JP2017198959A - 処理装置 - Google Patents
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 74
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 161
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 21
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 7
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 22
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 109
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 8
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 5
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 3
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
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- Liquid Crystal (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
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Abstract
【課題】密閉空間の中で処理対象物の処理を行う場合であっても、密閉空間の中での処理対象物の処理工程に要する時間を短縮することが可能な処理装置を提供する。
【解決手段】この処理装置は、処理対象物2が載置される複数の載置台8と、複数の載置台8が搭載される回転テーブル9と、載置台8等が収容される筐体13とを備え、いくつかの載置台8は、処理対象物2の処理が行われる処理位置8Aに配置され、いくつかの載置台8は、処理対象物8の入替が行われる入替位置8Bに配置されている。筐体13には、入替位置8Bに配置される載置台8の上側に配置される開口部34cが形成され、入替位置8Bに配置される載置台8の下側には、載置台8を上昇させる上昇機構11が配置されている。入替位置8Bに配置される載置台8が持ち上げられると、開口部34cが塞がれて筐体13の内部が密閉された空間になるとともに、処理対象物2が筐体13の外側に露出する。
【選択図】図4
【解決手段】この処理装置は、処理対象物2が載置される複数の載置台8と、複数の載置台8が搭載される回転テーブル9と、載置台8等が収容される筐体13とを備え、いくつかの載置台8は、処理対象物2の処理が行われる処理位置8Aに配置され、いくつかの載置台8は、処理対象物8の入替が行われる入替位置8Bに配置されている。筐体13には、入替位置8Bに配置される載置台8の上側に配置される開口部34cが形成され、入替位置8Bに配置される載置台8の下側には、載置台8を上昇させる上昇機構11が配置されている。入替位置8Bに配置される載置台8が持ち上げられると、開口部34cが塞がれて筐体13の内部が密閉された空間になるとともに、処理対象物2が筐体13の外側に露出する。
【選択図】図4
Description
本発明は、所定の処理対象物を処理する処理装置に関する。
従来、液晶パネルの検査を行う検査装置が知られている(たとえば、特許文献1参照)。特許文献1に記載の検査装置は、液晶パネルの製造処理工程の途中に組み込まれている。この検査装置は、液晶パネルの点灯検査を行うプローバと、検査前の液晶パネルをプローバに向かって搬送する搬入側コンベヤと、搬入側コンベヤで搬送された液晶パネルをプローバに搬入する搬入機構と、検査後の液晶パネルをプローバから搬出する搬出機構と、搬出機構によって搬出された液晶パネルを搬送する搬出側コンベヤとを備えている。
特許文献1に記載の検査装置では、プローバは、液晶パネルが載置されるワークテーブルと、液晶パネルの背面から液晶パネルに光を照射するバックライトと、液晶パネルの表面の映像が映し出されるスクリーンと、ワークテーブルとスクリーンとの間に配置される光学系等を備えており、これらの構成は、筐体の中に配置されている。筐体には、搬入機構による液晶パネルの搬入を行う際に開閉するシャッタと、搬出機構による液晶パネルの搬出を行う際に開閉するシャッタとが設けられている。
特許文献1に記載の検査装置では、シャッタが閉まると、筐体の内部が密閉された空間となり、外部からの光が遮断された暗室になる。液晶パネルの点灯検査は、シャッタが閉じている状態の筐体の中で行われ(すなわち、暗室となっている筐体の内部で行われ)、液晶パネルの点灯検査が終了すると、シャッタが開いて、検査後の液晶パネルがワークテーブルから搬出されるとともに、検査前の液晶パネルがワークテーブルに搬入される。また、検査前の液晶パネルがワークテーブルに搬入されるとシャッタが閉じ、暗室となった筐体の内部で、次の液晶パネルの点灯検査が行われる。すなわち、特許文献1に記載の検査装置では、液晶パネルの点灯検査と、ワークテーブルに対する液晶パネルの入替とが交互に行われている。
特許文献1に記載の検査装置が組み込まれる液晶パネルの生産システムでは、液晶パネルの生産効率を高めるために、暗室となっている筐体の内部で点灯検査を行う検査工程に要する時間が短い方が好ましい。すなわち、この生産システムでは、密閉空間の中で点灯検査を行う検査工程に要する時間は短い方が好ましい。しかしながら、特許文献1に記載の検査装置では、液晶パネルの点灯検査とワークテーブルに対する液晶パネルの入替とが交互に行われているため、密閉空間の中で点灯検査を行う検査工程に要する時間が長くなる。
そこで、本発明の課題は、密閉空間の中で処理対象物に対して所定の処理を行う場合であっても、密閉空間の中で処理対象物を処理する処理工程に要する時間を短縮することが可能な処理装置を提供することにある。
上記の課題を解決するため、本発明の処理装置は、処理対象物が載置される複数の載置台と、複数の載置台が昇降可能に搭載される回転テーブルと、上下方向を回転の軸方向として回転テーブルを回転させる回転駆動機構と、回転テーブルに対して載置台を上昇させる上昇機構と、載置台、回転テーブル、回転駆動機構および上昇機構が収容される筐体とを備え、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、処理対象物の処理が行われる処理位置に配置され、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、載置台からの処理対象物の搬出および載置台への処理対象物の供給の少なくともいずれか一方が行われる入替位置に配置され、回転テーブルは、処理位置と入替位置との間で載置台を移動させ、筐体には、入替位置に配置される載置台の上側に配置されるとともに処理対象物が通過可能な開口部が形成され、上昇機構は、入替位置に配置される載置台の下側に配置され、入替位置に配置される載置台が上昇機構によって持ち上げられると、筺体の内部から開口部が塞がれて筐体の内部が密閉された空間になるとともに、処理対象物が開口部の中に配置されて筐体の外側に露出することを特徴とする。
本発明の処理装置では、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、処理対象物の処理が行われる処理位置に配置され、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、載置台からの処理対象物の搬出および載置台への処理対象物の供給の少なくともいずれか一方が行われる入替位置に配置されている。また、本発明では、処理対象物が通過可能な開口部が筐体に形成されており、入替位置に配置される載置台が上昇機構によって持ち上げられると、筺体の内部から開口部が塞がれて筐体の内部が密閉された空間になるとともに、処理対象物が開口部の中に配置されて筐体の外側に露出する。
そのため、本発明では、処理位置に配置された載置台に載置される処理対象物に対して密閉空間の中で処理を行いながら、入替位置に配置される載置台に対して、筐体の外側に露出する処理対象物の入替を行うことが可能になる。すなわち、本発明では、密閉空間の中での処理対象物の処理と、載置台に対する処理対象物の入替とを一緒に行うことが可能になる。したがって、本発明では、密閉空間の中で処理対象物に対して処理を行う場合であっても、密閉空間の中で処理対象物を処理する処理工程に要する時間を短縮することが可能になる。
