CN217009164U - 一种承载装置及检测设备 - Google Patents

Abstract

一种承载装置及检测设备，其中，承载装置包括被配置为固定工件的第一部位的第一载具、被配置为固定工件的第二部位的第二载具以及动力端分别耦合至第一载具和第二载具的驱动组件，驱动组件被配置为驱使第一载具和第二载具在第一位置与第二位置之间运动；当第一载具和第二载具中的一者运动至第一位置并固定承接工件、另一者运动至第二位置时，驱动组件还被配置为驱使承接有待载工件的一者在预设空间内运动。通过第一载具与第二载具的切换配合，能够从工件的不同部位对其进行承接固定，借助驱动组件来调控两个载具的运动形式，不但避免在工件表面检测过程中形成盲区，实现全面、无死角的检测作业，而且能够为人工检测和自动检测创造有利条件。

Description

一种承载装置及检测设备

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体涉及一种承载装置及检测设备。

背景技术

随着半导体技术的快速发展，表面缺陷检测成为了提高半导体产品良品率不可或缺的工艺手段之一。以晶圆为例，在对晶圆表面所存在的如冗余物、色差、划痕、裂纹等缺陷进行检测时，通常是将晶圆放置在承载载具上，以利用承载载具来承载固定晶圆，并为晶圆的姿态调整或者工位转换提供支持。然而，晶圆与承载载具接触的部分或者被承载载具遮挡的部分，很容易形成检测盲区，致使因无法检测盲区部分而影响检测结果的准确性。

实用新型内容

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种承载装置以及应用了该承载装置的检测设备，能够对工件进行全面、无死角的检测。

根据第一方面，一种实施例中提供一种承载装置，包括：

第一载具，被配置为运动至第一位置时固定待载工件的第一部位，以承接待载工件；

第二载具，被配置为运动至第一位置时固定待载工件的不同于第一部位的第二部位，以承接待载工件；以及

驱动组件，所述驱动组件的动力端分别耦合至第一载具和第二载具，所述驱动组件被配置为驱使第一载具和第二载具在第一位置与第二位置之间运动；

当所述第一载具与第二载具中未承接待载工件的一者运动至第二位置时，所述驱动组件还被配置为驱使第一载具与第二载具中承接有待载工件的一者在预设空间内运动或停留，以调节待载工件的空间位置。

一个实施例中，所述驱动组件包括：

第一驱动组件，所述第一驱动组件的动力端耦合至第一载具，所述第一驱动组件被配置为驱使第一载具沿第一轴线在第一位置与第二位置之间运动，所述第一驱动组件还被配置为驱使所述第一载具在预设空间内运动或停留；以及

第二驱动组件，所述第二驱动组件的动力端耦合至第二载具，所述第一驱动组件被配置为驱使第二载具沿第一轴线在第一位置与第二位置之间运动，所述第一驱动组件还被配置为驱使第二载具在预设空间内运动或停留；

所述第一驱动组件与第二驱动组件关于第一轴线呈间隔相对设置，所述第一载具与第二载具中的一者设有避让通道，所述避让通道被配置为第一载具与第二载具在预设空间内运动时相互避让。

一个实施例中，所述第一驱动组件包括第一平移驱动件和第一旋转驱动件，所述第一旋转驱动件的动力端耦合至第一载具，所述第一旋转驱动件被配置为驱使第一载具绕正交于第一轴线的第二轴线转动；所述第一平移驱动件的动力端耦合至第一旋转驱动件，所述第一平移驱动件被配置为驱使第一旋转驱动件带动第一载具沿第一轴线移动；

所述第二驱动组件包括第二平移驱动件和第二旋转驱动件，所述第二旋转驱动件的动力端耦合至第二载具，所述第二旋转驱动件被配置为驱使第二载具绕正交于第一轴线的第三轴线转动；所述第二平移驱动件的动力端耦合至第二旋转驱动件，所述第二平移驱动件被配置为驱使第二旋转驱动件带动第二载具沿第一轴线移动。

一个实施例中，所述第二驱动组件还包括：

定位件，所述第二旋转驱动件的动力端与定位件固定，以能够驱使所述定位件绕第三轴线转动；

摆转驱动件，固定装设于所述定位件；以及

支撑件，具有相对的两端，所述支撑件的一端转动连接定位件，所述摆转驱动件的动力端转动连接支撑件的另一端，所述摆转驱动件被配置为驱使支撑件绕正交于第三轴线的第四轴线转动，所述第二载具装设于支撑件。

一个实施例中，所述第二驱动组件还包括第三旋转驱动件，固定装设于所述支撑件；所述第二载具可转动地装设于支撑件，所述第三旋转驱动件的动力端耦合至第二载具，所述第三旋转驱动件被配置为驱使第二载具绕正交于第四轴线的第五轴线转动。

一个实施例中，还包括第一检测组件，所述第一检测组件包括：

第一位置检测件，被配置为检测并获取所述第一载具绕第二轴线转动的位置信息，所述第一位置检测件与第一旋转驱动件电连接设置；和/或

第二位置检测件，被配置为检测并获取所述第二载具绕第三轴线转动的位置信息，所述第二位置检测件与第二旋转驱动件电连接设置。

一个实施例中，所述第一载具包括承载件和设置于承载件的多个吸盘，所述吸盘被配置为吸附固定待载工件的第一部位；所述第二载具包括承载吸盘，所述承载吸盘被配置为吸附固定待载工件的第二部位；

所述承载件和承载吸盘分别连接于驱动组件的动力端，当所述第一载具和第二载具同时运动至第一位置或第二位置时，所述承载吸盘分布于承载件内，且多个所述吸盘围绕承载吸盘间隔排布。

