TW201738990A - 處理裝置 - Google Patents

Abstract

本發明之處理裝置例如具備供載置處理對象物2之複數個載置台8、供搭載複數個載置台8之旋轉台9、及收容載置台8等之殼體13，若干個載置台8配置於進行處理對象物2之處理之處理位置8A，若干個載置台8配置於進行處理對象物8之更換之更換位置8B。於殼體13形成有開口部34c，該開口部34c係在配置於更換位置8B之載置台8之上側配置，在配置於更換位置8B之載置台8之下側，配置有使載置台8上升之上升機構11。若配置於更換位置8B之載置台8提昇，則開口部34c被封堵而使殼體13之內部成為密閉之空間，並且處理對象物2露出於殼體13之外側。

Description

處理裝置

本發明係關於一種對特定之處理對象物進行處理之處理裝置。

先前，已知進行液晶面板之檢查的檢查裝置(例如，參照專利文獻1)。專利文獻1所記載之檢查裝置被併入液晶面板之製造處理步驟之中途。該檢查裝置具備進行液晶面板之點亮檢查之探測器、將檢查前之液晶面板朝探測器搬送之搬入側輸送機、將由搬入側輸送機搬送之液晶面板搬入至探測器之搬入機構、將檢查後之液晶面板自探測器搬出之搬出機構、及搬送由搬出機構搬出之液晶面板之搬出側輸送機。於專利文獻1所記載之檢查裝置中，探測器具備供載置液晶面板之工作台、自液晶面板之背面對液晶面板照射光之背光源、放映出液晶面板之表面之影像之屏幕、及配置於工作台與屏幕之間之光學系統等，該等構成係配置於殼體中。於殼體，設置有由搬入機構進行液晶面板之搬入時開閉之擋板、及由搬出機構進行液晶面板之搬出時開閉之擋板。於專利文獻1所記載之檢查裝置中，若關閉擋板，則殼體之內部成為密閉之空間，並且成為來自外部之光被遮斷之暗室。液晶面板之點亮檢查係於擋板關閉之狀態之殼體中進行(即，於成為暗室之殼體之內部進行)，若液晶面板之點亮檢查結束，則擋板打開，將檢查後之液晶面板自工作台搬出，並且將檢查前之液晶面板搬入至工作台。又，若將檢查前之液晶面板搬入至工作台，則擋板關閉，於成為暗室之殼體之內部進行下一個液晶面板之點亮檢查。即，於專利文獻1所記載之檢查裝置中，液晶面板之點亮檢查、與對工作台進行之液晶面板之更換係交替進行。先前技術文獻專利文獻專利文獻1：日本專利特開2007-107973號公報

