KR101186270B1 - 리니어 액츄에이터 및 이를 이용한 기판 검사장치 - Google Patents

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Abstract

조명기의 하중에 의해 가이드레일에 압력이 작용하더라도 조명기를 원활하게 이송할 수 있도록 한 리니어 액츄에이터 및 이를 이용한 기판 검사장치가 개시된다.
본 발명에 따른 리니어 액츄에이터는 가가이드레일과, 상기 가이드레일에 지지되고 상기 가이드레일을 따라 이송되는 이송블록과, 이송대상체에 결합되어 상기 이송블록과 함께 이송되는 지지블록과, 상기 이송블록과 상기 지지블록의 사이에 배치되어 상기 이송블록의 변형력이 상기 지지블록에 전달되지 않도록 하는 탄성블록을 포함한다.

Description

리니어 액츄에이터 및 이를 이용한 기판 검사장치{Linear actuator and Substrate inspection apparatus using the same}
본 발명은 리니어 액츄에이터 및 이를 이용한 기판 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판을 검사하는 데 사용되는 조명기를 이송하는 리니어 액츄에이터 및 이를 이용한 기판 검사장치에 관한 것이다.
평판 디스플레이 장치에는 액정표시장치(LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 유기전계발광소자(유기 EL)등이 있다.
이들 평판 디스플레이 장치의 제조 공정 중에는 기판의 얼룩이나 파티클을 검사하기 위해 매크로 검사 및 마이크로 검사가 수행된다. 매크로 검사는 작업자의 육안으로 기판 전체의 얼룩이나 파티클을 개략적으로 검사하는 것이며, 마이크로 검사는 기판 일부의 얼룩이나 파티클을 별도의 마이크로 장치를 사용하여 확대하여 정밀하게 검사하는 것이다.
이러한 기판 검사에 사용되는 기판 검사장치는 기판을 검사하기 위해 기판으로 광을 조사하는 조명기와, 조명기를 이송하는 조명이송기를 포함한다. 조명이송기는 조명기를 기판의 길이 방향, 또는 폭 방향으로 이송하여 기판의 전면적에 대해 검사를 수행할 수 있도록 한다.
일반적으로, 조명이송기로는 리니어 액츄에이터를 사용한다. 리니어 액츄에이터는 조명기가 이송되는 방향으로 배치되는 가이드레일과, 조명기를 지지하고 가이드레일을 따라 이송되는 이송블록과, 이송블록을 선형 이송시키는 구동수단, 예를 들어 회전모터와 타이밍벨트의 조합, 또는 회전모터와 볼스크류의 조합 등으로 구성된다.
하지만, 리니어 액추에이터는 조명기의 하중에 의해 가이드레일에 수직방향으로 작용하는 압력과, 조명기를 이송하는 회전모터의 동력에 의해 이송블록에 수평방향 작용하는 압력이 존재한다. 이때, 가이드레일에 수직방향으로 작용하는 압력은 가이드레일의 처짐을 발생시킨다.
이와 같이, 가이드레일에 처짐이 발생되면, 조명기의 이송이 원활하지 않아 기판의 검사를 수행하기 곤란한 문제점이 있다.
또한, 가이드레일에 처짐이 발생되면, 수평방향으로의 동력을 발생시키는 회전모터에 과부하가 발생되어 회전모터의 수명을 단축시킬뿐만 아니라, 심하게는 회전모터의 과열로 이어져 화재가 발생될 수 있는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 조명기의 하중에 의해 가이드레일에 압력이 작용하더라도 조명기를 원활하게 이송할 수 있도록 한 리니어 액츄에이터 및 이를 이용한 기판 검사장치을 제공하기 위한 것이다.
본 발명에 따른 리니어 액츄에이터는 가이드레일과, 상기 가이드레일에 지지되고 상기 가이드레일을 따라 이송되는 이송블록과, 이송대상체에 결합되어 상기 이송블록과 함께 이송되는 지지블록과, 상기 이송블록과 상기 지지블록의 사이에 배치되어 상기 이송블록의 변형력이 상기 지지블록에 전달되지 않도록 하는 탄성블록을 포함한다.
상기 탄성블록은 테프론 소재로 이루어질 수 있다.