本発明において、たとえば、処理対象物は、点灯検査される検査対象物であり、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、検査対象物の点灯検査が行われる処理位置としての検査位置に配置され、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、入替位置に配置され、回転テーブルは、検査位置と入替位置との間で載置台を移動させ、入替位置に配置される載置台が上昇機構によって持ち上げられると、開口部が塞がれて、筐体の内部が暗室になる。この場合には、検査位置に配置された載置台に載置される検査対象物を暗室の中で点灯検査しながら、入替位置に配置される載置台に対して、筐体の外側に露出する検査対象物の入替を行うことが可能になる。すなわち、暗室の中での検査対象物の点灯検査と、載置台に対する検査対象物の入替とを一緒に行うことが可能になる。したがって、暗室の中で検査対象物の点灯検査を行う場合であっても、検査対象物の検査工程に要する時間を短縮することが可能になる。
本発明において、たとえば、処理対象物は、紫外線が照射される照射対象物であり、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、照射対象物に紫外線が照射される処理位置としての照射位置に配置され、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、入替位置に配置され、回転テーブルは、照射位置と入替位置との間で載置台を移動させる。この場合には、照射位置に配置された載置台に載置される照射対象物に対して紫外線を照射しながら、入替位置に配置される載置台に対して、筐体の外側に露出する照射対象物の入替を行うことが可能になる。すなわち、密閉空間の中での照射対象物への紫外線の照射と、載置台に対する照射対象物の入替とを一緒に行うことが可能になる。したがって、密閉空間の中で照射対象物への紫外線の照射を行う場合であっても、照射対象物への紫外線の照射工程に要する時間を短縮することが可能になる。
本発明において、入替位置では、載置台からの処理対象物の搬出および載置台への処理対象物の供給が行われることが好ましい。このように構成すると、載置台への処理対象物の供給が行われる入替位置と、載置台からの処理対象物の搬出が行われる入替位置とが別々になっている場合と比較して、処理装置の構成を簡素化することが可能になる。
本発明において、開口部の縁には、下側に向かって突出する環状の凸部が形成され、凸部の下端面には、載置台の上面に接触する環状のシール部材が取り付けられていることが好ましい。このように構成すると、入替位置に配置される載置台が上昇機構によって持ち上げられたときに、筐体の内部の空間の密閉性を高めることが可能になる。
本発明において、たとえば、載置台には、上下方向に貫通する貫通穴が形成され、上昇機構には、貫通穴を塞ぐ閉塞部材が取り付けられ、入替位置に配置される載置台が上昇機構によって持ち上げられると、閉塞部材によって貫通穴が塞がれるとともに、載置台と閉塞部材とによって開口部が塞がれる。この場合には、上下方向に貫通する貫通穴が載置台に形成されていても、筐体の内部を密閉された空間にすることが可能になる。
本発明において、入替位置に配置される載置台が上昇機構によって持ち上げられると、載置台によって開口部が塞がれても良い。
また、上記の課題を解決するため、本発明の処理装置は、上下方向に貫通する貫通穴が形成されるとともに処理対象物が載置される複数の載置台と、複数の載置台が搭載される回転テーブルと、上下方向を回転の軸方向として回転テーブルを回転させる回転駆動機構と、載置台の下側から貫通穴を塞ぐ閉塞部材と、閉塞部材を昇降させる閉塞部材昇降機構と、載置台、回転テーブル、回転駆動機構、閉塞部材および閉塞部材昇降機構が収容される筐体と、筺体に昇降可能に保持される昇降部材と、昇降部材を昇降させる昇降部材昇降機構とを備え、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、処理対象物の処理が行われる処理位置に配置され、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、載置台からの処理対象物の搬出および載置台への処理対象物の供給の少なくともいずれか一方が行われる入替位置に配置され、回転テーブルは、処理位置と入替位置との間で載置台を移動させ、昇降部材は、搬送対象物が通過可能な開口部を内周側に有する筒状に形成されるとともに、入替位置に配置される載置台の上側に配置され、閉塞部材は、入替位置に配置される載置台の下側に配置され、閉塞部材が上昇して入替位置に配置される載置台の貫通穴を塞ぐとともに昇降部材が下降して入替位置に配置される載置台に接触すると、筺体の内部から開口部が塞がれて筐体の内部が密閉された空間になるとともに、処理対象物が開口部の中に配置されて筐体の外側に露出することを特徴とする。
本発明の処理装置では、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、処理対象物の処理が行われる処理位置に配置され、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、載置台からの処理対象物の搬出および載置台への処理対象物の供給の少なくともいずれか一方が行われる入替位置に配置されている。また、本発明では、載置台に形成される貫通穴を載置台の下側から塞ぐ閉塞部材が、入替位置に配置される載置台の下側に配置され、筺体に昇降可能に保持される昇降部材が、入替位置に配置される載置台の上側に配置されている。さらに、本発明では、処理対象物が通過可能な開口部が昇降部材に形成されており、閉塞部材が上昇して入替位置に配置される載置台の貫通穴を塞ぐとともに昇降部材が下降して入替位置に配置される載置台に接触すると、筺体の内部から開口部が塞がれて筐体の内部が密閉された空間になるとともに、処理対象物が開口部の中に配置されて筐体の外側に露出する。
そのため、本発明では、処理位置に配置された載置台に載置される処理対象物に対して密閉空間の中で処理を行いながら、入替位置に配置される載置台に対して、筐体の外側に露出する処理対象物の入替を行うことが可能になる。すなわち、本発明では、密閉空間の中での処理対象物の処理と、載置台に対する処理対象物の入替とを一緒に行うことが可能になる。したがって、本発明では、密閉空間の中で処理対象物に対して処理を行う場合であっても、密閉空間の中で処理対象物を処理する処理工程に要する時間を短縮することが可能になる。
本発明において、たとえば、処理対象物は、点灯検査される検査対象物であり、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、検査対象物の点灯検査が行われる処理位置としての検査位置に配置され、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、入替位置に配置され、回転テーブルは、検査位置と入替位置との間で載置台を移動させ、閉塞部材が上昇して入替位置に配置される載置台の貫通穴を塞ぐとともに昇降部材が下降して入替位置に配置される載置台に接触すると、開口部が塞がれて、筐体の内部が暗室になる。この場合には、検査位置に配置された載置台に載置される検査対象物を暗室の中で点灯検査しながら、入替位置に配置される載置台に対して、筐体の外側に露出する検査対象物の入替を行うことが可能になる。すなわち、暗室の中での検査対象物の点灯検査と、載置台に対する検査対象物の入替とを一緒に行うことが可能になる。したがって、暗室の中で検査対象物の点灯検査を行う場合であっても、検査対象物の検査工程に要する時間を短縮することが可能になる。
本発明において、筐体には、昇降部材の下端側部分が配置される筐体側貫通穴が形成され、昇降部材は、昇降部材の下端面に取り付けられ載置台の上面に接触する環状のシール部材を備え、筐体側貫通穴の縁には、下降した昇降部材の上端側部分に接触する環状の第2のシール部材が取り付けられていることが好ましい。このように構成すると、閉塞部材が上昇して入替位置に配置される載置台の貫通穴を塞ぐとともに昇降機構が下降して入替位置に配置される載置台に接触したときに、筐体の内部の空間の密閉性を高めることが可能になる。
さらに、上記の課題を解決するため、本発明の処理装置は、処理対象物が載置される複数の載置台と、複数の載置台が搭載される回転テーブルと、上下方向を回転の軸方向として回転テーブルを回転させる回転駆動機構と、載置台、回転テーブルおよび回転駆動機構が収容される筐体と、筺体に昇降可能に保持される昇降部材と、昇降部材を昇降させる昇降部材昇降機構とを備え、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、処理対象物の処理が行われる処理位置に配置され、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、載置台からの処理対象物の搬出および載置台への処理対象物の供給の少なくともいずれか一方が行われる入替位置に配置され、回転テーブルは、処理位置と入替位置との間で載置台を移動させ、昇降部材は、搬送対象物が通過可能な開口部を内周側に有する筒状に形成されるとともに、入替位置に配置される載置台の上側に配置され、昇降部材が下降して入替位置に配置される載置台に接触すると、筺体の内部から開口部が塞がれて筐体の内部が密閉された空間になるとともに、処理対象物が開口部の中に配置されて筐体の外側に露出することを特徴とする。