[發明所欲解決之問題]於併入有專利文獻1所記載之檢查裝置之液晶面板之生產系統中，為提高液晶面板之生產效率，較佳為於成為暗室之殼體之內部進行點亮檢查之檢查步驟所需之時間較短。即，較佳為於該生產系統中，於密閉空間中進行點亮檢查之檢查步驟所需之時間較短。然而，於專利文獻1所記載之檢查裝置中，液晶面板之點亮檢查與對工作台進行之液晶面板之更換係交替進行，故於密閉空間中進行點亮檢查之檢查步驟所需之時間變長。因此，本發明之課題在於提供一種處理裝置，其即便於在密閉空間中對處理對象物進行特定之處理之情形時，亦能夠縮短於密閉空間中對處理對象物進行處理之處理步驟所需之時間。[解決問題之技術手段]為解決上述問題，本發明之處理裝置之特徵在於具備：複數個載置台，其等供載置處理對象物；旋轉台，其供複數個載置台能夠升降地搭載；旋轉驅動機構，其使旋轉台以上下方向為旋轉之軸向而旋轉；上升機構，其使載置台相對於旋轉台上升；及殼體，其收容載置台、旋轉台、旋轉驅動機構及上升機構；且複數個載置台中之若干個載置台係配置於進行處理對象物之處理之處理位置，複數個載置台中之若干個載置台係配置於進行處理對象物自載置台之搬出、及處理對象物對載置台之供給之至少任一者之更換位置，旋轉台使載置台於處理位置與更換位置之間移動，於殼體形成有開口部，該開口部係在配置於更換位置之載置台之上側配置，並且能夠供處理對象物通過，上升機構係在配置於更換位置之載置台之下側配置，若配置於更換位置之載置台藉由上升機構而提昇，則開口部自殼體之內部被封堵而使殼體之內部成為密閉之空間，並且處理對象物配置於開口部中且露出於殼體之外側。本發明之處理裝置中，複數個載置台中之若干個載置台係配置於進行處理對象物之處理之處理位置，複數個載置台中之若干個載置台係配置於進行處理對象物自載置台之搬出、及處理對象物對載置台之供給之至少任一者之更換位置。又，本發明中，能夠供處理對象物通過之開口部形成於殼體，若配置於更換位置之載置台藉由上升機構而提昇，則開口部自殼體之內部被封堵而使殼體之內部成為密閉之空間，並且將處理對象物配置於開口部中且露出於殼體之外側。因此，本發明中，能夠一面對配置於處理位置之載置台上所載置之處理對象物於密閉空間中進行處理，一面對配置於更換位置之載置台進行露出於殼體之外側之處理對象物之更換。即，本發明中，能夠將密閉空間中之處理對象物之處理、與對載置台進行之處理對象物之更換一同進行。因此，本發明中，即便於在密閉空間中對處理對象物進行處理之情形時，亦能夠縮短於密閉空間中對處理對象物進行處理之處理步驟所需之時間。於本發明中，例如，處理對象物係被進行點亮檢查之檢查對象物，複數個載置台中之若干個載置台係配置於進行檢查對象物之點亮檢查之作為處理位置之檢查位置，複數個載置台中之若干個載置台係配置於更換位置，旋轉台使載置台於檢查位置與更換位置之間移動，若配置於更換位置之載置台藉由上升機構而提昇，則開口部被封堵而使殼體之內部成為暗室。於該情形時，能夠一面將配置於檢查位置之載置台上所載置之檢查對象物於暗室中進行點亮檢查，一面對配置於更換位置之載置台進行露出於殼體之外側之檢查對象物之更換。即，能夠將暗室中之檢查對象物之點亮檢查、與對載置台進行之檢查對象物之更換一同進行。因此，即便於在暗室中進行檢查對象物之點亮檢查之情形時，亦能夠縮短檢查對象物之檢查步驟所需之時間。於本發明中，例如，處理對象物係被照射紫外線之照射對象物，複數個載置台中之若干個載置台係配置於對照射對象物照射紫外線之作為處理位置之照射位置，複數個載置台中之若干個載置台係配置於更換位置，旋轉台使載置台於照射位置與更換位置之間移動。於該情形時，能夠一面對配置於照射位置之載置台上所載置之照射對象物照射紫外線，一面對配置於更換位置之載置台進行露出於殼體之外側之照射對象物之更換。即，能夠將密閉空間中之對照射對象物之紫外線之照射、與對載置台進行之照射對象物之更換一同進行。因此，即便於在密閉空間中進行對照射對象物之紫外線之照射之情形時，亦能夠縮短對照射對象物之紫外線之照射步驟所需之時間。於本發明中，較佳為於更換位置進行處理對象物自載置台之搬出、及處理對象物對載置台之供給。若如此構成，則相較進行處理對象物對載置台之供給之更換位置、與進行處理對象物自載置台之搬出之更換位置各自不同之情形，能夠簡化處理裝置之構成。本發明中，較佳為於開口部之緣，形成有朝下側突出之環狀之凸部，且於凸部之下端面，安裝有與載置台之上表面接觸之環狀之密封構件。若如此構成，則當配置於更換位置之載置台藉由上升機構而提昇時，能夠提高殼體之內部之空間之密閉性。於本發明中，例如，於載置台，形成有於上下方向貫通之貫通孔，於上升機構，安裝有封堵貫通孔之封閉構件，若配置於更換位置之載置台藉由上升機構而提昇，則由封閉構件將貫通孔封堵，並且由載置台與封閉構件將開口部封堵。於該情形時，即便於上下方向貫通之貫通孔形成於載置台，亦能夠使殼體之內部為密閉之空間。於本發明中，亦可為，若配置於更換位置之載置台藉由上升機構而提昇，則由載置台將開口部封堵。又，為解決上述問題，本發明之處理裝置之特徵在於具備：複數個載置台，其等形成有於上下方向貫通之貫通孔，並且供載置處理對象物；旋轉台，其供搭載複數個載置台；旋轉驅動機構，其使旋轉台以上下方向為旋轉之軸向而旋轉；封閉構件，其自載置台之下側封堵貫通孔；封閉構件升降機構，其使封閉構件升降；殼體，其收容載置台、旋轉台、旋轉驅動機構、封閉構件及封閉構件升降機構；升降構件，其能夠升降地保持於殼體；及升降構件升降機構，其使升降構件升降；且複數個載置台中之若干個載置台係配置於進行處理對象物之處理之處理位置，複數個載置台中之若干個載置台係配置於進行處理對象物自載置台之搬出、及處理對象物對載置台之供給之至少任一者之更換位置，旋轉台使載置台於處理位置與更換位置之間移動，升降構件形成為於內周側具有能夠供搬送對象物通過之開口部之筒狀，並且在配置於更換位置之載置台之上側配置，封閉構件係在配置於更換位置之載置台之下側配置，若封閉構件上升而將配置於更換位置之載置台之貫通孔封堵並且升降構件下降而與配置於更換位置之載置台接觸，則開口部自殼體之內部被封堵而使殼體之內部成為密閉之空間，並且處理對象物配置於開口部中且露出於殼體之外側。本發明之處理裝置中，複數個載置台中之若干個載置台係配置於進行處理對象物之處理之處理位置，複數個載置台中之若干個載置台係配置於進行處理對象物自載置台之搬出、及處理對象物對載置台之供給之至少任一者之更換位置。又，本發明中，將形成於載置台之貫通孔自載置台之下側封堵之封閉構件係在配置於更換位置之載置台之下側配置，且能夠升降地保持於殼體之升降構件係在配置於更換位置之載置台之上側配置。進而，本發明中，能夠供處理對象物通過之開口部形成於升降構件，若封閉構件上升而將配置於更換位置之載置台之貫通孔封堵並且升降構件下降而與配置於更換位置之載置台接觸，則開口部自殼體之內部被封堵而使殼體之內部成為密閉之空間，並且處理對象物配置於開口部中且露出於殼體之外側。因此，本發明中，能夠一面對配置於處理位置之載置台上所載置之處理對象物於密閉空間中進行處理，一面對配置於更換位置之載置台進行露出於殼體之外側之處理對象物之更換。即，本發明中，能夠將密閉空間中之處理對象物之處理、與對載置台進行之處理對象物之更換一同進行。因此，本發明中，即便於在密閉空間中對處理對象物進行處理之情形時，亦能夠縮短於密閉空間中對處理對象物進行處理之處理步驟所需之時間。於本發明中，例如，處理對象物係被進行點亮檢查之檢查對象物，複數個載置台中之若干個載置台係配置於進行檢查對象物之點亮檢查之作為處理位置之檢查位置，複數個載置台中之若干個載置台係配置於更換位置，旋轉台使載置台於檢查位置與更換位置之間移動，若封閉構件上升而將配置於更換位置之載置台之貫通孔封堵並且升降構件下降而與配置於更換位置之載置台接觸，則開口部被封堵而使殼體之內部成為暗室。於該情形時，能夠一面將配置於檢查位置之載置台上所載置之檢查對象物於暗室中進行點亮檢查，一面對配置於更換位置之載置台進行露出於殼體之外側之檢查對象物之更換。即，能夠將暗室中之檢查對象物之點亮檢查、與對載置台進行之檢查對象物之更換一同進行。因此，即便於在暗室中進行檢查對象物之點亮檢查之情形時，亦能夠縮短檢查對象物之檢查步驟所需之時間。於本發明中，較佳為，於殼體，形成有供配置升降構件之下端側部分之殼體側貫通孔，升降構件具備環狀之密封構件，該密封構件係安裝於升降構件之下端面，且與載置台之上表面接觸，於殼體側貫通孔之緣，安裝有與下降之升降構件之上端側部分接觸之環狀之第2密封構件。若如此構成，則當封閉構件上升而將配置於更換位置之載置台之貫通孔封堵並且升降機構下降而與配置於更換位置之載置台接觸時，能夠提高殼體之內部之空間之密閉性。進而，為解決上述問題，本發明之處理裝置之特徵在於具備：複數個載置台，其等供載置處理對象物；旋轉台，其供搭載複數個載置台；旋轉驅動機構，其使旋轉台以上下方向為旋轉之軸向而旋轉；殼體，其收容載置台、旋轉台及旋轉驅動機構；升降構件，其能夠升降地保持於殼體；及升降構件升降機構，其使升降構件升降；且複數個載置台中之若干個載置台係配置於進行處理對象物之處理之處理位置，複數個載置台中之若干個載置台係配置於進行處理對象物自載置台之搬出、及處理對象物對載置台之供給之至少任一者之更換位置，旋轉台使載置台於處理位置與更換位置之間移動，升降構件形成為於內周側具有能夠供搬送對象物通過之開口部之筒狀，並且在配置於更換位置之載置台之上側配置，若升降構件下降而與配置於更換位置之載置台接觸，則開口部自殼體之內部被封堵而使殼體之內部成為密閉之空間，並且處理對象物配置於開口部中且露出於殼體之外側。本發明之處理裝置中，複數個載置台中之若干個載置台係配置於進行處理對象物之處理之處理位置，複數個載置台中之若干個載置台係配置於進行處理對象物自載置台之搬出、及處理對象物對載置台之供給之至少任一者之更換位置。又，本發明中，能夠升降地保持於殼體之升降構件係在配置於更換位置之載置台之上側配置。進而，本發明中，能夠供處理對象物通過之開口部形成於升降構件，若升降構件下降而與配置於更換位置之載置台接觸，則開口部自殼體之內部被封堵而使殼體之內部成為密閉之空間，並且處理對象物配置於開口部中且露出於殼體之外側。因此，本發明中，能夠一面對配置於處理位置之載置台上所載置之處理對象物於密閉空間中進行處理，一面對配置於更換位置之載置台進行露出於殼體之外側之處理對象物之更換。即，本發明中，能夠將密閉空間中之處理對象物之處理、與對載置台進行之處理對象物之更換一同進行。因此，本發明中，即便於在密閉空間中對處理對象物進行處理之情形時，亦能夠縮短於密閉空間中對處理對象物進行處理之處理步驟所需之時間。[發明之效果]如以上般，本發明之處理裝置即便於在密閉空間中對處理對象物進行特定之處理之情形時，亦能夠縮短於密閉空間中對處理對象物進行處理之處理步驟所需之時間。

