JP2019053162A - 検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】検査対象物を点灯検査するための検査装置において、点灯検査時に検査対象物に電力を供給する電力供給部の位置を容易に変更することが可能な検査装置を提供する。【解決手段】この検査装置では、水平方向への移動が可能となるように電力供給部が載置される固定板３０の上面に、電力供給部を所定方向へ案内するためのガイドレール３０ａが形成されている。電力供給部は、電力供給部の下端部を構成する載置部材６５と、ローラ６６を回転可能に保持するローラ保持部材６８と、載置部材６５をローラ保持部材６８に固定するための固定ネジ６９とを備えている。この検査装置では、固定ネジ６９を緩めると、載置部材６５の下面が固定板３０の上面に接触し、固定ネジ６９を締めると、載置部材６５が持ち上がって載置部材６５の下面が固定板３０の上面から離れるとともに載置部材６５がローラ保持部材６８に固定される。【選択図】図８

Description

本発明は、検査対象物を点灯検査するための検査装置に関する。

従来、液晶パネルを点灯検査するための検査装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の検査装置は、液晶パネルの点灯検査を行うプローバと、検査前の液晶パネルをプローバに向かって搬送する搬入側コンベヤと、搬入側コンベヤで搬送された液晶パネルをプローバに搬入する搬入機構と、検査後の液晶パネルをプローバから搬出する搬出機構と、搬出機構によって搬出された液晶パネルを搬送する搬出側コンベヤとを備えている。

特許文献１に記載の検査装置では、プローバは、液晶パネルが載置されるワークテーブル、液晶パネルの背面から液晶パネルに光を照射するバックライト、および、液晶パネルの表面の映像が映し出されるスクリーン等を備えている。また、プローバは、点灯検査時に液晶パネルに電力を供給するプローブユニットを備えている。プローブユニットは、複数のコンタクトプローブ（プローブ針）を備えている。液晶パネルの点灯検査時には、液晶パネルに形成される複数の給電用の端子のそれぞれに複数のコンタクトプローブのそれぞれが接触して、コンタクトプローブから液晶パネルに電力が供給される。

特開２００７−１０７９７３号公報

液晶パネルのサイズや種類に応じて液晶パネルに形成される給電用の端子の位置が変わることがある。特許文献１に記載の検査装置では、点灯検査される液晶パネルの端子の位置が変わると、液晶パネルの端子の位置に応じて、プローブユニットの位置を変更しなければならない場合がある。そのため、特許文献１に記載の検査装置では、プローブユニットの位置を容易に変更できることが好ましい。

そこで、本発明の課題は、検査対象物を点灯検査するための検査装置において、点灯検査時に検査対象物に電力を供給する電力供給部の位置を容易に変更することが可能な検査装置を提供することにある。

上記の課題を解決するため、本発明の検査装置は、検査対象物を点灯検査するための検査装置において、点灯検査時に検査対象物に電力を供給する電力供給部と、水平方向への移動が可能となるように電力供給部が載置されるベース部材とを備え、ベース部材の上面には、電力供給部を所定方向へ案内するためのガイドレールが形成または固定され、電力供給部は、検査対象物に形成される給電用の端子に接触する複数のコンタクトプローブと、複数のコンタクトプローブを保持するプローブ保持部と、プローブ保持部を移動させる移動機構と、移動機構が載置されるとともに電力供給部の下端部を構成する載置部材と、ガイドレールに沿って電力供給部を移動させるためのローラと、ローラを回転可能に保持するローラ保持部材と、載置部材をローラ保持部材に固定するための固定ネジとを備え、ローラ保持部材は、載置部材の一部に上側から重なる重なり部を備え、重なり部および載置部材のいずれか一方には、固定ネジの軸部が挿通される挿通穴が形成され、重なり部および載置部材のいずれか他方には、固定ネジの軸部に形成されるオネジが螺合するネジ穴が形成され、固定ネジを緩めると、載置部材の下面がベース部材の上面に接触し、固定ネジを締めると、載置部材が持ち上がって載置部材の下面がベース部材の上面から離れるとともに載置部材がローラ保持部材に固定されることを特徴とする。

本発明の検査装置では、水平方向への移動が可能となるように電力供給部が載置されるベース部材の上面に、電力供給部を所定方向へ案内するためのガイドレールが形成または固定されている。また、本発明では、電力供給部は、電力供給部の下端部を構成する載置部材と、ガイドレールに沿って電力供給部を移動させるためのローラを回転可能に保持するローラ保持部材と、載置部材をローラ保持部材に固定するための固定ネジとを備えている。さらに、本発明では、固定ネジを緩めると、載置部材の下面がベース部材の上面に接触し、固定ネジを締めると、載置部材が持ち上がって載置部材の下面がベース部材の上面から離れるとともに載置部材がローラ保持部材に固定される。

そのため、本発明では、緩んでいた固定ネジを締めた後、電力供給部をガイドレールの長手方向に押すことで、ローラを回転させて、電力供給部を移動させることが可能になる。また、本発明では、電力供給部が所定の位置まで移動した後、固定ネジを緩めて、ベース部材の上面に載置部材の下面を接触させることで、移動後の位置に電力供給部を設置することが可能になる。したがって、本発明では、電力供給部の位置を容易に変更することが可能になる。

本発明において、重なり部に、挿通穴が形成され、載置部材に、ネジ穴が形成されていることが好ましい。このように構成すると、載置部材の一部に上側から重なる重なり部の上側から固定ネジを締めたり緩めたりすることが可能になる。したがって、固定ネジの締緩作業が容易になる。

本発明において、ローラは、ガイドレールに沿って移動する電力供給部の移動方向に直交する直交方向における両端側のそれぞれに配置されていることが好ましい。このように構成すると、ガイドレールに沿って移動する電力供給部の移動時の状態を安定させることが可能になる。

本発明において、直交方向の一端側に配置されるローラがガイドレールに係合していることが好ましい。このように構成すると、直交方向の両端側に配置されるローラがガイドレールに係合するようにベース部材の上面にガイドレールが形成または固定されている場合と比較して、検査装置の構成を簡素化することが可能になる。また、直交方向の両端側に配置されるローラがガイドレールに係合している場合には、ローラとガイドレールとの間の摩擦抵抗によって電力供給部にモーメントが発生して電力供給部を移動させることができなくなるおそれがあるが、このように構成すると、電力供給部のモーメントの発生を防止して、電力供給部を確実に移動させることが可能になる。

