JP2019053161A - 検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】検査対象物を点灯検査するための検査装置において、載置部に載置される検査対象物に対して、複数のコンタクトプローブを精度良く移動させることが可能な検査装置を提供する。【解決手段】この検査装置では、検査対象物に電力を供給する電力供給部は、検査対象物の端子に接触する複数のコンタクトプローブ２８と、複数のコンタクトプローブ２８を保持するプローブ保持部２９と、上下方向を回動の軸方向としてプローブ保持部２９を回動させる回動機構と、上下方向、前後方向および左右方向にプローブ保持部２９を移動させる移動機構とを備えている。プローブ保持部２９は、回動機構の一部を構成する減速機３８の出力軸に固定されている。プローブ保持部２９には、減速機３８の出力軸を回動中心とする回動方向でプローブ保持部２９を位置合わせするとともに、移動機構を校正するための複数の校正用穴２９ｂ、２９ｃが形成されている。【選択図】図６

Description

本発明は、検査対象物を点灯検査するための検査装置に関する。

従来、液晶パネルを点灯検査するための検査装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の検査装置は、液晶パネルの点灯検査を行うプローバと、検査前の液晶パネルをプローバに向かって搬送する搬入側コンベヤと、搬入側コンベヤで搬送された液晶パネルをプローバに搬入する搬入機構と、検査後の液晶パネルをプローバから搬出する搬出機構と、搬出機構によって搬出された液晶パネルを搬送する搬出側コンベヤとを備えている。

特許文献１に記載の検査装置では、プローバは、液晶パネルが載置されるワークテーブル、液晶パネルの背面から液晶パネルに光を照射するバックライト、および、液晶パネルの表面の映像が映し出されるスクリーン等を備えている。また、プローバは、プローブユニットを備えている。プローブユニットは、複数のコンタクトプローブ（プローブ針）と、複数のコンタクトプローブを移動させる移動機構とを備えている。液晶パネルの点灯検査時には、複数のコンタクトプローブが移動して、液晶パネルに形成される複数の給電用の端子のそれぞれに複数のコンタクトプローブのそれぞれが接触する。また、端子に接触するコンタクトプローブから液晶パネルに電力が供給される。

特開２００７−１０７９７３号公報

液晶パネルの中には、端子の幅が狭く、かつ、端子間の間隔が狭い液晶パネルがある。このような液晶パネルの点灯検査を行う検査装置では、ワークテーブルに載置される液晶パネルに対して、複数のコンタクトプローブを精度良く移動させないと、複数の端子のそれぞれと複数のコンタクトプローブのそれぞれとを接触させることが困難になる。複数の端子のそれぞれと複数のコンタクトプローブのそれぞれとを接触させることができないと、液晶パネルに電力を供給することができなくなり、その結果、液晶パネルの点灯検査を行うことができなくなる。

そこで、本発明の課題は、検査対象物を点灯検査するための検査装置において、載置部に載置される検査対象物に対して、複数のコンタクトプローブを精度良く移動させることが可能な検査装置を提供することにある。

上記の課題を解決するため、本発明の検査装置は、検査対象物を点灯検査するための検査装置において、点灯検査時に検査対象物が載置される載置部と、載置部に載置された検査対象物に電力を供給する電力供給部とを備え、電力供給部は、検査対象物に形成される給電用の端子に接触する複数のコンタクトプローブと、複数のコンタクトプローブを保持するプローブ保持部と、上下方向を回動の軸方向としてプローブ保持部を回動させる回動機構と、上下方向、上下方向に直交する前後方向および上下方向と前後方向とに直交する左右方向にプローブ保持部を移動させる移動機構とを備え、載置部と電力供給部とは、前後方向で隣接配置され、回動機構は、モータと、モータの動力を減速してプローブ保持部に伝達する減速機とを備え、プローブ保持部は、減速機の出力軸に固定され、プローブ保持部には、載置部に対して出力軸を回動中心とする回動方向でプローブ保持部を位置合わせするとともに、移動機構によるプローブ保持部の設計上の移動方向と移動機構によるプローブ保持部の実際の移動方向とのずれを算出するための複数の校正用穴が上下方向でプローブ保持部を貫通するように形成されていることを特徴とする。

本発明の検査装置では、複数のコンタクトプローブを保持するプローブ保持部が減速機の出力軸に固定されており、プローブ保持部は、減速機の出力軸を中心にして回動する。すなわち、本発明では、プローブ保持部の回動中心が明確になっている。そのため、本発明では、たとえば、ゴニオステージによってプローブ保持部を回動させる場合と比較して、出力軸を回動中心とする回動方向でプローブ保持部の位置を制御しやすくなる。したがって、本発明では、出力軸を回動中心とする回動方向で複数のコンタクトプローブを精度良く移動させることが可能になる。

また、本発明では、プローブ保持部に、載置部に対して出力軸を回動中心とする回動方向でプローブ保持部を位置合わせするとともに、移動機構によるプローブ保持部の設計上の移動方向と移動機構によるプローブ保持部の実際の移動方向とのずれを算出するための複数の校正用穴が形成されているため、載置部に対して出力軸を回動中心とする回動方向でプローブ保持部を位置合わせした後に、移動機構によるプローブ保持部の設計上の移動方向と移動機構によるプローブ保持部の実際の移動方向とのずれを算出することが可能になる。したがって、本発明では、算出された移動方向のずれに基づいてプローブ保持部を移動させることで、載置部に対して上下方向、前後方向および左右方向へ複数のコンタクトプローブを精度良く移動させることが可能になる。

このように本発明では、出力軸を回動中心とする回動方向で複数のコンタクトプローブを精度良く移動させることが可能になるとともに、載置部に対して上下方向、前後方向および左右方向へ複数のコンタクトプローブを精度良く移動させることが可能になる。したがって、本発明では、載置部に載置される検査対象物に対して、複数のコンタクトプローブを精度良く移動させることが可能になる。