以下，一面參照圖式，一面說明本發明之實施形態。[實施形態1](處理裝置之概略構成)圖1係併入有本發明之實施形態1之處理裝置1之生產系統之一部分的俯視圖。圖2係圖1之E-E剖面之剖視圖。本形態之處理裝置1係用以檢查作為處理對象物之檢查對象物2之檢查裝置。具體而言，本形態之檢查對象物2係液晶面板，處理裝置1係用以對液晶面板進行點亮檢查之檢查裝置。因此，以下，將本形態之處理裝置1設為「檢查裝置1」，將檢查對象物2設為「液晶面板2」。液晶面板2形成為長方形之平板狀。該液晶面板2例如為用於移動終端等之小型之液晶面板。再者，本形態之液晶面板2係玻璃基板或貼附有偏光板之玻璃基板，於液晶面板2並未安裝背光源。檢查裝置1被併入液晶面板2之生產系統中而使用。該生產系統具備複數個檢查裝置1。又，於該生產系統中，如圖1所示，將2個檢查裝置1以夾住形成為直線狀之2個輸送機3及2個輸送機4之狀態而配置。輸送機3、4例如為帶式輸送機。輸送機3中，例如搬送由檢查裝置1檢查之前之液晶面板2，輸送機4中，搬送由檢查裝置1檢查之後之液晶面板2。2個輸送機3被夾於2個輸送機4之間。又，於檢查裝置1，安裝有構成檢查裝置1之下述載置台8與於輸送機3、4之間搬送液晶面板2之機械手5。機械手5將檢查前之液晶面板2利用手之前端部吸附且自輸送機3搬送至載置台8，並且將檢查後之液晶面板2利用手之前端部吸附且自載置台8搬送至輸送機4。再者，亦可將檢查前之液晶面板2由輸送機4搬送，且將檢查後之液晶面板2由輸送機3搬送。檢查裝置1具備：複數個載置台8，其等供載置液晶面板2；旋轉台9，其供複數個載置台8能夠升降地搭載；旋轉驅動機構10，其使旋轉台9旋轉；作為使載置台8相對於旋轉台9上升之上升機構的氣缸11；背光源12，其自液晶面板2之背面照射光；及殼體13，其收容載置台8、旋轉台9、旋轉驅動機構10、氣缸11及背光源12。本形態之檢查裝置1具備4個載置台8。又，如圖2所示，檢查裝置1設置於架台14上。於以下之說明中，將由輸送機3、4搬送液晶面板2之搬送方向(圖1等之X方向)設為「左右方向」，將與上下方向及左右方向正交之方向(圖1等之Y方向)設為「前後方向」。前後方向係2個檢查裝置1以夾住輸送機3、4之狀態對向配置之方向。又，以下，為方便說明，將前後方向中之配置輸送機3、4之側(圖2等之Y1方向側)設為「前」側，將其相反側(圖2等之Y2方向側)設為「後(後方)」側。(載置台、旋轉台、旋轉驅動機構及上升機構等之構成)圖3係圖1所示之載置台8及旋轉台9之放大俯視圖。圖4係圖2之F部之放大圖。圖5係圖4之G部之放大圖。圖6係圖3之H-H剖面之剖視圖。圖7係圖2之J-J剖面之一部分之剖視圖。旋轉台9形成為大致長方形之平板狀。該旋轉台9係以使旋轉台9之厚度方向與上下方向一致之方式而配置。於旋轉台9之中心，連結有旋轉驅動機構10。旋轉驅動機構10配置於旋轉台9之下側。如圖4所示，旋轉驅動機構10具備馬達17，使旋轉台9以上下方向為旋轉之軸向而旋轉。馬達17例如經由減速機18而連結於旋轉台9。旋轉台9之中心部分經由配置於旋轉台9之上側之固定板19而固定於減速機18之輸出軸。再者，旋轉台9之中心部分亦可直接固定於馬達17之輸出軸。又，馬達17例如為伺服馬達。旋轉驅動機構10使旋轉台9旋轉180°。具體而言，旋轉台9於形成為大致長方形狀之旋轉台9之長邊方向與前後方向一致之狀態下停止，旋轉驅動機構10使該狀態之旋轉台9朝一方向旋轉180°而停止。又，旋轉驅動機構10使朝一方向旋轉180°而停止之旋轉台9朝相反方向旋轉180°而停止。例如，旋轉驅動機構10使圖3所示之狀態之旋轉台9朝順時針之方向(時鐘方向)旋轉180°而停止，並且使朝時鐘方向旋轉180°而停止之旋轉台9朝逆時針之方向旋轉180°而停止。於旋轉台9，形成有於上下方向貫通之4個貫通孔9a。貫通孔9a形成為大致長方形狀。該貫通孔9a較液晶面板2之外形大。如圖3所示，貫通孔9a係以形成為大致長方形狀之旋轉台9之長邊方向與形成為大致長方形狀之貫通孔9a之長邊方向一致之方式而形成。又，貫通孔9a於旋轉台9之長邊方向之兩端側之各者分別形成有2個。形成於旋轉台9之長邊方向之兩端側之各者之2個貫通孔9a係以於旋轉台9之短邊方向上鄰接之方式而配置。即，4個貫通孔9a自上下方向觀察時，沿旋轉台9之旋轉方向而配置。又，一對貫通孔9a相對於旋轉台9之中心(即，旋轉台9之旋轉中心)以180°間距而形成。4個貫通孔9a之各者之中心與旋轉台9之中心之距離彼此相等。載置台8形成為大致長方形之平板狀。該載置台8係以載置台8之厚度方向與上下方向一致之方式而配置。載置台8之外形較貫通孔9a大。於載置台8中心，形成有於上下方向貫通之貫通孔8a。貫通孔8a形成為大致長方形狀。又，貫通孔8a係以形成為大致長方形狀之載置台8之長邊方向與形成為大致長方形狀之貫通孔8a之長邊方向一致之方式而形成。貫通孔8a較液晶面板2之外形稍小。於載置台8之上表面形成有複數個吸附孔，該等複數個吸附孔用於吸附且固持被載置於載置台8之液晶面板2。於載置台8之內部，形成有與該吸附孔相連之空氣之吸引孔，於該吸引孔，經由接頭20而連接有配管21之一端(參照圖3)。配管21之另一端連接於真空泵等空氣之吸引機構。載置台8係以自上下方向觀察時旋轉台9之貫通孔9a之中心與貫通孔8a之中心一致之方式搭載於旋轉台9，4個載置台8自上下方向觀察時，沿旋轉台9之旋轉方向而配置。又，一對載置台8相對於旋轉台9之中心(即，旋轉台9之旋轉中心)以180°間距而配置。4個載置台8之中心(貫通孔8a之中心)之各者與旋轉台9之中心(旋轉台9之旋轉中心)之距離彼此相等。於形成為大致長方形狀之載置台8之一對角線上之2個角部，固定有朝下側突出之導銷22。導銷22之下端側部分插通於被固定在旋轉台9之引導襯套23。引導襯套23之上端側部分插入並固定於形成在旋轉台9之固定孔，引導襯套23之下端側部分自旋轉台9朝下側突出。於本形態中，藉由導銷22與引導襯套23而構成將載置台8相對於旋轉台9於上下方向引導之引導機構24，載置台8能夠相對於旋轉台9而升降。又，於載置台8，以與導銷22鄰接之方式固定有彈簧保持銷25(參照圖6)。彈簧保持銷25自載置台8朝下側突出。如圖6所示，於彈簧保持銷25之下端形成有凸緣部25a。於凸緣部25a之上表面抵接有壓縮螺旋彈簧26之下端。壓縮螺旋彈簧26之上端側部分配置於形成在旋轉台9之下表面之凹部中。載置台8藉由壓縮螺旋彈簧26之施壓力而被向下側施壓。於本形態中，藉由彈簧保持銷25與壓縮螺旋彈簧26而構成將載置台8朝下側施壓之施壓機構27。如上所述，旋轉台9於旋轉台9之長邊方向與前後方向一致之狀態下停止，且自該狀態旋轉180°而停止。於旋轉台9停止之狀態下，4個載置台8中之2個載置台8係配置於進行液晶面板2之點亮檢查之作為處理位置之檢查位置8A，其餘之2個載置台8係配置於進行液晶面板2自載置台8之搬出、及液晶面板2對載置台8之供給之更換位置8B。於本形態中，配置於較旋轉驅動機構10更靠後方側時之載置台8之位置為檢查位置8A，配置於較旋轉驅動機構10更靠前側時之載置台8之位置為更換位置8B。又，若旋轉台9旋轉，則載置台8以旋轉台9之中心為旋轉中心而旋轉，且於檢查位置8A與更換位置8B之間移動。