상기 지지블록은 한쌍으로 마련되어 상기 이송대상체가 이송되는 방향에 대해 상기 이송블록의 전, 후방에 각각 배치되며, 상기 탄성블록은 한쌍의 상기 지지블록과 상기 이송블록의 사이에 각각 배치될 수 있다.
상기 가이드레일의 상부면에는 가이드홀이 형성되며, 상기 이송블록의 일부는 상기 가이드레일의 내부에 위치하고, 상기 이송블록의 나머지는 상기 가이드레일의 상부면에 지지되며, 상기 리니어 액츄에이터는 상기 가이드레일의 일단부에 설치되는 주동풀리와, 상기 가이드레일의 타단부에 설치되는 종동풀리와, 상기 가이드레일의 내부에 설치되고 상기 주동풀리와 상기 종동풀리에 체결되며, 상기 이송블록을 지지하는 타이밍벨트와, 상기 주동풀리를 회전 구동시키는 회전모터를 포함할 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 기판 검사장치는 기판을 지지하는 기판 지지대와, 상기 기판 지지대에 지지되는 상기 기판으로 광을 조사하는 조명기와, 상기 조명기를 지지하고 상기 조명기를 이송하는 조명이송기를 포함하되, 상기 조명이송기는 가이드레일과, 상기 가이드레일에 지지되고 상기 가이드레일을 따라 이송되는 이송블록과, 상기 조명기에 결합되어 상기 이송블록과 함께 이송되는 지지블록과, 상기 이송블록과 상기 지지블록의 사이에 배치되어 상기 이송블록의 변형력이 상기 지지블록에 전달되지 않도록 하는 탄성블록을 포함한다.
상기 탄성블록은 테프론 소재로 이루어질 수 있다.
상기 지지블록은 한쌍으로 마련되어 상기 조명기가 이송되는 방향에 대해 상기 이송블록의 전, 후방에 각각 배치되며, 상기 탄성블록은 한쌍의 상기 지지블록과 상기 이송블록의 사이에 각각 배치될 수 있다.
상기 가이드레일의 상부면에는 가이드홀이 형성되며, 상기 이송블록의 일부는 상기 가이드레일의 내부에 위치하고, 상기 이송블록의 나머지는 상기 가이드레일의 상부면에 지지되며, 상기 조명이송기는 상기 가이드레일의 일단부에 설치되는 주동풀리와, 상기 가이드레일의 타단부에 설치되는 종동풀리와, 상기 가이드레일의 내부에 설치되고 상기 주동풀리와 상기 종동풀리에 체결되며, 상기 이송블록을 지지하는 타이밍벨트와, 상기 주동풀리를 회전 구동시키는 회전모터를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 리니어 액츄에이터 및 이를 이용한 기판 검사장치는 조명기를 평탄한 자세로 유지시키고 조명기를 원활하게 이송할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 리니어 액츄에이터 및 이를 이용한 기판 검사장치는 조명기를 이송하는 데 사용되는 회전모터의 과부하를 방지할 수 있다.
도 1은 본 실시예에 따른 리니어 액츄에이터를 나타낸 사시도이다.
도 2은 본 실시예에 따른 리니어 액츄에이터의 일부를 타나낸 분해사시도이다.
도 3은 본 실시예에 따른 리니어 액츄에이터에 이송대상체가 결합된 상태를 나타낸 정면도이다.
도 4은 본 실시예에 따른 리니어 액츄에이터에 이송대상체가 결합된 상태를 나타낸 측면도이다.
도 5는 본 실시예에 따른 리니어 액츄에이터에서 이송대상체가 직선 이송되는 상태를 나타낸 측면도이다.
도 6는 본 실시예에 따른 기판 검사장치를 간략하게 나타낸 구성도이다.
도 7은 본 실시예에 따른 기판 검사장치로 기판이 로딩되어 기판지지대에 지지되는 상태를 나타낸 측면도이다.
도 8은 본 실시예에 따른 기판 검사장치의 조명기가 이송되는 상태를 나타낸 측면도이다.
이하, 본 실시예에 따른 리니어 액츄에이터에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.