本発明において、検査装置は、ベース部材に対して載置部材を位置決めするための位置決めピンと、ベース部材に載置部材を固定するための第２固定ネジとを備えることが好ましい。このように構成すると、ベース部材に対して載置部材を容易に位置決めすることが可能になる。また、このように構成すると、移動後の電力供給部をベース部材に確実に固定することが可能になる。

本発明において、ベース部材の一部は、上下方向を回動の軸方向として回動可能なターンテーブルとなっており、ガイドレールの一部がターンテーブルの上面に形成または固定されていることが好ましい。このように構成すると、ターンテーブルを利用して電力供給部の向きを変えることが可能になる。また、このように構成すると、たとえば、電力供給部の向きを変えるためにガイドレールの一部が曲線状に形成されている場合と比較して、より狭い領域で電力供給部の向きを変えることが可能になる。したがって、電力供給部の向きを変えることが可能であっても、検査装置を小型化することが可能になる。

本発明において、検査装置は、ターンテーブルの外周端部分から上側に向かって立ち上がる棒状の握り棒を備えることが好ましい。このように構成すると、握り棒を利用して、ターンテーブルを手動で容易に回動させることが可能になる。

以上のように、本発明では、検査対象物を点灯検査するための検査装置において、点灯検査時に検査対象物に電力を供給する電力供給部の位置を容易に変更することが可能になる。

本発明の実施の形態にかかる検査装置の構成を説明するための側面図である。 図１に示す検査装置の構成を説明するための平面図である。 図１に示す液晶パネルの平面図である。 図２に示すベース部材の構成を説明するための平面図である。 図４に示すベース部材のＥ−Ｅ断面の構成を説明するための断面図である。 図２のＦ−Ｆ方向から電力供給部の下端部およびベース部材の構成を説明するための側面図である。 図６のＧ−Ｇ方向から電力供給部の下端部およびベース部材の構成を説明するための平面図である。 図７のＨ−Ｈ断面の断面図である。 図７のＪ−Ｊ断面の断面図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

（検査装置の全体構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる検査装置１の構成を説明するための側面図である。図２は、図１に示す検査装置１の構成を説明するための平面図である。図３は、図１に示す液晶パネル２の平面図である。

本形態の検査装置１は、検査対象物である液晶パネル２を点灯検査するための装置である。液晶パネル２は、長方形の平板状に形成されている。本形態の液晶パネル２には、バックライトは取り付けられていない。図３に示すように、液晶パネル２には、複数の給電用の端子２ａ、２ｂが形成されている。具体的には、長方形の平板状に形成される液晶パネル２の一方の長辺に沿って複数の端子２ａ、２ｂが液晶パネル２に形成されている。また、複数の端子２ａは、液晶パネル２の長手方向の一方側に配置され、複数の端子２ｂは、液晶パネル２の長手方向の他方側に配置されている。

なお、液晶パネル２の種類によっては、たとえば、複数の端子２ｂに代えて、図３の破線で示す複数の端子２ｃが形成されることがある。また、液晶パネル２の種類によっては、たとえば、複数の端子２ｂに代えて、図３の破線で示す複数の端子２ｄが形成されることがある。複数の端子２ｃは、液晶パネル２の長手方向において複数の端子２ｂとずれた位置に形成されている。また、複数の端子２ｄは、長方形の平板状に形成される液晶パネル２の一方の短辺に沿って形成されている。

検査装置１は、点灯検査時に液晶パネル２が載置される載置部３と、点灯検査前および点灯検査後の液晶パネル２が載置される載置部４と、載置部３と載置部４との間で液晶パネル２を搬送するパネル搬送機構５とを備えている。また、検査装置１は、点灯検査時に液晶パネル２の背面（下面）から光を照射するバックライト６と、載置部３の上方に配置されるカメラ７と、点灯検査時に液晶パネル２に電力を供給する２個の電力供給部８、９と、載置部３、バックライト６、カメラ７および電力供給部８等が収容される筐体１０とを備えている。

載置部４は、筐体１０の外部に配置されている。また、載置部４は、筐体１０に隣接配置されている。検査装置１は、筐体１０に形成される後述の開口部を塞ぐためのシャッタ１１を備えている。検査装置１は、架台１２の上に設置されている。以下の説明では、載置部４と筐体１０とが隣接している方向（図１等のＹ方向）を「前後方向」とし、上下方向（鉛直方向）と前後方向とに直交する方向（図１等のＸ方向）を「左右方向」とする。また、前後方向のうちの載置部４が配置されている側（図１等のＹ１方向側）を「前」側とし、その反対側（筐体１０が配置されている側、図１等のＹ２方向側）を「後ろ」側とする。また、左右方向のうちの図２等のＸ１方向側を「右」側とし、その反対側である図２等のＸ２方向側を「左」側とする。

載置部３は、液晶パネル２が載置される載置用治具１４と、載置用治具１４が載置される２個の載置部材１５とを備えている。本形態では、載置用治具１４に１枚の液晶パネル２が載置される。載置部材１５は、長方形の平板状に形成されている。載置部材１５は、載置部材１５の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。バックライト６は、載置部材１５の下側に配置されている。２個の載置部材１５は、バックライト６の光が液晶パネル２に照射されるように、前後方向に間隔をあけた状態で配置されており、バックライト６から射出される光は、２個の載置部材１５の間を通過する。

載置用治具１４は、長方形の平板状に形成されている。載置用治具１４は、載置用治具１４の厚さ方向と上下方向とが一致するように載置部材１５の上面に載置されている。載置用治具１４には、図示を省略する位置決めピンが挿入される挿入穴が形成されており、載置用治具１４は、位置決めピンと挿入穴とによって載置部材１５に対して水平方向（前後左右方向）で位置決めされている。

載置用治具１４には、バックライト６の光を液晶パネル２に照らすための長方形の貫通穴１４ａが形成されている（図２参照）。貫通穴１４ａの縁には、液晶パネル２が載置される平面状の載置面が形成されている。この載置面は、長方形の枠状に形成されている。載置面には、複数の吸引穴が形成されており、載置面に載置される液晶パネル２の縁は、この吸引穴に吸引される。液晶パネル２は、液晶パネル２の長手方向と左右方向とが略一致するように載置面に載置されている。また、液晶パネル２は、端子２ａ、２ｂが後ろ側に配置されるように載置面に載置されている。なお、液晶パネル２に端子２ｄが形成されている場合には、端子２ａが後ろ側に配置され、端子２ｄが左側に配置されるように、液晶パネル２が載置面に載置される。