本発明の処理装置では、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、処理対象物の処理が行われる処理位置に配置され、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、載置台からの処理対象物の搬出および載置台への処理対象物の供給の少なくともいずれか一方が行われる入替位置に配置されている。また、本発明では、筺体に昇降可能に保持される昇降部材が、入替位置に配置される載置台の上側に配置されている。さらに、本発明では、処理対象物が通過可能な開口部が昇降部材に形成されており、昇降部材が下降して入替位置に配置される載置台に接触すると、筺体の内部から開口部が塞がれて筐体の内部が密閉された空間になるとともに、処理対象物が開口部の中に配置されて筐体の外側に露出する。
そのため、本発明では、処理位置に配置された載置台に載置される処理対象物に対して密閉空間の中で処理を行いながら、入替位置に配置される載置台に対して、筐体の外側に露出する処理対象物の入替を行うことが可能になる。すなわち、本発明では、密閉空間の中での処理対象物の処理と、載置台に対する処理対象物の入替とを一緒に行うことが可能になる。したがって、本発明では、密閉空間の中で処理対象物に対して処理を行う場合であっても、密閉空間の中で処理対象物を処理する処理工程に要する時間を短縮することが可能になる。
以上のように、本発明の処理装置では、密閉空間の中で処理対象物に対して所定の処理を行う場合であっても、密閉空間の中で処理対象物を処理する処理工程に要する時間を短縮することが可能になる。
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
[実施の形態1]
(処理装置の概略構成)
図1は、本発明の実施の形態1にかかる処理装置1が組み込まれる生産システムの一部分の平面図である。図2は、図1のE−E断面の断面図である。
(処理装置の概略構成)
図1は、本発明の実施の形態1にかかる処理装置1が組み込まれる生産システムの一部分の平面図である。図2は、図1のE−E断面の断面図である。
本形態の処理装置1は、処理対象物である検査対象物2を検査するための検査装置である。具体的には、本形態の検査対象物2は、液晶パネルであり、処理装置1は、液晶パネルを点灯検査するための検査装置である。したがって、以下では、本形態の処理装置1を「検査装置1」とし、検査対象物2を「液晶パネル2」とする。液晶パネル2は、長方形の平板状に形成されている。この液晶パネル2は、たとえば、携帯端末等に使用される小型の液晶パネルである。なお、本形態の液晶パネル2は、ガラス基板または偏光板が貼り付けられたガラス基板であり、液晶パネル2にはバックライトが取り付けられていない。
検査装置1は、液晶パネル2の生産システムに組み込まれて使用される。この生産システムは、複数の検査装置1を備えている。また、この生産システムでは、図1に示すように、2個の検査装置1が、直線状に形成される2個のコンベヤ3および2個のコンベヤ4を挟んだ状態で配置されている。コンベヤ3、4は、たとえば、ベルトコンベヤである。
コンベヤ3では、たとえば、検査装置1で検査される前の液晶パネル2が搬送され、コンベヤ4では、検査装置1で検査された後の液晶パネル2が搬送される。2個のコンベヤ3は、2個のコンベヤ4の間に挟まれている。また、検査装置1には、検査装置1を構成する後述の載置台8とコンベヤ3、4との間で液晶パネル2を搬送するロボット5が取り付けられている。ロボット5は、検査前の液晶パネル2をハンドの先端部で吸着してコンベヤ3から載置台8まで搬送するとともに、検査後の液晶パネル2をハンドの先端部で吸着して載置台8からコンベヤ4まで搬送する。なお、検査前の液晶パネル2がコンベヤ4で搬送され、検査後の液晶パネル2がコンベヤ3で搬送されても良い。
検査装置1は、液晶パネル2が載置される複数の載置台8と、複数の載置台8が昇降可能に搭載される回転テーブル9と、回転テーブル9を回転させる回転駆動機構10と、回転テーブル9に対して載置台8を上昇させる上昇機構してのエアシリンダ11と、液晶パネル2の背面から光を照射するバックライト12と、載置台8、回転テーブル9、回転駆動機構10、エアシリンダ11およびバックライト12が収容される筐体13とを備えている。本形態の検査装置1は、4個の載置台8を備えている。また、図2に示すように、検査装置1は、架台14の上に設置されている。
以下の説明では、コンベヤ3、4による液晶パネル2の搬送方向(図1等のX方向)を「左右方向」とし、上下方向と左右方向とに直交する方向(図1等のY方向)を「前後方向」とする。前後方向は、2個の検査装置1がコンベヤ3、4を挟んだ状態で対向配置される方向である。また、以下では、説明の便宜上、前後方向のうちの、コンベヤ3、4が配置される側(図2等のY1方向側)を「前」側とし、その反対側(図2等のY2方向側)を「後(後ろ)」側とする。
(載置台、回転テーブル、回転駆動機構および上昇機構等の構成)
図3は、図1に示す載置台8および回転テーブル9の拡大平面図である。図4は、図2のF部の拡大図である。図5は、図4のG部の拡大図である。図6は、図3のH−H断面の断面図である。図7は、図2のJ−J断面の一部分の断面図である。
図3は、図1に示す載置台8および回転テーブル9の拡大平面図である。図4は、図2のF部の拡大図である。図5は、図4のG部の拡大図である。図6は、図3のH−H断面の断面図である。図7は、図2のJ−J断面の一部分の断面図である。
回転テーブル9は、略長方形の平板状に形成されている。この回転テーブル9は、回転テーブル9の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。回転テーブル9の中心には、回転駆動機構10が連結されている。回転駆動機構10は、回転テーブル9の下側に配置されている。図4に示すように、回転駆動機構10は、モータ17を備えており、上下方向を回転の軸方向として回転テーブル9を回転させる。モータ17は、たとえば、減速機18を介して回転テーブル9に連結されている。回転テーブル9の中心部分は、回転テーブル9の上側に配置される固定板19を介して減速機18の出力軸に固定されている。なお、回転テーブル9の中心部分は直接、モータ17の出力軸に固定されても良い。また、モータ17は、たとえば、サーボモータである。
回転駆動機構10は、回転テーブル9を180°回転させる。具体的には、回転テーブル9は、略長方形状に形成される回転テーブル9の長辺方向と前後方向とが一致している状態で停止しており、回転駆動機構10は、この状態の回転テーブル9を一方向へ180°回転させて停止させる。また、回転駆動機構10は、一方向へ180°回転して停止している回転テーブル9を反対方向へ180°回転させて停止させる。たとえば、回転駆動機構10は、図3に示す状態の回転テーブル9を時計回りの方向(時計方向)へ180°回転させて停止させるとともに、時計方向へ180°回転して停止している回転テーブル9を反時計回りの方向へ180°回転させて停止させる。
回転テーブル9には、上下方向に貫通する4個の貫通穴9aが形成されている。貫通穴9aは、略長方形状に形成されている。この貫通穴9aは、液晶パネル2の外形よりも大きくなっている。図3に示すように、貫通穴9aは、略長方形状に形成される回転テーブル9の長辺方向と略長方形状に形成される貫通穴9aの長辺方向とが一致するように形成されている。
また、貫通穴9aは、回転テーブル9の長辺方向の両端側のそれぞれに2個ずつ形成されている。回転テーブル9の長辺方向の両端側のそれぞれに形成される2個の貫通穴9aは、回転テーブル9の短辺方向で隣接するように配置されている。すなわち、4個の貫通穴9aは、上下方向から見たときに、回転テーブル9の回転方向に沿って配置されている。また、一対の貫通穴9aが、回転テーブル9の中心(すなわち、回転テーブル9の回転中心)に対して180°ピッチで形成されている。4個の貫通穴9aのそれぞれの中心と回転テーブル9の中心との距離は互いに等しくなっている。
載置台8は、略長方形の平板状に形成されている。この載置台8は、載置台8の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。載置台8の外形は、貫通穴9aよりも大きくなっている。載置台8の中心には、上下方向に貫通する貫通穴8aが形成されている。貫通穴8aは、略長方形状に形成されている。また、貫通穴8aは、略長方形状に形成される載置台8の長辺方向と略長方形状に形成される貫通穴8aの長辺方向とが一致するように形成されている。貫通穴8aは、液晶パネル2の外形よりもわずかに小さくなっている。
載置台8の上面には、載置台8に載置される液晶パネル2を吸着して把持するための複数の吸着穴が形成されている。載置台8の内部には、この吸着穴に繋がる空気の吸引穴が形成されており、この吸引穴には、継手20を介して配管21の一端が接続されている(図3参照)。配管21の他端は、真空ポンプ等の空気の吸引機構に接続されている。