一个实施例中，所述承载件包括：

环体部，连接于所述驱动组件的动力端；以及

多个支臂部，多个所述支臂部围绕环体部的几何中心间隔地设置于环体部内，每个所述支臂部上均对应地装设有至少一个吸盘。

一个实施例中，还包括基体组件，所述基体组件包括：

第一基座，被配置为承载所述驱动组件，所述驱动组件固定设置于第一基座；以及

第四旋转驱动件，被配置为驱使所述第一基座转动，所述第四旋转驱动件的动力端耦合至第一基座。

一个实施例中，还包括第二检测组件，所述第二检测组件包括：

第三位置检测件，被配置为检测并获取所述第一基座的位置信息，所述第三位置检测件与第四旋转驱动件电连接设置；和/或

工件检测件，被配置为检测所述第一载具或第二载具是否承接有待载工件，所述工件检测件设置于第一基座。

根据第二方面，一种实施例中提供一种检测设备，包括：

承载装置，被配置为承载待检工件，所述承载装置采用第一方面所述的承载装置；

检测窗口，被配置为供人眼观测待检工件的表面，所述检测窗口设置在承载装置的一侧；以及

检测装置，被配置为获取待检工件的表面图像信息，所述检测装置设置在承载装置的另一侧。

依据上述实施例的承载装置及检测设备，包括第一载具、第二载具以及动力端分别耦合至第一载具和第二载具的驱动组件，驱动组件被配置为驱使第一载具和第二载具在第一位置与第二位置之间运动，以在第一载具运动至第一位置时固定待载工件的第一部位，在第二载具运动至第一位置时固定待载工件的第二部位；当第一载具和第二载具中的一者运动至第一位置并固定承接待载工件、另一者运动至第二位置时，驱动组件被配置为驱使承接有待载工件的第一载具或第二载具在预设空间内运动或停留，以调节待载工件的空间位置。通过第一载具和第二载具的切换配合，能够从工件的不同部位对其进行承接固定，借助驱动组件对载具进行切换控制以及运动形式的调整，不但避免在工件表面检测过程中形成盲区，实现全面、无死角的检测作业，而且能够为人工检测和自动检测创造有利条件。

附图说明

图1为一种实施例的承载装置的结构装配示意图。

图2为一种实施例的承载装置的结构分解示意图。

图3为一种实施例的承载装置在承接工件时的结构状态示意图。

图4为一种实施例的承载装置在第一载具处于运动状态的结构示意图。

图5为一种实施例的承载装置在第二载具处于运动状态的结构示意图。

图6为一种实施例的承载装置在整体旋转运动时的结构示意图。

图7为一种实施例的承载装置中第二驱动组件的平面结构示意图。

图8为一种实施例的承载装置中第二旋转驱动件的结构分解示意图。

图9为一种实施例的检测设备处于自动检测位置时的结构布局示意图。

图10为一种实施例的检测设备处于人工检测位置时的结构布局示意图。

图中：

10、第一载具；10a、避让通道；11、承载件；11a、环体部；11b、支臂部；12、吸盘；20、第二载具；21、承载吸盘；

30、第一驱动组件；31、第一平移驱动件；32、第一旋转驱动件；40、第二驱动组件；41、第二平移驱动件；41a、第一气缸；41b、直线模组；41c、安装板；42、第二旋转驱动件；43、定位件；44、摆转驱动件；44a、第二气缸；44b、连杆机构；45、支撑件；46、第三旋转驱动件；

51、第一位置检测件；52、第二位置检测件；60、基体组件；61、第一基座；62、第四旋转驱动件；63、第二基座；71、第三位置检测件；72、工件检测件；

L1、第一轴线；L2、第二轴线；L3、第三轴线；L4、第四轴线；L5、第五轴线；A、晶圆；B、承载装置；C、检测窗口；D、检测装置。

具体实施方式

下面通过具体实施方式结合附图对本实用新型作进一步详细说明。其中不同实施方式中类似元件采用了相关联的类似的元件标号。在以下的实施方式中，很多细节描述是为了使得本申请能被更好的理解。然而，本领域技术人员可以毫不费力的认识到，其中部分特征在不同情况下是可以省略的，或者可以由其他元件、材料、方法所替代。在某些情况下，本申请相关的一些操作并没有在说明书中显示或者描述，这是为了避免本申请的核心部分被过多的描述所淹没，而对于本领域技术人员而言，详细描述这些相关操作并不是必要的，他们根据说明书中的描述以及本领域的一般技术知识即可完整了解相关操作。

另外，说明书中所描述的特点、操作或者特征可以以任意适当的方式结合形成各种实施方式。同时，方法描述中的各步骤或者动作也可以按照本领域技术人员所能显而易见的方式进行顺序调换或调整。因此，说明书和附图中的各种顺序只是为了清楚描述某一个实施例，并不意味着是必须的顺序，除非另有说明其中某个顺序是必须遵循的。

本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接（联接）。

请参阅图1至图8，一种实施例提供了一种承载装置，主要用于承接并固定工件，以通过带动工件在某一预设环境空间内运动或停留，来调节工件的空间位置（该空间位置可以理解为是工件在所处空间内的角度、方位或者姿态等），借助承载装置可为工件的工位转换以及如表面检测等相关的工艺处理提供支持。为更清楚详细地说明该承载装置的结构，下面主要以该承载装置应用于晶圆表面检测为例进行说明，但需要指出的是，晶圆表面检测仅为该承载装置的一种具体应用场景，该承载装置还可应用到其他工件（如集成芯片、平面显示器件等半导体器件或非半导体器件）的检测、工位转换等工艺流程中。该承载装置包括载具组件和驱动组件，下面分别说明。

请参阅图1至图8，载具组件主要用于以接触固定的形式承接（或承载）晶圆A（就承载装置而言，该晶圆A相当于是待载工件），借助驱动组件对载具组件的运动路径的调控，使得载具组件连同其所承接的晶圆A能够在预设空间内运动或停留，从而改变（或调节）晶圆A的空间位置，以满足对晶圆A进行表面检测的需求。该载具组件包括第一载具10和第二载具20，两者用于从晶圆A的不同部位对晶圆A进行固定，以使得晶圆A能够被固定承接在第一载具10或者第二载具20上。

为便于描述，将晶圆A上用于或者能够与第一载具10进行对位接触固定的部位定义为晶圆A的第一部位，将晶圆A上用于或者能够与第二载具20进行对位接触固定的部位定义为晶圆A的第二部位。在一些实施例中，第一部位和第二部位是指晶圆A的同一表面（如背面或正面）上的不同区域位置。在另一些实施例中，当第一部位指的是晶圆A的正面或者正面的某一区域位置时，第二部位可以是晶圆A的背面或者背面的某一区域位置；反之，当第一部位指的是晶圆A的背面或者背面的某个区域位置时，第二部位即是指晶圆A的正面或者正面的某一区域位置。