載置部４は、液晶パネル２が載置される載置部材１７を備えている。載置部材１７の上面の高さは、載置用治具１４の上面と同じ高さになっている。載置部４に載置される点灯検査前の液晶パネル２は、ロボット等の液晶パネル２の搬送機構（図示省略）によって搬入される。また、載置部４に載置された点灯検査後の液晶パネル２は、液晶パネル２の搬送機構によって搬出される。

パネル搬送機構５は、液晶パネル２を保持する保持部１８と、上下方向を回転の軸方向として保持部１８を回転させる回転機構１９と、保持部１８を昇降させる昇降機構２０とを備えている。保持部１８は、細長い略長方形の平板状に形成される保持部材２１と、保持部材２１の一端側（長手方向の一端側）に取り付けられるとともに液晶パネル２を保持する保持機構２２と、保持部材２１の他端側（長手方向の他端側）に取り付けられるとともに液晶パネル２を保持する保持機構２３とを備えている。

保持機構２２、２３は、液晶パネル２の上面を吸引することで液晶パネル２を保持する吸引機構である。保持機構２２は、１枚の液晶パネル２を吸引して保持し、保持機構２３は、１枚の液晶パネル２を吸引して保持する。回転機構１９は、保持部１８の中心位置を回転中心にして保持部１８を回転させる。保持部１８が回転するときには、保持部１８は、所定位置まで上昇している。保持機構２２、２３が保持している液晶パネル２を載置部３および載置部４に載置するとき、および、載置部３および載置部４に載置されている液晶パネル２を保持機構２２、２３が保持するときには、保持部１８は、所定位置から下降した後、再び、所定位置まで上昇する。

カメラ７は、上述のように載置部３の上方に配置されており、バックライト６に照らされた液晶パネル２を撮影する。カメラ７は、カメラ７を昇降させる昇降機構（図示省略）に連結されている。筐体１０は、直方体の箱状に形成されている。筐体１０の前側面を構成する前側面部１０ａには、保持部１８の回転時に保持部１８の一部が通過する開口部が形成されている。シャッタ１１は、前側面部１０ａの前側に配置されている。シャッタ１１は、前側面部１０ａの開口部を塞ぐ位置と、開口部を開放する位置との間を移動する。シャッタ１１には、シャッタ１１を上下動させるエアシリンダ２４が連結されている（図１参照）。

電力供給部８、９は、ベース部材２７に載置されている。電力供給部８は、ベース部材２７に対して動かないようにベース部材２７に固定されている。一方、電力供給部９は、水平方向への移動が可能となるようにベース部材２７に載置されている。すなわち、検査装置１は、水平方向への移動が可能となるように電力供給部９が載置されるベース部材２７を備えている。以下、ベース部材２７および電力供給部８、９の具体的な構成について説明する。

（ベース部材の構成）
図４は、図２に示すベース部材２７の構成を説明するための平面図である。図５は、図４に示すベース部材２７のＥ−Ｅ断面の構成を説明するための断面図である。図６は、図２のＦ−Ｆ方向から電力供給部９の下端部およびベース部材２７の構成を説明するための側面図である。

ベース部材２７は、架台１２の上面に取り付けられるベース板２８と、ベース板２８の上面に固定される５枚の固定板２９〜３３とを備えている。ベース板２８は、平板状に形成されており、ベース板２８の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。ベース板２８は、防振ゴム３４を介して架台１２の上面に取り付けられている（図１参照）。また、ベース部材２７は、上下方向を回動の軸方向として回動可能なターンテーブル３５を備えている。すなわち、ベース部材２７の一部は、ターンテーブル３５となっている。ターンテーブル３５は、ベース板２８の上面に回動可能に取り付けられている。なお、図１に示すように、ベース板２８には、載置部３およびバックライト６も載置されている。

固定板２９は、長方形の平板状に形成されており、固定板２９の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。固定板２９の上面は、上下方向に直交する平面となっている。固定板３０〜３３は、略長方形の平板状に形成されており、固定板３０〜３３の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。ターンテーブル３５は、円板状に形成されており、ターンテーブル３５の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。

固定板２９は、載置部３の右端側部分の後ろ側に配置されている。固定板３０、３１は、固定板２９の左側に配置されている。また、固定板３０、３１は、載置部３の左端側部部分の後ろ側に配置されている。固定板３０と固定板３１とは、前後方向に間隔をあけた状態で配置されている。具体的には、固定板３０が後ろ側に配置され、固定板３１が前側に配置されている。固定板３２、３３は、載置部３の左側に配置されている。固定板３２と固定板３３とは、左右方向に間隔をあけた状態で配置されている。具体的には、固定板３２が左側に配置され、固定板３３が右側に配置されている。

固定板３０〜３３は、図示を省略するネジによってベース板２８に固定されている。すなわち、固定板３０〜３３は、ベース板２８に着脱可能に取り付けられている。また、ベース板２８に固定される固定板３０〜３３は、図示を省略する位置決めピンによってベース板２８に対して位置決めされている。そのため、固定板３０〜３３をベース板２８に固定する際には、ベース板２８に対して固定板３０〜３３を容易に位置決めすることが可能となっている。

図５に示すように、ターンテーブル３５の中心には、上下方向でターンテーブル３５を貫通する貫通穴が形成されている。この貫通穴には、ターンテーブル３５の回動方向へターンテーブル３５を案内する軸受３６が取り付けられている。軸受３６には、ベース板２８の上面に固定される固定軸３７が挿通されている。ターンテーブル３５は、固定軸３７を中心にして回動する。ベース板２８の上面には、ターンテーブル３５の重量を受ける円環状のスラスト滑り軸受３８が固定されている。ターンテーブル３５の下面には、スラスト滑り軸受３８に係合する円環状の凹部３５ａが形成されている。

ターンテーブル３５は、固定板３０、３１の左側であって、かつ、固定板３２、３３の後ろ側に配置されている。固定板３０、３１の左端面は、ターンテーブル３５と固定板３０、３１との間の隙間が小さくなるように曲面状に形成されている。また、固定板３２の後端面は、ターンテーブル３５と固定板３２との間の隙間が小さくなるように曲面状に形成され、固定板３３の後端面の左端部は、ターンテーブル３５と固定板３３との間の隙間が小さくなるように曲面状に形成されている。上下方向から見たときに、固定板３０、３１の左端面の形状、固定板３２の後端面の形状および固定板３３の後端面の左端部の形状は、ターンテーブル３５の回動中心を中心とする円弧となっている。