載置台8は、上下方向から見たときに、回転テーブル9の貫通穴9aの中心と貫通穴8aの中心とが一致するように回転テーブル9に搭載されており、4個の載置台8は、上下方向から見たときに、回転テーブル9の回転方向に沿って配置されている。また、一対の載置台8が回転テーブル9の中心(すなわち、回転テーブル9の回転中心)に対して180°ピッチで配置されている。4個の載置台8の中心(貫通穴8aの中心)のそれぞれと回転テーブル9の中心(回転テーブル9の回転中心)との距離は互いに等しくなっている。
略長方形状に形成される載置台8の、一方の対角線上の2個の角部には、下側に向かって突出するガイドピン22が固定されている。ガイドピン22の下端側部分は、回転テーブル9に固定されるガイドブッシュ23に挿通されている。ガイドブッシュ23の上端側部分は、回転テーブル9に形成される固定孔に挿入されて固定され、ガイドブッシュ23の下端側部分は、回転テーブル9から下側へ突出している。本形態では、ガイドピン22とガイドブッシュ23とによって、回転テーブル9に対して載置台8を上下方向に案内するガイド機構24が構成されており、載置台8は、回転テーブル9に対して昇降可能となっている。
また、載置台8には、ガイドピン22に隣接するようにバネ保持ピン25が固定されている(図6参照)。バネ保持ピン25は、載置台8から下側に向かって突出している。図6に示すように、バネ保持ピン25の下端には、鍔部25aが形成されている。鍔部25aの上面には、圧縮コイルバネ26の下端が当接している。圧縮コイルバネ26の上端側部分は、回転テーブル9の下面に形成される凹部の中に配置されている。載置台8は、圧縮コイルバネ26の付勢力によって下側に付勢されている。本形態では、バネ保持ピン25と圧縮コイルバネ26とによって載置台8を下側へ付勢する付勢機構27が構成されている。
上述のように、回転テーブル9は、回転テーブル9の長辺方向と前後方向とが一致している状態で停止しており、この状態から180°回転して停止する。回転テーブル9が停止している状態では、4個の載置台8のうちの2個の載置台8は、液晶パネル2の点灯検査が行われる処理位置としての検査位置8Aに配置され、残りの2個の載置台8は、載置台8からの液晶パネル2の搬出および載置台8への液晶パネル2の供給が行われる入替位置8Bに配置されている。本形態では、回転駆動機構10よりも後ろ側に配置されているときの載置台8の位置が検査位置8Aであり、回転駆動機構10よりも前側に配置されているときの載置台8の位置が入替位置8Bである。
また、回転テーブル9が回転すると、載置台8は、回転テーブル9の中心を回転中心にして回転し、検査位置8Aと入替位置8Bとの間で移動する。すなわち、回転テーブル9が回転すると、4個の載置台8のうちの検査位置8Aに配置された2個の載置台8は、入替位置8Bに移動し、入替位置8Bに配置された残りの2個の載置台8は、検査位置8Aに移動する。なお、配管21は、載置台8の回転に支障が出ないように引き回されている。
エアシリンダ11は、入替位置8Bに配置される2個の載置台8のそれぞれの下側に配置されている。すなわち、図7に示すように、検査装置1は、2個のエアシリンダ11を備えている。2個のエアシリンダ11は、固定用のブラケット29を介して筐体13に固定されている。また、エアシリンダ11は、エアシリンダ11のロッドが上側に突出するように配置されている。エアシリンダ11のロッドの先端(上端)には、載置台8の貫通穴8aを塞ぐ閉塞部材30が所定の取付部材31を介して取り付けられている。
閉塞部材30は、略長方形の平板状に形成されている。この閉塞部材30は、閉塞部材30の厚さ方向と上下方向とが一致するように、かつ、略長方形状に形成される閉塞部材30の長辺方向と前後方向とが一致するように、エアシリンダ11のロッドの先端に取り付けられている。閉塞部材30の外周端には、上側に向かって突出する略四角環状の突出部30aが形成されている。突出部30aは、閉塞部材30の上面から上側へわずかに突出するように形成されている。
閉塞部材30の外形は、貫通穴8aよりも大きくなっている。また、閉塞部材30の外形は、回転テーブル9の貫通穴9aよりも小さくなっている。上下方向から見たときに、入替位置8Bに配置される載置台8の貫通穴8aの中心と閉塞部材30の中心とが一致している。なお、図5に示すように、閉塞部材30の中心部分の下面には、上側に向かうにしたがって内径が次第に小さくなる円錐台状の凹部30bが形成されている。また、取付部材31の中心部分の上面側には、上側に向かうにしたがって外径が次第に小さくなる凸曲面状の凸部31aが形成されており、凸部31aは、凹部30bに接触している。そのため、凹部30bと凸部31aとを利用してエアシリンダ11のロッドに対する閉塞部材30の傾きを調整することが可能になっている。
バックライト12は、検査位置8Aに配置される載置台8の下側に配置されている。具体的には、バックライト12は、貫通穴8a、9aの下側に配置されている。検査位置8Aに配置される載置台8の上側には、複数のカメラ等の点灯検査用の各種の機器が配置されている。
(筐体の構成)
筐体13は、中空の箱状に形成されている。筐体13の後ろ側部分の高さは、筐体13の前側部分の高さよりも高くなっている。筐体13は、筐体13の底面を構成する底面部13aと、筐体13の左右の側面を構成する2個の側面部13bと、筐体13の前側部分の上面を構成する第1上面部13cと、筐体13の後ろ側部分の上面を構成する第2上面部13dと、筐体13の後面を構成する後面部13eと、底面部13aの前端側と第1上面部13cの前端と繋ぐ第1前面部13fと、第1上面部13cの後端と第2上面部13dの前端とを繋ぐ第2前面部13gとを備えている。第1上面部13cおよび第2上面部13dは、上下方向に直交する平板状に形成されている。
筐体13は、中空の箱状に形成されている。筐体13の後ろ側部分の高さは、筐体13の前側部分の高さよりも高くなっている。筐体13は、筐体13の底面を構成する底面部13aと、筐体13の左右の側面を構成する2個の側面部13bと、筐体13の前側部分の上面を構成する第1上面部13cと、筐体13の後ろ側部分の上面を構成する第2上面部13dと、筐体13の後面を構成する後面部13eと、底面部13aの前端側と第1上面部13cの前端と繋ぐ第1前面部13fと、第1上面部13cの後端と第2上面部13dの前端とを繋ぐ第2前面部13gとを備えている。第1上面部13cおよび第2上面部13dは、上下方向に直交する平板状に形成されている。
第1上面部13cは、第2上面部13dよりも下側に配置されている。また、第1上面部13cは、回転テーブル9に搭載される載置台8よりもわずかに上側に配置されている。第1上面部13cの下側には、入替位置8Bにある載置台8が配置されている。また、第2上面部13dの下側には、検査位置8Aにある載置台8が配置されており、第2上面部13dの下側には、バックライト12やカメラ等の点灯検査用の各種の機器が配置されている。すなわち、筺体13の、第2上面部13dが配置された部分は、点灯検査が行われる検査部となっており、第1上面部13cが配置された部分は、液晶パネル2の入替が行われる入替部となっている。
第1上面部13cには、上下方向に貫通する貫通穴13hが形成されている。貫通穴13hは、略長方形状に形成されている。また、貫通穴13hは、略長方形状に形成される貫通穴13hの長辺方向と前後方向とが一致するように形成されている。また、貫通穴13hは、入替位置8Bに配置される2個の載置台8のそれぞれの上側に形成されている。すなわち、第1上面部13cには、2個の貫通穴13hが形成されている。貫通穴13hは、載置台8の外形よりも小さくなっている。また、貫通穴13hは、載置台8の貫通穴8aよりも大きくなっている。
また、筐体13は、扁平な鍔付きの略四角筒状に形成される2個のガイド部材34を備えている。ガイド部材34は、略四角筒状の筒部34aと筒部34aの上端に繋がる鍔部34bとを備えている。このガイド部材34は、筒部34aが貫通穴13hに挿通されるとともに鍔部34bの下面が第1上面部13cの上面に接触した状態で、第1上面部13cに固定されている。すなわち、ガイド部材34は、貫通穴13hを縁取るように第1上面部13cに固定されている。
ガイド部材34の内周側は、略長方形状の開口部34cとなっている。ガイド部材34は、略長方形状に形成される開口部34cの長辺方向と前後方向とが一致するように配置されている。開口部34cは、載置台8の貫通穴8aよりも大きくなっている。また、開口部34cは、液晶パネル2の外形よりも大きくなっており、液晶パネル2は、開口部34cを上下方向へ通過可能となっている。開口部34cは、入替位置8Bに配置される2個の載置台8のそれぞれの上側に配置されている。すなわち、筐体13には、入替位置8Bに配置される載置台8の上側に配置される開口部34cが形成されている。上下方向から見たときに、開口部34cの中心と載置台8の貫通穴8aの中心とは一致している。ガイド部材34は、載置台8に液晶パネル2を案内する機能を果たしている。