即，若旋轉台9旋轉，則4個載置台8中之配置於檢查位置8A之2個載置台8移動至更換位置8B，且配置於更換位置8B之其餘2個載置台8移動至檢查位置8A。再者，將配管21以不對載置台8之旋轉造成障礙之方式而引繞。氣缸11係在配置於更換位置8B之2個載置台8之各者之下側配置。即，如圖7所示，檢查裝置1具備2個氣缸11。2個氣缸11經由固定用之支架29而固定於殼體13。又，氣缸11以氣缸11之桿朝上側突出之方式而配置。於氣缸11之桿之前端(上端)，經由特定之安裝構件31而安裝有封堵載置台8之貫通孔8a之封閉構件30。封閉構件30形成為大致長方形之平板狀。該封閉構件30係以封閉構件30之厚度方向與上下方向一致之方式、且以形成為大致長方形狀之封閉構件30之長邊方向與前後方向一致之方式安裝於氣缸11之桿之前端。於封閉構件30之外周端，形成有朝上側突出之大致四角環狀之突出部30a。突出部30a以自封閉構件30之上表面朝上側稍微突出之方式而形成。封閉構件30之外形較貫通孔8a大。又，封閉構件30之外形較旋轉台9之貫通孔9a小。自上下方向觀察時，配置於更換位置8B之載置台8之貫通孔8a之中心與封閉構件30之中心一致。再者，如圖5所示，於封閉構件30之中心部分之下表面，形成有內徑隨著朝向上側而逐漸變小之圓錐台狀之凹部30b。又，於安裝構件31之中心部分之上表面側，形成有外徑隨著朝向上側而逐漸變小之凸曲面狀之凸部31a，凸部31a與凹部30b接觸。因此，能夠利用凹部30b與凸部31a而調整封閉構件30相對於氣缸11之桿之傾斜。背光源12係在配置於檢查位置8A之載置台8之下側配置。具體而言，背光源12配置於貫通孔8a、9a之下側。在配置於檢查位置8A之載置台8之上側，配置有複數個相機等點亮檢查用之各種機器。(殼體之構成)殼體13形成為中空之箱狀。殼體13之後方側部分之高度較殼體13之前側部分之高度高。殼體13具備：底面部13a，其構成殼體13之底面；2個側面部13b，其等構成殼體13之左右之側面；第1上表面部13c，其構成殼體13之前側部分之上表面；第2上表面部13d，其構成殼體13之後方側部分之上表面；後表面部13e，其構成殼體13之後表面；第1前表面部13f，其連結底面部13a之前端側與第1上表面部13c之前端；及第2前表面部13g，其連結第1上表面部13c之後端與第2上表面部13d之前端。第1上表面部13c及第2上表面部13d形成為與上下方向正交之平板狀。第1上表面部13c配置於較第2上表面部13d更靠下側。又，第1上表面部13c配置於較搭載於旋轉台9之載置台8稍靠上側。於第1上表面部13c之下側，配置有位於更換位置8B之載置台8。又，於第2上表面部13d之下側，配置有位於檢查位置8A之載置台8，於第2上表面部13d之下側，配置有背光源12或相機等點亮檢查用之各種機器。即，殼體13之配置有第2上表面部13d之部分成為進行點亮檢查之檢查部，配置有第1上表面部13c之部分成為進行液晶面板2之更換之更換部。於第1上表面部13c，形成有於上下方向貫通之貫通孔13h。貫通孔13h形成為大致長方形狀。又，貫通孔13h係以形成為大致長方形狀之貫通孔13h之長邊方向與前後方向一致之方式而形成。又，貫通孔13h係形成於被配置在更換位置8B之2個載置台8之各者之上側。即，於第1上表面部13c形成有2個貫通孔13h。貫通孔13h較載置台8之外形小。又，貫通孔13h較載置台8之貫通孔8a大。又，殼體13具備形成為具扁平之凸緣之大致四角筒狀之2個引導構件34。引導構件34具備大致四角筒狀之筒部34a、及與筒部34a之上端連結之凸緣部34b。該引導構件34係於將筒部34a插通於貫通孔13h並且凸緣部34b之下表面與第1上表面部13c之上表面接觸之狀態下固定於第1上表面部13c。即，引導構件34以對貫通孔13h鑲邊之方式固定於第1上表面部13c。引導構件34之內周側成為大致長方形狀之開口部34c。引導構件34係以形成為大致長方形狀之開口部34c之長邊方向與前後方向一致之方式而配置。開口部34c較載置台8之貫通孔8a大。又，開口部34c較液晶面板2之外形大，液晶面板2能夠朝上下方向通過開口部34c。開口部34c係在配置於更換位置8B之2個載置台8之各者之上側配置。即，於殼體13，形成有在配置於更換位置8B之載置台8之上側所配置之開口部34c。自上下方向觀察時，開口部34c之中心與載置台8之貫通孔8a之中心一致。引導構件34發揮將液晶面板2引導至載置台8之功能。筒部34a之下端側部分成為較第1上表面部13c之下表面更朝下側突出之四角環狀之凸部34d(參照圖5)。即，於開口部34c之緣，形成有朝下側突出之凸部34d。於凸部34d之下端面，形成有形成為大致四角環狀之凹部。於該凹部中，安裝有與藉由氣缸11而提昇之載置台8之上表面接觸之環狀之密封構件35(參照圖5)。密封構件35為O型環。於本形態中，自上下方向觀察時，封閉構件30之突出部30a與密封構件35重疊。(檢查裝置之動作)於檢查裝置1中，於進行液晶面板2之點亮檢查時，氣缸11上升，使配置於更換位置8B之載置台8提昇。具體而言，如圖5所示，通過貫通孔9a之封閉構件30之突出部30a與載置台8之下表面接觸而使載置台8提昇，並且突出部30a使載置台8提昇直至載置台8之上表面與密封構件35接觸為止。若配置於更換位置8B之載置台8提昇，則由封閉構件30將載置台8之貫通孔8a封堵，並且由載置台8與封閉構件30將開口部34c封堵。若由封閉構件30將貫通孔8a封堵，並且由載置台8與封閉構件30將開口部34c封堵，則殼體13之內部成為密閉之空間，且殼體13之內部成為暗室。即，若配置於更換位置8B之載置台8藉由氣缸11而提昇，則開口部34c自殼體13之內部被封堵而使殼體13之內部成為密閉之空間。又，若配置於更換位置8B之載置台8藉由氣缸11而提昇，則開口部34c自殼體13之內部被封堵而使殼體13之內部成為暗室。液晶面板2之點亮檢查係於殼體13之內部成為暗室之狀態下進行。此時，背光源12經由貫通孔8a、9a將光照射至配置於檢查位置8A之載置台8上所載置之液晶面板2。又，若配置於更換位置8B之載置台8藉由氣缸11而提昇，則配置於更換位置8B之載置台8上所載置之液晶面板2配置於開口部34c中且露出於殼體13之外側。機械手5於殼體13之內部進行液晶面板2之點亮檢查時，吸附並搬出配置於開口部34c中之點亮檢查後之液晶面板2(配置於更換位置8B之載置台8上所載置之液晶面板2)且將其載置於輸送機4。又，機械手5吸附並搬送輸送機3上之檢查前之液晶面板2，且將其載置於將點亮檢查後之液晶面板2搬出之後的載置台8。若於殼體13之內部，液晶面板2之點亮檢查結束，並且對配置於更換位置8B之載置台8進行之液晶面板2之更換結束，則氣缸11下降。若氣缸11下降，則配置於更換位置8B之載置台8因壓縮螺旋彈簧26之施壓力而下降。若配置於更換位置8B之載置台8下降，則馬達17啟動，旋轉台9旋轉，配置於檢查位置8A之載置台8移動至更換位置8B，且配置於更換位置8B之載置台8移動至檢查位置8A。若旋轉台9旋轉而使載置台8於檢查位置8A與更換位置8B之間移動，則以同樣之方式使配置於更換位置8B之載置台8提昇，封堵開口部34c，進行配置於檢查位置8A之載置台8上所載置之液晶面板2之點亮檢查、與配置於更換位置8B之載置台8上所載置之液晶面板2之更換。