请参阅图1至图6，在某一状态下，第一载具10和第二载具20是以能够相对直线移动的方式同轴布置的；为便于描述，将第一载具10与第二载具20的共用轴线定义为第一轴线L1，并且在第一轴线L1上或者两者的运动轨迹上定义有多个功能位置，该多个功能位置包括用于晶圆A上片（或加载）的位置、第一载具10和第二载具20在初始状态下所处的位置；为便于描述，将用于晶圆A上片的位置定义为第一位置，将第一载具10和第二载具20的初始位置定义为第二位置。

请参阅图1至图8，驱动组件主要用于驱使载具组件按预设规则在预设空间内进行运动，以实现对载具组件的运动路径以及空间位置的调控；该驱动组件包括第一驱动组件30和第二驱动组件40；其中，第一驱动组件30的动力端耦合至第一载具10，以与第一载具10组合搭建为一体；相应地，第二驱动组件40的动力端则耦合至第二载具20，以与第二载具20组合搭建为一体；借助第一驱动组件30和第二驱动组件40可分别独立地驱使对应的第一载具10和第二载具20在预设空间内运动或者停留，以便通过切换第一载具10和第二载具20，使两者能够分别固定承接晶圆A，从而调节或改变晶圆A的空间位置。

一个实施例中，请参阅图1至图6，第一驱动组件30与第二驱动组件40关于第一轴线L1呈间隔相对设置，以在驱动组件内形成可供第一载具10和第二载具20运动或停留的结构间隙；同时，由于第一载具10和第二载具20是沿第一轴线L1呈同轴设置的，为避免第一载具10和第二载具20在相对移动的过程中出现结构干涉，在第一载具10靠近第二驱动组件40的一侧设置有避让通道10a；一方面，借助避让通道10a可将第二载具20布置在第一载具10的轮廓范围内，使得第二驱动组件40的部分结构能够经由避让通道10a伸入第一载具10的轮廓范围内，以与第二载具20建立连接关系，或者使得第二载具20的部分结构能够经由避让通道10a从第一载具10的轮廓范围内伸出，以与第二驱动组件40建立连接关系；另一方面，在第一驱动组件30驱使第一载具10或者第二驱动组件40驱使第二载具20沿第一轴线L1作直线移动时，如在第一位置和第二位置之间运动时，由于避让通道10a的存在，可使得第一载具10与第二载具20相互间不会发生阻挡、碰撞等现象。

当然，也可将避让通道10a设置在第二载具20靠近第一驱动组件30的一侧，以使得第一载具10位于第二载具20的轮廓范围内。

另一个实施例中，也可省略避让通道10a，第一载具10和第二载具20中的一者采用大致为环状结构体，第一载具10和第二载具20中的另一者沿第一轴线L1同轴布置在前者的内环空间的轮廓范围内，而第一驱动组件30和第二驱动组件40中相对应的一者则可布置在第一轴线L1的径向侧，相对应的另一者可布置在第一轴线L1的轴向侧；虽然会增加承载装置在第一轴线L1的轴向上的尺寸以及配套结构的复杂性，但也可满足一些特殊场景下的应用需求。

基于驱动组件和载具组件相互间的结构关系，通过对驱动组件和载具组件的功能配置，可遵循下述规则将承载装置应用晶圆表面检测作业，以实现对晶圆A的正面和背面的双面检测以及背面和/或正面的两次检；下面具体说明。

请参阅图1，当承载装置处于初始状态下，第一载具10和第二载具20同时处于或停留在第二位置。

请参阅图3和图4，当晶圆A被移送至第一位置时，可首先借助第一驱动组件30驱使第一载具10沿第一轴线L1自第二位置运动至第一位置，利用第一载具10从晶圆A的第一部位对晶圆A进行固定，以使晶圆A被固定承接在第一载具10上；而后，第一驱动组件30驱使第一载具10带动晶圆A在预设空间内运动，如旋转、翻摆、平移等，具体取决于第一驱动组件30结构及其所能够输出的运动形式，以使得晶圆A最终能够运动至或停留在某一预设空间位置，如便于人工检测或者自动检测的空间位置，在检测作业完成后，驱使第一载具10带动晶圆A恢复至初始位置（即第一位置），从而完成对晶圆A的第一次表面检测作业。

请参阅图3和图5，借助第二驱动组件40驱使第二载具20沿L1自第二位置运动至第一位置，利用第二载具10从晶圆A的第二部位对晶圆A进行固定，以使得晶圆A被固定承接在第二载具20上；而后，第一载具10释放晶圆A，以解除其与晶圆A之间的固定承接关系，借助第一驱动组件30驱使第一载具10自第一位置返回第二位置；当第一载具10停留在第二位置后，第二驱动组件30即可驱使第二载具20带动晶圆A在预设空间内运动，并最终使晶圆A运动至或停留在某一预设空间位置，以对晶圆A再次进行人工或自动检测；在检测作业完成后，驱使第二载具20带动晶圆A恢复至初始位置（即：第一位置），从而完成对晶圆A的第二次表面检测作业。

在第二次表面检测作业完毕后，即可将当前晶圆A从第二载具20上移除，依据实际检测作业需求，或驱使第二载具20返回第二位置，使承载装置恢复至初始状态，或将下一个晶圆A移送至第一位置，以固定承载于第二载具20上，从而借助对第二载具20对下一个晶圆A执行第一次表面检测作业。

基于此，在第一次表面检测作业的过程中，晶圆A被第一载具10或第二载具20所接触固定的部位及所遮挡的其他区域部位，通常是无法被检测到的，故会形成检测盲区。由于第二载具20与晶圆A相接触固定的部位以及其对晶圆A所形成的遮挡部位与第一载具10是不同的；就同一个晶圆A而言，利用第一载具10和第二载具20完成对晶圆A的二次表面检测作业，可有效避开因第一载具10和第二载具20所形成的检测盲区，从而实现对晶圆A的全面、无死角的表面检测。同时，通过对第一驱动组件30和第二驱动组件40的结构和功能配置，可灵活调节晶圆A的空间位置，满足人工检测和自动检测的需求，为提高检测结果的准确性创造有利条件。