固定板３０、３２およびターンテーブル３５の上面には、電力供給部９を所定方向へ案内するためのガイドレール３０ａ、３２ａ、３５ｂが形成されている。すなわち、ベース部材２７の上面には、電力供給部９を所定方向へ案内するためのガイドレール３０ａ、３２ａ、３５ｂが形成されている。具体的には、固定板３０の上面の後端側にガイドレール３０ａが形成され、固定板３２の上面の左端側にガイドレール３２ａが形成され、ターンテーブル３５の上面の一端側にガイドレール３５ｂが形成されている。すなわち、電力供給部９を所定方向へ案内するためのガイドレール３０ａ、３２ａ、３５ｂの一部であるガイドレール３５ｂは、ターンテーブル３５の上面に形成されている。

本形態のガイドレール３０ａ、３２ａ、３５ｂは、固定板３０、３２およびターンテーブル３５の上面から下側に向かって窪む角溝状のガイド溝である。したがって、以下では、ガイドレール３０ａを「ガイド溝３０ａ」とし、ガイドレール３２ａを「ガイド溝３２ａ」とし、ガイドレール３５ｂを「ガイド溝３５ｂ」とする。ガイド溝３０ａ、３２ａ、３５ｂの下面（底面）は、上下方向に直交する平面となっている。

ガイド溝３０ａ、３２ａ、３５ｂは、直線状に形成されている。ガイド溝３０ａは、左右方向を長手方向とする直線状に形成され、ガイド溝３２ａは、前後方向を長手方向とする直線状に形成されている。ターンテーブル３５は、ガイド溝３０ａとガイド溝３５ｂとが左右方向で繋がる位置（図４の実線で示す位置）と、ガイド溝３２ａとガイド溝３５ｂとが前後方向で繋がる位置（図４の二点鎖線で示す位置）との間で、図４の反時計回りの方向（反時計方向）へ９０°回動可能となっている。

固定板３１、３３およびターンテーブル３５の上面には、後述のローラ６７が載置されるローラ載置面３１ａ、３３ａ、３５ｃが形成されている。具体的には、固定板３１の前端側にローラ載置面３１ａが形成され、固定板３３の右端側にローラ載置面３３ａが形成され、ターンテーブル３５の他端側にローラ載置面３５ｃが形成されている。ローラ載置面３１ａ、３３ａ、３５ｃは、上下方向に直交する平面となっている。ガイド溝３０ａ、３２ａ、３５ｂの底面の高さと、ローラ載置面３１ａ、３３ａ、３５ｃの高さとは、等しくなっている。

固定板３０〜３３の上面の大半部分は、後述の載置部材６５の下面が接触する接触面３０ｂ〜３３ｂとなっている。具体的には、固定板３０の上面の、ガイド溝３０ａよりも前側の部分が接触面３０ｂとなっており、固定板３１の上面の、ローラ載置面３１ａよりも後ろ側の部分が接触面３１ｂとなっている。また、固定板３２の上面の、ガイド溝３２ａよりも右側の部分が接触面３２ｂとなっており、固定板３３の上面の、ローラ載置面３３ａよりも左側の部分が接触面３３ｂとなっている。接触面３０ｂ〜３３ｂは、上下方向に直交する平面となっている。また、接触面３０ｂ〜３３ｂは、同一平面上に配置されている。なお、ターンテーブル３５の上面の、ガイド溝３５ｂとローラ載置面３５ｃとの間の部分は、上下方向に直交する平面となっており、この平面は、接触面３０ｂ〜３３ｂと略同一平面上に配置されている。

ターンテーブル３５の外周端部分には、上側に向かって立ち上がる棒状の握り棒３９が固定されている。握り棒３９は、細長い円柱状に形成されている。握り棒３９は、ガイド溝３０ａとガイド溝３５ｂとが左右方向で繋がる位置にターンテーブル３５が配置されているときに、ターンテーブル３５の後端部に配置されている。ターンテーブル３５を回動させるときには、作業者が握り棒３９を握って、手動でターンテーブル３５を回動させる。

（電力供給部の構成）
図７は、図６のＧ−Ｇ方向から電力供給部９の下端部およびベース部材２７の構成を説明するための平面図である。図８は、図７のＨ−Ｈ断面の断面図である。図９は、図７のＪ−Ｊ断面の断面図である。

電力供給部８は、液晶パネル２の端子２ａに電力を供給する。この電力供給部８は、固定板２９の上面に固定されており、載置部３の右端側部分の後ろ側に配置されている。電力供給部８は、液晶パネル２の端子２ａに上側から接触する複数のコンタクトプローブ４３を備えている。また、電力供給部８は、複数のコンタクトプローブ４３を保持するプローブ保持部４４と、プローブ保持部４４を移動させる移動機構４５と、電力供給部８の下端部を構成する載置部材４６とを備えている。さらに、電力供給部８は、液晶パネル２に形成されるアライメントマーク（図示省略）を撮影するカメラ４７を備えている。本形態の電力供給部８は、２台のカメラ４７を備えている。

移動機構４５は、上下方向を回動の軸方向としてプローブ保持部４４を回動させる回動機構４８と、プローブ保持部４４を上下方向に移動させるＺ軸移動機構４９と、プローブ保持部４４を前後方向に移動させるＹ軸移動機構５０と、プローブ保持部４４を左右方向に移動させるＸ軸移動機構５１とから構成されている。回動機構４８は、モータ５４と、モータ５４の動力を減速してプローブ保持部４４に伝達する減速機５５とを備えている（図１参照）。モータ５４の本体部および減速機５５のケース体は、可動フレーム５６に固定されている。

プローブ保持部４４は、減速機５５の出力軸に固定されており、減速機５５の出力軸を回動中心にして回動する。プローブ保持部４４の前端部は、複数のコンタクトプローブ４３が取り付けられている。コンタクトプローブ４３は、コンタクトプローブ４３の長さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。コンタクトプローブ４３の下端部は、プローブ保持部４４の下面よりも下側へ突出している。２台のカメラ４７は、プローブ保持部４４の左右の両端部に取り付けられている。

Ｚ軸移動機構４９は、回動機構４８の後ろ側に配置されている。このＺ軸移動機構４９は、可動フレーム５６を上下方向に移動させる。図１に示すように、Ｚ軸移動機構４９は、モータ５７を備えている。モータ５７の出力軸には、ネジ部材５８が連結されている。ネジ部材５８には、可動フレーム５６に固定されるナット部材が係合している。モータ５７の本体部は、可動フレーム５９に固定されている。ネジ部材５８は、可動フレーム５９に回転可能に保持されている。また、Ｚ軸移動機構４９は、可動フレーム５６を上下方向に案内するガイド機構を備えている。