筒部34aの下端側部分は、第1上面部13cの下面よりも下側へ突出する四角環状の凸部34dとなっている(図5参照)。すなわち、開口部34cの縁には、下側に向かって突出する凸部34dが形成されている。凸部34dの下端面には、略四角環状に形成される凹部が形成されている。この凹部の中には、エアシリンダ11によって持ち上げられた載置台8の上面に接触する環状のシール部材35が取り付けられている(図5参照)。シール部材35は、Oリングである。本形態では、上下方向から見たときに、閉塞部材30の突出部30aとシール部材35とが重なっている。
(検査装置の動作)
検査装置1において、液晶パネル2の点灯検査を行うときには、エアシリンダ11が上昇して、入替位置8Bに配置される載置台8を持ち上げる。具体的には、図5に示すように、貫通穴9aを通過した閉塞部材30の突出部30aが載置台8の下面に接触して載置台8を持ち上げるとともに、載置台8の上面がシール部材35に接触するまで突出部30aが載置台8を持ち上げる。入替位置8Bに配置される載置台8が持ち上げられると、閉塞部材30によって載置台8の貫通穴8aが塞がれるとともに、載置台8と閉塞部材30とによって開口部34cが塞がれる。
検査装置1において、液晶パネル2の点灯検査を行うときには、エアシリンダ11が上昇して、入替位置8Bに配置される載置台8を持ち上げる。具体的には、図5に示すように、貫通穴9aを通過した閉塞部材30の突出部30aが載置台8の下面に接触して載置台8を持ち上げるとともに、載置台8の上面がシール部材35に接触するまで突出部30aが載置台8を持ち上げる。入替位置8Bに配置される載置台8が持ち上げられると、閉塞部材30によって載置台8の貫通穴8aが塞がれるとともに、載置台8と閉塞部材30とによって開口部34cが塞がれる。
閉塞部材30によって貫通穴8aが塞がれるとともに、載置台8と閉塞部材30とによって開口部34cが塞がれると、筐体13の内部は密閉された空間となって、筐体13の内部は暗室になる。すなわち、入替位置8Bに配置される載置台8がエアシリンダ11によって持ち上げられると、筺体13の内部から開口部34cが塞がれて、筐体13の内部が密閉された空間になる。また、入替位置8Bに配置される載置台8がエアシリンダ11によって持ち上げられると、筺体13の内部から開口部34cが塞がれて、筐体13の内部は暗室になる。液晶パネル2の点灯検査は、筐体13の内部が暗室となっている状態で行われる。このときには、検査位置8Aに配置された載置台8に載置される液晶パネル2に、貫通穴8a、9aを介してバックライト12が光を照射する。
また、入替位置8Bに配置される載置台8がエアシリンダ11によって持ち上げられると、入替位置8Bに配置された載置台8に載置される液晶パネル2は、開口部34cの中に配置されて筐体13の外側に露出する。ロボット5は、筐体13の内部で液晶パネル2の点灯検査が行われているときに、開口部34cの中に配置される点灯検査後の液晶パネル2(入替位置8Bに配置された載置台8に載置される液晶パネル2)を吸着して搬出しコンベヤ4に載置する。また、ロボット5は、コンベヤ3上の検査前の液晶パネル2を吸着して搬送し、点灯検査後の液晶パネル2が搬出された後の載置台8に載置する。
筐体13の内部で液晶パネル2の点灯検査が終了するとともに、入替位置8Bに配置される載置台8に対する液晶パネル2の入替が終了すると、エアシリンダ11が下降する。エアシリンダ11が下降すると、入替位置8Bに配置される載置台8は圧縮コイルバネ26の付勢力で下降する。入替位置8Bに配置される載置台8が下降すると、モータ17が起動して、回転テーブル9が回転し、検査位置8Aに配置された載置台8は入替位置8Bに移動し、入替位置8Bに配置された載置台8は検査位置8Aに移動する。
回転テーブル9が回転して検査位置8Aと入替位置8Bとの間で載置台8が移動すると、同様にして、入替位置8Bに配置される載置台8を持ち上げて、開口部34cを塞ぎ、検査位置8Aに配置された載置台8に載置される液晶パネル2の点灯検査と、入替位置8Bに配置された載置台8に載置される液晶パネル2の入替を行う。なお、エアシリンダ11が下降しているときには、閉塞部材30は、回転する回転テーブル9と干渉しない位置まで下降している。
(本形態の主な効果)
以上説明したように、本形態では、液晶パネル2が通過可能な開口部34cが筐体13の第1上面部13cに形成されているが、入替位置8Bに配置される載置台8が持ち上げられると、筺体13の内部から開口部34cが塞がれ、筐体13の内部が密閉された空間となって、筐体13の内部が暗室になる。また、本形態では、入替位置8Bに配置される載置台8が持ち上げられると、入替位置8Bに配置された載置台8に載置される液晶パネル2は、開口部34cの中に配置されて筐体13の外側に露出する。
以上説明したように、本形態では、液晶パネル2が通過可能な開口部34cが筐体13の第1上面部13cに形成されているが、入替位置8Bに配置される載置台8が持ち上げられると、筺体13の内部から開口部34cが塞がれ、筐体13の内部が密閉された空間となって、筐体13の内部が暗室になる。また、本形態では、入替位置8Bに配置される載置台8が持ち上げられると、入替位置8Bに配置された載置台8に載置される液晶パネル2は、開口部34cの中に配置されて筐体13の外側に露出する。
そのため、本形態では、筐体13の内部の暗室で液晶パネル2の点灯検査が行いながら、筐体13の外側に露出する液晶パネル2の入替を行うことが可能になる。すなわち、本形態では、暗室の中での液晶パネル2の点灯検査と、載置台8に対する液晶パネル2の入替とを一緒に行うことが可能になる。したがって、本形態では、密閉空間である暗室の中で液晶パネル2の点灯検査を行う場合であっても、液晶パネル2の検査工程に要する時間を短縮することが可能になる。
本形態では、開口部34cの縁に形成される凸部34dの下端面にシール部材35が取り付けられており、エアシリンダ11で持ち上げられた載置台8の上面がシール部材35に接触する。そのため、本形態では、入替位置8Bに配置される載置台8がエアシリンダ11で持ち上げられたときに、筐体13の内部の空間の密閉性を高めることが可能になる。特に本形態では、上下方向から見たときに、閉塞部材30の突出部30aとシール部材35とが重なっているため、シール部材35と載置台8の上面との密着性を高めることが可能になるとともに、突出部30aと載置台8の下面との密着性を高めることが可能になる。したがって、本形態では、筐体13の内部の空間の密閉性を効果的に高めることが可能になる。
本形態では、エアシリンダ11のロッドの先端に閉塞部材30が取り付けられており、入替位置8Bに配置される載置台8がエアシリンダ11で持ち上げられると、閉塞部材30によって載置台8の貫通穴8aが塞がれる。そのため、本形態では、載置台8に貫通穴8aが形成されていても、筐体13の内部を密閉された空間にして、筐体13の内部を暗室にすることが可能になる。
[実施の形態2]
図8は、本発明の実施の形態2にかかる処理装置1の一部分の拡大断面図である。図9は、図8のK部の拡大図である。
図8は、本発明の実施の形態2にかかる処理装置1の一部分の拡大断面図である。図9は、図8のK部の拡大図である。
実施の形態1と同様に、本形態の処理装置1も液晶パネル2を検査するための検査装置である。したがって、以下では、本形態の処理装置1を「検査装置1」とする。実施の形態1では、複数の載置台8が回転テーブル9に昇降可能に搭載されているが、本形態では、複数の載置台8が回転テーブル9に搭載されて固定されており、検査装置1は、ガイド機構24および付勢機構27を備えていない。また、実施の形態1では、ガイド部材34は、筐体13に固定されているが、本形態では、ガイド部材34は、筐体13に昇降可能に保持されており、検査装置1は、ガイド部材34を昇降させるエアシリンダ41を備えている。これらの点が、本形態の検査装置1と実施の形態1の検査装置1との主な相違点である。
以下、この相違点を中心に本形態の検査装置1の構成および動作を説明する。なお、図8、図9では、実施の形態1の検査装置1の構成と共通する構成については同一の符号を付している。また、以下では、実施の形態1の検査装置1の構成と共通する構成についてはその説明を省略または簡略化する。
上述のように、本形態では、複数の載置台8が回転テーブル9に搭載されて固定されている。一方で、本形態においても、載置台8の貫通穴8aを塞ぐため、実施の形態1と同様に、入替位置8Bに配置される2個の載置台8のそれぞれの下側にエアシリンダ11が配置されている。また、エアシリンダ11のロッドの先端(上端)には、載置台8の下側から貫通穴8aを塞ぐ閉塞部材30が取付部材31を介して取り付けられている。すなわち、入替位置8Bに配置される載置台8の下側には、閉塞部材30が配置されており、閉塞部材30は、筐体13に収容されている。本形態のエアシリンダ11は、閉塞部材30を昇降させる閉塞部材昇降機構である。
また、上述のように、本形態では、ガイド部材34は、筐体13に昇降可能に保持されている。具体的には、ガイド部材34は、筐体13の第1上面部13cに昇降可能に保持されている。扁平な鍔付きの略四角筒状に形成されるガイド部材34の筒部34aは、第1上面部13cに形成される貫通穴13hに挿通されている。貫通穴13hは、筒部34aの外形よりもわずかに大きくなっている。また、ガイド部材34の鍔部34bは、第1上面部13cの上側に配置されている。本形態のガイド部材34は、筐体13に昇降可能に保持される昇降部材であり、貫通穴13hは、昇降部材であるガイド部材34の下端側部分が配置される筐体側貫通穴である。