도 1은 본 실시예에 따른 리니어 액츄에이터를 나타낸 분해사시도이며, 도 2은 본 실시예에 따른 리니어 액츄에이터의 일부를 타나낸 확대 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 리니어 액츄에이터(이하, '리니어 액츄에이터'라 함.)(100)은 이송대상체(10)(도 3 참조.)를 선형 이송하기 위한 것으로, 가이드레일(110), 이송블록(120) 및 구동부(130)를 포함한다.
가이드레일(110)은 이송대상체(10)가 이송되는 방향으로 배치된다. 가이드레일(110)에는 길이방향으로 가이드홀(111)이 형성되며, 그 내부에는 구동부(130)를 설치하기 위한 공간이 형성된다. 이송블록(120)은 가이드홀(111)에 삽입되어 일부가 가이드레일(110)의 내부에 위치하며, 나머지는 가이드레일(110)의 상부면에 지지된다.
구동부(130)는 이송블록(120)을 이송하기 위한 것으로, 주동풀리(131), 종동풀리(132), 타이밍벨트(133) 및 회전모터(134)를 포함한다. 주동풀리(131)는 가이드레일(110)의 일단부에 배치되고 가이드레일(110)의 내부에 설치된다. 종동풀리(132)는 가이드레일(110)의 타단부에 배치되고 가이드레일(110)의 내부에 설치된다. 타이밍벨트(133)는 가이드레일(110)의 내부에서 주동풀리(131)와 종동풀리(132)에 체결되고 이송블록(120)이 결합된다. 회전모터(134)는 주동풀리(131)를 회전시켜 타이밍벨트(133)에 결합되는 이송블록(120)이 가이드레일(110)을 따라 직선 이송되도록 한다.
한편, 리니어 액츄에이터(100)는 이송블록(120)과 함께 이송되는 지지블록(140)과, 지지블록(140)과 이송블록(120)의 사이에 배치되는 탄성블록(150)을 포함한다.
지지블록(140)은 이송대상체(10)가 이송되는 방향에 대해 이송블록(120)의 전, 후방에 각각 배치될 수 있다. 이러한 지지블록(140)은 이송대상체(10)에 결합된다. 탄성블록(150)은 지지블록(140)과 이송블록(120)을 연결함으로써, 이송대상체(10)가 이송블록(120)과 함께 이송될 수 있도록 한다.
탄성블록(150)은 테프론(TEFLON) 소재로 이루어질 수 있다. 테프론은 신축성 및 내식성이 강화된 수지로 미국 듀폰사에 의해 발표된 바 있으므로, 상세한 설명을 생략하도록 한다. 이러한 탄성블록(150)은 이송대상체(10)의 하중이 이송블록(120)에 전달되지 않도록 한다.
이하, 본 실시예에 따른 리니어 액츄에이터에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.
도 3은 본 실시예에 따른 리니어 액츄에이터에 이송대상체가 결합된 상태를 나타낸 정면도이며, 도 4은 본 실시예에 따른 리니어 액츄에이터에 이송대상체가 결합된 상태를 나타낸 측면도이며, 도 5는 본 실시예에 따른 리니어 액츄에이터에서 이송대상체가 직선 이송되는 상태를 나타낸 측면도이다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 이송대상체(10)는 한쌍의 리니어 액츄에이터(100)에 의해 지지되는 것으로 도시하고 있다. 하지만, 이송대상체(10)의 무게, 크기 등에 따라 리니어 액츄에이터(100)의 개수는 얼마든지 증감되도록 변형실시 될 수 있다.
또한, 한쌍의 리니어 액츄에이터(100)에는 회전모터(134)가 각각 포함될 수 있다. 이때, 각각의 회전모터(134)는 각각의 회전수가 제어될 수 있다. 다른 실시예로, 한쌍의 리니어 액츄에이터(100) 중 어느 하나에만 회전모터(134)를 설치하고, 나머지 하나는 회전모터(134)의 생략하여 구성 될 수 있다.
한편, 이송대상체(10)는 지지블록(140)에 지지되고, 지지블록(140)은 탄성블록(150)에 의해 이송블록(120)에 지지된다. 이송블록(120)은 가이드레일(110)에 지지되므로, 이송대상체(10)의 하중은 가이드레일(110)에 전달될 수 있다.