本発明において、電力供給部は、検査対象物に形成されるアライメントマークを撮影するカメラを備え、カメラは、プローブ保持部に取り付けられていることが好ましい。このように構成すると、カメラを取り付けるための部材を別途設ける必要がなくなるため、電力供給部の構成を簡素化することが可能になる。

本発明において、たとえば、プローブ保持部には、校正用穴として、載置部に対して出力軸を回動中心とする回動方向でプローブ保持部を位置合わせするための第１校正用穴が２個形成され、上下方向から見たときに、２個の第１校正用穴の中心を結ぶ第１仮想線の垂直二等分線上に出力軸の軸心が配置されている。

本発明において、たとえば、プローブ保持部には、校正用穴として、移動機構によるプローブ保持部の設計上の移動方向と移動機構によるプローブ保持部の実際の移動方向とのずれを算出するための第２校正用穴が１個形成され、上下方向から見たときに、第１仮想線の垂直二等分線上に第２校正用穴の中心が配置されている。

本発明において、たとえば、載置部は、載置部材と、載置部材に位置決めされて載置される校正用治具とを備え、校正用治具には、出力軸を回動中心とする回動方向でプローブ保持部を位置合わせするための２個の治具側第１校正用穴と、上下方向から見たときに２個の治具側第１校正用穴の中心を結ぶ第２仮想線の垂直二等分線上に中心が配置される治具側第２校正用穴と、左右方向において治具側第２校正用穴と同じ位置に配置されるとともに前後方向において治具側第２校正用穴と間隔をあけた状態で配置される治具側第３校正用穴と、前後方向において治具側第２校正用穴と同じ位置に配置されるとともに左右方向において治具側第２校正用穴と間隔をあけた状態で配置される治具側第４校正用穴と、前後方向において治具側第３校正用穴と同じ位置に配置されるとともに左右方向において治具側第４校正用穴と同じ位置に配置される治具側第５校正用穴とが形成されている。

以上のように、本発明では、検査対象物を点灯検査するための検査装置において、載置部に載置される検査対象物に対して、複数のコンタクトプローブを精度良く移動させることが可能になる。

本発明の実施の形態にかかる検査装置の構成を説明するための側面図である。 図１に示す検査装置の構成を説明するための平面図である。 図１に示す液晶パネルの平面図である。 図１のＥ部の拡大図である。 図２のＦ部の構成を説明するための拡大図である。 図５のＧ部の拡大図である。 図１に示す移動機構の校正方法の一例を説明するための図である。 図１に示す移動機構の校正方法の一例を説明するための図である。 図１に示す移動機構の校正方法の一例を説明するための図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

（検査装置の全体構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる検査装置１の構成を説明するための側面図である。図２は、図１に示す検査装置１の構成を説明するための平面図である。図３は、図１に示す液晶パネル２の平面図である。

本形態の検査装置１は、検査対象物である液晶パネル２を点灯検査するための装置である。液晶パネル２は、長方形の平板状に形成されている。この液晶パネル２は、たとえば、携帯端末等に使用される比較的小型のパネルである。図３に示すように、液晶パネル２には、複数の給電用の端子２ａが形成されている。また、液晶パネル２には、後述のコンタクトプローブ２８と端子２ａとを位置合わせするためのアライメントマーク２ｂが２箇所に形成されている。なお、液晶パネル２には、バックライトは取り付けられていない。

検査装置１は、点灯検査時に液晶パネル２が載置される載置部３と、点灯検査前および点灯検査後の液晶パネル２が載置される載置部４と、載置部３と載置部４との間で液晶パネル２を搬送するパネル搬送機構５とを備えている。また、検査装置１は、点灯検査時に液晶パネル２の背面（下面）から光を照射するバックライト６と、載置部３の上方に配置されるカメラ７と、載置部３に載置された液晶パネル２に電力を供給する電力供給部８と、載置部３、バックライト６、カメラ７および電力供給部８等が収容される筐体９とを備えている。

載置部４は、筐体９の外部に配置されている。また、載置部４は、筐体９に隣接配置されている。検査装置１は、筐体９に形成される後述の開口部を塞ぐためのシャッタ１１を備えている。検査装置１は、架台１２の上に設置されている。以下の説明では、載置部４と筐体９とが隣接している方向（図１等のＹ方向）を「前後方向」とし、上下方向（鉛直方向）と前後方向とに直交する方向（図１等のＸ方向）を「左右方向」とする。また、前後方向のうちの載置部４が配置されている側（図１等のＹ１方向側）を「前」側とし、その反対側（筐体９が配置されている側、図１等のＹ２方向側）を「後ろ」側とする。

載置部３は、液晶パネル２が載置される載置用治具１４と、載置用治具１４が載置される載置部材１５と、載置部材１５から上側に向かって突出する２本の位置決めピン１６とを備えている。本形態では、載置用治具１４に２枚の液晶パネル２が載置される。すなわち、載置部３には、２枚の液晶パネル２が載置され、２枚の液晶パネル２の点灯検査が同時に行われる。載置部３の具体的な構成については後述する。

載置部４は、液晶パネル２が載置される載置部材１７を備えている。本形態の載置部４は、２個の載置部材１７を備えており、載置部４には、２枚の液晶パネル２が載置される。２個の載置部材１７は、左右方向に所定の間隔をあけた状態で配置されている。載置部材１７の上面の高さは、載置用治具１４の上面と同じ高さになっている。なお、載置部４に載置される点灯検査前の液晶パネル２は、ロボット等の液晶パネル２の搬送機構（図示省略）によって搬入される。また、載置部４に載置された点灯検査後の液晶パネル２は、液晶パネル２の搬送機構によって搬出される。

