포함하는 다이 본딩 장비의 일부가 개략적으로 도시되어 있고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 다이 이젝팅 장치가 개략적으로 도시되어 있다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 다이 이젝팅 장치(100)는 반도체 소자를 제조하기 위한 다이 본딩 공정에서 다이(12)들로 구성된 웨이퍼(10)로부터 다이(12)들을 분리하는 데 사용될 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 다이 본딩 장비는, 다이싱 공정에 의하여 복수로 분할된 다이(12)들로 구성된 웨이퍼(10)를 지지하는 웨이퍼 스테이지(20), 웨이퍼 스테이지(20)에 의하여 지지된 웨이퍼(10)로부터 분할에 의하여 개별화된 다이(12)들을 선택적으로 분리시키는 다이 이젝팅 장치(100), 그리고 다이 이젝팅 장치(100)에 의하여 분리된 다이(12)를 픽업하는 픽업 장치(30)를 포함할 수 있다.
웨이퍼(10)는, 표면(상면)에 다이(12)들이 부착된 다이싱 테이프(14), 그리고 다이싱 테이프(14)가 장착된 원형 구조의 웨이퍼 링(wafer ring, 16)을 포함할 수 있다.
웨이퍼 스테이지(20)는, 수평 방향으로 이동 가능한 스테이지 본체(22), 스테이지 본체(22) 상에서 다이싱 테이프(14)의 가장자리 부분을 지지하는 확장 링(24), 그리고 웨이퍼 링(16)을 수직 방향으로 이동시켜 하강 시 확장 링(24)에 의하여 지지된 다이싱 테이프(14)를 확장시키는 클램프(clamp, 26)를 포함할 수 있다. 이러한 웨이퍼 스테이지(20)에 의하면, 다이싱 테이프(14)에 부착된 다이(12)들은 다이싱 테이프(14)가 확장된 때 서로 간의 간격이 확장될 수 있다.
픽업 장치(30)는, 다이(12)를 픽업하기 위한 피커(picker, 32), 그리고 피커(32)를 이동시키는 피커 구동유닛(34)을 포함할 수 있다. 피커(32)는 웨이퍼 스테이지(20)에 의하여 지지된 웨이퍼(10)의 상부에 배치될 수 있다. 피커 구동유닛(34)은 다이 이젝팅 장치(100)에 의하여 분리된 다이(12)의 픽업을 위하여 피커(32)를 수평 방향 및 수직 방향으로 이동시킬 수 있다.
도 1에서 도면부호 40은 웨이퍼 스테이지(20)에 의하여 지지된 웨이퍼(10)의 상부에서 다이 이젝팅 장치(100)에 의하여 분리할 다이(12)에 대한 이미지(image)를 획득하는 비전 유닛(vision unit)으로, 다이 본딩 장비는 비전 유닛(40)에 의하여 획득된 이미지를 이용하여 다이(12)에 대한 검사를 수행하는 비전 검사 장치를 더 포함할 수 있다.
다이 이젝팅 장치(100)는 웨이퍼 스테이지(20)의 하부에 배치될 수 있다. 다이 이젝팅 장치(100)와 비전 유닛(40)은 수직 방향으로 서로 대향하도록 배치될 수 있다. 스테이지 본체(22)는 다이 이젝팅 장치(100)와 비전 유닛(50) 사이에서 스테이지 구동유닛(도시되지 않음)에 의해 수평 방향으로 이동될 수 있다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 다이 이젝팅 장치(100)는, 다이(12)들을 상방으로 밀어 올리기 위한 이젝터(130), 이젝터(130)를 수용하는 원통 형태의 후드(110), 이젝터(130)를 수직 방향으로 이동시키기 위한 이젝터 구동유닛(160)을 포함할 수 있다. 또, 본 발명의 실시예에 따른 다이 이젝팅 장치(100)는 후드(110)의 하부에 결합된 원통 형태의 본체(150)를 더 포함할 수 있다.
이젝터(130)는 다이싱 테이프(14)에 부착된 다이(12)에 비하여 작은 상부 영역 및 상부가 개방된 챔버(132)를 가질 수 있다. 후드(110)는 이젝터(130)가 삽입되는 개구(113) 및 개구(113)의 주위에 형성된 흡착 구멍(114)들을 가질 수 있다.
이젝터 구동유닛(160)은, 본체(140)의 내부에서 이젝터(130)와 결합되는 헤드(head, 162), 그리고 구동원(170)으로부터의 동력을 헤드(162)에 전달하기 위한 구동축(164)을 포함할 수 있다. 구동원(170)은 모터일 수 있다. 구동축(164)은 모터(170)의 축에 연결된 캠 플레이트(cam plate, 168) 및 캠 플레이트(168) 상에 배치된 캠 팔로워(cam follower, 166)를 포함하는 전동수단을 통하여 모터(170)로부터 동력을 제공 받아 수직 방향으로 이동될 수 있다.