再者，於氣缸11下降時，封閉構件30下降至不與旋轉之旋轉台9干涉之位置。(本形態之主要效果)如以上所說明，於本形態中，能夠供液晶面板2通過之開口部34c形成於殼體13之第1上表面部13c，但若配置於更換位置8B之載置台8提昇，則開口部34c自殼體13之內部被封堵，殼體13之內部成為密閉之空間，且殼體13之內部成為暗室。又，於本形態中，若配置於更換位置8B之載置台8提昇，則配置於更換位置8B之載置台8上所載置之液晶面板2配置於開口部34c中且露出於殼體13之外側。因此，於本形態中，能夠一面於殼體13之內部之暗室中進行液晶面板2之點亮檢查，一面進行露出於殼體13之外側之液晶面板2之更換。即，於本形態中，能夠將暗室中之液晶面板2之點亮檢查、與對載置台8進行之液晶面板2之更換一同進行。因此，於本形態中，即便於在作為密閉空間之暗室中進行液晶面板2之點亮檢查之情形時，亦能夠縮短液晶面板2之檢查步驟所需之時間。於本形態中，在形成於開口部34c之緣之凸部34d之下端面安裝有密封構件35，藉由氣缸11而提昇之載置台8之上表面與密封構件35接觸。因此，於本形態中，配置於更換位置8B之載置台8藉由氣缸11而提昇時，能夠提高殼體13之內部之空間之密閉性。尤其於本形態中，自上下方向觀察時，封閉構件30之突出部30a與密封構件35重疊，故能夠提高密封構件35與載置台8之上表面之密接性，並且能夠提高突出部30a與載置台8之下表面之密接性。因此，於本形態中，能夠有效地提高殼體13之內部之空間之密閉性。於本形態中，於氣缸11之桿之前端安裝有封閉構件30，若配置於更換位置8B之載置台8藉由氣缸11而提昇，則由封閉構件30將載置台8之貫通孔8a封堵。因此，於本形態中，即便於載置台8形成有貫通孔8a，亦能夠使殼體13之內部成為密閉之空間，且能夠使殼體13之內部成為暗室。[實施形態2]圖8係本發明之實施形態2之處理裝置1之一部分之放大剖視圖。圖9係圖8之K部之放大圖。與實施形態1同樣地，本形態之處理裝置1亦係用於檢查液晶面板2之檢查裝置。因此，以下將本形態之處理裝置1設為「檢查裝置1」。於實施形態1中，複數個載置台8能夠升降地搭載於旋轉台9，但於本形態中，複數個載置台8搭載並固定於旋轉台9，檢查裝置1不具備引導機構24及施壓機構27。又，於實施形態1中，引導構件34係固定於殼體13，但於本形態中，引導構件34能夠升降地保持於殼體13，檢查裝置1具備使引導構件34升降之氣缸41。該等點為本形態之檢查裝置1與實施形態1之檢查裝置1之主要不同點。以下，以該不同點為中心而說明本形態之檢查裝置1之構成及動作。再者，於圖8、圖9中，對與實施形態1之檢查裝置1之構成共通之構成標註相同之符號。又，以下，對與實施形態1之檢查裝置1之構成共通之構成省略或簡化其說明。如上所述，於本形態中，複數個載置台8搭載並固定於旋轉台9。另一方面，於本形態中，為了將載置台8之貫通孔8a封堵，亦與實施形態1同樣地，在配置於更換位置8B之2個載置台8之各者之下側配置有氣缸11。又，於氣缸11之桿之前端(上端)，經由安裝構件31安裝有自載置台8之下側封堵貫通孔8a之封閉構件30。即，在配置於更換位置8B之載置台8之下側配置有封閉構件30，封閉構件30收容於殼體13。本形態之氣缸11係使封閉構件30升降之封閉構件升降機構。又，如上所述，於本形態中，引導構件34能夠升降地保持於殼體13。具體而言，引導構件34能夠升降地保持於殼體13之第1上表面部13c。形成為具扁平之凸緣之大致四角筒狀之引導構件34之筒部34a插通於形成在第1上表面部13c之貫通孔13h。貫通孔13h較筒部34a之外形稍大。又，引導構件34之凸緣部34b配置於第1上表面部13c之上側。本形態之引導構件34係能夠升降地保持於殼體13之升降構件，貫通孔13h係配置有作為升降構件之引導構件34之下端側部分之殼體側貫通孔。於凸緣部34b之一對角線上之2個角部，固定有朝下側突出之導銷42。導銷42之下端側部分插通於被固定在第1上表面部13c之引導襯套43。引導襯套43之下端側部分插入並固定於形成在第1上表面部13c之固定孔。於本形態中，藉由導銷42與引導襯套43而構成將引導構件34相對於第1上表面部13c於上下方向引導之引導機構44。氣缸41固定於第2前表面部13g之前表面，且配置於殼體13之外部。又，氣缸41係以氣缸41之桿朝下側突出之方式而配置。氣缸41之桿之前端(下端)固定於凸緣部34b之上表面。於本形態中，於2個引導構件34之各者固定有氣缸41之桿之前端。即，檢查裝置1具備2個氣缸41。本形態之氣缸41係使作為升降構件之引導構件34升降之升降構件升降機構。再者，亦可將1個氣缸41之桿之前端經由特定之構件而固定於2個引導構件34。與實施形態1同樣地，引導構件34之內周側成為大致長方形狀之開口部34c。開口部34c較載置台8之貫通孔8a大。又，開口部34c較液晶面板2之外形大，液晶面板2能夠朝上下方向通過開口部34c。開口部34c係在配置於更換位置8B之2個載置台8之各者之上側配置。即，引導構件34係在配置於更換位置8B之2個載置台8之各者之上側配置。引導構件34具備安裝於引導構件34之下端面(即，筒部34a之下端面)之密封構件45(參照圖9)。具體而言，於筒部34a之下端面形成有形成為大致四角環狀之凹部，且於該凹部中安裝有環狀之密封構件45。密封構件45為O型環。密封構件45於引導構件34下降時，與載置台8之上表面接觸。於第1上表面部13c之上表面之貫通孔13h之緣，形成有形成為大致四角環狀之凹部，於該凹部中，安裝有與下降之引導構件34之凸緣部34b(即，引導構件34之上端側部分)接觸之作為第2密封構件之密封構件46(參照圖9)。即，於第1上表面部13c之上表面之貫通孔13h之緣，安裝有密封構件46。密封構件46為O型環。於如以上般構成之檢查裝置1中，於進行液晶面板2之點亮檢查時，氣缸11之桿上升，並且氣缸41之桿下降。即，於進行液晶面板2之點亮檢查時，封閉構件30上升而將配置於更換位置8B之載置台8之貫通孔8a封堵，並且引導構件34下降而與配置於更換位置8B之載置台8接觸。具體而言，如圖9所示，封閉構件30之突出部30a與載置台8之下表面接觸而將貫通孔8a封堵，並且安裝於筒部34a之下端面之密封構件45與載置台8之上表面接觸。又，若引導構件34下降，則密封構件46與凸緣部34b之下表面接觸。若由封閉構件30將貫通孔8a封堵，並且安裝於筒部34a之下端面之密封構件45與載置台8之上表面接觸，且密封構件46與凸緣部34b之下表面接觸，則殼體13之內部成為密閉之空間，且殼體13之內部成為暗室。即，若封閉構件30上升而將配置於更換位置8B之載置台8之貫通孔8a封堵，並且引導構件34下降而與配置於更換位置8B之載置台8接觸，則由載置台8與封閉構件30自殼體13之內部將開口部34c封堵而使殼體13之內部成為密閉之空間，並且成為暗室。與實施形態1同樣地，液晶面板2之點亮檢查係於殼體13之內部成為暗室之狀態下進行。又，若封閉構件30上升而將配置於更換位置8B之載置台8之貫通孔8a封堵，並且引導構件34下降而與配置於更換位置8B之載置台8接觸，則配置於更換位置8B之載置台8上所載置之液晶面板2配置於開口部34c中且露出於殼體13之外側。