鍔部34bの、一方の対角線上の2個の角部には、下側に向かって突出するガイドピン42が固定されている。ガイドピン42の下端側部分は、第1上面部13cに固定されるガイドブッシュ43に挿通されている。ガイドブッシュ43の下端側部分は、第1上面部13cに形成される固定孔に挿入されて固定されている。本形態では、ガイドピン42とガイドブッシュ43とによって、第1上面部13cに対してガイド部材34を上下方向に案内するガイド機構44が構成されている。
エアシリンダ41は、第2前面部13gの前面に固定されており、筐体13の外部に配置されている。また、エアシリンダ41は、エアシリンダ41のロッドが下側に突出するように配置されている。エアシリンダ41のロッドの先端(下端)は、鍔部34bの上面に固定されている。本形態では、2個のガイド部材34のそれぞれにエアシリンダ41のロッドの先端が固定されている。すなわち、検査装置1は、2個のエアシリンダ41を備えている。本形態のエアシリンダ41は、昇降部材であるガイド部材34を昇降させる昇降部材昇降機構である。なお、1個のエアシリンダ41のロッドの先端が所定の部材を介して2個のガイド部材34に固定されていても良い。
実施の形態1と同様に、ガイド部材34の内周側は、略長方形状の開口部34cとなっている。開口部34cは、載置台8の貫通穴8aよりも大きくなっている。また、開口部34cは、液晶パネル2の外形よりも大きくなっており、液晶パネル2は、開口部34cを上下方向へ通過可能となっている。開口部34cは、入替位置8Bに配置される2個の載置台8のそれぞれの上側に配置されている。すなわち、ガイド部材34は、入替位置8Bに配置される2個の載置台8のそれぞれの上側に配置されている。
ガイド部材34は、ガイド部材34の下端面(すなわち、筒部34aの下端面)に取り付けられるシール部材45を備えている(図9参照)。具体的には、筒部34aの下端面に、略四角環状に形成される凹部が形成されており、この凹部の中に環状のシール部材45が取り付けられている。シール部材45は、Oリングである。シール部材45は、ガイド部材34が下降したときに、載置台8の上面に接触する。
第1上面部13cの上面の、貫通穴13hの縁には、略四角環状に形成される凹部が形成されており、この凹部の中には、下降したガイド部材34の鍔部34b(すなわち、ガイド部材34の上端側部分)に接触する第2のシール部材としてのシール部材46が取り付けられている(図9参照)。すなわち、第1上面部13cの上面の、貫通穴13hの縁には、シール部材46が取り付けられている。シール部材46は、Oリングである。
以上のように構成された検査装置1において、液晶パネル2の点灯検査を行うときには、エアシリンダ11のロッドが上昇するとともに、エアシリンダ41のロッドが下降する。すなわち、液晶パネル2の点灯検査を行うときには、閉塞部材30が上昇して入替位置8Bに配置される載置台8の貫通穴8aを塞ぐとともに、ガイド部材34が下降して入替位置8Bに配置される載置台8に接触する。具体的には、図9に示すように、閉塞部材30の突出部30aが載置台8の下面に接触して貫通穴8aを塞ぐとともに、筒部34aの下端面に取り付けられるシール部材45が載置台8の上面に接触する。また、ガイド部材34が下降すると、シール部材46が鍔部34bの下面に接触する。
閉塞部材30によって貫通穴8aが塞がれるとともに、筒部34aの下端面に取り付けられるシール部材45が載置台8の上面に接触し、かつ、シール部材46が鍔部34bの下面に接触すると、筐体13の内部は密閉された空間となって、筐体13の内部は暗室になる。すなわち、閉塞部材30が上昇して入替位置8Bに配置される載置台8の貫通穴8aを塞ぐとともに、ガイド部材34が下降して入替位置8Bに配置される載置台8に接触すると、載置台8と閉塞部材30とによって筺体13の内部から開口部34cが塞がれて、筐体13の内部が密閉された空間になるとともに、暗室になる。実施の形態1と同様に、液晶パネル2の点灯検査は、筐体13の内部が暗室となっている状態で行われる。
また、閉塞部材30が上昇して入替位置8Bに配置される載置台8の貫通穴8aを塞ぐとともに、ガイド部材34が下降して入替位置8Bに配置される載置台8に接触すると、入替位置8Bに配置された載置台8に載置される液晶パネル2は、開口部34cの中に配置されて筐体13の外側に露出する。ロボット5は、筐体13の内部で液晶パネル2の点灯検査が行われているときに、開口部34cの中に配置される点灯検査後の液晶パネル2(入替位置8Bに配置された載置台8に載置される液晶パネル2)を吸着して搬出しコンベヤ4に載置する。また、ロボット5は、コンベヤ3上の検査前の液晶パネル2を吸着して搬送し、点灯検査後の液晶パネル2が搬出された後の載置台8に載置する。
筐体13の内部で液晶パネル2の点灯検査が終了するとともに、入替位置8Bに配置される載置台8に対する液晶パネル2の入替が終了すると、エアシリンダ11のロッドが下降して閉塞部材30が下降し、エアシリンダ41のロッドが上昇してガイド部材34が上昇する。その後、モータ17が起動して、回転テーブル9が回転し、検査位置8Aに配置された載置台8は入替位置8Bに移動し、入替位置8Bに配置された載置台8は検査位置8Aに移動する。回転テーブル9が回転して検査位置8Aと入替位置8Bとの間で載置台8が移動すると、同様にして、閉塞部材30が上昇するとともにガイド部材34が下降し、検査位置8Aに配置された載置台8に載置される液晶パネル2の点灯検査と、入替位置8Bに配置された載置台8に載置される液晶パネル2の入替とが行われる。
本形態においても、実施の形態1と同様に効果を得ることができる。たとえば、本形態では、閉塞部材30が上昇して入替位置8Bに配置される載置台8の貫通穴8aを塞ぐとともに、ガイド部材34が下降して入替位置8Bに配置される載置台8に接触すると、筐体13の内部が密閉された空間になって暗室になるとともに、入替位置8Bに配置された載置台8に載置される液晶パネル2は、開口部34cの中に配置されて筐体13の外側に露出するため、暗室の中での液晶パネル2の点灯検査と、載置台8に対する液晶パネル2の入替とを一緒に行うことが可能になる。また、ガイド部材34が下降すると、筒部34aの下端面に取り付けられるシール部材45が載置台8の上面に接触し、かつ、シール部材46が鍔部34bの下面に接触するため、筐体13の内部の空間の密閉性を高めることが可能になる。
また、本形態では、載置台8が回転テーブル9に固定されているため、載置台8が回転テーブル9に昇降可能に搭載されている場合と比較して、検査位置8Aに配置された載置台8に載置される液晶パネル2と、点灯検査用の各種の機器との相対位置のずれを抑制することが可能になる。したがって、本形態では、液晶パネル2の点灯検査の精度を高めることが可能になる。また、載置台8が回転テーブル9に固定されているため、配管21が載置台8と一緒に上下動することはない。
ただし、本形態では、エアシリンダ11に加えてエアシリンダ41も必要になるため、実施の形態1と比較して、検査装置1の構成が複雑になる。また、本形態では、2個のシール部材45、46が必要になるため、実施の形態1と比較して、検査装置1の構成が複雑になる。さらに、本形態では、シール部材45を載置台8の上面に接触させるとともに、シール部材46を鍔部34bの下面に接触させる必要があるため、硬度が比較的低く、弾性変形しやすいシール部材45、46を使用する必要がある。
[他の実施の形態]
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
上述した形態では、載置台8に貫通穴8aが形成されているが、たとえば、バックライトが取り付けられた液晶パネル2の点灯検査を検査装置1で行う場合には、載置台8に貫通穴8aが形成されていなくても良い。実施の形態1において、載置台8に貫通穴8aが形成されていない場合には、エアシリンダ11のロッドの先端に閉塞部材30が取り付けられていなくても良い。また、この場合には、入替位置8Bに配置される載置台8がエアシリンダ11によって持ち上げられると、載置台8によって開口部34cが塞がれる。
また、実施の形態2において、載置台8に貫通穴8aが形成されていない場合には、検査装置1は、エアシリンダ11および閉塞部材30を備えていなくても良い。この場合には、ガイド部材34が下降して入替位置8Bに配置される載置台8に接触すると、載置台8によって、筺体13の内部から開口部34cが塞がれる。
上述した形態において、突出部30aの上端面に、シール部材35と同様のシール部材が取り付けられても良い。また、実施の形態1において、凸部34dの下端面にシール部材35が取り付けられていなくても良い。また、実施の形態2において、筒部34aの下端面にシール部材45が取り付けられていなくても良いし、第1上面部13cの上面の、貫通穴13hの縁にシール部材46が取り付けられていなくても良い。