이젝터(130)는 다이(12)들 중 하나를 선택적으로 분리하기 위하여 다이(12) 중 하나를 상방으로 밀어 올릴 수 있다. 이젝터(130)의 하부에는 이젝터(130)를 하측에서 지지하며 이젝터 구동유닛(160)의 헤드(162)와 결합되는 베이스(base, 134)가 배치될 수 있다. 이젝터(130)와 베이스(134)는 서로 구조적으로 결합될 수 있다. 베이스(134)에는 영구자석(136)이 구비될 수 있고, 헤드(162)는 영구자석(136)의 자력에 의하여 베이스(134)와 결합될 수 있게 자성 물질로 이루어질 수 있다. 물론, 영구자석(136)은 헤드(162)에 구비되고, 베이스(134)는 자성 물질로 이루어질 수도 있다.
이젝터(130)는 후드(110)의 개구(113) 내에 위치될 수 있고 이젝터 구동유닛(160)에 의하여 후드(110)로부터 상방으로 돌출되도록 이동될 수 있다.
후드(110)는 후드 하우징(hood housing, 111)과 원형 형상의 탑 플레이트(top plate, 112)를 포함할 수 있다. 후드 하우징(111)의 하부에는 본체(150)가 결합될 수 있다. 탑 플레이트(112)는 중앙 부분에 개구(113)가 수직 방향으로 관통되고 개구(113)의 주위에 흡착 구멍(114)들이 관통될 수 있다. 흡착 구멍(114)들은 복수의 열과 행을 가지도록 배치될 수 있다.
후드 하우징(111)의 내벽에는 베이스(134)가 하방으로 이탈되는 것을 방지하는 스토퍼(stopper, 135)가 장착될 수 있다.
후드(110)의 구성이 도 3에 보다 구체적으로 도시되어 있다. 또한, 도 4에는 후드(110) 및 그 관련 구성을 위에서 본 상태가 도시되어 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 탑 플레이트(112)는 후드 하우징(111)에 회전 가능하게 장착될 수 있다. 후드 하우징(111)의 상부에는 탑 플레이트(112)가 삽입되는 단차(115)가 탑 플레이트(112)에 대응하는 형상으로 형성될 수 있다.
탑 플레이트(112)의 외주에는 볼 플런저(ball plunger, 120)들이 일정한 간격으로 장착될 수 있다. 단차(115)의 내측에는 볼 플런저(120)들을 구성하는 볼들이 각각 삽입되는 리세스(recess, 116)들이 구비될 수 있다.
예를 들어, 탑 플레이트(112)의 외주에는 2개 또는 4개의 볼 플런저(120)가 일정한 간격으로 장착될 수 있고, 단차(115)의 내측에는 볼 플런저(120)들의 볼들이 삽입되는 4개의 리세스(116)가 일정한 간격으로 형성될 수 있다. 즉, 탑 플레이트(112)는 볼 플런저(120)들과 리세스(116)들에 의하여 90도씩 회전될 수 있다. 물론, 리세스(116)들의 개수를 증가시켜 탑 플레이트(112)를 90도보다 작은 각도 단위로 회전시킬 수 있게 구성할 수도 있다.
도 2 및 도 4를 참조하면, 탑 플레이트(112)와 이젝터(130) 사이에는, 이젝터(130)의 수직 방향 이동은 허용하고 탑 플레이트(112)의 회전 시 이젝터(130)가 탑 플레이트(112)와 함께 회전될 수 있게 이젝터(130)의 회전은 구속하는 가이드(guide, 155)가 구비될 수 있다. 이젝터(130)는 베이스(134)와 헤드(162)가 자력으로 서로 결합되므로 탑 플레이트(112)의 회전 시 탑 플레이트(112)와 함께 자연스럽게 회전될 수 있다.
가이드(155)는, 개구(113)의 내주에 수직 방향으로 형성된 적어도 하나 이상의 안내 홈 및 이젝터의 외주에 안내 홈을 따라 이동 가능하게 형성된 안내 돌기를 포함함으로써, 이젝터(130)의 수직 방향 이동은 허용하고 이젝터(130)의 회전은 구속할 수 있다. 안내 홈과 안내 돌기의 적용 위치는 서로 바뀔 수도 있다.
또는, 가이드(155)는, 개구(113)의 내주를 따라 다각형 형상으로 형성된 제1 안내 면, 그리고 이젝터(130)의 외주에 제1 안내 면과 대응하도록 형성되어 제1 안내 면과 면 접촉을 하는 제2 안내 면으로 구성됨으로써, 이젝터(130)의 수직 방향 이동은 허용하고 이젝터(130)의 회전은 구속할 수도 있다.