이에 따라 가이드레일(110)에는 처짐이 발생될 수 있다. 즉, 평탄한 가이드레일(110)의 상부면은 이송대상체(10)의 하중이 작용함에 따라 하부로 완만하게 처질 수 있다.
이어, 이송대상체(10)를 이송하기 위해, 회전모터(134)는 주동풀리(131)를 회전시킨다. 주동풀리(131)가 회전됨에 따라 타이밍벨트(133)는 주동풀리(131)와 종동풀리(132)의 사이에서 이송되며, 타이밍벨트(133)에 결합된 이송블록(120)은 타이밍벨트(133)를 따라 이송된다. (도 1 참조.)
이때, 탄성블록(150)은 가이드레일(110)의 상부면을 따라 이송블록(120)이 경사지는 자세를 취할 수 있도록 지지블록(140)과 이송블록(120)의 사이에서 신축된다.
즉, 지지블록(140)에는 이송대상체(10)의 하중에 따라 수직방향으로 압력이 작용하며, 이송블록(120)에는 이송대상체(10)가 이송되는 방향으로 압력이 작용할 수 있다. 이에 따라, 탄성블록(150)에는 수직방향으로 작용하는 압력과, 이송대상체(10)가 이송되는 방향으로 작용하는 압력이 동시에 작용되므로, 탄성블록(150)은 지지블록(140)과 이송블록(120)의 사이에서 신축된다.
다시 말해, 탄성블록(150)은 이송블록(120)으로 전달될 수 있는 이송대상체(10)의 하중을 감소시키며, 가이드레일(110)이 처짐에 따라 이송블록(120)의 형태가 변경된다 하더라도 이송블록(120)의 변형력이 지지블록(110)에 전달되지 않도록 한다. 따라서, 이송블록(120)은 이송대상체(10)가 이송되는 방향으로 작용하는 압력에 의해 가이드레일(110)의 상부면을 따라 경사지는 자세를 취할 수 있다.
또한, 지지블록(140)은 수직방향으로 작용하는 압력에 의해 이송대상체(10)가 평탄한 자세를 유지할 수 있도록 한다.
이와 같이 리니어 액츄에이터(100)는 탄성블록(150)이 지지블록(140)과 이송블록(120)의 사이에서 신축되면서 이송대상체(10)를 원활하게 직선 이송시킬 수 있다.
따라서, 리니어 액츄에이터(100)는 회전모터(134)에 과부하가 발생되는 것을 방지할 수 있으며, 이송대상체(10)를 평탄하게 지지하는 상태로 이송대상체(10)를 안전하게 이송할 수 있다.
이하, 본 실시예에 따른 기판 검사장치에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.
도 6은 본 실시예에 따른 기판 검사장치를 간략하게 나타낸 구성도이다.
도 6을 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 검사장치(이하, '기판 검사장치'라 함. )(200)는 기판 지지대(210)를 포함한다.
기판 지지대(210)는 기판(20)의 테두리부를 지지한다. 기판 지지대(210)는 기판(20)을 진공 흡착하는 긴공 흡착척을 사용할 수 있다. 진공 흡착척은 이미 공지된 기술이므로 상세한 설명은 생략하도록 한다.
한편, 기판 검사장치(200)는 기판 지지대(210)를 회전시키는 회전기(220)를 포함한다. 회전기(220)는 기판 지지대(210)에 결합되는 회전축과, 회전축에 벨트와 같은 동력전달 장치로 연결되는 회전모터의 조합, 또는 상기 회전축을 회전시키는 리니어엑츄에이터의 조합으로 이루어질 수 있다.
또한, 기판 검사장치(200)는 기판 지지대(210)에 의해 지지되는 기판(20)으로 광을 조사하여 기판(20)을 원활하게 검사할 수 있도록 하는 조명기(230)를 포함한다. 조명기(230)는 광을 방출하는 광원, 광원으로부터 방출되는 광을 확산, 또는 집광시키는 광학렌즈들, 광원으로부터 방출되는 광을 반사시켜 기판(20)으로 안내하는 반사판 등의 광학기기들로 구성될 수 있다.