パネル搬送機構５は、液晶パネル２を保持する保持部１８と、上下方向を回転の軸方向として保持部１８を回転させる回転機構１９と、保持部１８を昇降させる昇降機構２０とを備えている。保持部１８は、細長い略長方形の平板状に形成される保持部材２１と、保持部材２１の一端側（長手方向の一端側）に取り付けられるとともに液晶パネル２を保持する保持機構２２と、保持部材２１の他端側（長手方向の他端側）に取り付けられるとともに液晶パネル２を保持する保持機構２３とを備えている。

保持機構２２、２３は、液晶パネル２の上面を吸引することで液晶パネル２を保持する吸引機構である。保持機構２２は、２枚の液晶パネル２を吸引して保持し、保持機構２３は、２枚の液晶パネル２を吸引して保持する。回転機構１９は、保持部１８の中心位置を回転中心にして保持部１８を回転させる。保持部１８が回転するときには、保持部１８は、所定位置まで上昇している。保持機構２２、２３が保持している液晶パネル２を載置部３および載置部４に載置するとき、および、載置部３および載置部４に載置されている液晶パネル２を保持機構２２、２３が保持するときには、保持部１８は、所定位置から下降した後、再び、所定位置まで上昇する。

バックライト６は、載置部３の下側に配置されている。カメラ７は、上述のように載置部３の上方に配置されており、バックライト６に照らされた液晶パネル２を撮影する。カメラ７は、カメラ７を昇降させる昇降機構（図示省略）に連結されている。電力供給部８は、載置部３の後ろ側に配置されている。また、電力供給部８と載置部３とは、前後方向で隣接配置されている。上述のように、載置部３には、２枚の液晶パネル２が載置され、２枚の液晶パネル２の点灯検査が同時に行われるため、検査装置１は、２個の電力供給部８を備えている。２個の電力供給部８は、左右方向で隣接配置されている。電力供給部８の具体的な構成については後述する。

筐体９は、直方体の箱状に形成されている。筐体９の前側面を構成する前側面部９ａには、保持部１８の回転時に保持部１８の一部が通過する開口部が形成されている。シャッタ１１は、前側面部９ａの前側に配置されている。シャッタ１１は、前側面部９ａの開口部を塞ぐ位置と、開口部を開放する位置との間を移動する。シャッタ１１には、シャッタ１１を上下動させるエアシリンダ２４が連結されている（図１参照）。

（電力供給部および載置部の構成）
図４は、図１のＥ部の拡大図である。図５は、図２のＦ部の構成を説明するための拡大図である。図６は、図５のＧ部の拡大図である。

電力供給部８は、液晶パネル２の端子２ａに接触する複数のコンタクトプローブ２８を備えている。液晶パネル２の点灯検査時には、コンタクトプローブ２８から液晶パネル２に電力が供給される。また、電力供給部８は、複数のコンタクトプローブ２８を保持するプローブ保持部２９と、上下方向を回動の軸方向としてプローブ保持部２９を回動させる回動機構３０とを備えている。

さらに、電力供給部８は、上下方向、前後方向および左右方向にプローブ保持部２９を移動させる移動機構３１を備えている。移動機構３１は、プローブ保持部２９を上下方向に移動させるためのＺ軸移動機構３２と、プローブ保持部２９を前後方向に移動させるためのＹ軸移動機構３３と、プローブ保持部２９を左右方向に移動させるためのＸ軸移動機構３４とを備えている。また、電力供給部８は、液晶パネル２のアライメントマーク２ｂを撮影するカメラ３５を備えている。本形態の電力供給部８は、２台のカメラ３５を備えている。

回動機構３０は、モータ３７と、モータ３７の動力を減速してプローブ保持部２９に伝達する減速機３８とを備えている。減速機３８は、波動歯車装置であるハーモニックドライブ（登録商標）である。図４に示すように、モータ３７の出力軸と減速機３８の入力軸とは、プーリ３９およびベルト４０を介して連結されている。モータ３７の本体部および減速機３８のケース体は、可動フレーム４１に固定されている。減速機３８は、モータ３７よりも前側に配置されている。

Ｚ軸移動機構３２は、回動機構３０の後ろ側に配置されている。このＺ軸移動機構３２は、可動フレーム４１を上下方向に移動させる。すなわち、Ｚ軸移動機構３２は、プローブ保持部２９と一緒に、回動機構３０を上下方向に移動させる。Ｚ軸移動機構３２は、モータ４２を備えている。モータ４２の出力軸には、ネジ部材４３が連結されている。ネジ部材４３には、可動フレーム４１に固定されるナット部材が係合している。モータ４２の本体部は、可動フレーム４４に固定されている。ネジ部材４３は、可動フレーム４４に回転可能に保持されている。また、Ｚ軸移動機構３２は、可動フレーム４１を上下方向に案内するガイド機構を備えている。

Ｘ軸移動機構３４は、Ｚ軸移動機構３２の下側に配置されている。このＸ軸移動機構３４は、可動フレーム４４を左右方向に移動させる。すなわち、Ｘ軸移動機構３４は、プローブ保持部２９と一緒に、回動機構３０およびＺ軸移動機構３２を左右方向に移動させる。Ｘ軸移動機構３４は、モータ４５を備えている。モータ４５の出力軸には、ネジ部材が連結され、このネジ部材には、可動フレーム４４に固定されるナット部材が係合している。モータ４５の本体部は、可動フレーム４６に固定されている。モータ４５の出力軸に連結されるネジ部材は、可動フレーム４６に回転可能に保持されている。また、Ｘ軸移動機構３４は、可動フレーム４４を左右方向に案内するガイド機構を備えている。