機械手5於殼體13之內部進行液晶面板2之點亮檢查時，吸附並搬出配置於開口部34c中之點亮檢查後之液晶面板2(配置於更換位置8B之載置台8上所載置之液晶面板2)且將其載置於輸送機4。又，機械手5吸附並搬送輸送機3上之檢查前之液晶面板2，且將其載置於將點亮檢查後之液晶面板2搬出之後的載置台8。若於殼體13之內部，液晶面板2之點亮檢查結束，並且對配置於更換位置8B之載置台8進行之液晶面板2之更換結束，則氣缸11之桿下降且封閉構件30下降，氣缸41之桿上升且引導構件34上升。其後，馬達17啟動，旋轉台9旋轉，配置於檢查位置8A之載置台8移動至更換位置8B，且配置於更換位置8B之載置台8移動至檢查位置8A。若旋轉台9旋轉而使載置台8於檢查位置8A與更換位置8B之間移動，則以同樣之方式使封閉構件30上升並且引導構件34下降，進行配置於檢查位置8A之載置台8上所載置之液晶面板2之點亮檢查、與配置於更換位置8B之載置台8上所載置之液晶面板2之更換。於本形態中，亦可取得與實施形態1相同之效果。例如，於本形態中，若封閉構件30上升而將配置於更換位置8B之載置台8之貫通孔8a封堵，並且引導構件34下降而與配置於更換位置8B之載置台8接觸，則殼體13之內部成為密閉之空間且成為暗室，並且配置於更換位置8B之載置台8上所載置之液晶面板2配置於開口部34c中且露出於殼體13之外側，故能夠將暗室中之液晶面板2之點亮檢查、與對載置台8進行之液晶面板2之更換一同進行。又，若引導構件34下降，則安裝於筒部34a之下端面之密封構件45與載置台8之上表面接觸，且密封構件46與凸緣部34b之下表面接觸，故能夠提高殼體13之內部之空間之密閉性。又，於本形態中，載置台8固定於旋轉台9，故與載置台8能夠升降地搭載於旋轉台9之情形相比較，能夠抑制配置於檢查位置8A之載置台8上所載置之液晶面板2、與點亮檢查用之各種機器之相對位置之偏移。因此，於本形態中，能夠提高液晶面板2之點亮檢查之精度。又，由於載置台8固定於旋轉台9，故配管21不會與載置台8一同上下移動。然而，於本形態中，除氣缸11外，亦需要氣缸41，故與實施形態1相比較，檢查裝置1之構成變得複雜。又，於本形態中，需要2個密封構件45、46，故與實施形態1相比較，檢查裝置1之構成變得複雜。進而，於本形態中，必須使密封構件45與載置台8之上表面接觸，並且使密封構件46與凸緣部34b之下表面接觸，故必須使用硬度相對較低、且易彈性變形之密封構件45、46。[其他實施形態]上述形態為本發明之較佳形態之一例，但並不限定於此，能夠於不變更本發明之主旨之範圍內實施各種變化。於上述形態中，於載置台8形成有貫通孔8a，但例如於由檢查裝置1進行安裝有背光源之液晶面板2之點亮檢查之情形時，亦可不於載置台8形成貫通孔8a。於實施形態1中，於未在載置台8形成貫通孔8a之情形時，亦可不在氣缸11之桿之前端安裝封閉構件30。又，於該情形時，若配置於更換位置8B之載置台8藉由氣缸11而提昇，則開口部34c由載置台8封堵。又，於實施形態2中，於未在載置台8形成貫通孔8a之情形時，檢查裝置1亦可不具備氣缸11及封閉構件30。於該情形時，若引導構件34下降而與配置於更換位置8B之載置台8接觸，則由載置台8自殼體13之內部將開口部34c封堵。於上述形態中，亦可於突出部30a之上端面安裝與密封構件35相同之密封構件。又，於實施形態1中，亦可不於凸部34d之下端面安裝密封構件35。又，於實施形態2中，亦可不於筒部34a之下端面安裝密封構件45，亦可不於第1上表面部13c之上表面之貫通孔13h之緣安裝密封構件46。於上述形態中，亦可代替氣缸11而配置例如將馬達作為驅動源之驅動機構。即，於實施形態1中，使載置台8上升之上升機構例如亦可為將馬達作為驅動源者。又，於實施形態2中，使封閉構件30升降之封閉構件升降機構例如亦可為將馬達作為驅動源者。又，於實施形態1中，亦可不設置施壓機構27。於該情形時，若氣缸11下降，則載置台8因自重而下降。於上述形態中，一對載置台8相對於旋轉台9之旋轉中心以180°間距而配置，但相對於旋轉台9之旋轉中心，亦可將1個載置台8與1個載置台8以180°間距而配置，還可將3個以上之載置台8與3個以上之載置台8以180°間距而配置。於該情形時，設置與載置台8之數量相應之數量之引導構件34，且於殼體13形成與載置台8之數量相應之數量之開口部34c。又，設置與載置台8之數量相應之數量之氣缸11。又，於該情形時，於實施形態2中，設置與載置台8之數量相應之數量之氣缸41。又，於上述形態中，一對載置台8相對於旋轉台9之旋轉中心以180°間距配置於兩處，但亦可將一對載置台8相對於旋轉台9之旋轉中心以特定之角度間距配置於三處以上。例如，亦可將一對載置台8相對於旋轉台9之旋轉中心以120°間距而配置。於該情形時，例如，旋轉台9旋轉120°而停止。又，於該情形時，進行液晶面板2自載置台8之搬出之更換位置、與進行液晶面板2對載置台8之供給之更換位置亦可各自不同。於該情形時，若旋轉台9旋轉120°，則一對載置台8依序移動至檢查位置8A、進行液晶面板2自載置台8之搬出之更換位置、及進行液晶面板2對載置台8之供給之更換位置。再者，如上述形態般，於一處之更換位置8B進行液晶面板2自載置台8之搬出與液晶面板2對載置台8之供給之情形時，和進行液晶面板2自載置台8之搬出之更換位置、與進行液晶面板2對載置台8之供給之更換位置各自不同之情形相比較，能夠簡化檢查裝置1之構成。又，於一對載置台8相對於旋轉台9之旋轉中心以特定之角度間距配置於三處以上之情形時，亦可有於檢查位置8A及更換位置之任一者均未配置之載置台8。於上述形態中，於殼體13之內部之暗室中進行液晶面板2之點亮檢查，但亦可於殼體13之內部之暗室中進行除液晶面板2以外之檢查對象物之點亮檢查。又，於上述形態中，處理裝置1係用於對液晶面板2進行點亮檢查之檢查裝置，但應用有本發明之處理裝置亦可為除檢查裝置以外之對特定之處理對象物進行處理之裝置。例如，應用有本發明之處理裝置亦可為紫外線照射裝置。於該情形時，由紫外線照射裝置所處理之處理對象物係被照射紫外線之照射對象物。又，於該情形時，與上述形態之檢查位置8A相同之位置成為對照射對象物照射紫外線之照射位置，旋轉台9使載置台8於該照射位置與更換位置8B之間移動。於該情形時，於殼體13之內部、且配置於照射位置之載置台8之上側，配置有照射紫外線之照射單元。又，於該情形時，為使照射至照射對象物之紫外線不會漏出至殼體13之外部，於實施形態1中，配置於更換位置8B之載置台8提昇而將開口部34c封堵，於殼體13之內部成為密閉之空間之狀態下，對照射對象物照射紫外線。又，為使照射至照射對象物之紫外線不會漏出至殼體13之外部，於實施形態2中，封閉構件30上升而將配置於更換位置8B之載置台8之貫通孔8a封堵，並且引導構件34下降而與配置於更換位置8B之載置台8接觸而將開口部34c封堵，於殼體13之內部成為密閉之空間之狀態下，對照射對象物照射紫外線。於該情形時，能夠一面對配置於照射位置之照射對象物照射紫外線，一面對配置於更換位置8B之載置台8進行露出於殼體13之外側之照射對象物之更換。即，能夠將密閉空間中之對照射對象物之紫外線之照射、與對載置台8進行之照射對象物之更換一同進行。因此，即便於在密閉空間中進行對照射對象物之紫外線之照射之情形時，亦能夠縮短對照射對象物之紫外線之照射步驟所需之時間。