이러한 조명기(230)는 기판 지지대(210)의 상부에 설치되는 프레임(240)에 설치되는 조명이송기(100)에 의해 지지된다. 조명이송기(100)는 조명기(230)를 기판(20)의 길이 방향, 또는 기판(20)의 폭 방향으로 직선 이송하여 기판(20)의 전면적에 대하여 기판(20)에 대한 검사를 원활하게 수행 할 수 있도록 한다.
여기서, 조명이송기(100)는 상술된 리니어 액츄에이터(100)를 사용할 수 있다. 따라서, 조명이송기(100)에 대해서는 리니어 액츄에이터(100)와 동일한 참조부호를 부여하고 상세한 설명은 생략하도록 하며, 조명이송기(100)에 대해서는 상술된 리니어 액츄에이터(100)에 대한 설명을 참조하여 이해할 수 있을 것이다.
도 6에서 조명기(230)는 기판 지지대(210)의 상측에 배치되어 기판(20)을 향해 광을 조사하는 것으로 도시되고 있다. 다른 실시예로, 조명기(230)는 기판 지지대(210)의 하측에 배치되어 기판(20)을 향해 광을 조사하거나, 기판 지지대(210)의 상측 및 하측에 각각 배치되어 기판(20)을 향해 광을 조사하도록 변형 실시 될 수 있을 것이다.
상술된 기판 검사장치(200)는 매크로 검사장치로 사용될 수 있으며, 마이크로 검사장치로 사용될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상술된 기판 검사장치(200)가 마이크로 검사장치로 사용될 경우에는 별도의 마이크로 촬영장치와, 마이크로 촬영장치에 연결되는 디스플레이 장치가 더 설치될 수 있을 것이다.
이하, 본 실시예에 따른 기판 검사장치의 작동에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.
도 7은 본 실시예에 따른 기판 검사장치로 기판이 로딩되어 기판지지대에 지지되는 상태를 나타낸 측면도이다.
도 7을 참조하면, 기판(20)은 기판 검사장치(200)의 외부로부터 별도의 이송장치(미도시)에 의해 기판 검사장치(200)로 로딩되어 기판 지지대(210)에 지지된다.
이어, 회전기(220)는 검사자, 또는 마이크로 촬영장치가 기판(20)의 상부면을 검사하기 용이한 자세로 기판(20)이 위치하도록 기판 지지대(210)를 회전시킨다. 이와 같이 기판(20)이 기판 지지대(210)에 지지되는 상태에서, 조명기(230)는 기판(20)을 향해 광을 제공한다.
상술된 기판 검사장치(200)가 마크로 검사장치로 사용될 경우, 검사자는 광이 조사되는 기판(20)을 육안으로 확인하며 기판(20)에 대한 검사를 수행하며, 상술된 기판 검사장치(200)가 마이크로 검사장치로 사용될 경우, 검사자는 별도의 마이크로 촬영장치에 의해 촬영되는 영상을 디스플레이 장치를 통해 확인하며 기판(20)에 대한 검사를 수행할 수 있다.
한편, 기판(20)의 전면적에 대하여 검사가 원활하게 수행되도록, 조명기(230)는 조명이송기(100)에 의해 기판(20)의 길이방향, 또는 기판(20)의 폭 방향으로 이송될 수 있다.
도 8은 본 실시예에 따른 기판 검사장치의 조명기가 이송되는 상태를 나타낸 측면도이다.
도 8을 참조하면, 조명기(230)를 이송하기 위해, 회전모터(134)는 주동풀리(131)를 회전시킨다. 주동풀리(131)가 회전됨에 따라 타이밍벨트(133)는 주동풀리(131)와 종동풀리(132)의 사이에서 이송되며, 타이밍벨트(133)에 결합된 이송블록(120)은 타이밍벨트(133)를 따라 이송된다.(도 1 참조.)
상술한 바와 같이, 탄성블록(150)은 가이드레일(110)의 상부면을 따라 이송블록(120)이 경사지는 자세를 취할 수 있도록 지지블록(140)과 이송블록(120)의 사이에서 신축된다. 따라서, 가이드레일(110)이 조명기(230)의 하중에 의해 처진다 하더라도, 조명이송기(100)는 회전모터(134)에 과부하가 발생되는 것을 방지할 수 있으며, 조명기(230)를 평탄하게 지지하는 상태로 조명기(230)를 안전하게 이송할 수 있다.