Ｘ軸移動機構５１は、Ｚ軸移動機構４９の下側に配置されている。このＸ軸移動機構５１は、可動フレーム５９を左右方向に移動させる。図２に示すように、Ｘ軸移動機構５１は、モータ６０を備えている。モータ６０の出力軸には、ネジ部材が連結され、このネジ部材には、可動フレーム５９に固定されるナット部材が係合している。モータ６０の本体部は、可動フレーム６１に固定されている。モータ６０の出力軸に連結されるネジ部材は、可動フレーム６１に回転可能に保持されている。また、Ｘ軸移動機構５１は、可動フレーム５９を左右方向に案内するガイド機構を備えている。

Ｙ軸移動機構５０は、Ｘ軸移動機構５１の下側に配置されている。このＹ軸移動機構５０は、可動フレーム６１を前後方向に移動させる。Ｙ軸移動機構５０は、モータ６２を備えている。モータ６２の出力軸には、ネジ部材６３が連結され、ネジ部材６３には、可動フレーム６１に固定されるナット部材が係合している。モータ６２の本体部は、載置部材４６の上面に固定されている。ネジ部材６３は、載置部材４６の上面に回転可能に保持されている。また、Ｙ軸移動機構５０は、可動フレーム６１を前後方向に案内するガイド機構を備えている。

載置部材４６は、長方形の平板状に形成されている。Ｚ軸移動機構４９は、回動機構４８が取り付けられる可動フレーム５６を上下方向に移動させ、Ｘ軸移動機構５１は、Ｚ軸移動機構４９が取り付けられる可動フレーム５９を左右方向に移動させ、Ｙ軸移動機構５０は、Ｘ軸移動機構５１が取り付けられる可動フレーム６１を前後方向に移動させる。また、Ｙ軸移動機構５０は、載置部材４６に載置されている。すなわち、移動機構４５は、載置部材４６に載置されている。載置部材４６は、固定板２９の上面に固定されている。

電力供給部９は、液晶パネル２の端子２ｂに電力を供給する。この電力供給部９は、固定板３０、３１の上面に固定されており、載置部３の左端側部分の後ろ側に配置されている。すなわち、電力供給部８と電力供給部９とは、左右方向で隣接配置されている。上述のように、電力供給部９は、ベース部材２７に対して水平方向へ移動可能となっているため、電力供給部９の下端部の構成は、電力供給部８の下端部の構成と相違している。一方、電力供給部９の、下端部を除いた部分の構成は、電力供給部８の、下端部を除いた部分の構成と同じになっている。以下では、電力供給部８との相違点を中心に、電力供給部９の構成を説明する。

電力供給部９は、電力供給部８と同様に、複数のコンタクトプローブ４３とプローブ保持部４４と移動機構４５と２台のカメラ４７とを備えている。電力供給部９のコンタクトプローブ４３は、液晶パネル２の端子２ｂに上側から接触する。また、電力供給部９は、電力供給部９の下端部を構成する載置部材６５と、ガイド溝３０ａ、３２ａ、３５ｂに沿って電力供給部９を移動させるためのローラ（転がり軸受）６６、６７と、ローラ６６、６７を回転可能に保持する２個のローラ保持部材６８とを備えている。さらに、電力供給部９は、載置部材６５をローラ保持部材６８に固定するための固定ネジ６９と、ローラ保持部材６８に対して載置部材６５を上下方向へ案内するためのガイド部材７０とを備えている。

載置部材６５は、略長方形の平板状に形成されている。図７に示すように、前後方向における載置部材６５の両端部は、左右方向の幅が狭くなった幅狭部６５ａとなっている。電力供給部９では、モータ６２の本体部は、載置部材６５の上面に固定され、ネジ部材６３は、載置部材６５の上面に回転可能に保持されている。また、電力供給部９では、移動機構４５は、載置部材６５に載置されている。

２個のローラ保持部材６８のそれぞれは、前後方向における載置部材６５の両端側のそれぞれに配置されている。載置部材６５の後端側に配置されるローラ保持部材６８は、２個のローラ６６を回転可能に保持している。載置部材６５の前端側に配置されるローラ保持部材６８は、２個のローラ６７を回転可能に保持している。すなわち、ローラ６６、６７は、前後方向の両端側のそれぞれに配置されている。

載置部材６５の後端側に配置されるローラ保持部材６８は、載置部材６５の後端側の幅狭部６５ａの上側から重なる重なり部６８ａと、重なり部６８ａの左右の両端のそれぞれに繋がるローラ保持部６８ｂとを備えている。同様に、載置部材６５の前端側に配置されるローラ保持部材６８は、載置部材６５の前端側の幅狭部６５ａの上側から重なる重なり部６８ａと、重なり部６８ａの左右の両端のそれぞれに繋がるローラ保持部６８ｂとを備えている。

２個のローラ保持部６８ｂは、左右方向で幅狭部６５ａを挟むように配置されている。ローラ保持部６８ｂには、ローラ６６、６７を回転可能に支持する固定軸７１が固定されている。固定軸７１は、固定軸７１の軸方向と前後方向とが一致するように配置されており、ローラ６６、６７は、前後方向を回転の軸方向として回転可能となっている。ローラ６６は、固定板３０のガイド溝３０ａに係合している。具体的には、ローラ６６の下端部がガイド溝３０ａに嵌っている。ローラ６７は、固定板３１のローラ載置面３１ａに載置されている。

図８、図９に示すように、重なり部６８ａには、固定ネジ６９の軸部６９ａが挿通される挿通穴６８ｃが形成されている。挿通穴６８ｃは、上下方向で重なり部６８ａを貫通している。幅狭部６５ａには、固定ネジ６９の軸部６９ａに形成されるオネジが螺合するネジ穴６５ｂが形成されている。ネジ穴６５ｂは、幅狭部６５ａの上面から下側に向かって窪むように形成されている。

重なり部６８ａの下面と、固定板３０、３１の接触面３０ｂ、３１ｂとの上下方向の距離は、載置部材６５の厚さ（すなわち、幅狭部６５ａの厚さ）よりも若干長くなっている（図８、図９参照）。本形態では、固定ネジ６９を緩めると、図８（Ａ）、図９（Ａ）に示すように、載置部材６５の下面が接触面３０ｂ、３１ｂに接触して、載置部材６５が固定板３０、３１に載置される。すなわち、固定ネジ６９を緩めると、載置部材６５の下面がベース部材２７の上面に接触して、電力供給部９がベース部材２７の上面に載置される。このときには、幅狭部６５ａの上面（すなわち、載置部材６５の上面）と重なり部６８ａの下面との間に隙間が形成されている。この隙間は、たとえば、１（ｍｍ）程度となっている。