一个实施例中，请参阅图1至图6，第一驱动组件30包括第一平移驱动件31和第一旋转驱动件32；其中，第一旋转驱动件32的动力端耦合至第一载具10，用于在第一载具10运动至第一位置且固定承接晶圆A后，驱使第一载具10带动晶圆A绕正交于第一轴线L1的第二轴线L2作旋转运动（如在360°或者预设角度范围内进行连续转动、往复回转或者间歇式转动等），以调节晶圆A的空间位置，如晶圆A的背面（或正面）的方位或角度等，从而满足人工检测或自动检测的需求；第一平移驱动件31的动力端则耦合至第一旋转驱动件32的本体，用于驱使第一旋转驱动件32带动第一载具10沿第一轴线L1作直线移动，以使得第一载具10能够运动停留在第一位置或第二位置。

具体实施时，第一平移驱动件31的动力端耦合至第一旋转驱动件32的本体，而第一旋转驱动件32的动力端则耦合至第一载具10，从而使得第一平移驱动件31能够通过第一旋转驱动件32带动第一载具10作直线移动。基于第一驱动组件30的结构功能配置，可实现第一载具10的平移运动和旋转运动的运动复合，借助第一载具10的平移运动，可实现晶圆A的加载卸载以及第一载具10的复位；借助第一载具10的旋转运动，则可满足人工检测或自动检测时对晶圆A的方位角度的需求。

相适应地，请参阅图1至图6，第二驱动组件40包括第二平移驱动件41和第二旋转驱动件42；其中，第二平移驱动件41与第一平移驱动件31的功能相近，用于驱使第二载具20沿第一轴线L1在第一位置与第二位置之间作直线移动或停留，第二平移驱动件41与第一平移驱动件31关于第一轴线L1呈间隔相对设置；第二旋转驱动件42与第一旋转驱动件31的功能相近，用于在第二载具20运动至第一位置并固定承接晶圆A时，驱使第二载具20绕正交于第一轴线L1的轴线作旋转运动（如在360°或者±150°等预设角度范围内进行连续转动、往复回转或者间歇式转动等），为便于区分和描述，将该轴线定义为第三轴线L3；第二平移驱动件41的动力端耦合至第二旋转驱动件42的本体，而第二旋转驱动件42的动力端则耦合至第二载具20。以此，实现对第二载具20的平移运动和旋转运动的运动复合，满足晶圆A在第二载具20上的加载卸载以及方位角度调节等需求。

需要说明的是，若以晶圆A为参照物，第一轴线L1的方向相当于是晶圆A的轴向方向，第二轴线L2和第三轴线L3相当于是晶圆A的径向方向；同时，在某些状态下，如第一载具10和第二载具20同时处于第一位置或第二位置时，第二轴线L2和第三轴线L3是相互重合的一条轴线。

一个实施例中，请参阅图5，第二平移驱动件41由第一气缸41a、直线模组41b、安装板41c以及因应需要而存在的其他部件组合搭建而成；其中，第一气缸41a平行于第一轴线L1设置在第一平移驱动件31的相对侧，安装板41c固定装设在第一气缸41a的动力输出端，而第二旋转驱动件42的本体则固定装设在安装板41c上，从而利用第一气缸41a可通过驱使安装板41c、第二旋转驱动件42及第二载具20同步作直线平移运动，以最终实现第二载具20沿第一轴线L1在第一位置与第二位置之间运动的效果。直线模组41b布置在安装板41c的移动方向的两侧，直线模组41b的滑块部分与安装板41c的对应边侧固定，从而直线模组41b所具有的线性精度高等特点，在第二旋转驱动件42与第二平移驱动件41之间建立直线滑动连接关系，使得第二载具20能够平稳地定向移动。

具体实施时，第一平移驱动件31及其与第一旋转驱动件32之间的结构构造，可参考第二平移驱动件41及其与第二旋转驱动件42之间的结构构造进行设置，在此不作赘述。其他实施例中，也可采用电机、丝杆机构等来替换第一气缸41a，从而为提高第一载具10和第二载具20的运动精度创造条件，以满足不同的应用需求。

一个实施例中，请参阅图2、图5、图7和图8，第二驱动组件40还包括定位件43、摆转驱动件44和支撑件45；就第一载具10和第二载具20同时处于第一位置或第二位置时第二驱动组件40的结构状态而言，定位件43沿第三轴线L3延伸设置，其一端固定装设于第二旋转驱动件42的动力输出端、另一端可经由避让通道40a延伸至第一载具10内。支撑件45采用具有一定长度的条板状结构，其沿第三轴线L3装设于定位件43远离第二旋转驱动件42的一端并位于第一载具10内，该支撑件45长度方向的一端转动连接于定位件43，两者之间的转轴轴线（可定义为第四轴线L4）正交于第三轴线L3，第二载具20装设于支撑件45上。摆转驱动件44固定设置在定位件43邻近第二旋转驱动件42的部位，具体实施时，摆转驱动件44可由第二气缸44a和连杆机构44b等组合搭建而成，第二气缸44a的动力输出端转动连接连杆结构44b的一端，而连杆机构44b的另一端则转动连接支撑件45的长度方向的另一端。

以此，当第二载具20运动至第一位置并固定承接晶圆A后，可利用第二旋转驱动件42驱使定位件43绕第三轴线L3作旋转运动，借助定位件43带动摆转驱动件44、支撑件45、第二载具20及其所承接的晶圆A同步动作；而利用摆转驱动件44则可驱使支撑件45连同第二载具20和晶圆A相对于定位件43绕第四轴线L3进行一定角度的翻摆动作（如实现晶圆A沿其直径翻转或倾斜15°等预设角度），通过对第一旋转驱动件42和摆转驱动件44所输出的运动形式的复合，可在预设空间内对晶圆A的具体空间位置进行调节，满足检测的需求。