上述した形態において、エアシリンダ11に代えて、たとえば、モータを駆動源とする駆動機構が配置されても良い。すなわち、実施の形態1において、載置台8を上昇させる上昇機構は、たとえば、モータを駆動源とするものであっても良い。また、実施の形態2において、閉塞部材30を昇降させる閉塞部材昇降機構は、たとえば、モータを駆動源とするものであっても良い。また、実施の形態1において、付勢機構27が設けられていなくても良い。この場合には、エアシリンダ11が下降すると、載置台8が自重で下降する。
上述した形態では、一対の載置台8が回転テーブル9の回転中心に対して180°ピッチで配置されているが、回転テーブル9の回転中心に対して、1個の載置台8と1個の載置台8とが180°ピッチで配置されても良いし、3個以上の載置台8と3個以上の載置台8とが180°ピッチで配置されても良い。この場合には、載置台8の数に応じた数のガイド部材34が設置されて、載置台8の数に応じた数の開口部34cが筐体13に形成される。また、載置台8の数に応じた数のエアシリンダ11が設置される。また、この場合には、実施の形態2では、載置台8の数に応じた数のエアシリンダ41が設置される。
また、上述した形態では、一対の載置台8が回転テーブル9の回転中心に対して180°ピッチで2箇所に配置されているが、一対の載置台8が回転テーブル9の回転中心に対して所定の角度ピッチで3箇所以上に配置されても良い。たとえば、一対の載置台8が回転テーブル9の回転中心に対して120°ピッチで配置されても良い。この場合には、たとえば、回転テーブル9は、120°回転して停止する。また、この場合には、載置台8からの液晶パネル2の搬出が行われる入替位置と、載置台8への液晶パネル2の供給が行われる入替位置とが別々になっていても良い。この場合には、一対の載置台8は、回転テーブル9が120°回転すると、検査位置8Aと、載置台8からの液晶パネル2の搬出が行われる入替位置と、載置台8への液晶パネル2の供給が行われる入替位置とに順次移動する。
なお、上述した形態のように、1箇所の入替位置8Bで、載置台8からの液晶パネル2の搬出と載置台8への液晶パネル2の供給とが行われる場合には、載置台8からの液晶パネル2の搬出が行われる入替位置と、載置台8への液晶パネル2の供給が行われる入替位置とが別々になっている場合と比較して、検査装置1の構成を簡素化することが可能になる。また、一対の載置台8が回転テーブル9の回転中心に対して所定の角度ピッチで3箇所以上に配置されている場合には、検査位置8Aおよび入替位置のいずれにも配置されていない載置台8があっても良い。
上述した形態では、筐体13の内部の暗室で液晶パネル2の点灯検査を行っているが、筐体13の内部の暗室で液晶パネル2以外の検査対象物の点灯検査を行って良い。また、上述した形態では、処理装置1は、液晶パネル2を点灯検査するための検査装置であるが、本発明が適用される処理装置は、検査装置以外の、所定の処理対象物を処理する装置であっても良い。たとえば、本発明が適用される処理装置は、紫外線照射装置であっても良い。この場合、紫外線照射装置で処理される処理対象物は、紫外線が照射される照射対象物である。
また、この場合には、上述した形態の検査位置8Aと同じ位置が、照射対象物に紫外線が照射される照射位置となり、回転テーブル9は、この照射位置と入替位置8Bとの間で載置台8を移動させる。この場合には、筺体13の内部であって、照射位置に配置された載置台8の上側には、紫外線を照射する照射ユニットが配置されている。また、この場合には、照射対象物に照射される紫外線が筐体13の外部に漏れないように、実施の形態1では、入替位置8Bに配置される載置台8が持ち上げられて開口部34cが塞がれ、筐体13の内部が密閉された空間となった状態で、照射対象物に紫外線が照射される。また、照射対象物に照射される紫外線が筐体13の外部に漏れないように、実施の形態2では、閉塞部材30が上昇して入替位置8Bに配置される載置台8の貫通穴8aが塞がれるとともにガイド部材34が下降して入替位置8Bに配置される載置台8に接触して開口部34cが塞がれ、筐体13の内部が密閉された空間となった状態で、照射対象物に紫外線が照射される。
この場合には、照射位置に配置された照射対象物に対して紫外線を照射しながら、入替位置8Bに配置される載置台8に対して、筐体13の外側に露出する照射対象物の入替を行うことが可能になる。すなわち、密閉空間の中での照射対象物への紫外線の照射と、載置台8に対する照射対象物の入替とを一緒に行うことが可能になる。したがって、密閉空間の中で照射対象物への紫外線の照射を行う場合であっても、照射対象物への紫外線の照射工程に要する時間を短縮することが可能になる。
1 検査装置(処理装置)
2 液晶パネル(処理対象物、検査対象物)
8 載置台
8A 検査位置(処理位置)
8B 入替位置
8a 貫通穴
9 回転テーブル
10 回転駆動機構
11 エアシリンダ(上昇機構、閉塞部材昇降機構)
13 筐体
13h 貫通穴(筐体側貫通穴)
30 閉塞部材
34 ガイド部材(昇降部材)
34c 開口部
34d 凸部
35 シール部材
41 エアシリンダ(昇降部材昇降機構)
45 シール部材
46 シール部材(第2のシール部材)
2 液晶パネル(処理対象物、検査対象物)
8 載置台
8A 検査位置(処理位置)
8B 入替位置
8a 貫通穴
9 回転テーブル
10 回転駆動機構
11 エアシリンダ(上昇機構、閉塞部材昇降機構)
13 筐体
13h 貫通穴(筐体側貫通穴)
30 閉塞部材
34 ガイド部材(昇降部材)
34c 開口部
34d 凸部
35 シール部材
41 エアシリンダ(昇降部材昇降機構)
45 シール部材
46 シール部材(第2のシール部材)
Claims (11)
- 処理対象物が載置される複数の載置台と、複数の前記載置台が昇降可能に搭載される回転テーブルと、上下方向を回転の軸方向として前記回転テーブルを回転させる回転駆動機構と、前記回転テーブルに対して前記載置台を上昇させる上昇機構と、前記載置台、前記回転テーブル、前記回転駆動機構および前記上昇機構が収容される筐体とを備え、
複数の前記載置台のうちのいくつかの前記載置台は、前記処理対象物の処理が行われる処理位置に配置され、複数の前記載置台のうちのいくつかの前記載置台は、前記載置台からの前記処理対象物の搬出および前記載置台への前記処理対象物の供給の少なくともいずれか一方が行われる入替位置に配置され、
前記回転テーブルは、前記処理位置と前記入替位置との間で前記載置台を移動させ、
前記筐体には、前記入替位置に配置される前記載置台の上側に配置されるとともに前記処理対象物が通過可能な開口部が形成され、
前記上昇機構は、前記入替位置に配置される前記載置台の下側に配置され、
前記入替位置に配置される前記載置台が前記上昇機構によって持ち上げられると、前記筺体の内部から前記開口部が塞がれて前記筐体の内部が密閉された空間になるとともに、前記処理対象物が前記開口部の中に配置されて前記筐体の外側に露出することを特徴とする処理装置。 - 前記処理対象物は、点灯検査される検査対象物であり、
複数の前記載置台のうちのいくつかの前記載置台は、前記検査対象物の点灯検査が行われる前記処理位置としての検査位置に配置され、複数の前記載置台のうちのいくつかの前記載置台は、前記入替位置に配置され、
前記回転テーブルは、前記検査位置と前記入替位置との間で前記載置台を移動させ、
前記入替位置に配置される前記載置台が前記上昇機構によって持ち上げられると、前記開口部が塞がれて、前記筐体の内部が暗室になることを特徴とする請求項1記載の処理装置。 - 前記処理対象物は、紫外線が照射される照射対象物であり、
複数の前記載置台のうちのいくつかの前記載置台は、前記照射対象物に紫外線が照射される前記処理位置としての照射位置に配置され、複数の前記載置台のうちのいくつかの前記載置台は、前記入替位置に配置され、
前記回転テーブルは、前記照射位置と前記入替位置との間で前記載置台を移動させることを特徴とする請求項1記載の処理装置。 - 前記入替位置では、前記載置台からの前記処理対象物の搬出および前記載置台への前記処理対象物の供給が行われることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の処理装置。
- 前記開口部の縁には、下側に向かって突出する環状の凸部が形成され、
前記凸部の下端面には、前記載置台の上面に接触する環状のシール部材が取り付けられていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の処理装置。 - 前記載置台には、上下方向に貫通する貫通穴が形成され、
前記上昇機構には、前記貫通穴を塞ぐ閉塞部材が取り付けられ、
前記入替位置に配置される前記載置台が前記上昇機構によって持ち上げられると、前記閉塞部材によって前記貫通穴が塞がれるとともに、前記載置台と前記閉塞部材とによって前記開口部が塞がれることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の処理装置。 - 前記入替位置に配置される前記載置台が前記上昇機構によって持ち上げられると、前記載置台によって前記開口部が塞がれることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の処理装置。