Ｙ軸移動機構３３は、Ｘ軸移動機構３４の下側に配置されている。このＹ軸移動機構３３は、可動フレーム４６を前後方向に移動させる。すなわち、Ｙ軸移動機構３３は、プローブ保持部２９と一緒に、回動機構３０、Ｚ軸移動機構３２およびＸ軸移動機構３４を前後方向に移動させる。Ｙ軸移動機構３３は、モータ４７を備えている。モータ４７の出力軸には、ネジ部材４８が連結され、ネジ部材４８には、可動フレーム４６に固定されるナット部材が係合している。モータ４７の本体部は、固定フレーム４９に固定されている。固定フレーム４９は、筐体９に固定されている。ネジ部材４８は、固定フレーム４９に回転可能に保持されている。また、Ｙ軸移動機構３３は、可動フレーム４６を前後方向に案内するガイド機構を備えている。

プローブ保持部２９は、減速機３８の出力軸３８ａ（図４参照）に固定されている。具体的には、プローブ保持部２９の後端側部分の上面が出力軸３８ａの下端に固定されている。また、左右方向におけるプローブ保持部２９の中心部が出力軸３８ａに固定されている。プローブ保持部２９は、出力軸３８ａを回動中心にして回動する。プローブ保持部２９は、複数の部材によって構成されている。

プローブ保持部２９の前端部は、複数のコンタクトプローブ２８が取り付けられるプローブ取付部２９ａとなっている。本形態では、左右方向に間隔をあけた状態で配置される２個のプローブ取付部２９ａがプローブ保持部２９に形成されており、２個のプローブ取付部２９ａの前端部のそれぞれに複数のコンタクトプローブ２８が取り付けられている。コンタクトプローブ２８は、コンタクトプローブ２８の長さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。コンタクトプローブ２８の下端部は、プローブ保持部２９の下面よりも下側へ突出している。コンタクトプローブ２８は、載置部３に載置された液晶パネル２の端子２ａに上側から接触する。

プローブ保持部２９には、載置部３に対して減速機３８の出力軸３８ａを回動中心とする回動方向でプローブ保持部２９を位置合わせするための２個の校正用穴２９ｂと、移動機構３１によるプローブ保持部２９の設計上の移動方向と移動機構３１によるプローブ保持部２９の実際の移動方向とのずれを算出するための１個の校正用穴２９ｃとが形成されている。すなわち、プローブ保持部２９には、載置部３に対して出力軸３８ａを回動中心とする回動方向でプローブ保持部２９を位置合わせするとともに、移動機構３１によるプローブ保持部２９の設計上の移動方向と移動機構３１によるプローブ保持部２９の実際の移動方向とのずれを算出するための複数の校正用穴２９ｂ、２９ｃが形成されている。本形態の校正用穴２９ｂは、第１校正用穴であり、校正用穴２９ｃは、第２校正用穴である。

校正用穴２９ｂ、２９ｃは、上下方向でプローブ保持部２９を貫通している。また、校正用穴２９ｂ、２９ｃは、上下方向から見たときの形状が円形となる丸穴である。校正用穴２９ｂの内径は、校正用穴２９ｃの内径よりも小さくなっている。２個の校正用穴２９ｂは、左右方向に間隔をあけた状態で形成されている。２個の校正用穴２９ｂは、プローブ保持部２９の前端側に形成されている。また、２個の校正用穴２９ｂは、２個のプローブ取付部２９ａよりも左右方向の外側に配置されるとともに、プローブ取付部２９ａよりも後ろ側に配置されている。

校正用穴２９ｃは、校正用穴２９ｂよりも後ろ側に形成されている。また、校正用穴２９ｃは、減速機３８の出力軸３８ａよりも前側に形成されている。校正用穴２９ｃは、左右方向におけるプローブ保持部２９の中心部に配置されている。また、本形態では、図６に示すように、上下方向から見たときに、校正用穴２９ｃの中心は、２個の校正用穴２９ｂの中心を結ぶ第１仮想線ＶＬ１の垂直二等分線Ｌ１上に配置されている。上下方向から見たときに、垂直二等分線Ｌ１上には、減速機３８の出力軸３８ａの軸心（中心）も配置されている。

２台のカメラ３５は、プローブ保持部２９に取り付けられている。具体的には、２台のカメラ３５は、左右方向で校正用穴２９ｂ、２９ｃを挟むように、プローブ保持部２９の左右の両端部に固定されている。２台のカメラ３５は、コンタクトプローブ２８よりも後ろ側に配置されるとともに、減速機３８よりも前側に配置されている。カメラ３５は、カメラ３５の下側に配置されるアライメントマーク２ｂを撮影する。

載置部３は、上述のように、載置用治具１４と載置部材１５と２本の位置決めピン１６とを備えている。載置部材１５は、長方形の平板状に形成されている。載置部材１５は、載置部材１５の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。バックライト６は、載置部材１５の下側に配置されている。載置部材１５には、バックライト６の光を液晶パネル２に照らすための長方形の貫通穴１５ａが形成されている（図１参照）。貫通穴１５ａは、上下方向で載置部材１５を貫通している。２本の位置決めピン１６は、左右方向に間隔をあけた状態で載置部材１５の後端側に固定されている。

載置用治具１４は、長方形の平板状に形成されている。載置用治具１４は、載置用治具１４の厚さ方向と上下方向とが一致するように載置部材１５の上面に載置されている。載置用治具１４には、位置決めピン１６が挿入される挿入穴が形成されており、この挿入穴は、上下方向で載置用治具１４を貫通している。載置用治具１４は、この挿入穴と位置決めピン１６とによって載置部材１５に対して水平方向（前後左右方向）で位置決めされている。

上述のように、載置用治具１４には、２枚の液晶パネル２が載置される。載置用治具１４には、バックライト６の光を液晶パネル２に照らすための長方形の２個の貫通穴１４ａが形成されている（図２参照）。貫通穴１４ａは、上下方向で載置用治具１４を貫通している。また、２個の貫通穴１４ａは、左右方向に所定の間隔をあけた状態で形成されている。貫通穴１４ａの縁には、液晶パネル２が載置される平面状の載置面が形成されている。この載置面は、長方形の枠状に形成されている。載置面には、複数の吸引穴が形成されており、載置面に載置される液晶パネル２の縁は、この吸引穴に吸引される。