固定板３０、３１に載置された載置部材６５は、第２固定ネジとしての固定ネジ７２によって固定板３０、３１に固定されている。すなわち、検査装置１は、ベース部材２７に載置部材６５を固定するための固定ネジ７２を備えている。本形態では、図７に示すように、４個の固定ネジ７２によって、載置部材６５が固定板３０、３１に固定されている。載置部材６５には、固定ネジ７２の軸部が挿通される挿通穴（図示省略）が形成され、固定板３０、３１には、固定ネジ７２のオネジが螺合するネジ穴（図示省略）が形成されている。

また、固定板３０、３１に固定される載置部材６５は、位置決めピン７３によって固定板３０、３１に対して位置決めされている。すなわち、検査装置１は、ベース部材２７に対して載置部材６５を位置決めするための位置決めピン７３を備えている。本形態では、図７に示すように、２個の位置決めピン７３によって、載置部材６５が固定板３０、３１に対して位置決めされている。図６に示すように、載置部材６５には、位置決めピン７３が挿通される挿通穴６５ｃが形成されている。固定板３０には、円筒状のブッシュ７４が配置される貫通穴が形成されており、位置決めピン７３の下端部は、ブッシュ７４に挿入されている。なお、図４では、ブッシュ７４の図示を省略している。

また、本形態では、固定ネジ６９を締めると、図８（Ｂ）、図９（Ｂ）に示すように、載置部材６５が持ち上がって載置部材６５の下面が接触面３０ｂ、３１ｂから離れる。すなわち、固定ネジ６９を締めると、載置部材６５の下面がベース部材２７の上面から離れる。また、固定ネジ６９を締めると、幅狭部６５ａの上面が重なり部６８ａの下面に密着して、載置部材６５がローラ保持部材６８に固定される。すなわち、載置部材６５が２個のローラ保持部材６８に固定される。そのため、固定ネジ６９を締めると、ガイド溝３０ａに沿ってローラ６６、６７を回転させて電力供給部９を左右方向へ移動させることが可能になる。

ガイド部材７０は、上端に鍔部７０ａを有する鍔付きの円筒状に形成されている。重なり部６８ａには、ガイド部材７０が挿通される挿通穴６８ｄが形成されている。本形態では、重なり部６８ａの左右の両端部の２箇所に挿通穴６８ｄが形成されている。挿通穴６８ｄは、上下方向で重なり部６８ａを貫通している。挿通穴６８ｄの内径は、ガイド部材７０の鍔部７０ａの外径よりも小さくなっている。

幅狭部６５ａには、ガイド部材７０の下端部が配置される配置穴６５ｄが形成されている。配置穴６５ｄは、上下方向で挿通穴６８ｄと重なるように２箇所に形成されている。また、配置穴６５ｄは、幅狭部６５ａの上面から下側に向かって窪むように形成されている。ガイド部材７０は、ガイド部材７０の内周側に挿通される固定ネジ７７によって幅狭部６５ａに固定されている。鍔部７０ａは、重なり部６８ａの上面よりも上側に配置されている。固定ネジ６９の締緩によってローラ保持部材６８に対して上下動する載置部材６５は、ガイド部材７０によって上下方向に案内される。

（電力供給部の位置の変更手順）
本形態では、液晶パネル２に端子２ａ、２ｂが形成されており、端子２ａに電力を供給する電力供給部８と端子２ｂに電力を供給する電力供給部９とが左右方向で隣接配置されている。液晶パネル２の点灯検査時には、固定ネジ６９が緩んでおり、載置部材６５の下面が接触面３０ｂ、３１ｂに接触している。また、点灯検査時には、電力供給部９は、図２の実線で示す位置で固定ネジ７２によって固定板３０、３１に固定されている。

ここで、上述のように、液晶パネル２の種類によっては、液晶パネル２に端子２ａ、２ｃが形成されていることもあり、この液晶パネル２の点灯検査が検査装置１で行われることがある。この場合には、電力供給部９のコンタクトプローブ４３が端子２ｃに接触可能となるように電力供給部９を左側へ移動させる。電力供給部９を移動させるときには、まず、固定ネジ７２および位置決めピン７３を取り外す。また、固定ネジ６９を締めて、載置部材６５の下面を固定板３０、３１の接触面３０ｂ、３１ｂから離すとともに、載置部材６５を２個のローラ保持部材６８に固定する。

この状態で、電力供給部９を左側に向かって押すと、ローラ６６、６７が回転してガイド溝３０ａに沿って電力供給部９が左側へ移動する。電力供給部９のコンタクトプローブ４３が端子２ｃに接触可能となる所定位置まで電力供給部９を移動させると、位置決めピン７３を取り付ける。また、固定ネジ６９を緩めて、載置部材６５の下面を接触面３０ｂ、３１ｂに接触させて、移動後の位置に電力供給部９を設置する。その後、固定ネジ７２によって載置部材６５を固定板３０、３１に固定する。

また、液晶パネル２の種類によっては、液晶パネル２に端子２ａ、２ｄが形成されていることもあり、この液晶パネル２の点灯検査が検査装置１で行われることがある。この場合には、電力供給部９のコンタクトプローブ４３が端子２ｄに接触可能となるように、図２の二点鎖線で示す位置まで電力供給部９を移動させる。電力供給部９を移動させるときには、上述のように、まず、固定ネジ７２および位置決めピン７３を取り外す。また、固定ネジ６９を締めて、載置部材６５の下面を固定板３０、３１の接触面３０ｂ、３１ｂから離すとともに、載置部材６５を２個のローラ保持部材６８に固定する。また、ガイド溝３０ａとガイド溝３５ｂとが左右方向で繋がる位置にターンテーブル３５を配置する。

この状態で、電力供給部９を左側に向かって押すと、ローラ６６、６７が回転してガイド溝３０ａ、３５ｂに沿って電力供給部９が左側へ移動し、固定板３０、３１からターンテーブル３５に載り移る。電力供給部９がターンテーブル３５に載り移る過程で、ローラ６６は、ガイド溝３０ａからガイド溝３５ｂに載り移ってガイド溝３５ｂに嵌り、ローラ６７は、ローラ載置面３１ａからローラ載置面３５ｃに載り移る。その後、ガイド溝３２ａとガイド溝３５ｂとが前後方向で繋がる位置まで、ターンテーブル３５を９０°回動させる。ターンテーブル３５が９０°回動すると、電力供給部９が９０°回動して、２個のローラ６６が載置部材６５の左端側に配置され、２個のローラ６７が載置部材６５の右端側に配置される。