- 上下方向に貫通する貫通穴が形成されるとともに処理対象物が載置される複数の載置台と、複数の前記載置台が搭載される回転テーブルと、上下方向を回転の軸方向として前記回転テーブルを回転させる回転駆動機構と、前記載置台の下側から前記貫通穴を塞ぐ閉塞部材と、前記閉塞部材を昇降させる閉塞部材昇降機構と、前記載置台、前記回転テーブル、前記回転駆動機構、前記閉塞部材および前記閉塞部材昇降機構が収容される筐体と、前記筺体に昇降可能に保持される昇降部材と、前記昇降部材を昇降させる昇降部材昇降機構とを備え、
複数の前記載置台のうちのいくつかの前記載置台は、前記処理対象物の処理が行われる処理位置に配置され、複数の前記載置台のうちのいくつかの前記載置台は、前記載置台からの前記処理対象物の搬出および前記載置台への前記処理対象物の供給の少なくともいずれか一方が行われる入替位置に配置され、
前記回転テーブルは、前記処理位置と前記入替位置との間で前記載置台を移動させ、
前記昇降部材は、前記搬送対象物が通過可能な開口部を内周側に有する筒状に形成されるとともに、前記入替位置に配置される前記載置台の上側に配置され、
前記閉塞部材は、前記入替位置に配置される前記載置台の下側に配置され、
前記閉塞部材が上昇して前記入替位置に配置される前記載置台の前記貫通穴を塞ぐとともに前記昇降部材が下降して前記入替位置に配置される前記載置台に接触すると、前記筺体の内部から前記開口部が塞がれて前記筐体の内部が密閉された空間になるとともに、前記処理対象物が前記開口部の中に配置されて前記筐体の外側に露出することを特徴とする処理装置。 - 前記処理対象物は、点灯検査される検査対象物であり、
複数の前記載置台のうちのいくつかの前記載置台は、前記検査対象物の点灯検査が行われる前記処理位置としての検査位置に配置され、複数の前記載置台のうちのいくつかの前記載置台は、前記入替位置に配置され、
前記回転テーブルは、前記検査位置と前記入替位置との間で前記載置台を移動させ、
前記閉塞部材が上昇して前記入替位置に配置される前記載置台の前記貫通穴を塞ぐとともに前記昇降部材が下降して前記入替位置に配置される前記載置台に接触すると、前記開口部が塞がれて、前記筐体の内部が暗室になることを特徴とする請求項8記載の処理装置。 - 前記筐体には、前記昇降部材の下端側部分が配置される筐体側貫通穴が形成され、
前記昇降部材は、前記昇降部材の下端面に取り付けられ前記載置台の上面に接触する環状のシール部材を備え、
前記筐体側貫通穴の縁には、下降した前記昇降部材の上端側部分に接触する環状の第2のシール部材が取り付けられていることを特徴とする請求項8または9記載の処理装置。 - 処理対象物が載置される複数の載置台と、複数の前記載置台が搭載される回転テーブルと、上下方向を回転の軸方向として前記回転テーブルを回転させる回転駆動機構と、前記載置台、前記回転テーブルおよび前記回転駆動機構が収容される筐体と、前記筺体に昇降可能に保持される昇降部材と、前記昇降部材を昇降させる昇降部材昇降機構とを備え、
複数の前記載置台のうちのいくつかの前記載置台は、前記処理対象物の処理が行われる処理位置に配置され、複数の前記載置台のうちのいくつかの前記載置台は、前記載置台からの前記処理対象物の搬出および前記載置台への前記処理対象物の供給の少なくともいずれか一方が行われる入替位置に配置され、
前記回転テーブルは、前記処理位置と前記入替位置との間で前記載置台を移動させ、
前記昇降部材は、前記搬送対象物が通過可能な開口部を内周側に有する筒状に形成されるとともに、前記入替位置に配置される前記載置台の上側に配置され、
前記昇降部材が下降して前記入替位置に配置される前記載置台に接触すると、前記筺体の内部から前記開口部が塞がれて前記筐体の内部が密閉された空間になるとともに、前記処理対象物が前記開口部の中に配置されて前記筐体の外側に露出することを特徴とする処理装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201780001995.5A CN107850797A (zh) | 2016-04-26 | 2017-03-08 | 处理装置 |
PCT/JP2017/009138 WO2017187803A1 (ja) | 2016-04-26 | 2017-03-08 | 処理装置 |
TW106110762A TW201738990A (zh) | 2016-04-26 | 2017-03-30 | 處理裝置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016088134 | 2016-04-26 | ||
JP2016088134 | 2016-04-26 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017198959A true JP2017198959A (ja) | 2017-11-02 |
Family
ID=60239273
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016145137A Withdrawn JP2017198959A (ja) | 2016-04-26 | 2016-07-25 | 処理装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2017198959A (ja) |
CN (1) | CN107850797A (ja) |
TW (1) | TW201738990A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019054346A1 (ja) * | 2017-09-14 | 2019-03-21 | 日本電産サンキョー株式会社 | 検査装置 |
WO2019054347A1 (ja) * | 2017-09-14 | 2019-03-21 | 日本電産サンキョー株式会社 | 検査装置 |
US20230017599A1 (en) * | 2019-12-24 | 2023-01-19 | Hitachi High-Tech Corporation | Substrate Inspection Device |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109580621B (zh) * | 2018-12-05 | 2021-09-03 | 贵州大学 | 一种可升降式烟叶采集箱 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4210788B2 (ja) * | 2002-09-24 | 2009-01-21 | 株式会社協真エンジニアリング | 加工装置の扉開閉装置 |
JP4949172B2 (ja) * | 2007-08-30 | 2012-06-06 | 株式会社アルバック | 光照射装置 |
KR101191830B1 (ko) * | 2008-02-20 | 2012-10-16 | 히라따기꼬오 가부시키가이샤 | 생산장치 |
JP6104016B2 (ja) * | 2013-04-01 | 2017-03-29 | 株式会社日本マイクロニクス | 液晶パネル検査装置 |
KR101265277B1 (ko) * | 2013-04-11 | 2013-05-16 | 한동희 | 패널 부착장치 |
-
2016
- 2016-07-25 JP JP2016145137A patent/JP2017198959A/ja not_active Withdrawn
-
2017
- 2017-03-08 CN CN201780001995.5A patent/CN107850797A/zh not_active Withdrawn
- 2017-03-30 TW TW106110762A patent/TW201738990A/zh unknown
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019054346A1 (ja) * | 2017-09-14 | 2019-03-21 | 日本電産サンキョー株式会社 | 検査装置 |
WO2019054347A1 (ja) * | 2017-09-14 | 2019-03-21 | 日本電産サンキョー株式会社 | 検査装置 |
US20230017599A1 (en) * | 2019-12-24 | 2023-01-19 | Hitachi High-Tech Corporation | Substrate Inspection Device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN107850797A (zh) | 2018-03-27 |
TW201738990A (zh) | 2017-11-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190607 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20200217 |