一个实施例中，请参阅图7和图8，第二驱动组件40还包括第三旋转驱动件46，第二载具20可转动地装设于支撑件45上，为便于区分和描述，将第二载具20与支撑件45之间的转动轴线定义为第五轴线L5，该第五轴线L5是正交于第四轴线L4的，第三旋转驱动件46的本体固定装设于支撑件45上，第三旋转驱动件46的动力端则耦合至第二载具20；如此，可利用第三旋转驱动件46驱使第二载具20绕正交于第四轴线L4的第五轴线L5转动，亦可理解为，在第二载具20固定承接晶圆A时，借助第三旋转驱动件46可驱使第二载具20带动晶圆A绕晶圆A的轴心线进行旋转运动（如在360°或者预设角度范围内进行连续转动、往复回转或者间歇式转动等），从而可进一步丰富第二载具20的运动形式，使得第二载具20带动晶圆A运动至或停留在预设空间内的任意位置。

请参阅图5和图7，一种实施例提供的一种承载装置，还包括第一检测组件，该第一检测组件包括第一位置检测件51和第二位置检测件52；其中，第一位置检测件51可采用如光电开关、角度传感器等电子元器件，其设置在第一载具10与第一旋转驱动件30之间，并与第一旋转驱动件30电连接设置；以光电开关为例，光电开关的一部分可装设在第一载具10上（如第一载具10的轴转部位上），光电开关的另一部分则可装设在第一旋转驱动件30的本体上或者类似于前述的安装板41c等部件上。

借助第一位置检测件51可检测并获取第一载具10绕第二轴线L2转动的位置信息，以为第一旋转驱动件30的启停以及正反转动力输出模式等提供信息支持，从而使得第一载具10能够带动晶圆A绕第二轴线L2转动至自动检测或人工检测所需要的角度位置，如通过对第一位置检测件51的具体布置位置或者数量的选择，可使得晶圆A能够沿其直径在作360°的连续旋转、或者在预设角度范围内作回转运动，亦或者间歇式（或递进式）的转动。

第二位置检测件52可参考第一位置检测件51进行设置，其安装在第二载具20与第二旋转驱动件42之间，如设置在前述的定位件43与安装板41c之间，并与第二旋转驱动件40电连接设置；利用第二位置检测件52可检测并获取第二载具10（或者连同前述的位于第二旋转驱动件42的动力端侧的定位件43、摆转驱动件44、支撑件45、第三旋转驱动件46等关联部件）绕第三轴线L3转动的位置信息，以为第二旋转驱动件42的起订以及正反转动力输出的模式转换等提供信息支持。

一种实施例中，请参阅图1、图2、图4、图5和图6，第一载具10大致为环状结构体，如圆环状结构，其包括承载件11和多个吸盘12；第二载具20大致为盘状结构体，如圆盘状结构，其包括承载吸盘21；其中，承载件11固定连接于驱动组件的动力输出端（具体如前述的第一旋转驱动件32的动力输出端）；吸盘12可采用风琴式吸盘，多个吸盘12沿承载件11的轮廓走向均匀且间隔地设置在承载件11上，通过将吸盘12与诸如真空泵等负压源进行连接，可使得吸盘12产生负压吸附力，以将晶圆A固定在第一载具10上；晶圆A上被吸盘12所吸附固定的部位可以理解为是晶圆A的第一部位。

请参阅图1和图3，在第一载具10和第二载具20同时运动至第一位置或者第二位置的状态下，承载吸盘21则是以同轴设置的形式分布在承载件11（或者第一载具10的整体）的轮廓范围内的，相应地，多个吸盘12则是围绕分布在承载吸盘21的外周侧。基于与吸盘12相同的原理，通过将承载吸盘21与负压源进行连接，则可使得承载吸盘21产生负压吸附力，从而以负压吸附的方式将晶圆A固定承接在承载吸盘21或第二载具20上。

就第一驱动组件30与第二驱动组件40采用间隔相对布置的结构形式而言，承载件11采用开环式结构，即：承载件11靠近第二驱动组件40的一侧设置为开口结构，该开口结构即为前述的避让通道10a，以利用避让通道10a来防止第一载具10和第二载具20在发生相对的直线移动时，两者之间出现相互干涉或者阻挡的问题。

如此，通过对第一载具10和第二载具20的结构配置，可使得两者以中心吸附的形式对晶圆A进行固定承载；具体而言，当将晶圆A移送至第一位置并使得晶圆A的几何中心（或轴心）重合于第一轴线L1时，在第一载具10运动至第一位置后，即可借助吸盘12产生负压吸附力，吸附固定围绕晶圆A表面（如背面）的中心区域的相对边缘的部位；而在第二载具20运动至第一位置后，则可利用承载吸盘21吸附固定晶圆A表面（如背面）的中心区域部位；一方面，采用中心吸附的形式，可使得承载装置能够兼容不同尺寸的晶圆A，如4吋、5吋、6吋和8吋等晶圆A；另一方面，也有利于对晶圆A进行稳定的承载固定，使其能够在相应载具的带动下在预设空间内进行运动。

当然，其他实施例中，依据工件形状等，第一载具10和第二载具20也可采用与工件的形状相适合的其他形状构造；同时，依据工件的类型，第一载具10和第二载具20也可以采用如磁吸、卡接、夹持等方式对工件进行固定承载。凡此种种，不作赘述。

一个实施例中，请参阅图1和图4，承载件11包括环体部11a和多个支臂部11b；其中，环体部11a根据驱动组件（具体为第一驱动组件30和第二驱动组件40）的具体结构形式，可采用开环式结构或者闭环式结构，该环体部11a连接于第一驱动组件30（具体为第一旋转驱动件32）的动力端，多个支臂部11b则围绕环体部11a的几何中心间隔设置在环体部11a内，而每个支臂部11b上则对应地装设有至少一个吸盘12；从而通过在环体部11a的内周侧设置多个朝其几何中心延伸分布的支臂部11b，可使得吸盘12分布在承载件11的内侧，以尽量趋近晶圆A的中心区域。