なお、本形態では、設計上、長方形状に形成される液晶パネル２の長辺方向と左右方向とが一致し、液晶パネル２の短辺方向と前後方向とが一致するように載置用治具１４に液晶パネル２が載置される。ただし、長方形状に形成される液晶パネル２の長辺方向と前後方向とが一致し、液晶パネル２の短辺方向と左右方向とが一致するように載置用治具１４に液晶パネル２が載置されても良い。

また、載置部３は、移動機構３１の校正を行う際に使用される校正用治具５４を備えている。校正用治具５４は、移動機構３１の校正を行う際に、載置用治具１４の代わりに、載置部材１５に位置決めされて載置される。校正用治具５４は、載置用治具１４と同形状の長方形の平板状に形成されている。校正用治具５４は、校正用治具５４の厚さ方向と上下方向とが一致するように載置部材１５の上面に載置される。校正用治具５４には、位置決めピン１６が挿入される挿入穴５４ａが形成されており、挿入穴５４ａは、上下方向で校正用治具５４を貫通している。校正用治具５４は、挿入穴５４ａと位置決めピン１６とによって載置部材１５に対して水平方向で位置決めされている。なお、校正用治具５４には、貫通穴１４ａに相当する貫通穴は形成されていない。

校正用治具５４には、２個の電力供給部８のうちの一方の電力供給部８の移動機構３１の校正を行うための治具側校正用穴５４ｂ〜５４ｆと、他方の電力供給部８の移動機構３１の校正を行うための治具側校正用穴５４ｂ〜５４ｆとが形成されている。具体的には、校正用治具５４には、一方の電力供給部８において、減速機３８の出力軸３８ａを回動中心とする回動方向でプローブ保持部２９を位置合わせするための２個の治具側校正用穴５４ｂと、移動機構３１によるプローブ保持部２９の設計上の移動方向と移動機構３１によるプローブ保持部２９の実際の移動方向とのずれを算出するための４個の治具側校正用穴５４ｃ〜５４ｆとが形成されるとともに、他方の電力供給部８において、減速機３８の出力軸３８ａを回動中心とする回動方向でプローブ保持部２９を位置合わせするための２個の治具側校正用穴５４ｂと、移動機構３１によるプローブ保持部２９の設計上の移動方向と移動機構３１によるプローブ保持部２９の実際の移動方向とのずれを算出するための４個の治具側校正用穴５４ｃ〜５４ｆとが形成されている。

本形態の治具側校正用穴５４ｂは、治具側第１校正用穴であり、治具側校正用穴５４ｃは、治具側第２校正用穴であり、治具側校正用穴５４ｄは、治具側第３校正用穴であり、治具側校正用穴５４ｅは、治具側第４校正用穴であり、治具側校正用穴５４ｆは、治具側第５校正用穴である。なお、一方の電力供給部８の移動機構３１の校正を行うための治具側校正用穴５４ｂ〜５４ｆと、他方の電力供給部８の移動機構３１の校正を行うための治具側校正用穴５４ｂ〜５４ｆとは、同様に形成されているため、以下では、一方の電力供給部８の移動機構３１の校正を行うための治具側校正用穴５４ｂ〜５４ｆについて説明する。

治具側校正用穴５４ｂ〜５４ｆは、上下方向で校正用治具５４を貫通している。また、治具側校正用穴５４ｂ〜５４ｆは、上下方向から見たときの形状が円形となる丸穴である。治具側校正用穴５４ｂの内径は、治具側校正用穴５４ｃ〜５４ｆの内径よりも小さくなっている。治具側校正用穴５４ｃ〜５４ｆの内径は、等しくなっている。２個の治具側校正用穴５４ｂは、左右方向に間隔をあけた状態で形成されている。２個の治具側校正用穴５４ｂの間隔は、２個の校正用穴２９ｂの間隔と等しくなっている。

治具側校正用穴５４ｃは、治具側校正用穴５４ｂよりも後ろ側に形成されている。図６に示すように、上下方向から見たときに、治具側校正用穴５４ｃの中心は、２個の治具側校正用穴５４ｂの中心を結ぶ第２仮想線ＶＬ２の垂直二等分線Ｌ２上に配置されている。また、治具側校正用穴５４ｃは、２個の校正用穴２９ｂの中心と２個の治具側校正用穴５４ｂの中心とが上下方向で重なるときに、校正用穴２９ｃの中心と治具側校正用穴５４ｃの中心とが上下方向で重なる位置に形成されている。

治具側校正用穴５４ｄは、左右方向において治具側校正用穴５４ｃと同じ位置に配置されている。また、治具側校正用穴５４ｄは、前後方向において治具側校正用穴５４ｃと間隔をあけた状態で配置されている。具体的には、治具側校正用穴５４ｄは、治具側校正用穴５４ｃの前側に配置されている。また、治具側校正用穴５４ｄは、治具側校正用穴５４ｂよりも前側に配置されている。治具側校正用穴５４ｅは、前後方向において治具側校正用穴５４ｃと同じ位置に配置されている。また、治具側校正用穴５４ｅは、左右方向において治具側校正用穴５４ｃと間隔をあけた状態で配置されている。治具側校正用穴５４ｆは、前後方向において治具側校正用穴５４ｄと同じ位置に配置されている。また、治具側校正用穴５４ｆは、左右方向において治具側校正用穴５４ｅと同じ位置に配置されている。