その後、電力供給部９を前側に向かって押すと、ローラ６６、６７が左右方向を回転の軸方向として回転し、ガイド溝３５ｂ、３２ａに沿って電力供給部９が前側へ移動して、ターンテーブル３５から固定板３２、３３に載り移る。電力供給部９が固定板３２、３３に載り移る過程で、ローラ６６は、ガイド溝３５ｂからガイド溝３２ｂに載り移ってガイド溝３２ｂに嵌る。また、電力供給部９が固定板３２、３３に載り移る過程で、ローラ６７は、ローラ載置面３５ｃからローラ載置面３１ａに載り移った後、ローラ載置面３３ａに載り移る。

電力供給部９のコンタクトプローブ４３が端子２ｄに接触可能となる所定位置まで電力供給部９を移動させると、位置決めピン７３を取り付ける。また、固定ネジ６９を緩めて、載置部材６５の下面を固定板３２、３３の接触面３２ｂ、３３ｂに接触させて、移動後の位置に電力供給部９を設置する。すなわち、固定ネジ６９を緩めて、載置部材６５の下面をベース部材２７の上面に接触させて、移動後の位置で電力供給部９をベース部材２７の上面に設置する。その後、固定ネジ７２によって載置部材６５を固定板３２、３３に固定する。

なお、固定板３２、３３にも、固定ネジ７２のオネジが螺合するネジ穴（図示省略）が形成されている。また、固定板３２にも、円筒状のブッシュ７４が配置される貫通穴が形成されている。また、本形態では、ローラ６６、６７は、ガイド溝３０ａ、３５ｂに沿って電力供給部９が左右方向へ移動するときには、前後方向の両端側のそれぞれに配置され、ガイド溝３２ａ、３５ｂに沿って電力供給部９が前後方向へ移動するときには、左右方向の両端側のそれぞれに配置されている。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、ベース部材２７の上面にガイド溝３０ａ、３２ａ、３５ｂが形成されている。また、本形態では、電力供給部９は、電力供給部９の下端部を構成する載置部材６５と、ローラ６６、６７を回転可能に保持するローラ保持部材６８と、載置部材６５をローラ保持部材６８に固定するための固定ネジ６９とを備えている。さらに、本形態では、固定ネジ６９を緩めると、載置部材６５の下面がベース部材２７の上面に接触し、固定ネジ６９を締めると、載置部材６５が持ち上がって載置部材６５の下面がベース部材２７の上面から離れるとともに載置部材６５がローラ保持部材６８に固定される。

そのため、本形態では、緩んでいた固定ネジ６９を締めた後、電力供給部９をガイド溝３０ａ、３２ａ、３５ｂの長手方向に押すことで、上述のように、ローラ６６、６７を回転させて、電力供給部９を移動させることが可能になる。また、本形態では、上述のように、電力供給部９が所定の位置まで移動した後、固定ネジ６９を緩めて、ベース部材２７の上面に載置部材６５の下面を接触させることで、移動後の位置に電力供給部９を設置することが可能になる。したがって、本形態では、電力供給部９の位置を容易に変更することが可能になる。

なお、端子２ｂと端子２ｃとの左右方向の距離が短い場合には、電力供給部９の位置を変更しなくても、Ｘ軸移動機構５１を用いて、電力供給部９のコンタクトプローブ４３を端子２ｃに接触させることは可能である。一方で、端子２ｂと端子２ｃとの左右方向の距離が長い場合、Ｘ軸移動機構５１を用いて電力供給部９のコンタクトプローブ４３を端子２ｃに接触させるためには、Ｘ軸移動機構５１による可動フレーム５９の移動量を大きくしなければならず、Ｘ軸移動機構５１が大型化するが、本形態では、端子２ｂと端子２ｃとの左右方向の距離が長くても、Ｘ軸移動機構５１が大型化することはない。また、本形態のように電力供給部９を移動させることができないと、電力供給部９のコンタクトプローブ４３を端子２ｄに接触させることはできない。

本形態では、ローラ６６、６７は、ガイド溝３０ａ、３５ｂに沿って電力供給部９が左右方向へ移動するときには、前後方向の両端側のそれぞれに配置され、ガイド溝３２ａ、３５ｂに沿って電力供給部９が前後方向へ移動するときには、左右方向の両端側のそれぞれに配置されている。すなわち、本形態では、ローラ６６、６７は、ガイド溝３０ａ、３２ａ、３５ｂに沿って移動する電力供給部９の移動方向に直交する方向における両端側のそれぞれに配置されている。そのため、本形態では、ガイド溝３０ａ、３２ａ、３５ｂに沿って移動する電力供給部９の移動時の状態を安定させることが可能になる。

本形態では、ローラ６６は、ガイド溝３０ａ、３２ａ、３５ｂに嵌るが、ローラ６７は、平面状のローラ載置面３１ａ、３３ａ、３５ｃに載置される。そのため、本形態では、ローラ６７が嵌るガイド溝が固定板３１、３３およびターンテーブル３５に形成されている場合と比較して、検査装置１の構成を簡素化することが可能になる。また、ローラ６７が嵌るガイド溝が固定板３１、３３およびターンテーブル３５に形成されている場合には、このガイド溝とローラ６７との間の摩擦抵抗や、ガイド溝３０ａ、３２ａ、３５ｂとローラ６６との間の摩擦抵抗によって電力供給部９にモーメントが発生して（上下方向を軸方向とするモーメントが発生して）電力供給部９を移動させることができなくなるおそれがあるが、本形態は、電力供給部９のモーメントの発生を防止して、電力供給部９を確実に移動させることが可能になる。

本形態では、載置部材６５は、固定ネジ７２によってベース部材２７に固定されている。そのため、本形態では、電力供給部９をベース部材２７に確実に固定することが可能になる。また、本形態では、載置部材６５は、位置決めピン７３によってベース部材２７に対して位置決めされているため、ベース部材２７に対して載置部材６５を容易に位置決めすることが可能になる。

本形態では、ベース部材２７は、ターンテーブル３５を備えており、ターンテーブル３５を利用して電力供給部９の向きを変えることができる。そのため、本形態では、たとえば、電力供給部９の向きを変えるためにガイド溝３０ａ、３２ａ、３５ｂの一部が曲線状に形成されている場合と比較して、より狭い領域で電力供給部９の向きを変えることが可能になる。したがって、本形態では、電力供給部９の向きを変えることが可能であっても、検査装置１を小型化することが可能になる。また、本形態では、ターンテーブル３５の外周端部分に、上側に向かって立ち上がる棒状の握り棒３９が固定されているため、握り棒３９を利用して、ターンテーブル３５を手動で容易に回動させることが可能になる。