具体实施时，请参阅图4，可在承载件11远离第二驱动组件40的一侧设置沿第二轴线L2延伸设置的转接轴，利用将第一载具10转动地装设于第一驱动组件30所对应的安装板41c上，而第一旋转驱动件32的动力端则可与转接轴平行设置，并借助传动带、传动链、齿轮组等传动部件与第一载具10建立传动连接关系；同时，可在承载件11（包括环体部11a、支臂部11b、转接轴）内设置与吸盘12连通的流体通道，并通过在转接轴上设置如回转接头等部件，最终将吸盘12与真空源进行连接。通过在第一载具10与第一旋转驱动件32之间设置传动部件，一方面可以对第一旋转驱动件32的输出力矩进行调配，使其能够平稳地驱使第一载具10绕第二轴线L2进行转动；另一方面，也可为吸盘12与真空源的连接创造结构条件。

其他实施例中，也可省略支臂部11b，直接将吸盘12设置在环体部11a上，或者同时省略吸盘12，通过在承载件11的表面上设置槽腔结构或者槽孔结构，来替代吸盘12。

一个实施例中，请参阅图8，承载吸盘21包括盘状本体和设置于盘状本体的吸附结构，该吸附结构包括开设于盘状本体的表面（即用于接触晶圆A的表面）上的槽腔结构或者槽孔结构、设置于盘状本体内的流体通道等，具体实施时，可通过在承载吸盘21与第二驱动组件40（具体如前述实施例的支撑件45）之间设置回转接头等部件，将承载吸盘21与真空源进行连接；相应地，前述实施例的第三旋转驱动件46则可参考第一旋转驱动件32的方式与承载吸盘21进行传动连接，从而既可以保证第一载具20具备绕第五轴线L5进行转动的能力，又能够确保其能够执行对晶圆A的吸附固定。

请参阅图1至图6，一种实施例提供的一种承载装置，还包括基体组件60，该基体组件60主要作为承载装置的基础支撑构件使用，一方面为驱动组件的本体部分提供结构装配空间，另一方面通过对基体组件60的功能配置，使得驱动组件、第一载具10和第二载具20等组合形成的整体（亦可理解为是承载装置的主体部分）能够预设空间内转动，以实现对承载装置的主体部分的方位调节，使第一载具10或第二载具20所承载的晶圆A能够被调整至适合人工检测或自动检测的位置。

具体而言，该基体组件60包括第一基座61、第四旋转驱动件62和第二基座63；其中，第一基座61和第二基座63沿第一轴线L1间隔相对设置，驱动组件的本体（包括第一平移驱动件31的本体、第二平移驱动件32的本体以及相关联的直线模组等）固定设置在第一基座61上；第四旋转驱动件62的本体固定设置在第二基座63上、动力输出端则耦合至第一基座61上；利用第四旋转驱动件62所输出的旋转动力，可驱使第一基座61带动驱动组件、第一载具10、第二载具20等以第一轴线L1为旋转轴线进行转动，如360°或预设角度范围内的连续转动、往复回转、间歇式转动等，从而便于将承载装置的主体部分调节至适合人工检测或自动检测的位置。在一些实施例中，也可省略第二基座63，直接将第四旋转驱动件62的本体固定在与承载装置配套使用的装置上。

请参阅图1、图2和图4，一种实施例提供的一种承载装置，还包括第二检测组件，该第二检测逐渐包括第三位置检测件71和工件检测件72；其中，第三位置检测件71可参考第一位置检测件51和第二位置检测件52进行选择，其布置在第一基座61和第二基座63（或者第四旋转驱动件62的本体）之间，主要用于检测并获取第一基座61绕第一轴线L1转动的位置信息，以为第四旋转驱动件62的启停、动力输出模式的转换等提供信息支持，以便于精确调控承载装置的主体部分的位置。工件检测件72则设置在第一基座61上，其可以采用光传感器等感应器件，主要用于检测第一载具10或第二载具20上是否承载有晶圆A，以实现对晶圆A的加载或卸载检测，从而为第一载具10和第二载具20执行相应动作提供信息支持。

另外，在具体实施时，前述实施例中的各旋转驱动件（包括第一旋转驱动件32、第二旋转驱动件42、第三旋转驱动件46、第四旋转驱动件62等）可采用电机、编码器等组合而成，从而可使得承载装置的相关动作部件能够精确地执行相应运动。

需要说明的是，本文中的第一轴线L1、第二轴线L2、第三轴线L3、第四轴线L4和第五轴线L5等，是为了更清楚详细地描述第一载具10和第二载具20的运动形式而自定义的虚拟轴线，其并不真实存在承载装置中。其中，图3、图4、图5、图6和图8中，点划线代表相应轴线，带箭头的虚线代表相关部件的运动方向。

请参阅图9和图10并结合图1至图8，本申请实施例还提供了一种检测设备，用于晶圆等工件的表面检测；该检测设备包括承载装置B、检测窗口C、检测装置D以及因应需要而存在的其他构件，如用于对承载装置B和检测装置D进行外围防护并能够提供检测空间的设备壳体、用于向待检工件发射可见光以照射待检工件表面的光发射件等；下面以待检工件为晶圆为例，对相关组成构件作具体说明。

请参阅图9和图10并结合图1至图8，承载装置B采用前述任一实施例的承载装置，主要用于固定承接晶圆A，以调节晶圆A在检测空间内的空间位置；该承载装置B的具体结构和运动方式前文已述，在此不作赘述。

请参阅图9和图10，检测窗口C主要用于为检测人员提供可观察晶圆A的结构通道或者位置，其可以是布置在设备壳体的某一预设位置的透明窗口，如玻璃窗口，也可以是基于检测设备的结构特点，自然形成于检测设备的某一预设位置的结构空位；要点在于：该检测窗口C是沿着第一轴线L1的径向设置在承载装置B的一侧，如在第一轴线L1是一条沿竖直方向的直线（或者驱动组件能够驱使第一载具10和第二载具20沿竖直方向作升降运动）的情况下，检测窗口C可布置在承载装置B或者检测设备的正面侧；相适应地，晶圆A的上片位置则位于检测设备的顶部，如从检测设备的顶部背面侧向承载装置B进行加载或者卸载晶圆A。