이와 같이, 기판(20)의 상부면에 대한 검사가 완료되면, 회전기(220)는 검사자가 기판(20)의 하부면에 대한 검사를 수행할 수 있도록 한쌍의 기판 지지대(210)를 180도로 회전시킨다.
기판(20)의 하부면에 대한 검사동작에 대해서는, 상술된 기판(20)의 상부면에 대한 검사동작과 대동소이하므로, 상세한 설명은 생략하도록 한다.
100 : 리니어 액츄에이터, 조명이송기 110 : 가이드레일
120 : 이송블록 130 : 구동부
140 : 지지블록 150 : 탄성블록
200 : 기판 검사장치 210 : 기판 지지대
220 : 회전기 230 : 조명기
240 : 프레임

Claims (8)

  1. 가이드레일과,
    상기 가이드레일에 지지되고 상기 가이드레일을 따라 이송되는 이송블록과,
    이송대상체에 결합되어 상기 이송블록과 함께 이송되는 지지블록과,
    상기 이송블록과 상기 지지블록의 사이에 배치되어 상기 이송블록의 변형력이 상기 지지블록에 전달되지 않도록 하는 탄성블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 리니어 액츄에이터.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 탄성블록은 테프론 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 리이어 액츄에이터.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 지지블록은 한쌍으로 마련되어 상기 이송대상체가 이송되는 방향에 대해 상기 이송블록의 전, 후방에 각각 배치되며,
    상기 탄성블록은 한쌍의 상기 지지블록과 상기 이송블록의 사이에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 리니어 액츄에이터.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 가이드레일의 상부면에는 가이드홀이 형성되며,
    상기 이송블록의 일부는 상기 가이드레일의 내부에 위치하고, 상기 이송블록의 나머지는 상기 가이드레일의 상부면에 지지되며,
    상기 가이드레일의 일단부에 설치되는 주동풀리와,
    상기 가이드레일의 타단부에 설치되는 종동풀리와,
    상기 가이드레일의 내부에 설치되고 상기 주동풀리와 상기 종동풀리에 체결되며, 상기 이송블록을 지지하는 타이밍벨트와,
    상기 주동풀리를 회전 구동시키는 회전모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 리니어 액츄에이터.
  5. 기판을 지지하는 기판 지지대와,
    상기 기판 지지대에 지지되는 상기 기판으로 광을 조사하는 조명기와,
    상기 조명기를 지지하고 상기 조명기를 이송하는 조명이송기를 포함하되,
    상기 조명이송기는
    가이드레일과,
    상기 가이드레일에 지지되고 상기 가이드레일을 따라 이송되는 이송블록과,
    상기 조명기에 결합되어 상기 이송블록과 함께 이송되는 지지블록과,
    상기 이송블록과 상기 지지블록의 사이에 배치되어 상기 이송블록의 변형력이 상기 지지블록에 전달되지 않도록 하는 탄성블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 탄성블록은 테프론 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 지지블록은 한쌍으로 마련되어 상기 조명기가 이송되는 방향에 대해 상기 이송블록의 전, 후방에 각각 배치되며,
    상기 탄성블록은 한쌍의 상기 지지블록과 상기 이송블록의 사이에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 가이드레일의 상부면에는 가이드홀이 형성되며,
    상기 이송블록의 일부는 상기 가이드레일의 내부에 위치하고, 상기 이송블록의 나머지는 상기 가이드레일의 상부면에 지지되며,
    상기 조명이송기는
    상기 가이드레일의 일단부에 설치되는 주동풀리와,
    상기 가이드레일의 타단부에 설치되는 종동풀리와,
    상기 가이드레일의 내부에 설치되고 상기 주동풀리와 상기 종동풀리에 체결되며, 상기 이송블록을 지지하는 타이밍벨트와,
    상기 주동풀리를 회전 구동시키는 회전모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
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KR100834024B1 (ko) 2007-08-07 2008-05-30 주식회사 이오테크닉스 기판 마킹장치
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