なお、校正用治具５４には、２個の電力供給部８のうちの一方の電力供給部８の移動機構３１の教示（ティーチング）を行うための教示用穴５４ｇと、他方の電力供給部８の移動機構３１の教示を行うための教示用穴５４ｇとが形成されている。教示用穴５４ｇは、左右方向において、治具側校正用穴５４ｃ、５４ｄと同じ位置に形成されている。また、教示用穴５４ｇは、前後方向において、治具側校正用穴５４ｃと治具側校正用穴５４ｄとの間に形成されている。教示用穴５４ｇの内径は、治具側校正用穴５４ｃ〜５４ｆの内径と等しくなっている。また、校正用治具５４の上面には、一方の電力供給部８のカメラ３５で撮影されるアライメントマーク５４ｈと、他方の電力供給部８のカメラ３５で撮影されるアライメントマーク５４ｈとが形成されている。

（移動機構の校正方法）
図７〜図９は、図１に示す移動機構３１の校正方法の一例を説明するための図である。

検査装置１では、液晶パネル２の点灯検査を行う前に、移動機構３１によるプローブ保持部２９の設計上の移動方向と移動機構３１によるプローブ保持部２９の実際の移動方向とのずれを算出するとともに移動方向のずれに基づく補正値を算出する移動機構３１の校正を行うことがある。移動機構３１の校正を行うときには、２個の電力供給部８の移動機構３１のそれぞれの校正を個別に行う。また、移動機構３１の校正を行うときには、載置用治具１４に代えて校正用治具５４を載置部材１５に載置する。

載置部材１５に校正用治具５４が載置されると、校正用治具５４の上面から突出するピン５５を２個の治具側校正用穴５４ｂに挿入する。ピン５５の、校正用治具５４の上面から突出する部分の外径は、校正用穴２９ｂの内径とほぼ等しくなっている。その後、２本のピン５５のそれぞれが２個の校正用穴２９ｂのそれぞれに嵌るように、回動機構３０および移動機構３１によってプローブ保持部２９を移動させる（図７参照）。

このときには、プローブ保持部２９は、校正用治具５４の上側から校正用治具５４に向かって移動する。２本のピン５５のそれぞれが２個の校正用穴２９ｂのそれぞれに嵌ると、減速機３８の出力軸３８ａを回動中心とする回動方向におけるプローブ保持部２９の、載置部３に対する位置合わせが完了する。この位置合わせが完了すると、Ｚ軸移動機構３２によってプローブ保持部２９を上昇させて、２本のピン５５を治具側校正用穴５４ｂから抜く。

その後、移動機構３１によるプローブ保持部２９の設計上の移動方向と移動機構３１によるプローブ保持部２９の実際の移動方向とのずれを算出するとともに移動方向のずれに基づく補正値を算出する。すなわち、移動機構３１によるプローブ保持部２９の設計上の移動方向と移動機構３１によるプローブ保持部２９の実際の移動方向とはずれていないことが理想であるが、実際には、移動機構３１によるプローブ保持部２９の設計上の移動方向と移動機構３１によるプローブ保持部２９の実際の移動方向とにずれがあるため、移動方向のずれを算出するとともに、移動方向のずれに基づく補正値を算出する。

この移動方向のずれを算出するために、たとえば、４個の治具側校正用穴５４ｃ〜５４ｆから任意に選択される３個の治具側校正用穴５４ｃ〜５４ｆが使用される。たとえば、３個の治具側校正用穴５４ｃ、５４ｄ、５４ｆが使用される。また、たとえば、以下のように移動方向のずれを算出する。

まず、校正用治具５４の上面から突出するピン５６を治具側校正用穴５４ｃに挿入する。ピン５６の、校正用治具５４の上面から突出する部分の外径は、校正用穴２９ｃとほぼ等しくなっている。その後、ピン５６が校正用穴２９ｃに嵌るように、回動機構３０を固定した状態で、移動機構３１によってプローブ保持部２９を移動させてプローブ保持部２９を位置合わせする（図７参照）。この位置合わせが完了すると、プローブ保持部２９を上昇させて、ピン５６を治具側校正用穴５４ｃから抜く。

その後、たとえば、校正用治具５４の上面から突出するピン５６を治具側校正用穴５４ｄに挿入し、ピン５６が校正用穴２９ｃに嵌るように、回動機構３０を固定した状態で、移動機構３１によってプローブ保持部２９を移動させてプローブ保持部２９を位置合わせする（図８（Ｂ）参照）。このとき、治具側校正用穴５４ｄは、左右方向において治具側校正用穴５４ｃと同じ位置に配置されているため、設計上では、Ｙ軸移動機構３３とＺ軸移動機構３２とを用いてプローブ保持部２９を移動させれば、図８（Ｂ）に示すように、ピン５６が校正用穴２９ｃに嵌るが、実際には、Ｙ軸移動機構３３とＺ軸移動機構３２とを用いてプローブ保持部２９を移動させても、たとえば、図８（Ａ）に示すように、左右方向で、校正用穴２９ｃとピン５６とにずれが生じる。

そのため、Ｘ軸移動機構３４も用いて、ピン５６が校正用穴２９ｃに嵌るようにプローブ保持部２９を移動させてプローブ保持部２９を位置合わせする。この位置合わせが完了すると、プローブ保持部２９を上昇させて、ピン５６を治具側校正用穴５４ｄから抜く。また、この位置合わせが完了すると、移動機構３１によるプローブ保持部２９の設計上の移動方向と移動機構３１によるプローブ保持部２９の実際の移動方向との左右方向でのずれを算出する。また、算出したずれに基づいて補正値を算出する。

その後、たとえば、校正用治具５４の上面から突出するピン５６を治具側校正用穴５４ｆに挿入し、ピン５６が校正用穴２９ｃに嵌るように、回動機構３０を固定した状態で、移動機構３１によってプローブ保持部２９を移動させてプローブ保持部２９を位置合わせする（図９（Ｂ）参照）。このとき、治具側校正用穴５４ｆは、前後方向において治具側校正用穴５４ｄと同じ位置に配置されているため、設計上では、Ｘ軸移動機構３４とＺ軸移動機構３２とを用いてプローブ保持部２９を移動させれば、図９（Ｂ）に示すように、ピン５６が校正用穴２９ｃに嵌るが、実際には、Ｘ軸移動機構３４とＺ軸移動機構３２とを用いてプローブ保持部２９を移動させても、たとえば、図９（Ａ）に示すように、前後方向で、校正用穴２９ｃとピン５６とにずれが生じる。