当晶圆A在承载装置B的驱使带动下运动至检测窗口C所对应的区域位置时，经晶圆A所反射和/或散射而形成的检测光信号会入射至人眼，从而使得检测人员可以通过检测窗口C观察晶圆A朝向检测窗口C的局部位置或者全部区域的表面形态，以人工判断的方式确定晶圆A上是否存在缺陷，以此达到人工检测的目的。

请参阅图9和图10，检测装置D主要用于获取晶圆A的表面图像信息，该检测装置D设置于设备壳体内，并沿第一轴线L1的径向布置在承载装置B的另一侧，如承载装置B的左侧或右侧。该检测装置D可以是自动检测相机，以通过对晶圆A进行拍照来获取晶圆A的静态图像；也可以是摄像机，以通过摄录晶圆A的影响来获取晶圆A的动态图像。当晶圆A在承载装置B的驱使带动下运动至检测装置D的视觉范围内时，即可利用检测装置D对晶圆A进行拍照或录像，从而借助检测人员或者设备本身所配置的相关功能对晶圆A的表面缺陷进行分析判断，以此达到自动检测的目的。

基于承载装置B的结构特点，可遵循如下流程对晶圆A进行人工检测和自动检测；下面具体说明。

一、人工检测作业

步骤100，控制第一平移驱动件31动作，以驱使第一载具10自第二位置移动至第一位置，借助如晶圆设备前端模块（即：EFEM）等装置将晶圆A放置在第一载具10上；控制真空源动作，以使第一载具10通过吸附晶圆A的第一部位（即：晶圆A的背面围绕中心区域的边缘部位），将晶圆A固定承接在第一载具10上。

步骤200、晶圆设备前端模块退出检测设备后，控制第四旋转驱动件62动作，以驱使承载装置B的整体转动至检测窗口C所对应的方位（请参阅图10），以避免驱动组件遮挡检测窗口C；而后控制第一旋转驱动件32动作，以驱使第一载具10带动晶圆A进行旋转（如360°的连续旋转等），对晶圆A进行第一次检测作业（该检测作业至少应该包括对晶圆A背面的第一次检测）。

步骤300、第一次检测作业完成后，通过第一旋转驱动件32驱使第一载具10带动晶圆A回到起始位置（该起始位置是指晶圆A在第一旋转驱动件32准备驱使晶圆A进行旋转的位置）；控制第二平移驱动件41动作，以驱使第二载具10自第二位置移动至第一位置，控制真空源动作，使第二载具20吸附晶圆A的第二部位（即：晶圆A的中心区域），以将晶圆A固定承接在第二载具20上；与此同时，对第一载具10进行真空破坏，以解除第一载具10对晶圆A的吸附。

步骤400、控制第一平移驱动件31驱使第一载具10自第一位置移动至第二位置后，根据预设的规则，控制第二旋转驱动件42、摆转驱动件44和第三旋转驱动件46协调动作，使第二载具20带动晶圆A进行旋转、倾斜等，以从各个角度或方位调节晶圆A，对晶圆A进行第二次检测作业，包括正面检测以及背面盲区的检测（该盲区是指被第一载具10所遮挡和吸附固定的部位）。

步骤500、第二次检测作业完成后，控制第二旋转驱动件42、摆转驱动件44和第三旋转驱动件46恢复至原始位置，以使得第二载具20带动晶圆A回到起始位置；而后，第一平移驱动件31驱使第一载具10移动至第二位置，并直接承接或者固定承接晶圆A，而第二载具20则解除对晶圆A的吸附固定，并在第二平移驱动件41的驱使下回归第二位置；最后，控制旋转驱动件62动作，驱使承载装置B整体转动至初始位置，晶圆设备前端模块取走晶圆A。

步骤600、若继续对下一个晶圆A进行检测，则重复执行步骤100至步骤500；若停止检测作业，则第一平移驱动件31驱使第一载具10回归第二位置，检测作业结束。

二、自动检测作业

步骤700、控制第一平移驱动件31动作，以驱使第一载具10自第二位置移动至第一位置，借助如晶圆设备前端模块（即：EFEM）等装置将晶圆A放置在第一载具10上；控制真空源动作，以使第一载具10吸附晶圆A，将晶圆A固定承接在第一载具10上。

步骤800、晶圆设备前端模块退出检测设备后，控制第四旋转驱动件62动作，以驱使承载装置B的整体转动至检测装置D所对应的方位（请参阅图9），以避免驱动组件遮挡检测装置D；而后控制第一旋转驱动件32动作，以驱使第一载具10带动晶圆A进行间歇式旋转，如在预设角度范围内旋转至或停留在不同的角度位置，在晶圆A停留的过程中，利用检测装置D对晶圆A进行拍照检测，以对晶圆A进行第一次检测作业。

步骤900，第一次检测作业完成后，通过第一旋转驱动件32驱使第一载具10带动晶圆A回到起始位置；控制第二平移驱动件41动作，以驱使第二载具10自第二位置移动至第一位置，控制真空源动作，使第二载具20吸附晶圆A，以将晶圆A固定承接在第二载具20上；与此同时，对第一载具10进行真空破坏，以解除第一载具10对晶圆A的吸附。

步骤1000，控制第一平移驱动件31驱使第一载具10自第一位置移动至第二位置后，控制第三旋转驱动件46驱使第二载具20带动晶圆A旋转一定角度。

步骤1100，第一平移驱动件31驱使第一载具10再次移动至第一位置，并吸附晶圆A；而第二载具20则解除对晶圆A的吸附，并在第二平移驱动件41的驱使下回归至第二位置。由于第三旋转驱动件46以驱使晶圆A旋转了一定角度，故此时第一载具10吸附晶圆A的位置以及遮挡的位置，与第一载具10在第一次检测作业中对晶圆A吸附和遮挡的位置是不同的，故而可避开在第一次检测作业中因第一载具10所而形成的盲区。

步骤1200，第一旋转驱动件32再次驱使第一载具10带动晶圆A进行旋转，以对晶圆A进行第二次检测作业。

步骤1300，第二次检测作业完成后，通过第一旋转驱动件32驱使第一载具10带动晶圆A回归起始位置；而后，控制旋转驱动件62动作，驱使承载装置B整体转动至初始位置，第一载具10解除对晶圆A的吸附，晶圆设备前端模块取走晶圆A。