なお、液晶パネル２には、端子２ｂ〜２ｄが形成された箇所以外に給電用の端子が形成されることもあり、この場合には、液晶パネル２に形成される端子の位置に応じて、電力供給部９を移動させて固定する必要がある。すなわち、液晶パネル２に形成される端子の位置に応じて、電力供給部９の配置位置を変更する必要がある。本形態では、ベース部材２７がターンテーブル３５を備えているため、また、固定板３０〜３３がベース板２８に着脱可能に取り付けられているため、ターンテーブル３５に電力供給部９を載置した状態でベース板２８から固定板３０〜３３を取り外し、液晶パネル２に形成される端子の位置に応じて、固定ネジ７２のオネジが螺合するネジ穴を固定板３０〜３３に追加工することが可能になるとともに、ブッシュ７４が配置される貫通穴を固定板３０、３２に追加工することが可能になる。したがって、本形態では、液晶パネル２に形成される端子の位置に応じて、電力供給部９の配置位置を容易に変更することが可能になる。

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

上述した形態において、固定板３１、３３およびターンテーブル３５にローラ６７が嵌るガイド溝が形成されていても良い。また、上述した形態において、電力供給部９のコンタクトプローブ４３が端子２ｄに接触可能となる位置に電力供給部９を移動させるために、ガイド溝３０ａ、３２ａ、３５ｂの一部が曲線状に形成されていても良い。この場合には、ターンテーブル３５が不要になる。

上述した形態において、ガイド溝３０ａ、３２ａ、３５ｂに代えて、細長いブロック状に形成されるガイドレールが固定板３０、３２およびターンテーブル３５の上面に形成または固定されていても良い。この場合には、ガイドレールからのローラ６６、６７の外れを防止するための外れ防止部がガイドレールおよびローラ６６、６７の少なくともいずれか一方に形成されている。

上述した形態において、固定ネジ６９の軸部６９ａが挿通される挿通穴が幅狭部６５ａに形成され、固定ネジ６９の軸部６９ａに形成されるオネジが螺合するネジ穴が重なり部６８ａに形成されていても良い。ただし、上述した形態のように、重なり部６８ａに挿通穴６８ｃが形成され、幅狭部６５ａにネジ穴６５ｂが形成されていると、幅狭部６５ａに上側から重なる重なり部６８ａの上側から固定ネジ６９を締めたり緩めたりすることが可能になるため、固定ネジ６９の締緩作業が容易になる。

上述した形態において、液晶パネル２の短辺に沿って配置される端子２ｄが形成された液晶パネル２の点灯検査を検査装置１で行わない場合には、検査装置１は、ターンテーブル３５を備えていなくても良い。また、上述した形態において、電力供給部８が、水平方向への移動が可能となるようにベース部材２７に載置されていても良い。さらに、上述した形態において、載置部３に載置される液晶パネル２の枚数は２枚以上であっても良い。また、上述した形態では、筐体１０の内部で液晶パネル２の点灯検査を行っているが、筐体１０の内部で液晶パネル２以外の検査対象物の点灯検査を行っても良い。

１ 検査装置
２ 液晶パネル（検査対象物）
２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ 端子
９ 電力供給部
２７ ベース部材
３０ａ、３２ａ、３５ｂ ガイド溝（ガイドレール）
３０ｂ、３１ｂ、３２ｂ、３３ｂ 接触面（ベース部材の上面）
３５ ターンテーブル
３９ 握り棒
４３ コンタクトプローブ
４４ プローブ保持部
４５ 移動機構
６５ 載置部材
６５ｂ ネジ穴
６６、６７ ローラ
６８ ローラ保持部材
６８ａ 重なり部
６８ｃ 挿通穴
６９ 固定ネジ
６９ａ 軸部
７２ 固定ネジ（第２固定ネジ）
７３ 位置決めピン

Claims (7)

1. 検査対象物を点灯検査するための検査装置において、
   点灯検査時に前記検査対象物に電力を供給する電力供給部と、水平方向への移動が可能となるように前記電力供給部が載置されるベース部材とを備え、
   前記ベース部材の上面には、前記電力供給部を所定方向へ案内するためのガイドレールが形成または固定され、
   前記電力供給部は、前記検査対象物に形成される給電用の端子に接触する複数のコンタクトプローブと、複数の前記コンタクトプローブを保持するプローブ保持部と、前記プローブ保持部を移動させる移動機構と、前記移動機構が載置されるとともに前記電力供給部の下端部を構成する載置部材と、前記ガイドレールに沿って前記電力供給部を移動させるためのローラと、前記ローラを回転可能に保持するローラ保持部材と、前記載置部材を前記ローラ保持部材に固定するための固定ネジとを備え、
   前記ローラ保持部材は、前記載置部材の一部に上側から重なる重なり部を備え、
   前記重なり部および前記載置部材のいずれか一方には、前記固定ネジの軸部が挿通される挿通穴が形成され、
   前記重なり部および前記載置部材のいずれか他方には、前記固定ネジの軸部に形成されるオネジが螺合するネジ穴が形成され、
   前記固定ネジを緩めると、前記載置部材の下面が前記ベース部材の上面に接触し、
   前記固定ネジを締めると、前記載置部材が持ち上がって前記載置部材の下面が前記ベース部材の上面から離れるとともに前記載置部材が前記ローラ保持部材に固定されることを特徴とする検査装置。
2. 前記重なり部に、前記挿通穴が形成され、
   前記載置部材に、前記ネジ穴が形成されていることを特徴とする請求項１記載の検査装置。
3. 前記ローラは、前記ガイドレールに沿って移動する前記電力供給部の移動方向に直交する直交方向における両端側のそれぞれに配置されていることを特徴とする請求項１または２記載の検査装置。
4. 前記直交方向の一端側に配置される前記ローラが前記ガイドレールに係合していることを特徴とする請求項３記載の検査装置。
5. 前記ベース部材に対して前記載置部材を位置決めするための位置決めピンと、前記ベース部材に前記載置部材を固定するための第２固定ネジとを備えることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の検査装置。
6. 前記ベース部材の一部は、上下方向を回動の軸方向として回動可能なターンテーブルとなっており、
   前記ガイドレールの一部が前記ターンテーブルの上面に形成または固定されていることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の検査装置。
7. 前記ターンテーブルの外周端部分から上側に向かって立ち上がる棒状の握り棒を備えることを特徴とする請求項６記載の検査装置。

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