そのため、Ｙ軸移動機構３３も用いて、ピン５６が校正用穴２９ｃに嵌るようにプローブ保持部２９を移動させてプローブ保持部２９を位置合わせする。この位置合わせが完了すると、プローブ保持部２９を上昇させて、ピン５６を治具側校正用穴５４ｆから抜く。また、この位置合わせが完了すると、移動機構３１によるプローブ保持部２９の設計上の移動方向と移動機構３１によるプローブ保持部２９の実際の移動方向との前後方向でのずれを算出する。また、算出したずれに基づいて補正値を算出する。この補正値が算出されると、移動機構３１の校正が完了する。

なお、載置部３に載置された液晶パネル２の点灯検査を行うときには、まず、液晶パネル２の２個のアライメントマーク２ｂを２台のカメラ３５で撮影して、載置部３に載置された液晶パネル２の位置および向きを検出する。その後、回動機構３０および移動機構３１は、カメラ３５による液晶パネル２の位置および向きの検出結果に基づいてプローブ保持部２９を移動させて、複数のコンタクトプローブ２８のそれぞれを複数の端子２ａのそれぞれに接触させる。このときには、移動機構３１は、移動機構３１の校正時に算出した補正値に基づいて、プローブ保持部２９を移動させる。複数のコンタクトプローブ２８のそれぞれが複数の端子２ａのそれぞれに接触すると、電力供給部８から液晶パネル２に電力が供給される。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、複数のコンタクトプローブ２８を保持するプローブ保持部２９が減速機３８の出力軸３８ａに固定されており、プローブ保持部２９は、出力軸３８ａを中心にして回動する。すなわち、本形態では、プローブ保持部２９の回動中心が明確になっている。そのため、本形態では、たとえば、ゴニオステージによってプローブ保持部２９を回動させる場合と比較して、出力軸３８ａを回動中心とする回動方向でプローブ保持部２９の位置を制御しやすくなる。したがって、本形態では、出力軸３８ａを回動中心とする回動方向で複数のコンタクトプローブ２８を精度良く移動させることが可能になる。

また、本形態では、プローブ保持部２９に形成された校正用穴２９ｂ、２９ｃを利用して、載置部３に対して出力軸３８ａを回動中心とする回動方向でプローブ保持部２９を位置合わせした後に、移動機構３１によるプローブ保持部２９の設計上の移動方向と移動機構３１によるプローブ保持部２９の実際の移動方向とのずれを算出するとともに、この移動方向のずれに基づく補正値を算出している。また、本形態では、液晶パネル２の点灯検査時に、移動機構３１は、移動機構３１の校正時に算出した補正値に基づいてプローブ保持部２９を移動させている。そのため、本形態では、載置部３に対して上下方向、前後方向および左右方向へ複数のコンタクトプローブ２８を精度良く移動させることが可能になる。

このように本形態では、出力軸３８ａを回動中心とする回動方向で複数のコンタクトプローブ２８を精度良く移動させることが可能になるとともに、載置部３に対して上下方向、前後方向および左右方向へ複数のコンタクトプローブ２８を精度良く移動させることが可能になる。そのため、本形態では、載置部３に載置される液晶パネル２に対して、複数のコンタクトプローブ２８を精度良く移動させることが可能になる。したがって、本形態では、端子２ａの幅が狭くても、また、端子２ａの間隔が狭くても、複数の端子２ａのそれぞれに複数のコンタクトプローブ２８のそれぞれを確実に接触させることが可能になる。

本形態では、液晶パネル２のアライメントマーク２ｂを撮影するカメラ３５は、プローブ保持部２９に取り付けられている。そのため、本形態では、カメラ３５を取り付けるための部材を別途設ける必要がない。したがって、本形態では、電力供給部８の構成を簡素化することが可能になる。

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

上述した形態において、プローブ保持部２９に校正用穴２９ｃが形成されていなくても良い。この場合には、たとえば、２個の治具側校正用穴５４ｂのそれぞれと左右方向において同じ位置に配置されるとともに２個の治具側校正用穴５４ｂのそれぞれと前後方向において間隔をあけた状態で配置される２個の治具側校正用穴が校正用治具５４に形成されている。また、この場合には、この治具側校正用穴および治具側校正用穴５４ｂと、校正用穴２９ｂとを用いて、移動機構３１によるプローブ保持部２９の設計上の移動方向と移動機構３１によるプローブ保持部２９の実際の移動方向とのずれを算出する。また、上述した形態において、４個の治具側校正用穴５４ｃ〜５４ｆのいずれか１個が校正用治具５４に形成されていなくても良い。また、上述した形態において、校正用穴２９ｂの内径と校正用穴２９ｃの内径とが等しくなっていても良い。

上述した形態において、Ｙ軸移動機構３３がＺ軸移動機構３２を前後方向に移動させ、かつ、Ｘ軸移動機構３４がＺ軸移動機構３２およびＹ軸移動機構３３を左右方向に移動させても良い。また、上述した形態において、Ｘ軸移動機構３４が可動フレーム４１を左右方向に移動させても良い。この場合には、Ｙ軸移動機構３３がＸ軸移動機構３４を前後方向に移動させ、かつ、Ｚ軸移動機構３２がＸ軸移動機構３４およびＹ軸移動機構３３を上下方向に移動させても良いし、Ｚ軸移動機構３２がＸ軸移動機構３４を上下方向に移動させ、かつ、Ｙ軸移動機構３３がＸ軸移動機構３４およびＺ軸移動機構３２を前後方向に移動させても良い。