이와 같은 가이드(155)에 의하면, 탑 플레이트(112)의 회전 시 이젝터(130)가 탑 플레이트(112)와 함께 정확히 회전(즉, 탑 플레이트와 이젝터 사이의 유격에 따른 탑 플레이트와 이젝터의 회전 각도 차이 최소화로 인하여 정확히 회전)되어 이젝터(130)의 챔버(132)의 방향이 변경되므로 웨이퍼(10) 상에 배열된 다이(12)의 방향에 따라 이젝터(130)를 회전시켜 다이(12)의 방향과 챔버(132)의 방향을 신속하고 편리하게 일치시킬 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 단차(115)의 내측에는 원형 링 형상으로 형성되고 리세스(116)들 사이를 연결하는 그루브(groove, 117)들이 구비될 수 있다. 그루브(117)들은 탑 플레이트(112)의 회전 시 볼 플런저(120)들의 볼들을 원주 방향으로 안내하기 위하여 사용될 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 탑 플레이트(112)의 상부의 가장자리 부분에는 탑 플레이트(112)를 회전시키기 위한 공구가 삽입되는 공구 삽입 홈(118)이 단수 또는 복수로 구비될 수 있다.
탑 플레이트(112)와 이젝터(130)는 광 투과 가능한 투명한 재질로 이루어질 수 있다. 후드(110)의 내부에는 탑 플레이트(112)를 통하여 상방으로 빛을 조사하는 제1 조명 유닛(140)과 제2 조명 유닛(145)이 배치될 수 있다.
제1 조명 유닛(140)은, 상면과 하면을 가진 링 형상의 제1 LED 기판 및 제1 LED 기판의 상면에 원주방향으로 배열된 제1 LED들을 포함할 수 있고, 제1 LED 기판의 하면이 후드 하우징(111)의 내벽을 따라 구비된 링 형상의 지지 부재(141)에 의하여 지지되어 제1 LED들이 이젝터(130)의 주위를 따라 배치될 수 있다. 제2 조명 유닛(145)은, 내면과 외면을 가진 링 형상의 제2 LED 기판 및 제2 LED 기판의 내면에 원주방향으로 배열된 제2 LED들을 포함할 수 있고, 제1 조명 유닛(140)의 상측에서 후드 하우징(111)의 내벽에 제2 LED 기판의 외면이 장착되어 제2 LED들이 이젝터(130)의 주위를 따라 배치될 수 있다.
제1 조명 유닛(140)은 제1 LED들이 제1 LED 기판의 상면에 배열되므로 직접 조명으로 기능할 수 있고, 제2 조명 유닛(145)은 제2 LED들이 제2 LED 기판의 내면에 배열되므로 간접 조명으로 기능할 수 있다. 이러한 제1 조명 유닛(140)과 제2 조명 유닛(145)은 비전 유닛(40)을 위한 백 라이트 유닛(back light unit)으로 사용될 수 있다. 제1 조명 유닛(140)과 제2 조명 유닛(145)에 의하면, 비전 유닛(40)을 통한 이미지 획득이 보다 용이해질 수 있다.
베이스(134)는 제1 조명 유닛(140)과 제2 조명 유닛(145)으로부터의 빛을 탑 플레이트(112) 쪽으로 반사하는 반사 부재로 기능하도록 구성될 수 있다. 반사 부재(134)에 의하면 광 효율을 향상시킬 수 있다.
도 1을 참조하면, 스테이지 구동유닛은 후속하여 다이싱 테이프(14)로부터 분리할 다이(12)가 다이 이젝팅 장치(100)의 상부에 위치하도록 웨이퍼 스테이지(20)를 수평 방향으로 이동시킬 수 있다. 이어서, 비전 유닛(40)은 제1 조명 유닛(140)과 제2 조명 유닛(145)으로부터 조사되는 백 라이트 조명을 이용하여 다이(12)에 대한 이미지를 획득할 수 있다. 이때, 비전 유닛(40)에 의하여 획득된 이미지는 선명도가 크게 향상될 수 있다. 따라서, 비전 유닛(40)을 포함하는 비전 검사 장치에 의하여 다이(12)의 위치, 크랙(crack) 발생 여부, 미분단 등을 검사하는 데 있어서 검사 오류를 대폭으로 감소시킬 수 있다.
다이 이젝팅 장치(100)는 챔버(132)와 흡착 구멍(114)들을 통하여 다이싱 테이프(32)의 이면에 음압을 제공하고 이어서 챔버(132)를 통하여 다이싱 테이프(32)의 이면에 양압을 제공하는 압력 조절 유닛을 더 포함할 수 있다.