1‧‧‧檢查裝置(處理裝置)
2‧‧‧液晶面板(處理對象物、檢查對象物)
3‧‧‧輸送機
4‧‧‧輸送機
5‧‧‧機械手
8‧‧‧載置台
8A‧‧‧檢查位置(處理位置)
8a‧‧‧貫通孔
8B‧‧‧更換位置
9‧‧‧旋轉台
9a‧‧‧貫通孔
10‧‧‧旋轉驅動機構
11‧‧‧氣缸(上升機構、封閉構件升降機構)
12‧‧‧背光源
13‧‧‧殼體
13a‧‧‧底面部
13b‧‧‧側面部
13c‧‧‧第1上表面部
13d‧‧‧第2上表面部
13e‧‧‧後表面部
13f‧‧‧第1前表面部
13g‧‧‧第2前表面部
13h‧‧‧貫通孔(殼體側貫通孔)
14‧‧‧架台
17‧‧‧馬達
18‧‧‧減速機
19‧‧‧旋轉台
20‧‧‧接頭
21‧‧‧配管
22‧‧‧導銷
23‧‧‧引導襯套
24‧‧‧引導機構
25‧‧‧彈簧保持銷
25a‧‧‧凸緣部
26‧‧‧壓縮螺旋彈簧
27‧‧‧施壓機構
29‧‧‧支架
30‧‧‧封閉構件
30a‧‧‧突出部
30b‧‧‧凹部
31‧‧‧安裝構件
31a‧‧‧凸部
34‧‧‧引導構件(升降構件)
34a‧‧‧筒部
34b‧‧‧凸緣部
34c‧‧‧開口部
34d‧‧‧凸部
35‧‧‧密封構件
41‧‧‧氣缸(升降構件升降機構)
42‧‧‧導銷
43‧‧‧引導襯套
45‧‧‧密封構件
46‧‧‧密封構件(第2密封構件)
X‧‧‧方向
Y‧‧‧方向
Y1‧‧‧方向
Y2‧‧‧方向