また、上述した形態において、Ｙ軸移動機構３３が可動フレーム４１を前後方向に移動させても良い。この場合には、Ｘ軸移動機構３４がＹ軸移動機構３３を左右方向に移動させ、かつ、Ｚ軸移動機構３２がＸ軸移動機構３４およびＹ軸移動機構３３を上下方向に移動させても良いし、Ｚ軸移動機構３２がＹ軸移動機構３３を上下方向に移動させ、かつ、Ｘ軸移動機構３４がＹ軸移動機構３３およびＺ軸移動機構３２を前後方向に移動させても良い。

上述した形態において、載置部３に載置される液晶パネル２の枚数は１枚であっても良い。この場合には、検査装置１は、１個の電力供給部８を備えていれば良い。また、上述した形態において、載置部３に載置される液晶パネル２の枚数は３枚以上であっても良い。この場合には、載置部３に載置される液晶パネル２の枚数に応じて、検査装置１は、複数の電力供給部８を備えている。

上述した形態において、減速機３８は、波動歯車装置以外の減速機であっても良い。また、上述した形態において、カメラ３５は、プローブ保持部２９に固定されていなくても良い。この場合には、カメラ３５は、たとえば、液晶パネル２のアライメントマーク２ｂの上方であって、かつ、液晶パネル２の点灯検査の支障とならない位置に固定されている。また、上述した形態では、筐体９の内部で液晶パネル２の点灯検査を行っているが、筐体９の内部で液晶パネル２以外の検査対象物の点灯検査を行っても良い。

１ 検査装置
２ 液晶パネル（検査対象物）
２ａ 端子
２ｂ アライメントマーク
３ 載置部
８ 電力供給部
１５ 載置部材
２８ コンタクトプローブ
２９ プローブ保持部
２９ｂ 校正用穴（第１校正用穴）
２９ｃ 校正用穴（第２校正用穴）
３０ 回動機構
３１ 移動機構
３５ カメラ
３７ モータ
３８ 減速機
３８ａ 出力軸
５４ 校正用治具
５４ｂ 治具側校正用穴（治具側第１校正用穴）
５４ｃ 治具側校正用穴（治具側第２校正用穴）
５４ｄ 治具側校正用穴（治具側第３校正用穴）
５４ｅ 治具側校正用穴（治具側第４校正用穴）
５４ｆ 治具側校正用穴（治具側第５校正用穴）
Ｌ１ 第１仮想線の垂直二等分線
Ｌ２ 第２仮想線の垂直二等分線
ＶＬ１ 第１仮想線
ＶＬ２ 第２仮想線
Ｘ 左右方向
Ｙ 前後方向

Claims (5)

1. 検査対象物を点灯検査するための検査装置において、
   点灯検査時に前記検査対象物が載置される載置部と、前記載置部に載置された前記検査対象物に電力を供給する電力供給部とを備え、
   前記電力供給部は、前記検査対象物に形成される給電用の端子に接触する複数のコンタクトプローブと、複数の前記コンタクトプローブを保持するプローブ保持部と、上下方向を回動の軸方向として前記プローブ保持部を回動させる回動機構と、上下方向、上下方向に直交する前後方向および上下方向と前後方向とに直交する左右方向に前記プローブ保持部を移動させる移動機構とを備え、
   前記載置部と前記電力供給部とは、前後方向で隣接配置され、
   前記回動機構は、モータと、前記モータの動力を減速して前記プローブ保持部に伝達する減速機とを備え、
   前記プローブ保持部は、前記減速機の出力軸に固定され、
   前記プローブ保持部には、前記載置部に対して前記出力軸を回動中心とする回動方向で前記プローブ保持部を位置合わせするとともに、前記移動機構による前記プローブ保持部の設計上の移動方向と前記移動機構による前記プローブ保持部の実際の移動方向とのずれを算出するための複数の校正用穴が上下方向で前記プローブ保持部を貫通するように形成されていることを特徴とする検査装置。
2. 前記電力供給部は、前記検査対象物に形成されるアライメントマークを撮影するカメラを備え、
   前記カメラは、前記プローブ保持部に取り付けられていることを特徴とする請求項１記載の検査装置。
3. 前記プローブ保持部には、前記校正用穴として、前記載置部に対して前記出力軸を回動中心とする回動方向で前記プローブ保持部を位置合わせするための第１校正用穴が２個形成され、
   上下方向から見たときに、２個の前記第１校正用穴の中心を結ぶ第１仮想線の垂直二等分線上に前記出力軸の軸心が配置されていることを特徴とする請求項１または２記載の検査装置。
4. 前記プローブ保持部には、前記校正用穴として、前記移動機構による前記プローブ保持部の設計上の移動方向と前記移動機構による前記プローブ保持部の実際の移動方向とのずれを算出するための第２校正用穴が１個形成され、
   上下方向から見たときに、前記第１仮想線の垂直二等分線上に前記第２校正用穴の中心が配置されていることを特徴とする請求項３記載の検査装置。
5. 前記載置部は、載置部材と、前記載置部材に位置決めされて載置される校正用治具とを備え、
   前記校正用治具には、前記出力軸を回動中心とする回動方向で前記プローブ保持部を位置合わせするための２個の治具側第１校正用穴と、上下方向から見たときに２個の前記治具側第１校正用穴の中心を結ぶ第２仮想線の垂直二等分線上に中心が配置される治具側第２校正用穴と、左右方向において前記治具側第２校正用穴と同じ位置に配置されるとともに前後方向において前記治具側第２校正用穴と間隔をあけた状態で配置される治具側第３校正用穴と、前後方向において前記治具側第２校正用穴と同じ位置に配置されるとともに左右方向において前記治具側第２校正用穴と間隔をあけた状態で配置される治具側第４校正用穴と、前後方向において前記治具側第３校正用穴と同じ位置に配置されるとともに左右方向において前記治具側第４校正用穴と同じ位置に配置される治具側第５校正用穴とが形成されていることを特徴とする請求項４記載の検査装置。

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