압력 조절 유닛은, 진공 펌프 등의 진공원(210)과 연결되고 흡착 구멍(114)들에 음압을 제공하는 제1 배관(182), 제1 배관(182)에 장착된 제1 밸브, 압축 공기 공급원(210)과 연결되며 챔버(132)의 내부에 양압을 제공하는 제2 배관(212), 제2 배관(212)에 장착된 제2 밸브, 챔버(132)의 내부에 음압을 제공할 수 있게 제1 배관(182)에서 분기되어 제2 배관(212)에 연결된 제3 배관(184), 그리고 제3 배관(184)에 장착된 제3 밸브를 포함할 수 있다.
이와 같은 압력 조절 유닛에 의하면, 흡착 구멍(114)들과 챔버(132)에 음압을 제공한 상태(도 5 참조)에서, 이젝터(130)를 상승(도 6 참조)시킨 후, 챔버(132)에 양압을 제공(도 7 참조)하는 방식에 의하여 다이(12)를 다이싱 테이프(14)로부터 안정적으로 확실하게 분리시킬 수 있다.
이상에서는 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 통상의 기술자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에서 설명한 기술적 사상은, 각각 독립적으로 실시될 수도 있고, 둘 이상이 서로 조합되어 실시될 수도 있다.
10 : 웨이퍼
12 : 다이
14 : 다이싱 테이프
100 : 다이 이젝팅 장치
110 : 후드
120 : 볼 플런저
130 : 이젝터
134 : 베이스(반사부재)
140, 145 : 조명 유닛
155 : 가이드
160 : 이젝터 구동유닛

Claims (10)

  1. 후드 하우징과;
    상기 후드 하우징의 상부에 회전 가능하게 장착되고 개구를 가지며 상기 개구의 주위에 다이싱 테이프를 흡착하는 흡착 구멍들이 형성된 탑 플레이트와;
    상기 다이싱 테이프 상의 다이를 상기 다이싱 테이프로부터 분리시키기 위하여 상기 개구에 수직 방향으로 삽입되고 양압 또는 음압을 제공 받는 상부 개방 구조의 챔버를 가진 이젝터와;
    상기 탑 플레이트와 상기 이젝터의 관계에서 상기 이젝터의 수직 방향 이동은 허용하고 상기 이젝터가 상기 탑 플레이트와 함께 회전될 수 있게 상기 이젝터의 회전은 구속하는 가이드와;
    상기 이젝터를 수직 방향으로 이동시키는 이젝터 구동유닛을 포함하고,
    상기 탑 플레이트는 투명한 재질로 이루어지고, 상기 후드 하우징에는 상기 탑 플레이트를 통하여 상방으로 빛을 조사하는 조명 유닛이 내장되며, 상기 이젝터는 투명한 재질로 이루어지고 상기 다이에 비하여 작은 상부 영역을 가지도록 형성된,
    다이 이젝팅 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 가이드는,
    상기 개구의 내주를 따라 다각형 형상으로 형성된 제1 안내 면과;
    상기 이젝터의 외주에 상기 제1 안내 면과 대응하도록 형성되어 상기 제1 안내 면과 면 접촉을 하는 제2 안내 면으로 구성된 것을 특징으로 하는,
    다이 이젝팅 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 가이드는,
    상기 개구의 내주와 상기 이젝터의 외주 중 어느 하나에 수직 방향으로 형성된 안내 홈과;
    상기 개구의 내주와 상기 이젝터의 외주 중 나머지 하나에 상기 안내 홈을 따라 이동 가능하게 형성된 안내 돌기를 포함하는 것을 특징으로 하는,
    다이 이젝팅 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 탑 플레이트의 외주에는 볼 플런저들이 일정한 간격으로 장착되고,
    상기 후드 하우징의 상부에는 상기 탑 플레이트가 삽입되는 단차가 형성되며,
    상기 단차에는 상기 볼 플런저들의 볼이 삽입되는 리세스들이 형성된 것을 특징으로 하는,
    다이 이젝팅 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 리세스들 사이에는 상기 리세스들을 연결하고 상기 탑 플레이트의 회전 시 상기 볼들의 이동을 안내하는 그루브들이 형성된 것을 특징으로 하는,
    다이 이젝팅 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 이젝터 구동유닛은 상기 이젝터의 하부와 결합되는 헤드를 포함하고,
    상기 이젝터와 상기 헤드는 자력에 의하여 서로 결합되도록 구성된 것을 특징으로 하는,
    다이 이젝팅 장치.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 조명 유닛의 하측에는 상기 조명 유닛으로부터의 빛을 상기 탑 플레이트 쪽으로 반사하는 반사 부재가 배치된 것을 특징으로 하는,
    다이 이젝팅 장치.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 조명 유닛은 링 형상의 LED 기판 및 상기 LED 기판에 배열된 LED들을 포함하며 상기 LED들이 상기 이젝터의 주위에 위치하도록 배치되고,
    상기 반사 부재는 상기 이젝터를 지지하도록 배치된 것을 특징으로 하는,
    다이 이젝팅 장치.
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