圖1係併入有本發明之實施形態1之處理裝置之生產系統之一部分的俯視圖。圖2係圖1之E-E剖面之剖視圖。圖3係圖1所示之載置台及旋轉台之放大俯視圖。圖4係圖2之F部之放大圖。圖5係圖4之G部之放大圖。圖6係圖3之H-H剖面之剖視圖。圖7係圖2之J-J剖面之一部分之剖視圖。圖8係本發明之實施形態2之處理裝置之一部分之放大剖視圖。圖9係圖8之K部之放大圖。

2‧‧‧液晶面板(處理對象物、檢查對象物)

8‧‧‧載置台

8A‧‧‧檢查位置(處理位置)

8a‧‧‧貫通孔

8B‧‧‧更換位置

9‧‧‧旋轉台

9a‧‧‧貫通孔

10‧‧‧旋轉驅動機構

11‧‧‧氣缸(上升機構、封閉構件升降機構)

12‧‧‧背光源

13‧‧‧殼體

13a‧‧‧底面部

13c‧‧‧第1上表面部

13g‧‧‧第2前表面部

13h‧‧‧貫通孔(殼體側貫通孔)

17‧‧‧馬達

18‧‧‧減速機

19‧‧‧旋轉台

24‧‧‧引導機構

29‧‧‧支架

30‧‧‧封閉構件

31‧‧‧安裝構件

34‧‧‧引導構件(升降構件)

34c‧‧‧開口部

X‧‧‧方向

Y‧‧‧方向

Y1‧‧‧方向

Y2‧‧‧方向

Claims (11)

1. 一種處理裝置，其特徵在於具備：複數個載置台，其等供載置處理對象物；旋轉台，其供複數個上述載置台能夠升降地搭載；旋轉驅動機構，其使上述旋轉台以上下方向為旋轉之軸向而旋轉；上升機構，其使上述載置台相對於上述旋轉台上升；及殼體，其收容上述載置台、上述旋轉台、上述旋轉驅動機構及上述上升機構；且複數個上述載置台中之若干個上述載置台係配置於進行上述處理對象物之處理之處理位置，複數個上述載置台中之若干個上述載置台係配置於進行上述處理對象物自上述載置台之搬出、及上述處理對象物對上述載置台之供給之至少任一者之更換位置，上述旋轉台使上述載置台於上述處理位置與上述更換位置之間移動，於上述殼體形成有開口部，該開口部係在配置於上述更換位置之上述載置台之上側配置，並且能夠供上述處理對象物通過，上述上升機構係在配置於上述更換位置之上述載置台之下側配置，若配置於上述更換位置之上述載置台藉由上述上升機構而提昇，則上述開口部自上述殼體之內部被封堵而使上述殼體之內部成為密閉之空間，並且上述處理對象物配置於上述開口部中且露出於上述殼體之外側。
2. 如請求項1之處理裝置，其中上述處理對象物係被進行點亮檢查之檢查對象物，複數個上述載置台中之若干個上述載置台係配置於進行上述檢查對象物之點亮檢查之作為上述處理位置之檢查位置，複數個上述載置台中之若干個上述載置台係配置於上述更換位置，上述旋轉台使上述載置台於上述檢查位置與上述更換位置之間移動，若配置於上述更換位置之上述載置台藉由上述上升機構而提昇，則上述開口部被封堵而使上述殼體之內部成為暗室。
3. 如請求項1之處理裝置，其中上述處理對象物係被照射紫外線之照射對象物，複數個上述載置台中之若干個上述載置台係配置於對上述照射對象物照射紫外線之作為上述處理位置之照射位置，複數個上述載置台中之若干個上述載置台係配置於上述更換位置，上述旋轉台使上述載置台於上述照射位置與上述更換位置之間移動。
4. 如請求項1至3中任一項之處理裝置，其中於上述更換位置，進行上述處理對象物自上述載置台之搬出、及上述處理對象物對上述載置台之供給。
5. 如請求項1至4中任一項之處理裝置，其中於上述開口部之緣，形成有朝下側突出之環狀之凸部，於上述凸部之下端面，安裝有與上述載置台之上表面接觸之環狀之密封構件。
6. 如請求項1至5中任一項之處理裝置，其中於上述載置台，形成有於上下方向貫通之貫通孔，於上述上升機構，安裝有封堵上述貫通孔之封閉構件，若配置於上述更換位置之上述載置台藉由上述上升機構而提昇，則由上述封閉構件將上述貫通孔封堵，並且由上述載置台與上述封閉構件將上述開口部封堵。
7. 如請求項1至5中任一項之處理裝置，其中若配置於上述更換位置之上述載置台藉由上述上升機構而提昇，則由上述載置台將上述開口部封堵。
8. 一種處理裝置，其特徵在於具備：複數個載置台，其等形成有於上下方向貫通之貫通孔，並且供載置處理對象物；旋轉台，其供搭載複數個上述載置台；旋轉驅動機構，其使上述旋轉台以上下方向為旋轉之軸向而旋轉；封閉構件，其自上述載置台之下側封堵上述貫通孔；封閉構件升降機構，其使上述封閉構件升降；殼體，其收容上述載置台、上述旋轉台、上述旋轉驅動機構、上述封閉構件及上述封閉構件升降機構；升降構件，其能夠升降地保持於上述殼體；及升降構件升降機構，其使上述升降構件升降；且複數個上述載置台中之若干個上述載置台係配置於進行上述處理對象物之處理之處理位置，複數個上述載置台中之若干個上述載置台係配置於進行上述處理對象物自上述載置台之搬出、及上述處理對象物對上述載置台之供給之至少任一者之更換位置，上述旋轉台使上述載置台於上述處理位置與上述更換位置之間移動，上述升降構件形成為於內周側具有能夠供上述搬送對象物通過之開口部之筒狀，並且在配置於上述更換位置之上述載置台之上側配置，上述封閉構件係在配置於上述更換位置之上述載置台之下側配置，若上述封閉構件上升而將配置於上述更換位置之上述載置台之上述貫通孔封堵並且上述升降構件下降而與配置於上述更換位置之上述載置台接觸，則上述開口部自上述殼體之內部被封堵而使上述殼體之內部成為密閉之空間，並且上述處理對象物配置於上述開口部中且露出於上述殼體之外側。
9. 如請求項8之處理裝置，其中上述處理對象物係被進行點亮檢查之檢查對象物，複數個上述載置台中之若干個上述載置台係配置於進行上述檢查對象物之點亮檢查之作為上述處理位置之檢查位置，複數個上述載置台中之若干個上述載置台係配置於上述更換位置，上述旋轉台使上述載置台於上述檢查位置與上述更換位置之間移動，若上述封閉構件上升而將配置於上述更換位置之上述載置台之上述貫通孔封堵並且上述升降構件下降而與配置於上述更換位置之上述載置台接觸，則上述開口部被封堵而使上述殼體之內部成為暗室。
10. 如請求項8或9之處理裝置，其中於上述殼體，形成有供配置上述升降構件之下端側部分之殼體側貫通孔，上述升降構件具備環狀之密封構件，該密封構件係安裝於上述升降構件之下端面，且與上述載置台之上表面接觸，於上述殼體側貫通孔之緣，安裝有與下降之上述升降構件之上端側部分接觸之環狀之第2密封構件。
11. 一種處理裝置，其特徵在於具備：複數個載置台，其等供載置處理對象物；旋轉台，其供搭載複數個上述載置台；旋轉驅動機構，其使上述旋轉台以上下方向為旋轉之軸向而旋轉；殼體，其收容上述載置台、上述旋轉台及上述旋轉驅動機構；升降構件，其能夠升降地保持於上述殼體；及升降構件升降機構，其使上述升降構件升降；且複數個上述載置台中之若干個上述載置台係配置於進行上述處理對象物之處理之處理位置，複數個上述載置台中之若干個上述載置台係配置於進行上述處理對象物自上述載置台之搬出、及上述處理對象物對上述載置台之供給之至少任一者之更換位置，上述旋轉台使上述載置台於上述處理位置與上述更換位置之間移動，上述升降構件形成為於內周側具有能夠供上述搬送對象物通過之開口部之筒狀，並且在配置於上述更換位置之上述載置台之上側配置，若上述升降構件下降而與配置於上述更換位置之上述載置台接觸，則上述開口部自上述殼體之內部被封堵而使上述殼體之內部成為密閉之空間，並且上述處理對象物配置於上述開口部中且露出於上述殼體之外側。