步骤1400，若继续对下一个晶圆A进行检测，则重复执行步骤700至步骤1300；若停止检测作业，则第一平移驱动件31驱使第一载具10回归第二位置，检测作业结束。

以上应用了具体个例对本实用新型进行阐述，只是用于帮助理解本实用新型，并不用以限制本实用新型。对于本实用新型所属技术领域的技术人员，依据本实用新型的思想，还可以做出若干简单推演、变形或替换。

Claims (11)

1.一种承载装置，其特征在于，包括：

第一载具，被配置为运动至第一位置时固定待载工件的第一部位，以承接待载工件；

第二载具，被配置为运动至第一位置时固定待载工件的不同于第一部位的第二部位，以承接待载工件；以及

驱动组件，所述驱动组件的动力端分别耦合至第一载具和第二载具，所述驱动组件被配置为驱使第一载具和第二载具在第一位置与第二位置之间运动；

当所述第一载具与第二载具中未承接待载工件的一者运动至第二位置时，所述驱动组件还被配置为驱使第一载具与第二载具中承接有待载工件的一者在预设空间内运动或停留，以调节待载工件的空间位置。

2.如权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述驱动组件包括：

第一驱动组件，所述第一驱动组件的动力端耦合至第一载具，所述第一驱动组件被配置为驱使第一载具沿第一轴线在第一位置与第二位置之间运动，所述第一驱动组件还被配置为驱使所述第一载具在预设空间内运动或停留；以及

第二驱动组件，所述第二驱动组件的动力端耦合至第二载具，所述第一驱动组件被配置为驱使第二载具沿第一轴线在第一位置与第二位置之间运动，所述第一驱动组件还被配置为驱使第二载具在预设空间内运动或停留；

所述第一驱动组件与第二驱动组件关于第一轴线呈间隔相对设置，所述第一载具与第二载具中的一者设有避让通道，所述避让通道被配置为第一载具与第二载具在预设空间内运动时相互避让。

3.如权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述第一驱动组件包括第一平移驱动件和第一旋转驱动件，所述第一旋转驱动件的动力端耦合至第一载具，所述第一旋转驱动件被配置为驱使第一载具绕正交于第一轴线的第二轴线转动；所述第一平移驱动件的动力端耦合至第一旋转驱动件，所述第一平移驱动件被配置为驱使第一旋转驱动件带动第一载具沿第一轴线移动；

所述第二驱动组件包括第二平移驱动件和第二旋转驱动件，所述第二旋转驱动件的动力端耦合至第二载具，所述第二旋转驱动件被配置为驱使第二载具绕正交于第一轴线的第三轴线转动；所述第二平移驱动件的动力端耦合至第二旋转驱动件，所述第二平移驱动件被配置为驱使第二旋转驱动件带动第二载具沿第一轴线移动。

4.如权利要求3所述的承载装置，其特征在于，所述第二驱动组件还包括：

定位件，所述第二旋转驱动件的动力端与定位件固定，以能够驱使所述定位件绕第三轴线转动；

摆转驱动件，固定装设于所述定位件；以及

支撑件，具有相对的两端，所述支撑件的一端转动连接定位件，所述摆转驱动件的动力端转动连接支撑件的另一端，所述摆转驱动件被配置为驱使支撑件绕正交于第三轴线的第四轴线转动，所述第二载具装设于支撑件。

5.如权利要求4所述的承载装置，其特征在于，所述第二驱动组件还包括第三旋转驱动件，固定装设于所述支撑件；所述第二载具可转动地装设于支撑件，所述第三旋转驱动件的动力端耦合至第二载具，所述第三旋转驱动件被配置为驱使第二载具绕正交于第四轴线的第五轴线转动。

6.如权利要求3所述的承载装置，其特征在于，还包括第一检测组件，所述第一检测组件包括：

第一位置检测件，被配置为检测并获取所述第一载具绕第二轴线转动的位置信息，所述第一位置检测件与第一旋转驱动件电连接设置；和/或

第二位置检测件，被配置为检测并获取所述第二载具绕第三轴线转动的位置信息，所述第二位置检测件与第二旋转驱动件电连接设置。

7.如权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述第一载具包括承载件和设置于承载件的多个吸盘，所述吸盘被配置为吸附固定待载工件的第一部位；所述第二载具包括承载吸盘，所述承载吸盘被配置为吸附固定待载工件的第二部位；

所述承载件和承载吸盘分别连接于驱动组件的动力端，当所述第一载具和第二载具同时运动至第一位置或第二位置时，所述承载吸盘分布于承载件内，且多个所述吸盘围绕承载吸盘间隔排布。

8.如权利要求7所述的承载装置，其特征在于，所述承载件包括：

环体部，连接于所述驱动组件的动力端；以及

多个支臂部，多个所述支臂部围绕环体部的几何中心间隔地设置于环体部内，每个所述支臂部上均对应地装设有至少一个吸盘。

9.如权利要求1所述的承载装置，其特征在于，还包括基体组件，所述基体组件包括：

第一基座，被配置为承载所述驱动组件，所述驱动组件固定设置于第一基座；以及

第四旋转驱动件，被配置为驱使所述第一基座转动，所述第四旋转驱动件的动力端耦合至第一基座。

10.如权利要求9所述的承载装置，其特征在于，还包括第二检测组件，所述第二检测组件包括：

第三位置检测件，被配置为检测并获取所述第一基座的位置信息，所述第三位置检测件与第四旋转驱动件电连接设置；和/或

工件检测件，被配置为检测所述第一载具或第二载具是否承接有待载工件，所述工件检测件设置于第一基座。

11.一种检测设备，其特征在于，包括：

承载装置，被配置为承载待检工件，所述承载装置采用如权利要求1-10中任一项所述的承载装置；

检测窗口，被配置为供人眼观测待检工件的表面，所述检测窗口设置在承载装置的一侧；以及

检测装置，被配置为获取待检工件的表面图像信息，所述检测装置设置在承载装置的另一侧。

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